JP2001341827A - 枚葉式洗浄機および枚葉式洗浄機に用いられるローラーコンベア用の中間軸受け - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 枚葉式洗浄機において基板搬送用ローラーコ
ンベアの搬送軸を保持する中間軸受けで発生する塵埃を
最小限に抑えかつ塵埃の基板への付着を防止することが
できるローラーコンベア用の中間軸受けおよび枚葉式洗
浄機を提供する。 【解決手段】 枚葉式洗浄機において基板１０を搬送す
るローラーコンベアを構成する搬送ローラー１１の搬送
軸１２をその左右両端部を保持する端部軸受け１３、１
４以外の位置で搬送軸１２を保持する中間軸受け１にお
いて、中間軸受け１と搬送軸１２との線接触による摺動
部（２ａ、２ｂ）を少なくとも搬送軸１２の上端より下
方に設け、中間軸受け１の摺動部で発生する塵埃を少な
くし、発生した塵埃が中間軸受け１の側壁から基板１０
の裏面に付着することを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液
晶基板等の平面基板を精密洗浄するために用いる枚葉式
洗浄機、および枚葉式洗浄機において平面基板の搬送に
用いられるローラーコンベアの搬送軸を保持する中間軸
受けに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハや液晶基板等のように高い
洗浄度が必要とされる平面基板の洗浄には、複数枚の基
板を一度に洗浄液に浸漬し、これを複数回繰り返すバッ
チ式洗浄機や、基板を１枚ずつ搬送させながらシャワー
等で洗浄する枚葉式洗浄機などが従来から用いられてい
る。とりわけ、枚葉式洗浄機は、洗浄能力が高く、装置
コスト面や管理のしやすさなどの利点から主流になって
きている。

【０００３】この種の枚葉式洗浄機は、シャワー、回転
ブラシ等により付着物を除去するウェット部、洗浄され
た基板に付着した水分を除去する水切り部等から構成さ
れており、基板はこれらのユニット間を移動搬送され
る。枚葉式洗浄機における基板搬送手段としては、一般
的に、搬送ローラーを備えたローラーコンベアが用いら
れている。すなわち、図９に図示するように、複数の搬
送ローラー１１を取付けた搬送軸１２を基板搬送方向に
多数並設し、各搬送軸１２の両端部をそれぞれ軸受け１
３、１４で保持するとともに各搬送軸１２に回転駆動を
与えるように構成し、搬送ローラー１１上の基板を次の
搬送ローラー１１に渡すことの繰り返しで基板を搬送さ
せている。

【０００４】枚葉式洗浄機の水切り部にはエアーナイフ
ユニットが通常用いられ、このエアーナイフユニット
は、細長いスリットをもったノズルから空気を噴出させ
て基板上の水分を除去するものである。このようなエア
ーナイフの効果を最大限に引き出すには、エアーナイフ
を搬送方向に対して斜めに角度を付けるとともに洗浄す
る基板の上下に対に設置し、かつ、エアーナイフのノズ
ルを基板の表裏両面に近づけることが重要である。とこ
ろで、基板を搬送するローラーコンベアにおいては、搬
送ローラー１１を取付ける搬送軸１２は、図９を参照し
て述べたように、左端軸受け１３から右端軸受け１４に
まで延び、両端部の軸受け１３、１４により保持されて
いるため、基板の裏面に対するエアーナイフユニットを
斜めに設置しかつ基板に接近させる場合、基板を支持し
て搬送する搬送ローラー１１および搬送軸１２が邪魔に
なってしまい、エアーナイフのノズルを基板裏面に接近
させることができない。このため、エアーナイフユニッ
トの設置部においては、図１０に図示するように、下側
エアーナイフユニット１５を基板裏面に接近させるべ
く、その部分の搬送軸１２および搬送ローラー１１を排
除している。すなわち、搬送軸１２は、図１０に示すよ
うに、右端部あるいは左端部の軸受け１３、１４からエ
アーナイフユニット１５の手前までの長さとしている。
これらの搬送軸１２において、端部の軸受け１３または
１４による片持ち保持では、軸の振れが生じ、基板搬送
に悪影響を与えてしまうので、エアーナイフユニット１
５側の搬送軸端部に中間軸受け２１が設けられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、搬送軸を保
持する軸受けにおいては、軸との間で摺動が生じるため
に、塵埃が発生する。左右両端部の軸受けには軸に接す
る部分に金属ベアリング等の転がり軸受けを使用する場
合が多いが、中間軸受けにおいては、その軸受け寸法が
ローラー径に規制されることから、中間軸受けは、搬送
ローラー径より寸法が小さいこととともにその摺動部の
摺動抵抗が小さいことが要求される。

