TWD175120S - 基板保持環 - Google Patents

基板保持環

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TWD175120S
TWD175120S TW104304793F TW104304793F TWD175120S TW D175120 S TWD175120 S TW D175120S TW 104304793 F TW104304793 F TW 104304793F TW 104304793 F TW104304793 F TW 104304793F TW D175120 S TWD175120 S TW D175120S
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TW
Taiwan
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retaining ring
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substrate retaining
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TW104304793F
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English (en)
Inventor
Osamu Nabeya
Hozumi Yasuda
Keisuke Namiki
Makoto Fukushima
Shingo Togashi
Satoru Yamaki
Shintaro Isono
Original Assignee
荏原製作所股份有限公司
Ebara Corp
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Publication date
Application filed by 荏原製作所股份有限公司, Ebara Corp filed Critical 荏原製作所股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是基板保持環，如「使用狀態參考圖」所示，應用於半導體等製造時的基板研磨工程中，將晶圓等基板保持在環內，以便於對基板的單面進行研磨的基板保持環。;【設計說明】;後視圖、右側視圖及左側視圖皆與前視圖相同，均予以省略。
TW104304793F 2015-03-03 2015-09-02 基板保持環 TWD175120S (zh)

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