TWD177223S - 基板洗淨用滾軸桿之部分 - Google Patents
基板洗淨用滾軸桿之部分Info
- Publication number
- TWD177223S TWD177223S TW103301582D01F TW103301582D01F TWD177223S TW D177223 S TWD177223 S TW D177223S TW 103301582D01 F TW103301582D01 F TW 103301582D01F TW 103301582D01 F TW103301582D01 F TW 103301582D01F TW D177223 S TWD177223 S TW D177223S
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- design
- view
- enlarged
- article
- substrate
- Prior art date
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title abstract 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract 1
Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板洗淨用滾軸桿,為一種插入到用來洗淨附著在施行研磨處理之基板(半導體晶圓等)的表面之研磨屑等的基板洗淨用滾子的軸桿;部分設計的對象是與本物品之一端部側的洗淨裝置的結合部分。;【設計說明】;本設計與原設計之外觀差異在於:如「部分設計範圍之放大立體圖」及「放大左側視圖」等所示,兩者的內孔孔徑大小略有所不同,因此本案與原設計案之差異些微,不影響該兩案之近似。;後視圖與前視圖相對稱,後視圖省略。;仰視圖與俯視圖相同,仰視圖省略。;圖式中之「部分設計範圍之放大立體圖」,僅為放大表示部分設計所主張的範圍之圖。;圖中以實線所示為「主張設計之部分」,虛線所示為「不主張設計之部分」。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013021975 | 2013-09-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWD177223S true TWD177223S (zh) | 2016-07-21 |
Family
ID=89162692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW103301582D01F TWD177223S (zh) | 2013-09-24 | 2014-03-21 | 基板洗淨用滾軸桿之部分 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWD177223S (zh) |
-
2014
- 2014-03-21 TW TW103301582D01F patent/TWD177223S/zh unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWD162133S (zh) | 基板洗淨用輥子軸桿之部分 | |
TWD179095S (zh) | 基板保持環 | |
TWD179673S (zh) | 基板洗淨用海綿之部分 | |
TWD180337S (zh) | 修整器碟片 | |
TWD169067S (zh) | 半導體加工機用基板移載機之清淨組件之部分 | |
TWD180129S (zh) | 密封環之部分 | |
TWD171073S (zh) | 半導體加工機用基板移載機之清淨組件之部分 | |
TWD169066S (zh) | 硏磨墊 | |
TWD184278S (zh) | 基板洗淨用海綿之部分 | |
TWD162134S (zh) | 基板洗淨用輥子軸桿之部分 | |
TWD167109S (zh) | 基板保持環 | |
TWD165013S (zh) | 靜電夾盤之部分 | |
TWD172247S (zh) | 半導體加工機用基板移載機之清淨組件之部分 | |
TWD170203S (zh) | 基板洗淨用滾軸桿之部分 | |
TWD177223S (zh) | 基板洗淨用滾軸桿之部分 | |
TWD177222S (zh) | 基板洗淨用滾軸桿之部分 | |
TWD167110S (zh) | 基板保持環 | |
TWD177006S (zh) | 半導體製造裝置用附設研磨部之清洗刷之部分 | |
TWD179918S (zh) | 基板洗淨用滾子之部分 | |
TWD173082S (zh) | 半導體製造裝置用附設研磨部之清洗刷之部分 | |
TWD180124S (zh) | 修整器碟片 | |
TWD179674S (zh) | 基板洗淨用海綿之部分 | |
TWD175120S (zh) | 基板保持環 | |
TWD167983S (zh) | 基板保持環 | |
TWD179917S (zh) | 基板洗淨用滾子之部分 |