【０００６】金属ベアリングはベアリング球または回転
ころを備えているので、摺動抵抗は低いが、その反面、
寸法が大きくなってしまう。規制値となる搬送ローラー
径は、現在、搬送軸間隔を狭くして基板搬送を安定させ
るという観点から、小径化してきており、約３０ｍｍの
径が主流となっている。搬送軸の径を１０ｍｍとする
と、３０ｍｍ以下の金属ベアリングは加工困難である。
さらに、錆の問題から金属ベアリングの材質にはステン
レス等を用いる必要があることも加工性を困難にしてい
る理由の一つであり、コストを高める原因となる。この
ような理由で金属ベアリングは中間軸受けには一般的に
用いられていない。

【０００７】プラスチックベアリングは、金属ベアリン
グのようにベアリング球や回転ころといった摩擦減少構
造を持たず、搬送軸との摺動部は面接触であるが、材質
そのものの物性による滑り性で搬送軸を保持する。この
ため、寸法的な制約はほとんど受ず、また、コスト的に
も安価であるため、ほとんどの中間軸受けには、通常、
プラスチックベアリングが用いられている。

【０００８】この種の中間軸受けは、通常、図８に図示
するように構成されている。すなわち、中間軸受け２１
は、塩化ビニル樹脂等で作製される支持体２２に搬送軸
１２との摺動部に耐摩耗性に優れたルーロン等で作製さ
れるプラスチックベアリング２３を配する構造である。
なお、図８において、１１は平面基板１０を搬送する搬
送ローラーである。

【０００９】プラスチックベアリングは耐摩耗性に優れ
た材料で作製されているが、摺動部は搬送軸１２の全周
面に接触する面接触であるため、金属ベアリング等の転
がり軸受けに比べると、軸との間で摺動で発生する塵埃
は桁違いに多い。しかも、左右両端部の軸受けは、軸を
延長させることにより、洗浄する基板から遠ざけること
ができるが、中間軸受けではそれができない。実際に、
洗浄後の基板裏面の付着異物からプラスチックベアリン
グや軸金属の成分が検出されている。このような基板へ
の異物の付着は基板の後工程に悪影響を及ぼす要因とな
る。

【００１０】そこで、本発明は、前述した従来技術の有
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、枚葉
式洗浄機において基板搬送用のローラーコンベアの搬送
軸を保持する中間軸受けで発生する塵埃を最小限に抑
え、かつ塵埃の基板への付着を防止することができるロ
ーラーコンベア用の中間軸受けおよび枚葉式洗浄機を提
供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明者は、枚葉式洗浄
機において基板を搬送するローラーコンベアの搬送軸を
保持する中間軸受けに起因する発塵と基板への塵埃の付
着について鋭意検討した結果、中間軸受けに起因する発
塵は、中間軸受けの摺動部で起こり、発塵した塵埃は中
間軸受け側壁を伝わって基板に付着する現象を見出し
た。

【００１２】ここで、枚葉式洗浄機における基板搬送用
のローラーコンベアの中間軸受けにおいて、塵埃が発生
するメカニズムおよび塵埃が基板に付着するメカニズム
について説明する。

