JP2003192127A

JP2003192127A - フラットパネル枚葉搬送システム

Info

Publication number: JP2003192127A
Application number: JP2002351048A
Authority: JP
Inventors: Takehide Hayashi; 武秀林
Original assignee: Daiichi Institution Industry Co Ltd
Current assignee: Daiichi Institution Industry Co Ltd
Priority date: 2002-12-03
Filing date: 2002-12-03
Publication date: 2003-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス基板の大型化に伴い、ガラス基板を収
容したカセットの重量が増大すること等の「カセット搬
送方式」課題を解決するためのフラットパネル枚葉搬送
システムを提供することを目的とする。【解決手段】実施形態に係る液晶工場では、フラット
パネルとしてのガラス基板１を枚葉毎に、かつ、水平方
向に搬送している。また、ガラス基板１に施すマスク枚
数に応じて設けられた複数のフローＦ１〜Ｆｎからなる
インライン・フロー方式において、ガラス基板１を縦姿
勢、非接触、且つ、枚葉毎に搬送可能な搬送ラインＬ１
〜Ｌｎを各処理装置Ｐ１〜Ｐｎに配置し、成膜・パター
ン形成の生産ラインを設置している。前記搬送ラインＬ
１〜Ｌｎは、ＣＩＭによって、各処理装置Ｐ１〜Ｐｎ等
と共にシステム化され、ファクトリーオートメーション
化が図られている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

【０００２】本発明は、フラットパネルに所定の処理を
施す処理装置に、そのフラットパネルを搬送する枚葉搬
送システムに関する。

【０００３】

【従来の技術】現在、液晶工場においてガラス基板を搬
送するシステムは、所謂ベイ方式と称される搬送方法が
主流である。この方式は図１０に示すように、搬送ライ
ンを工程間搬送１００と工程内搬送１０１に分けて、工
程間搬送１００と工程内搬送１０１のタイミング等を調
整するストッカ１０２を媒介させる。工程間では複数枚
のガラス基板を収容したカセットをモノレール、ＡＧＶ
等の搬送台車に載せて搬送し、工程内では前記ストッカ
からカセットをＡＧＶ等に移載し、処理装置に搬送す
る。そして、各処理装置に対してはロボットがカセット
からガラス基板を枚葉毎に取出し、処理装置にかけた
後、再びロボットがカセットに収容して、次の処理装置
に搬送している（図１１参照）。以上のような搬送シス
テムはカセット単位による搬送であることから、ここで
は「カセット搬送方式」と定義するが、このカセット搬
送方式には、次のように点が懸念されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】

【０００５】それは、コストミニマムに伴うガラス基板
の大型化の問題である。即ち、ガラス基板の大型化
に伴い、ガラス基板を収容したカセットの重量が増大す
ること（第４世代以降の場合、約７０ｋｇ以上になると
予想される）、カセットに収容されたガラス基板の
撓みであり、この撓みはガラス破損の原因にもなるし、
ガラス基板に配線パターンが形成されている場合には、
断線の原因にもなること、ガラス基板の大型化に対
応できるように、その世代が交代する毎に、カセットの
入替えが必要になること、等である。

【０００６】上記「カセット搬送方式」の問題点を解決
する方法として、ガラス基板を枚葉毎に、かつ、水平方
向に搬送することが考えられる。

【０００７】本発明は上記「カセット搬送方式」の課題
を解決するためのフラットパネル枚葉搬送システムを提
供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る搬送システムは、処理装置等を配置し
た生産ラインに設けられ、且つ、フラットパネルを搬送
する搬送ラインを備えたフラットパネル搬送システムで
あって、前記フラットパネルを枚葉毎に、かつ、水平方
向に搬送することを特徴とするフラットパネル枚葉搬送
システムとした（請求項１に記載の発明）。また、処理
装置等を配置した生産ラインに設けられ、且つ、複数の
フローからなるインライン・フロー方式のフラットパネ
ル搬送システムであって、前記フラットパネルを枚葉毎
に、かつ、水平方向に搬送することを特徴とするフラッ
トパネル枚葉搬送システムとした（請求項２に記載の発
明）。上記各発明において、浮上ユニットを用いて前記
フラットパネルを非接触で搬送することを特徴とするフ
ラットパネル枚葉搬送システムとした（請求項３に記載
の発明）。

