TWD170203S - 基板洗淨用滾軸桿之部分 - Google Patents

基板洗淨用滾軸桿之部分

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TWD170203S
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roller shaft
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TW103301581F
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Inventor
Mitsuru Miyazaki
Takuya Inoue
Original Assignee
荏原製作所股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是基板洗淨用滾軸桿，為一種插入到用來洗淨附著在施行研磨處理之基板(半導體晶圓等)的表面之研磨屑等的基板洗淨用滾子的軸桿；部分設計的對象是與本物品之一端部側的洗淨裝置的結合部分。;【設計說明】;後視圖與前視圖相對稱，後視圖省略。;仰視圖與俯視圖相同，仰視圖省略。;圖式中之「部分設計範圍之放大立體圖」，僅為放大表示部分設計所主張的範圍之圖。;圖中以實線所示為「主張設計之部分」，虛線所示為「不主張設計之部分」。
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