JP2000159340A - 金属薄板検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 裏面検査時の不感帯を小さくし、裏面側から
の斜光照明を使用した場合でも搬送機構が照明を遮らな
いようにし、搬送に起因する発塵を抑える。 【解決手段】 金属薄板であるワーク１０の幅に合わせ
て配置した２列の搬送ローラ３０をパスラインとし、該
搬送ローラ３０でワーク１０の外縁部を保持して搬送方
向に移動させ、検査位置で停止させた後、前記搬送ロー
ラ３０の代わりにワーク支持部４０でワーク１０を支持
し、検査位置近傍の搬送ローラ３０を退避させて検査を
行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属薄板検査方法
及び装置に係り、特に、集積回路のリードフレームの外
観検査に用いるのに好適な、裏面検査時の不感帯が小さ
く、搬送機構が裏面側からの斜光照明を遮ることがな
く、搬送に起因する塵や疵の発生の少ない金属薄板検査
方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路のリードフレーム等の金属薄板
の外観検査に際して、裏面の検査も必要な場合、従来
は、図２０や図２１に示す如く、検査対象であるワーク
１０の両端部のみを、細い駆動ベルト２２、２４で下か
ら支持（図２０）又は上下から挟持（図２１）すること
によって、所定の検査位置まで搬送していた。

【０００３】このような搬送装置を備えた検査装置にお
いて、裏面の外観検査を行う場合には、ワーク１０の下
方に照明及びカメラを設置して、画像入力を行う必要が
ある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記搬
送装置においてワーク１０を下側から画像入力して裏面
検査を行なう場合、搬送中に下側となる面は、搬送用の
駆動ベルト２２と接触している部分が画像入力できない
ために、検査時の不感帯となる。又、ベルト駆動機構が
照明を遮るため、斜光照明を使用した検査を行うことが
できない。あるいは、仮にその照明を使用したとすると
影の部分が不感帯となり、検査ができない領域が広が
る。更に、ゴム状の駆動ベルトと金属製のワークが接触
することで、塵が発生し易い等の問題点を有していた。

【０００５】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、裏面検査時に検査できない不感帯が
小さく、裏面側からの斜光照明を使用した場合でも搬送
機構が照明を遮ることがなく、搬送に起因する塵や疵の
発生を防止することが可能な、金属薄板検査方法及び装
置を提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の本発明は、金
属薄板検査方法において、金属薄板の幅に合わせて配置
した２列の搬送ローラをパスラインとし、該搬送ローラ
で金属薄板の外縁部を保持して搬送方向に移動させ、検
査位置で停止させた後、前記搬送ローラの代わりにワー
ク支持部で金属薄板を支持し、検査位置近傍の搬送ロー
ラを退避させて検査を行うようにして、前記課題を解決
したものである。

【０００７】請求項２の発明は、請求項１の金属薄板検
査方法において、前記搬送ローラを駆動し、該搬送ロー
ラの回転により、金属薄板を搬送するようにしたもので
ある。

【０００８】請求項３の発明は、請求項１の金属薄板検
査方法において、前記金属薄板を外力により移動して、
前記搬送ローラが、金属薄板の自重により回転するよう
にしたものである。

【０００９】請求項４の発明は、請求項１の金属薄板検
査方法において、前記検査位置が、金属薄板を下側から
照明しながら画像入力して裏面検査を行なう裏面検査部
としたものである。

【００１０】請求項５の発明は、請求項４の金属薄板検
査方法において、検査位置近傍の搬送ローラを退避させ
て検査を行なう際、搬送ローラが照明を遮らない位置に
移動した後、退避端に到達する前のタイミングで、前記
金属薄板を画像入力するようにしたものである。この場
合には、搬送ローラが退避端に到達すると、そのときの
衝撃によりワーク支持部が振動する場合でも、ブレの無
い検査画像を安定して入力することができる。