【００１３】枚葉式洗浄機の基板搬送用ローラーコンベ
アの中間軸受けにおいては、搬送ローラーを取付ける搬
送軸は通常防錆性の高いステンレス材が選択され、プラ
スチックベアリングには耐摩耗性の高い材料が選択され
ており、これらの二つの材質は面接触する。そして、搬
送軸には、基板の自重の他、シャワーやエアーナイフか
らの水圧やエアーの圧力がかかるため、プラスチックベ
アリングと搬送軸の当たりは不均一になり、その結果、
偏摩耗による発塵は避けられない。さらに、基板から脱
落した異物がプラスチックベアリングと搬送軸の間に入
り込み、発塵を促進させることもある。中間軸受けで発
生する塵埃量は、基本的には左右両軸受けのサポートと
して中間軸受けが存在するウェット部に比べ、片持ち軸
の先端軸受けとして中間軸受けが存在するエアーナイフ
部（水切り部）の方が搬送軸の軸芯の振れが大きくなる
ため、発塵量は多くなる。

【００１４】次に、この発塵した塵埃が基板に付着する
メカニズムをウェット部とエアーナイフ部に分けて説明
する。

【００１５】ウェット部においては、図７に図示するよ
うに、ローラーコンベアの上下に配置されたノズル１７
から噴出されるシャワー１８は基板の幅方向に拡散され
る。ウェット部において、左右両端部の軸受け（１３、
１４）のサポートとして中間軸受け２１が設けられてい
る場合を考えると、裏面シャワー１８の水が塵埃のキャ
リアとなる。裏面シャワー１８は通常ノズル１７により
基板の幅方向に拡散されるため、ノズル１７から発射さ
れた水の一部は、図７において矢印ａで示すように、中
間軸受け２１の側壁に伝わって上方に流れ、基板１０に
接触する。このとき、中間軸受け２１の摺動部で発生し
た塵埃は水とともに基板１０の裏面に接触して基板１０
に付着する。ただし、このウェット部においては、中間
軸受け２１の摺動部は基板１０があるなしにかかわらず
常にシャワー水により洗浄されており、また、塵埃は基
板１０に付着しても次々に降りかかるシャワー水により
除去される可能性が高く、そして発生する塵埃量が少な
いことも重なって次に述べるエアーナイフ部より汚染の
被害は少ない。

【００１６】エアーナイフ部における塵埃付着メカニズ
ムは、ウェット部に比べて若干複雑であり、中間軸受け
の配置位置によって汚染の被害は多少変化するが、汚染
の被害が最大になる場合について、図６の（ａ）ないし
（ｃ）を参照して説明する。エアーナイフ部において、
塵埃のキャリアとなるのは主に基板が運んでくる水であ
る。

【００１７】エアーナイフ部に搬送されてくる基板１０
の上面には多量の水が存在し、下面には水滴が存在して
いる。これらの基板１０の上下両面に存在する水は、基
板１０を挟むように上下に配置されかつ基板搬送方向に
対して斜めに配置されているエアーナイフユニット１５
から噴出されるエアーナイフ風１６により、矢印ｂで示
す方向、つまり基板１０が先にエアーナイフユニット１
５にかかった側（図６の（ａ）において左側、以下、エ
アーナイフ前進側という）から基板１０が後にエアーナ
イフにかかる側（図６の（ａ）において右側、以下、エ
アーナイフ後退側という）に流れる。このように移動す
る水が基板１０の端部から下方に流れる際に、中間軸受
け２１にさしかかると、図６の（ｂ）に矢印ｃで示すよ
うに中間軸受け２１を伝い落ちる。このように基板１０
の端部から流れ落ちる水の一部が中間軸受け２１を伝い
落ちる際に、中間軸受け２１の摺動部で発生した塵埃を
吸収する。この汚れた水が下側の上向きのエアーナイフ
風１６により矢印ｄで示すように上方に押し戻され、中
間軸受け２１の側面を伝わって基板１０の裏面に接触
し、塵埃を基板１０に移動させて付着させる（図６の
（ｂ）参照）。その後、同様に中間軸受け２１で発生し
た塵埃が順次矢印ｅで示すように基板１０の裏面に付着
する。