【０００９】前記フラットパネルは、典型的にはフラッ
トパネルディスプレイとしてのＬＣＤ（液晶ディスプレ
イ）に用いられるガラス基板である。その他、ＰＤＰ
（プラズマディスプレイ）、ＥＬ（電界発光ディスプレ
イ）、ＦＥＤ（電界放射ディスプレイ）用いられるガラ
ス基板、フラットＣＲＴ等のガラス基板等であって、平
面状のものであればよい。フラットパネルの材質は、ガ
ラス以外の材料、例えばプラスチック等の合成樹脂、シ
リコン等の半導体でもよい。

【００１０】上記各発明によれば、ガラス基板の大型化
に伴い、ガラス基板を収容したカセットの重量が増大す
ること（第４世代以降の場合、約７０ｋｇ以上になると
予想される）、カセットに収容されたガラス基板の撓み
であり、この撓みはガラス破損の原因にもなるし、ガラ
ス基板に配線パターンが形成されている場合には、断線
の原因にもなること、ガラス基板の大型化に対応できる
ように、その世代が交代する毎に、カセットの入替えが
必要になること等の問題点を解決する。またフラットパ
ネルは非接触で支持され、搬送されるので、フラットパ
ネルに搬送痕が残ることもない。さらに搬送ラインが作
業者から分離されるので、作業の安全性が向上する。

【００１１】

【発明の実施の形態】上記各発明の実施の形態につい
て、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を製造する液晶工場の
レイアウトを例示しつつ説明する。図１は液晶工場にお
ける生産ラインのレイアウト図、図２は同ラインを構成
する搬送ライン用の搬送装置の側面図、図３は同搬送装
置の要部断面図、図４は図１のレイアウトの内、ガラス
基板投入エリアを示す要部レイアウト図である。なお、
これらの各図及び後述の各図において、同一の構成につ
いては、同一の符号を付して、重複した説明を省略す
る。

【００１２】この実施形態に係る液晶工場では、フラッ
トパネルとしてのガラス基板１を枚葉毎に、かつ、水平
方向に搬送している。また、実施形態に係る液晶工場で
は、前記ガラス基板１に施すマスク枚数に応じて設けら
れた複数のフローＦ１〜Ｆｎからなるインライン・フロ
ー方式において、ガラス基板１を縦姿勢、非接触、且
つ、枚葉毎に搬送可能な搬送ラインＬ１〜Ｌｎを各処理
装置Ｐ１〜Ｐｎに配置し、成膜・パターン形成の生産ラ
インを設置している。前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎは、後
述のＣＩＭ（ＣｏｍｐｕｔｅｒＩｎｔｅｇｒａｔｅｄ
Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）によって、各処理装置
Ｐ１〜Ｐｎ等と共にシステム化され、ＦＡ（ファクトリ
ーオートメーション）化が図られている。

【００１３】前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎは、搬送装置２
から構成されており、これらの搬送装置２により、ガラ
ス基板１を枚葉毎に縦姿で搬送するので、ガラス基板１
が大型化するほど前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎ等の占有面
積を低減させる効果が大きい。よって前記搬送ラインＬ
１〜Ｌｎ、処理装置Ｐ１〜Ｐｎのみならず、液晶工場全
体の省スペース化を図ることができる。その結果、液晶
工場の建屋のコスト、液晶ディスプレイの製造コストに
も好影響を及ぼすことができる。因みに、前記搬送装置
２の占有面積は、水平搬送装置の約１／３と見積もられ
る。また、従来のようにカセット搬送方式のカセット、
ロボットによる移載を不要とするダイレクト搬送が可能
となる。よって、ガラス基板１の連続処理、高速処理が
可能であり、ガラス基板の工場投入日から完成日までの
日数ＴＡＴ（ＴｕｒｎＡｒｏｕｎｄＴｉｍｅ）の向
上、生産性の向上が達成される。また、ダイレクト搬送
による検査時間の短縮、搬送距離（動線）の最短化が図
られ、生産性が向上する。また、カセット、ロボット等
の付属装置のコスト及びそのためのスペースを削除でき
る。その他、ストッカ類も不要となり、仕掛在庫枚数を
減らすことができる。