【００１１】請求項６の発明は、金属薄板検査装置にお
いて、金属薄板の幅に合わせて配置された、金属薄板の
外縁部が載置される２列の搬送ローラと、該搬送ローラ
上を搬送方向に移動する金属薄板を、検査位置で停止さ
せる停止手段と、該検査位置で、搬送ローラの代わりに
金属薄板を支持するワーク支持部と、該検査位置近傍の
搬送ローラを退避させるローラ退避手段と、該ワーク支
持部により支持された金属薄板を検査する検査手段と、
を備えたことにより、前記課題を解決したものである。

【００１２】請求項７の発明は、請求項６の金属薄板検
査装置において、前記ワーク支持部を、搬送ローラ間に
挿入される歯を有する櫛歯状としたものである。

【００１３】請求項８の発明は、請求項６の金属薄板検
査装置において、前記金属薄板の幅方向位置を規制する
ためのガイドレールを備えたものである。

【００１４】請求項９の発明は、請求項６の金属薄板検
査装置において、前記検査位置を、検査手段として前記
金属薄板を下側から照明する照明手段と、該照明手段に
より照明された金属薄板の裏面の画像を入力する画像入
力手段とが設置されている裏面検査部としたものであ
る。

【００１５】請求項１０の発明は、請求項９の金属薄板
検査装置において、前記ローラ退避手段が、前記照明手
段による照明を遮らない位置を越えた退避端まで、前記
搬送ローラを退避可能になっており、前記画像入力手段
が、前記ローラ退避手段により前記搬送ローラを退避さ
せる際、該搬送ローラが照明を遮らない位置に移動した
後、退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板
の裏面の画像を入力するようにしたものである。この場
合には、前記請求項５の金属薄板検査方法と同様に、安
定した検査画像を入力することができる。

【００１６】請求項１１の発明は、請求項１０の金属薄
板検査装置において、前記搬送ローラが照明を遮らない
所定位置に到達したことを検出する検出手段が設置さ
れ、該検出手段の検出信号により前記画像入力手段を起
動させ、前記金属薄板の裏面の画像を入力するようにし
たものである。

【００１７】請求項１２の発明は、請求項１０の金属薄
板検査装置において、前記ローラ退避手段を、前記搬送
ローラを照明を遮らない位置を越えた退避端まで移動さ
せる流体駆動シリンダとしたものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。

【００１９】本発明に係る第１実施形態は、図１に示す
如く、リードフレーム等のワークの外観検査装置（金属
薄板検査装置）である。本実施形態の検査装置は、ワー
クの供給及び排出を行う搬送装置として、ワーク１０の
幅に合わせて載置された、ワーク１０の外縁部が載置さ
れる２列の搬送ローラ３０（図２参照）と、該搬送ロー
ラ３０上を搬送方向に移動するワーク１０を、検査位置
で停止させるローラ駆動機構３２と、該検査位置で、搬
送ローラ３０の代わりにワーク１０を支持するワーク支
持部４０（図２参照）と、該検査位置近傍の搬送ローラ
３０を退避させるローラ退避機構５０とを備えている。

【００２０】図１において、６０は、検査対象のワーク
１０を供給するワーク供給部、６２は、該ワーク供給部
６０に積み重ねられたワーク１０を、１枚ずつ搬送ロー
ラ３０の入側（図１の左側）に載置するためのローダハ
ンド、７０は、ワーク１０の表面を斜めから斜光照明す
るためのリングライト７２と、該リングライト７２によ
って照明されたワーク１０の表面の画像を上方から捉え
て表面検査画像を生成するためのエリアセンサカメラ７
４とを含む表面検査部、８０は、ワーク１０の裏面を斜
光照明するためのリングライト８２と、該リングライト
８２によって照明されたワーク１０の裏面の映像を下方
から捉らえて裏面検査画像を生成するためのエリアセン
サカメラ８４とを含む裏面検査部、６４は、検査終了後
のワーク１０を、検査結果に応じて良品１２と不良品１
４に仕分けして積み重ねるためのアンローダハンドであ
る。