【００１８】エアーナイフ後退側（図６の（ａ）におい
て右側）の中間軸受け２１の配置位置によって汚染の被
害が変化する理由はまさにここにあり、基板１０上の水
が中間軸受け２１を伝い落ちる影響が最も大きい位置が
基板１０の端部から内外２ｍｍの範囲である。この影響
は、エアーナイフユニット１５から噴出されるエアー量
や中間軸受け２１の形状にも影響されるが、基板１０の
端部から内外２〜５ｍｍから１０ｍｍで水の影響はほと
んどなくなる。

【００１９】また、図６の（ｃ）のように中間軸受けが
基板１０の端部以外の領域に位置している場合でも、同
様の現象が起こる。ただし、この場合、キャリアとなる
水は裏面に付着している水滴のみであり、塵埃の移動は
キャリアとなる水の量と比例するため、基板１０の上面
の水の影響を受けない分、端部に比べ汚染の被害は少な
いが、基板裏面中央部に汚染を受けてしまう。

【００２０】以上のように、塵埃の発生するメカニズム
および塵埃が基板に付着するメカニズムから、中間軸受
けに起因する発塵は中間軸受けの摺動部で起こり、発塵
した塵埃は中間軸受け側壁を伝わって基板に付着する現
象を見出し、本発明を完成するに至った。

【００２１】すなわち、本発明のローラーコンベア用の
中間軸受けは、枚葉式洗浄機における基板搬送用ローラ
ーコンベアの搬送軸の左右両端部を保持する端部軸受け
以外の位置で搬送軸を保持する中間軸受けにおいて、少
なくとも搬送軸上端より下方に中間軸受けと搬送軸との
摺動部を設けることを特徴とする。

【００２２】本発明のローラーコンベア用の中間軸受け
においては、中間軸受けと搬送軸との摺動部を２箇所以
上の線接触または点接触とすることが好ましい。

【００２３】本発明のローラーコンベア用の中間軸受け
においては、搬送軸との摺動部を耐摩耗性材料、特に耐
摩耗性のプラスチックで形成することが好ましい。

【００２４】さらに、本発明の枚葉式洗浄機は、ローラ
ーコンベアにより搬送する基板を洗浄後にエアーナイフ
を用いて水切りを行う枚葉式洗浄機において、ローラー
コンベアの搬送軸を保持する中間軸受けをエアーナイフ
後退側においては前記基板の端部位置を基準として少な
くとも内外２ｍｍ以上、好ましくは５ｍｍ以上離れた位
置に配置することを特徴とする。

【００２５】本発明の枚葉式洗浄機においては、前述し
たローラーコンベア用の中間軸受けをエアーナイフ後退
側の中間軸受けとして用いることが好ましい。

【００２６】

【作用】本発明によれば、枚葉式洗浄機におけるローラ
ーコンベアの搬送軸の左右両端部の端部軸受け以外の位
置で搬送軸を保持する中間軸受けに関し、搬送軸との摺
動部を搬送軸上端より下方に設けることにより、搬送軸
との摺動により発生する塵埃を少なくしかつ発生した塵
埃が中間軸受けを介して基板の裏面に付着することを防
止することができる。

【００２７】さらに、中間軸受けの取付け位置を基板の
サイズに対して最適化することで塵埃の基板への付着を
大幅に減少させることができ、特に、水切りを行うエア
ーナイフの後退側に配置する中間軸受けを洗浄基板の端
部を基準にして少なくとも内外２〜１０ｍｍ程度離れた
位置に配置することで、中間軸受けで発生した塵埃の基
板への付着を防止することができる。また、摺動部を２
箇所以上の点接触または線接触で受けることによりロー
ラーコンベア軸振れの規制力を保持することができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００２９】図１は、本発明の枚葉式洗浄機に用いるロ
ーラーコンベアおよび中間軸受けの構成を示す概略図で
あり、図２は図１の線ｘ−ｘに沿って示す中間軸受けの
断面図であり、図３ないし図５は、同じく中間軸受けの
他の構成を示す概略図である。