【００１４】前記搬送装置２は、図１、図２に示すよう
に、基台２０に取付けられた搬送台３０にモータ３１、
このモータ３１により駆動される原動ローラ３２及び従
動ローラ３３、支持ローラ３４及び浮上ユニット３５を
取付けてなる。前記浮上ユニット３５は、前記ガラス基
板１を非接触で支持するもので、図３に示すように、圧
力ケース３５０に気体３５１を送り込み、その気体３５
１が搬送面３６に臨む多孔質体３５２を通過することに
より、この多孔質体３５２と縦姿のガラス基板１間に気
体膜３５３を形成させ、この気体膜３５３でガラス基板
１を支持し浮上させるようになっている。この浮上ユニ
ット３５は、搬送するガラス基板１の寸法により、その
配置位置、配置個数等を決定することができる。即ち、
この搬送装置２は、ガラス基板１のサイズの変動にも対
処することができる。前記従動ローラ３３及び支持ロー
ラ３４は、ガラス基板１の下端に接触するように、搬送
台３０の搬送面３６に等間隔に配置されているが、これ
ら複数の支持ローラ３４に変えて、１つの支持ローラ３
４と従動ローラ３３間にベルト等を掛け渡して、ガラス
基板１を移動させるようにしてもよい。前記搬送面３
６、即ち、ガラス基板１の搬送角度は、若干、傾斜させ
ることが好ましい。ガラス基板１を垂直に立てると、搬
送が不安定になるからである。前記基台２０に対し搬送
台３０を着脱自在に構成することにより、搬送台３０の
みを差換えたり、搬送できるようにしてもよい。

【００１５】このような搬送装置２によれば、搬送装置
２とガラス基板１が非接触であることからガラス基板１
に搬送痕等が発生せず、ガラス基板１の成膜面を傷つけ
ることもない。また、ガラス基板１を縦姿勢で搬送する
こと及び前記浮上ユニット３５の気体膜３５３でガラス
基板１を支持することから、ガラス基板１の撓み量を低
減させることができ、ガラスの破損を防止できる。この
ことは、ガラス基板１の大型化の一方で、重量を減らす
ガラス基板の薄型化に対しても十分に対処できることを
意味している。またガラス基板１に形成したパターンが
断線することもなくなる。さらに、水平方向への非接触
搬送手段に比べ、浮上用気体消費量を低減させることが
できる。

【００１６】前記搬送装置２は、縦、横及び幅寸法も規
格化され、且つ、複数の搬送装置２を連結させて搬送ラ
インＬ１〜Ｌｎを構成するようにモジュール化されてい
る。即ち、各搬送装置２の上記モータ３１等に電源を供
給する電線、前記浮上ユニット３５に気体を供給する配
管、後述のＣＩＭ用の信号線等は、ワンタッチでそれぞ
れ着脱できるように構成され、また前記基台２０には移
動用のキャスタ３７が固定されている。

【００１７】よって、超単機能の搬送装置２から搬送ラ
インＬ１〜Ｌｎをレイアウトすることができて、搬送ラ
インＬ１〜Ｌｎの設置の迅速化が図れ、また搬送ライン
Ｌ１〜Ｌｎの拡張、変更も自由自在にでき、レイアウト
の自由度が増大する。また、万が一、ガラス基板１が破
損したときには、直ちに別の搬送装置２或いは搬送台３
０に入れ換えればよいので、生産ラインのダウンタイム
を短縮することができ、メンテナンスも容易になる。さ
らに、上記モジュール型の搬送装置１によって、搬送ラ
イン施工の納期の短縮化が可能になって、液晶工場の早
期立ち上げも可能になる。

【００１８】前記搬送装置２には、図４、図５等に示す
ように前記搬送台３０の上部にファンフィルタユニット
（ＦＦＵ）４を取付けて、このＦＦＵ４からの清浄空気
のダウンフローを形成させるエアガイドとしてのカーテ
ン５を取付けている。前記ＦＦＵ４は、ＨＥＰＡ，ＵＬ
ＰＡ或いはケミカルフィルタと、小型ファンを組込んだ
もので、ＦＦＵ４からの清浄空気は、カーテン５の下端
から外側に流出するので、カーテン５によって縦姿のガ
ラス基板１に這うようなダウンフローが形成され、クラ
ス１の０．１μｍのクリーン度が達成可能である。よっ
て、クリーンエリアの局所化を図るミニエンバイロメン
トの手法により、搬送ラインＬ１〜Ｌｎのクリーン度を
高め、他方、クリーンルームのクリーン度をクラス１０
０００程度とすることにより、省エネルギー化を図るこ
とができる。

【００１９】前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎへのガラス基板
投入エリアＬｉｎには、図４に示したようなフラットパ
ネルステーションとしてのガラス基板ステーション６及
びフラットパネル移載装置としてのガラス基板移載装置
７を設ける。前記基板ステーション６及び前記移載装置
７は、ガラス基板１の投入タイミング等を調整するもの
で、従来のカセッ搬送方式において搬送ライン中に設け
られていた複数のストッカ類を不要にするものである。