【００２１】前記ワーク支持部４０は、図２乃至図４に
示す如く、搬送ローラ３０間に挿入される歯４２を有
し、照明光を遮ぎらないよう十分に薄くされている。

【００２２】該ワーク支持部４０は、搬送ローラ３０に
よる搬送中は、同様に図２乃至図４に示す如く、搬送ロ
ーラ３０の上面より低く保たれ、ワーク１０に接触する
ことはない。一方、検査時には、ローラ退避機構５０に
より、矢印Ａに示す如く、搬送ローラ３０がパスライン
より下方に下げられた後、外側に退避される結果、該ワ
ーク支持部４０が、図５乃至図７に示す如く、ワーク１
０の外縁部を支持することになる。

【００２３】前記搬送ローラ３０としては、例えばクリ
ーンルーム用の、テフロンによって表面が被覆された、
ステンレス製の転がり軸受を用いることができる。この
ように、転がり摩擦を利用し、搬送ローラの材質を考慮
することにより、発塵を大幅に防止できる。なお、搬送
ローラの材質は、ステンレスに限定されない。

【００２４】前記ローダハンド６２及びアンローダハン
ド６４は、例えば図１に示したように、ワーク１０の上
面を真空で吸着することにより、あるいは、ワーク１０
の両側面を側方から押さえることにより、ワーク１０を
１枚ずつ引き上げて搬送する。

【００２５】本実施形態の外観検査装置全体は、図８に
示す如く、前記ローダハンド６２、アンローダハンド６
４、ローラ駆動機構３２等を含む搬送機構２８と、前記
エリアセンサカメラ７４を含む画像入力部７６、該画像
入力部７６から入力される画像を処理する画像処理部７
８を含む表面検査部７０と、前記エリアセンサカメラ８
４を含む画像入力部８６、該画像入力部８６から入力さ
れる画像を処理する画像処理部８８及び前記ローラ退避
機構５０を含む裏面検査部８０と、前記表面検査部７
０、裏面検査部８０及び搬送機構２８を制御する制御部
９０を含んで構成されている。

【００２６】以下、図１を参照して、本実施形態の作用
を説明する。

【００２７】まず、矢印で示す如く、ワーク供給部６
０から、ローダハンド６２が、例えば真空吸着により、
ワーク１０を１枚ずつ搬送ローラ３０上に乗せる。

【００２８】次いで、ローラ駆動機構３２により搬送ロ
ーラ３０を駆動させ、表面検査部７０まで搬送して、
の位置で停止させる。この状態で、表面検査用の画像を
エリアセンサカメラ７４により入力し、表面検査を開始
する。

【００２９】表面検査終了後、搬送ローラ３０を再び駆
動させ、裏面検査部８０まで搬送して、の位置で停止
させる。このままでは、搬送ローラ３０がリングライト
８２による斜光照明を妨害したり、エリアセンサカメラ
８４の視野を妨害するので、ローラ退避機構５０を動作
させ、図２乃至図４に矢印Ａで示した如く、搬送ローラ
３０のパスラインを下げて、図５乃至図７で示す如く、
ワーク支持部４０によりワーク１０が支持されるように
すると共に、外側にも十分逃して、リングライト８２に
よる斜光照明やエリアセンサカメラ８４の視野を遮るこ
とがないようにする。この状態で、裏面検査用の画像を
エリアセンサカメラ８２により入力し、裏面検査を開始
する。

【００３０】裏面検査終了後、逆の手順で搬送可能な状
態まで復帰し、搬送ローラ３０を再び駆動して、その出
口（図１の右端）までワーク１０を搬送する。搬送され
たワーク１０を、検査結果に基づいて、矢印に示す如
く、アンローダハンド６４により、良品１２と不良品１
４に仕分ける。