【００３０】図１および図２において、１は、複数の搬
送ローラー１１を取付ける搬送軸１２を保持する中間軸
受けであり、中間軸受け１のＶ字状に形成された傾斜面
２で搬送軸１２を保持するように構成されている。すな
わち、中間軸受け１は、搬送軸１２の軸方向に延びる２
個の線状部２ａ、２ｂで接触する線接触により搬送軸１
２を保持し、そして、線状部２ａ、２ｂが搬送軸１２と
の摺動部となり、この摺動部を搬送軸１２の上端部より
下方となるように形成する。また、中間軸受け１の材質
は、耐摩耗性に優れたプラスチックを用い、例えば、高
密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、フッ素樹脂、
ポリカーボネイト樹脂、ポリプロピレン樹脂、メチルメ
タアクリレート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール
樹脂等を使用することができる。

【００３１】以上のように構成する中間軸受け１におい
ては、搬送軸１１との接触部が２箇所の線状の接触であ
るために、搬送軸との接触面を従来例に比べて大きく減
少させることができ、摺動による発塵を少なくすること
ができる。さらに、搬送軸１２との摺動部（接触部）を
搬送軸１２の上端部より下方にすることにより、塵埃を
含有する汚れた水が伝い上がってくる中間軸受けの側面
を基板１０から遠ざけることができ、中間軸受け１の摺
動部で発塵する塵埃が中間軸受け１の側壁を伝わって基
板１０に付着することを阻止することができる。また、
中間軸受け１の配置位置を洗浄基板のサイズに対して最
適化することにより、基板の裏面への塵埃の付着をより
一層防止することができる。

【００３２】また、中間軸受け１の形状が搬送軸上面よ
り上に構造体を持たないので、従来の搬送コンベアで生
じていた中間軸受けによるエアーナイフ気流障害部分
（図６の（ａ）においてｆで示す領域）がなくなり、水
切り性能も向上させることができる。

【００３３】図３に図示する中間軸受け１Ａは、搬送軸
１２との接触部（摺動部）をＵ字状の凹部面３とし、凹
部面３の３箇所の線状部３ａ、３ｂ、３ｃにより搬送軸
１２の両側と下端部に接触して搬送軸１２を保持するよ
うに構成するものであり、また、図４に図示する中間軸
受け１Ｂは、それぞれ端部に搬送軸１２に横方向から２
箇所の線状部で接触するようにＶ字状の傾斜面５が形成
されている一対の軸受け部４、４と、この一対の軸受け
部４、４を接離可能に取付ける軸受け支持部６とから構
成するものであり、搬送軸１２との接触部（摺動部）を
４箇所の線状部での接触とするものである。このように
図３や図４に図示する中間軸受けのように、中間軸受け
１と搬送軸１２との接触部（摺動部）を多くすれば、搬
送軸１２の位置規制力は強くすることができるが、その
反面、発塵も多くなる。

【００３４】さらに、図５の（ａ）および（ｂ）に図示
する中間軸受け１Ｃは、搬送軸１２に接触する部分をテ
ーパーカットして、搬送軸１２との接触部を減少させて
発塵を少なくするものである。この中間軸受け１Ｃは図
２に示す中間軸受けと同様の断面を有しているが、 そ
の側面視において上方部分７をテーパーカットしてあ
る。テーパーカットするために加工工数は増えるが耐発
塵特性が向上する。

【００３５】また、図２ないし図５に図示する中間軸受
けにおいては、線接触により軸を保持する形式である
が、この線接触に代えて、２箇所以上の点接触により軸
を保持するようにすることもできる。例えば、図２や図
３において、中間軸受け１、１ＡのＶ字状の傾斜面２や
Ｕ字状の凹部面３の軸方向中央部にそれぞれの面に沿っ
て凸状を形成し、あるいは傾斜面２や凹部面３を山形状
に形成することにより、２箇所あるいは３箇所の点接触
によって、搬送軸１２を保持することができる。このよ
うに搬送軸との接触部（摺動部）を２箇所以上の点接触
とすることにより、一層発塵を抑制することが可能とな
る。