【００２０】前記基板ステーション６は、入庫口６０
（図示せず）及び出庫口６１を備えた密閉体よりなり、
その天井部に前記ＦＦＵ４と略同一構成のＦＦＵ４Ａが
設置され、内部にはＡＧＶ，ＲＧＶ，ＰＧＶ等を介して
入庫口６０から搬入され、且つ、複数枚のガラス基板１
を縦置きしたパレット６２を載せる棚、この棚にパレッ
ト６２を移載する移載機６３が配置されている。前記パ
レット６２には、縦置きされるガラス基板１に対応する
ように、前記搬送台３０と略同一構成の搬送台（図示せ
ず）が設けられている。

【００２１】前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎからのガラス基
板払出エリアＬｏｕｔには、前記基板ステーション６と
略同一構成のガラス基板ステーション８が設けられてお
り、例えば組立工程などの次工程にＡＧＶ等を用い、パ
レット単位でガラス基板１が搬出されるようになってい
る。

【００２２】これらガラス基板ステーション６，８では
ガラス基板１を縦置きして収納するので、ガラス基板１
の撓み量を減し、そのガラス基板１の破損を防止するこ
とができ、基板ステーション６，８の占有面積を減らす
ことができる。また前記搬送台により、非接触でガラス
基板１を支持できるので搬送痕も付かない。

【００２３】前記ガラス基板移載装置７は、前記出庫口
６１から、パレット６２に載せられたガラス基板１を枚
葉毎に前記搬送装置２側に移載する。そして、前記搬送
装置２の基台２０に代えて、前記搬送台３０を移動させ
る移動基台２０Ａを設けている。その他の構成は、前記
搬送装置２と同様であるので、詳細な説明は省略する。
同様の構成の移載装置７Ａは、図１に示したように、各
フローＦ１〜Ｆｎにおいてそれぞれ他のフローに移行す
る個所にも設けられている。これらのガラス基板移載装
置７、７Ａにより搬送ラインにおける搬送方向の変換も
自在に行うことができる。同様に、図５のように搬送ラ
インＬ１〜Ｌｎ途中に、前記移載装置７を配置して、搬
送ラインＬ１〜Ｌｎを分岐させることもできる。例えば
バイパスラインとしたり、特定の処理装置に対して複線
の搬送ラインを設けて生産ラインの能力を上げたり、ダ
ウン対策にすることもできる。

【００２４】前記搬送ラインＬ１には、図１、図４等に
示すようなガラス基板洗浄装置Ｐ１，Ｐ３を配置する。
このガラス基板洗浄装置Ｐ１，Ｐ３は、前記搬送装置２
により縦姿で搬送されるガラス基板１をその姿のまま洗
浄できるようにしたものである。そのため前記搬送装置
２と略同一の構成を備えると共に、図示は省略するが、
その両側面にガラス基板１を出し入れするスリット口を
設け、また搬送面３６にはブラシ洗浄部、高圧シャワー
洗浄部、リンスシャワー部、及び液切り部を備えてい
る。これらの洗浄装置Ｐ１，Ｐ３によれば、前記搬送装
置２と同様な作用効果を奏するほか、前記搬送装置２に
より縦方向に搬送されたガラス基板１をそのまま洗浄す
ることができるので、洗浄液の滞留を大幅に減らすこと
ができ、２次汚染が抑制される。

【００２５】その他前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎの途中に
は、それぞれ成膜装置、露光装置、現像装置、検査装置
等Ｐ２，Ｐ４〜Ｐｎが配置されている。これらの各処理
装置Ｐ２，Ｐ４〜Ｐｎは、前記洗浄装置Ｐ１，Ｐ３と同
様に、ガラス基板１に対し、枚葉毎に、且つ、縦姿勢の
まま、所定の処理を施すように構成されている。なお、
各処理装置Ｐ２，Ｐ４〜Ｐｎの前後にロボット等の移載
装置を設けて、各処理装置のガラス基板に対する処理姿
勢に合わせるようにしてもよい。

【００２６】以上のように構成された液晶工場では、例
えば前記ＣＩＭによってファクトリーオートメーション
（ＦＡ）化が図られている。このＣＩＭシステムは、ホ
ストコンピュータに接続された生産制御装置と、この生
産制御装置に有線又は無線接続され、前記搬送装置２を
制御するた搬送制御装置、前記洗浄装置Ｐ１，Ｐ３を制
御する洗浄制御装置、成膜装置、露光装置、エッチング
装置、基板ステーション６，８等をそれぞれ制御する制
御装置からなる。

【００２７】なお、図１では図示されていないが、ガラ
ス基板１が各フローＦ１〜Ｆｎを逆方向に移動できるよ
うに、リターン用の搬送ライン（リリータパス）を設け
てもよい。例えば第１フロ−Ｆ１の露光装置が故障した
場合に、前記リリータパスを介して、再び第１フロ−Ｆ
１にガラス基板１を投入し、修理回復後の露光装置によ
り露光させることがきる。このようなリリータパスは、
前記移載装置７Ａ等により構成することができる。