【００３１】本実施形態においては、ローラ駆動機構３
２により搬送ローラ３０自体を駆動することにより、ワ
ーク１０を搬送していたが、ワーク１０を搬送する方法
は、これに限定されず、図９に示す第２実施形態のよう
に、矢印Ｂに示す如く、リニアガイド９２により駆動さ
れる搬送アーム９４を用いて、ワーク１０を後方から押
したり、又は、前方から引張る等の機構を設けて、ワー
ク１０の自重で搬送ローラ３０が回転するようにしても
よい。図９において、３４は、搬送ローラ３０を回転自
在に支持する、一対のローラホルダ、９６は、検査位置
でワーク１０を位置決めするための、矢印Ｃ方向に上下
動可能な可動ストッパである。

【００３２】又、図１０に示す第３実施形態のように、
搬送中のワーク１０の左右方向への蛇行を防ぐため、パ
スラインの両側にガイドレール１２０を設けてもよい。
このガイドレール１２０は、ワーク１０とガイドレール
１２０の接触に起因する疵や塵の発生等を防止するた
め、図１０に示したように、搬送ローラと同様のローラ
１２２を９０°回転させたものを使用してもよい。な
お、ガイドレールの構成は、これに限定されず、例えば
板状のガイドレールを用いることも可能である。

【００３３】この第３実施形態におけるワーク搬送時の
搬送ローラ３０、ワーク支持部４０、ガイドレール１２
０とワーク１０の関係を図１１に、検査時のこれらの関
係を図１２に示す。図１２から明らかなように、検査時
にはワーク１０が搬送位置よりやや下方のワーク支持部
４０によって支えられる位置に移動するため、斜光照明
を使用しても、搬送ローラ３０やガイドレール１２０が
邪魔になることはない。この状態で、下面に配置したカ
メラ及び照明を使用して、検査のための画像を入力した
後、逆の手順で搬送可能な状態迄、復帰し、検査位置よ
り移動させる。

【００３４】なお、前記実施形態においては、いずれ
も、搬送ローラ３０をまず下方に移動し、次いで水平方
向に移動することによって退避させていたが、搬送ロー
ラ３０を退避させる方法はこれに限定されず、図１３に
示す第４実施形態のように、矢印Ｄで示す如く、９０°
回転させて退避させたり、あるいは、ワーク支持部４０
を上方に持ち上げてワーク１０を保持してから、搬送ロ
ーラ３０を外側に退避するようにしても良い。この場合
には、搬送ローラ３０の移動方向が単純になる。

【００３５】次に、本発明に係る第５実施形態の外観検
査装置について説明する。本実施形態の外観検査装置
は、基本構成が前記図１に示した第１実施形態と同様で
あり、検査手段としてワーク（金属薄板）１０を下側か
ら照明するリング照明（照明手段）８２と、該リング照
明８２により照明されたワーク１０の裏面の画像を入力
するエリアセンサカメラ（画像入力手段）８４とが備え
られている裏面検査部８０において、後述するように前
記搬送ローラ３０が照明を遮らなくなる位置を十分に越
えた退避端まで移動（退避）可能になっており、上記エ
リアセンサカメラ８４が、前記搬送ローラ３０が照明を
遮らない位置に移動した後、リミット位置である退避端
に到達する前のタイミングで、前記ワーク１０の裏面の
画像を入力するようになっている。

【００３６】図１４には、前記第１実施形態の場合の図
４と同様に、ワーク搬送時の裏面検査部８０を正面から
見た状態を示した。本実施形態では、裏面検査部８０の
近傍に対向して配置された２列の搬送ローラ３０を、そ
れぞれ照明を遮らない位置に退避させるローラ退避機構
５０として、該搬送ローラ３０をワーク１０の搬送位置
から下降させる上下用エアシリンダ１３０と、該エアシ
リンダ１３０を下降位置から後退させる前後用エアシリ
ンダ１４０とを備えている。このエアシリンダ１４０
は、装置本体（ベース部）１５０に固定され、シリンダ
ロッド１４０Ａの先端が上記上下用エアシリンダ１３０
に接続され、図１５に示したように、搬送ローラ３０を
下降させてワーク１０をワーク支持部４０により支持さ
せた後に、該エアシリンダ１３０を退避端まで後退させ
るようになっている。