【００３６】以下に、本発明の具体的な実施例について
さらに説明する。

【００３７】（実施例１）ウェット部（図７参照）にお
ける搬送軸の左右両端部以外の中央部およびエアーナイ
フ部（図６参照）における片持ち搬送軸の先端部に、中
間軸受けを配置した平面基板枚葉式洗浄機（キャノン
（株）製、装置構成：シャワー／ロールブラシ／超音波
槽／リンスシャワー／エアーナイフ）を用いて、３６０
×４６５×厚さ０．７ｍｍの大きさのガラス基板（コー
ニング社製：１７３７）を洗浄した。なお、洗浄機にお
いて、ウェット部の搬送部の中間軸受けは、図２に図示
する形状の中間軸受け（１）とし、高密度ポリエチレン
で作製した。また、エアーナイフ部の中間軸受けとして
は、図８に図示する従来例と同様の形状とし、支持体
（２２）は塩化ビニル樹脂で作製し、プラスチックベア
リング（２３）はルーロン製として、エアーナイフ後退
側の中間軸受けは洗浄基板端部位置から２ｍｍ外側に配
置した（図６の（ａ）および（ｂ）参照）。

【００３８】そして、ガラス基板の洗浄後、基板裏面に
付着している塵埃数をパーティクルカウンター（日立電
子エンジニアリング社製：ＧＩ４７００）で測定したと
ころ、基板裏面の塵埃付着数は、Ｓサイズ（１μｍ以
下）が１４３個、Ｍサイズ（３μｍ以下）が２９個、Ｌ
サイズ（５μｍ以下）が１１個であった。また、中間サ
ポートとしての中間軸受けを変更したことによる搬送軸
の振れ、搬送不良、および水切り不良は見られなかっ
た。

【００３９】（実施例２）前述した実施例１で用いた枚
葉式洗浄機において、エアーナイフ部におけるエアーナ
イフ後退側の中間軸受けの取付け位置を基板端部から１
０ｍｍの位置にずらして設置し、実施例１と同様に、３
６０×４６５×厚さ０．７ｍｍの大きさのガラス基板
（コーニング社製：１７３７）を洗浄した。洗浄後、基
板裏面に付着している塵埃数をパーティクルカウンター
（日立電子エンジニアリング社製：ＧＩ４７００）で測
定したところ、基板裏面の塵埃付着数は、Ｓサイズ（１
μｍ以下）が６１個、Ｍサイズ（３μｍ以下）が１１
個、Ｌサイズ（５μｍ以下）が５個であった。

【００４０】（実施例３）前述した実施例１で用いた枚
葉式洗浄機において、エアーナイフ部の中間軸受けを図
３に図示する形状の高密度ポリエチレンで作製した中間
軸受け（１Ａ）とし、その他は前述した実施例１と同様
として、３６０×４６５×厚さ０．７ｍｍの大きさのガ
ラス基板（コーニング社製：１７３７）を洗浄した。洗
浄後、基板裏面に付着している塵埃数をパーティクルカ
ウンター（日立電子エンジニアリング社製：ＧＩ４７０
０）で測定したところ、基板裏面の塵埃付着数は、Ｓサ
イズ（１μｍ以下）が４７個、Ｍサイズ（３μｍ以下）
が５個、Ｌサイズ（５μｍ以下）が２個であった。ま
た、中間軸受けを変更したことによる搬送軸の振れ、搬
送不良、および水切り不良は見られなかった。

【００４１】（実施例４）実施例３で用いた枚葉式洗浄
機において、エアーナイフ部におけるエアーナイフ後退
側の中間軸受けの取付け位置を基板基板端部から１０ｍ
ｍの位置にずらして設置し、実施例３と同様に、３６０
×４６５×厚さ０．７ｍｍの大きさのガラス基板（コー
ニング社製：１７３７）を洗浄した。洗浄後、基板裏面
に付着している塵埃数をパーティクルカウンター（日立
電子エンジニアリング社製：ＧＩ４７００）で測定した
ところ、基板裏面の塵埃付着数は、Ｓサイズ（１μｍ以
下）が３１個、Ｍサイズ（３μｍ以下）が７個、Ｌサイ
ズ（５μｍ以下）が１個であった。また、中間軸受け取
付け位置を変更したことによる搬送軸の振れ、搬送不
良、および水切り不良は見られなかった。

【００４２】（比較例１）実施例１で用いた枚葉式洗浄
機において、ウェット部の搬送軸の中間軸受けを従来形
状のもの（図８）とし、また、エアーナイフ部の中間軸
受けは実施例１と同様に図８に図示する従来例と同様の
形状とし、３６０×４６５×厚さ０．７ｍｍの大きさの
ガラス基板（コーニング社製：１７３７）を洗浄した。
なお、この場合、中間軸受け（２１）における支持体
（２２）は塩化ビニル樹脂で作製し、プラスチックベア
リング（２３）にはルーロンを用いた。

【００４３】そして、洗浄後、基板裏面に付着している
塵埃数をパーティクルカウンター（日立電子エンジニア
リング社製：ＧＩ４７００）で測定したところ、基板裏
面の塵埃付着数は、Ｓサイズ（１μｍ以下）が３０３
個、Ｍサイズ（３μｍ以下）が４０個、Ｌサイズ（５μ
ｍ以下）が１６個であった。

【００４４】（実施例５）実施例３で用いた枚葉式洗浄
機のエアーナイフ部の中間軸受け摺動部にシリンジを用
いて純水を３０ｍｌ浴びせ、その処理液を液中パーティ
クルカウンター（リオン社製：ＫＬ２０）で測定したと
ころ、含有塵埃数（０．５μｍ以下）は６７／１０ｍｌ
と良好な結果を示した。

【００４５】（比較例２）比較例１で用いた枚葉式洗浄
機のエアーナイフ部の中間軸受け摺動部にシリンジを用
いて純水を３０ｍｌ浴びせ、その処理液を液中パーティ
クルカウンター（リオン社製：ＫＬ２０）で測定したと
ころ、含有塵埃数（０．５μｍ以下）は１４７５／１０
ｍｌと好ましくない結果を示した。

【００４６】上述した実施例１ないし実施例４と比較例
１における中間軸受けの形状構成と測定塵埃数を表１に
まとめ、さらに、実施例５と比較例２における中間軸受
け形状と測定塵埃数を表２にまとめた。

【００４７】

【表１】

【００４８】

【表２】

【００４９】以上のように、本発明に基づく中間軸受け
の形状によって、摺動による発生塵埃数を著しく減少さ
せることができ、また、中間軸受けの取付け位置に左右
されずに基板裏面の洗浄度に悪影響を与えないことが確
認できた。さらに、中間軸受けの取付け位置を洗浄基板
のサイズに対して最適化することで、発生した塵埃を基
板に付着するのを防ぐ効果があり、特に、中間軸受けを
洗浄基板の端部を基準にして内外２〜１０ｍｍ程度離れ
た位置に配置することで塵埃の基板への付着を防止する
効果があることが確認できる。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
枚葉式洗浄機における基板搬送用ローラーコンベアの搬
送軸の左右両端部の軸受け以外の位置で搬送軸を保持す
る中間軸受けに関し、搬送軸との摺動部を２箇所以上の
点接触または線接触とし、かつ搬送軸上端より下方に設
けることにより、ローラーコンベア軸振れの規制力を保
持したまま搬送軸との摺動により発生する塵埃を少なく
しかつ発生した塵埃が中間軸受けを介して基板に付着す
ることを防止することができる。