【００３７】本実施形態では、又、一方のローラ退避機
構５０についてのみ、図１６に示したように、上記エア
シリンダ１３０が図１４の搬送位置から図１５のリミッ
ト位置１５０Ａに到達するまでの間で、搬送ローラ３０
が前記リング照明８２による照明光を遮らなくなる位置
に該エアシリンダ１３０が達したことを検知する光電ス
イッチからなるセンサ（検出手段）１５２が設置されて
いる。そして、このセンサ１５２によりエアシリンダ１
３０の到達が検出されると、その検出信号をトリガにし
て前記エリアセンサカメラ８４を起動させ、前記ワーク
１０の裏面の画像を入力するようになっている。

【００３８】図１７は、前記第１実施形態の図８に相当
するブロック図であり、本実施形態の外観検査装置全体
を示したブロック図であり、裏面検査部８０において、
ローラ退避機構５０に含まれる前記センサ１５２から入
力される検出信号に基づいて、画像入力部８６で画像入
力するタイミングを、前記のように制御する撮像タイミ
ング制御部１５４が付設されているようにした以外は、
前記第１実施形態の場合と実質的に同一である。

【００３９】本実施形態においては、図１８に、搬送ロ
ーラ３０、ローラ駆動機構３２及び上下用エアシリンダ
１３０と、前後用エアシリンダ１４０との関係を概念的
に示したように、前記ローラ退避機構５０を構成する前
後用エアシリンダ１４０のシリンダロッドを長くして、
ストロークを十分にとるようにしているので、Ａのワー
ク搬送位置から、下降させた搬送ローラ３０を後退さ
せ、その後前記センサ１５２により上下用エアシリンダ
１３０が検出されると同時に、前記エリアセンサカメラ
８６により撮像（画像入力）する制御を行なうことがで
きる。その結果、、ワーク１０の裏面画像を撮像するタ
イミングを、裏面の照明を遮らない位置Ｂと、前記リミ
ット位置１５０Ａに相当するエアシリンダ１４０のリミ
ット位置Ｃとの間、即ち搬送ローラ３０が十分に開いて
照明を遮らない位置にあり、且つローラ退避機構５０が
完全に後退し切らない（開き切らない）範囲で画像を撮
像することが可能となる。

【００４０】従って、前後用エアシリンダ１４０により
後退される上下用エアシリンダ１３０が、リミット位置
１５０Ａに衝突する前に、検査画像を入力することがで
きるので、本実施形態のようにワーク支持部４０がエア
シリンダ１４０等が固定されている装置本体１５０に固
定されている場合でも、衝突に伴う振動がワーク支持部
４０に発生する前に撮像することができるため、ブレの
無い検査画像を安定して入力することが可能となる。

【００４１】今、ローラ退避機構５０が前記図１８のＢ
の位置までしか搬送ローラ３０を退避できないとする
と、ワーク支持部４０が装置本体１５０から独立した構
造になっていれば問題はないが、本実施形態のように装
置本体１５０に固定されている場合には、搬送ローラ３
０が開き切る際、エアシリンダの片側のリミットにあた
るために振動が発生し、該振動により入力画像にブレが
生じることになる。従って、この場合は、振動が収まる
のを待って撮像することになるため、検査結果がでるま
での所要時間であるタクトタイムが増加することにな
る。

【００４２】従って、本実施形態によれば、撮像時には
ワーク支持部４０にエアシリンダ１４０による上記振動
が発生しないため、該支持部４０が装置本体１５０から
独立している場合と同様に、タクトタイムに影響を受け
ることなく、ブレの無い画像を撮像することが可能とな
る。

【００４３】又、図１９にワーク搬送から次のワーク搬
送までのタイムチャートを本発明と比較例について示し
たように、ワーク支持部４０が装置本体１５０から独立
した構造になっていないにも拘わらず、前記振動が収ま
るまで搬送ローラ３０を開き切った状態を保持する必要
がなくなるため、それが必要である比較例の場合に比べ
るとタクトタイムを短縮させる効果もある。