【００５１】また、中間軸受けの取付け位置を基板のサ
イズに対して最適化することで、塵埃の基板への付着を
大幅に減少させることができ、特に、中間軸受けを洗浄
基板の端部を基準にして少なくとも内外２ｍｍ以上、好
ましくは５ｍｍ以上離れた位置に配置することで、中間
軸受けで発生した塵埃を基板に付着するのを防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の枚葉式洗浄機に用いるローラーコンベ
アおよびその中間軸受けの構成を示す概略図である。

【図２】本発明の中間軸受けを示す図であり、図１の線
ｘ−ｘに沿って示す断面図である。

【図３】本発明の中間軸受けの他の例を示す図であり、
（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。

【図４】本発明の中間軸受けの他の例を示す概略図であ
る。

【図５】本発明の中間軸受けの他の例を示す図であり、
（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図である。

【図６】枚葉式洗浄機のエアーナイフ部において、ロー
ラーコンベアにより搬送される基板に対する塵埃付着メ
カニズムを説明するための図であり、（ａ）は概略的模
式図、（ｂ）および（ｃ）は、それぞれ、（ａ）におけ
る線ｙ−ｙ、線ｚ−ｚに沿って示す概略的な断面図であ
る。

【図７】枚葉式洗浄機のウェット部において、ローラー
コンベアにより搬送される基板に対する塵埃付着メカニ
ズムを説明するための模式図である。

【図８】従来の枚葉式洗浄機に用いるローラーコンベア
の中間軸受けの構成を示す概略図である。

【図９】枚葉式洗浄機に用いるローラーコンベアの構成
を示す概略図である。

【図１０】枚葉式洗浄機のエアーナイフ部におけるロー
ラーコンベアおよび中間軸受けの構成を示す概略図であ
る。

【符号の説明】

１、１Ａ〜１Ｃ 中間軸受け ２ 傾斜面 ３ 凹部面 ４ 軸受け部 ５ 傾斜面 ６ 軸受け支持部 １０ 基板 １１ 搬送ローラー １２ 搬送軸 １３、１４ （端部）軸受け １５ エアーナイフユニット １６ エアーナイフ風 １７ ノズル １８ シャワー ２１ （従来の）中間軸受け

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ 1/1333 ５００ 1/1333 ５００ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４８ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４８Ａ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 枚葉式洗浄機における基板搬送用ローラ
   ーコンベアの搬送軸の左右両端部を保持する端部軸受け
   以外の位置で搬送軸を保持する中間軸受けにおいて、少
   なくとも搬送軸上端より下方に中間軸受けと搬送軸との
   摺動部を設けることを特徴とするローラーコンベア用の
   中間軸受け。
2. 【請求項２】 中間軸受けと搬送軸との摺動部を２箇所
   以上の点接触または線接触とすることを特徴とする請求
   項１記載のローラーコンベア用の中間軸受け。
3. 【請求項３】 搬送軸との摺動部を耐摩耗性材料で形成
   することを特徴とする請求項１または２記載のローラー
   コンベア用の中間軸受け。
4. 【請求項４】 耐摩耗性材料がプラスチックであること
   を特徴とする請求項３記載のローラーコンベア用の中間
   軸受け。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか１項に記載
   のローラーコンベア用の中間軸受けを用いることを特徴
   とする枚葉式洗浄機。
6. 【請求項６】 ローラーコンベアにより搬送する基板を
   洗浄後にエアーナイフを用いて水切りを行う枚葉式洗浄
   機において、ローラーコンベアの搬送軸を保持する中間
   軸受けをエアーナイフ後退側においては前記基板の端部
   位置を基準として少なくとも内外２ｍｍ以上離れた位置
   に配置することを特徴とする枚葉式洗浄機。
7. 【請求項７】 請求項１ないし４のいずれか１項に記載
   のローラーコンベア用の中間軸受けをエアーナイフ後退
   側の中間軸受けとして用いることを特徴とする請求項６
   記載の枚葉式洗浄機。