【００４４】なお、前記実施形態においては、リングラ
イトによる斜光照明が用いられていたが、照明の種類は
これに限定されず、透過照明や落射照明を用いることも
できる。

【００４５】又、前記実施形態においては、本発明が、
集積回路のリードフレームの外観検査装置に適用されて
いたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、リード
フレーム以外の他の金属薄板の検査装置にも同様に適用
できることは言うまでもない。

【００４６】又、流体駆動シリンダ（ローラ退避手段）
としてエアシリンダを示したが、油圧シリンダ等であっ
てもよい。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、検査時に、搬送ローラ
の代わりにワーク支持部で金属薄板を支持するので、裏
面検査時の不感帯がベルト搬送の場合に比べて大幅に減
小する。

【００４８】又、検査用の照明として裏面側からの斜光
照明を使用した場合でも、搬送機構が照明を遮ることが
ない。

【００４９】又、転がり摩擦を利用することで、すべり
摩擦に比べ、発塵を抑えることが可能となる。

【００５０】又、画像入力手段が、前記ローラ退避手段
により搬送ローラが照明を遮らない位置に移動された
後、退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板
の裏面の画像を入力する場合には、ローラ退避手段が退
避端に衝突することによってワーク支持部に振動が発生
する構造であっても、ブレのない検査画像を確実に入力
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が採用された第１実施形態のリードフレ
ームの外観検査装置の全体構成を示す側面図

【図２】前記第１実施形態のワーク支持部及び搬送ロー
ラのワーク搬送中の状態を示す平面図

【図３】同じく正面図

【図４】同じく側面図

【図５】前記ワーク支持部及び搬送ローラのワーク検査
時の状態を示す平面図

【図６】同じく正面図

【図７】同じく側面図

【図８】第１実施形態の全体構成を示すブロック線図

【図９】本発明の第２実施形態における、ワーク支持部
及び搬送ローラのワーク搬送中の状態を示す正面図

【図１０】本発明の第３実施形態におけるガイドレール
の配置を示す平面図

【図１１】前記第３実施形態のワーク搬送中の状態にお
ける、搬送ローラ、ワーク支持部及びガイドレールとワ
ークの関係を示す側面図

【図１２】同じく検査時の状態における、搬送ローラ、
ワーク支持部及びガイドレールとワークの関係を示す側
面図

【図１３】本発明の第４実施形態における、搬送ローラ
の退避方法を示す側面図

【図１４】搬送状態にある第５実施形態の外観検査装置
の要部を示す側面図

【図１５】退避状態にある同外観検査装置の要部を示す
側面図

【図１６】第５実施形態におけるローラ退避機構とセン
サとの位置関係を示す側面図

【図１７】第５実施形態の全体構成を示すブロック図

【図１８】第５実施形態の作用を示す説明図

【図１９】第５実施形態の効果を示す説明図

【図２０】ワークの両サイドのみを下から支持する駆動
ベルトを用いた、従来の搬送方法の一例を示す斜視図

【図２１】ワークの両サイドのみを上下から挟持する駆
動ベルトを用いた、従来の搬送方法の他の例を示す斜視
図

【符号の説明】

１０…ワーク ２８…搬送機構 ３０…搬送ローラ ３２…ローラ駆動機構 ３４…ローラホルダ ４０…ワーク支持部 ４２…歯 ５０…ローラ退避機構 ７０…表面検査部 ７４、８４…エリアセンサカメラ ７６、８６…画像入力部 ７８、８８…画像処理部 ８０…裏面検査部 ９０…制御部 ９２…リニアガイド ９４…搬送アーム ９６…ストッパ １２０…ガイドレール １３０…上下用エアシリンダ １４０…前後用エアシリンダ １４０Ａ…シリンダロッド １５０…装置本体 １５２Ａ…リミット位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 謙太 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 戸塚 貴之 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA37 AA62 AA90 AB20 BA01 BA20 CA03 CA04 CA07 DA01 DA06 DA13 3F017 EA01 FA09

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属薄板の幅に合わせて配置した２列の搬
   送ローラをパスラインとし、 該搬送ローラで金属薄板の外縁部を保持して搬送方向に
   移動させ、 検査位置で停止させた後、 前記搬送ローラの代わりにワーク支持部で金属薄板を支
   持し、 検査位置近傍の搬送ローラを退避させて検査を行うこと
   を特徴とする金属薄板検査方法。
2. 【請求項２】請求項１に記載の金属薄板検査方法におい
   て、前記搬送ローラを駆動し、該搬送ローラの回転によ
   り、金属薄板を搬送するようにしたことを特徴とする金
   属薄板検査方法。
3. 【請求項３】請求項１に記載の金属薄板検査方法におい
   て、前記金属薄板を外力により移動して、前記搬送ロー
   ラが、金属薄板の自重により回転するようにしたことを
   特徴とする金属薄板検査方法。
4. 【請求項４】請求項１に記載の金属薄板検査方法におい
   て、前記検査位置が、金属薄板を下側から照明しながら
   画像入力して裏面検査を行なう裏面検査部であることを
   特徴とする金属薄板検査方法。
5. 【請求項５】請求項４に記載の金属薄板検査方法におい
   て、検査位置近傍の搬送ローラを退避させて検査を行な
   う際、搬送ローラが照明を遮らない位置に移動した後、
   退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板を画
   像入力することを特徴とする金属薄板検査方法。
6. 【請求項６】金属薄板の幅に合わせて配置された、金属
   薄板の外縁部が載置される２列の搬送ローラと、 該搬送ローラ上を搬送方向に移動する金属薄板を、検査
   位置で停止させる停止手段と、 該検査位置で、搬送ローラの代わりに金属薄板を支持す
   るワーク支持部と、 該検査位置近傍の搬送ローラを退避させるローラ退避手
   段と、 該ワーク支持部により支持された金属薄板を検査する検
   査手段と、 を備えたことを特徴とする金属薄板検査装置。
7. 【請求項７】請求項６に記載の金属薄板検査装置におい
   て、前記ワーク支持部が、搬送ローラ間に挿入される歯
   を有する櫛歯状とされていることを特徴とする金属薄板
   検査装置。
8. 【請求項８】請求項６に記載の金属薄板検査装置におい
   て、更に、前記金属薄板の幅方向位置を規制するための
   ガイドレールが備えられていることを特徴とする金属薄
   板検査装置。
9. 【請求項９】請求項６に記載の金属薄板検査装置におい
   て、前記検査位置が、検査手段として前記金属薄板を下
   側から照明する照明手段と、該照明手段により照明され
   た金属薄板の裏面の画像を入力する画像入力手段とが設
   置されている裏面検査部であることを特徴とする金属薄
   板検査装置。
10. 【請求項１０】請求項９に記載の金属薄板検査装置にお
    いて、前記ローラ退避手段が、前記照明手段による照明
    を遮らない位置を越えた退避端まで、前記搬送ローラを
    退避可能になっており、前記画像入力手段が、前記ロー
    ラ退避手段により前記搬送ローラを退避させる際、該搬
    送ローラが照明を遮らない位置に移動した後、退避端に
    到達する前のタイミングで、前記金属薄板の裏面の画像
    を入力するようになっていることを特徴とする金属薄板
    検査装置。
11. 【請求項１１】請求項１０に記載の金属薄板検査装置に
    おいて、前記搬送ローラが照明を遮らない所定位置に到
    達したことを検出する検出手段が設置され、該検出手段
    の検出信号により前記画像入力手段を起動させ、前記金
    属薄板の裏面の画像を入力するようになっていることを
    特徴とする金属薄板検査装置。
12. 【請求項１２】請求項１０に記載の金属薄板検査装置に
    おいて、前記ローラ退避手段が、前記搬送ローラを照明
    を遮らない位置を越えた退避端まで移動させる流体駆動
    シリンダであることを特徴とする金属薄板検査装置。