【００２８】同様に、図１では図示されていないが、処
理装置Ｐ１〜Ｐｎの変更、入替え、保守点検等、処理装
置Ｐ１〜Ｐｎが故障した場合に備え、図６のように緊急
フラットパネル待機ステーションとしての緊急ガラス基
板待機ステーション９を前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎに配
置してもよい。このステーション９も、ガラス基板１を
縦姿勢で、非接触にて待機させるもので、収容枚数毎に
前記搬送台３０と略同一の構成の搬送台３０Ａを備えて
いる。このステーション９によれば、前記搬送装置２と
同一の効果を奏することができると共に、各処理装置Ｐ
１〜Ｐｎの前でガラス基板１を溜めておくことができ、
例えば処理装置Ｐ１〜Ｐｎに対する修理が終わったら、
処理装置Ｐ１〜Ｐｎに受け渡すことができる。

【００２９】ここで、以上のように構成された前記実施
形態のレイアウト施工概算と従来のカセット搬送方式の
コストを比較する。前提条件として、クリーンルームサ
イズは、１５０ｍ×１２０ｍとし、搬送ライン全長は１
０００ｍとする。

【表１】この表から明らかなように、２２÷５５＝０．４という
ことで、６０％のコストダウンが可能である。

【００３０】上記実施形態では、所謂インライン・フロ
ー方式における枚葉搬送システムについて、上記搬送ラ
インを適用しているが、図７に示したジョブ・ショップ
方式であって、カセット搬送方式と枚葉搬送とがミック
スした搬送システムでも、上記搬送ラインを適用するこ
とができる。この場合には前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎと
同様の作用効果を得ることができる。

【００３１】次に図８及び図９に基づき、第２実施形態
に係る液晶工場のレイアウトを説明する。この第２実施
形態では、生産ラインを主たる処理装置と搬送ラインを
分離し、例えば上層部分に主たる処理装置Ｐ２，Ｐ４〜
Ｐｎを配置し、下層部分に前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎ、
水等の使用でより重量が嵩む洗浄装置Ｐ１，Ｐ３等を配
置する。そして、前記搬送ラインＬ１〜Ｌｎと処理装置
Ｐ２，Ｐ４〜Ｐｎ間のガラス基板１の受け渡しは、クリ
ーンリフターＣＬにより行うようになっている。このク
リーンリフターＣＬにより、前記搬送装置２から搬送台
３０を分離させて枚葉単位でガラス基板１が受け渡され
る。このレイアウトでも、クリーンエリアの局所化を図
ると共に、ガラス基板１の枚葉毎の床下搬送により、作
業者と搬送ラインＬ１〜Ｌｎの分離を図ることができ、
安全性が向上する。その他の構成及び効果は、上記第１
実施形態と同一である。

【００３２】上記各実施形態では、フラットパネルの
内、ＬＣＤ用のガラス基板について、成膜・パターン形
成を行うアレイ工程の搬送システムについて説明した
が、それ他、組立工程等でも上記搬送システムを導入す
ることができる。また、ＰＤＰ（プラズマディスプレ
イ）、ＥＬ（電界発光ディスプレイ）、ＦＥＤ（電界放
射ディスプレイ用いられるガラス基板）、フラットＣＲ
Ｔ等の平面基板の製造工程においても、上記搬送システ
ムを導入することができる。これらのフラットパネルの
材料は、ガラス以外の材料、例えばプラスチック等の合
成樹脂、シリコン等の半導体でもよい。上記各実施形態
では、前記搬送装置２をモジュール化しているが、モジ
ュール化することなく、相当のライン長さで一連に連続
させてもよい。

【００３３】

【発明の効果】請求項１、２及び３に記載の発明によれ
ば、ガラス基板の大型化に伴い、ガラス基板を収容した
カセットの重量が増大すること（第４世代以降の場合、
約７０ｋｇ以上になると予想される）、カセットに収容
されたガラス基板の撓みであり、この撓みはガラス破損
の原因にもなるし、ガラス基板に配線パターンが形成さ
れている場合には、断線の原因にもなること、ガラス基
板の大型化に対応できるように、その世代が交代する毎
に、カセットの入替えが必要になること等の問題点を解
決する。また請求項３に記載の発明によれば、フラット
パネルは非接触で支持され、搬送されるので、フラット
パネルに搬送痕が残ることもない。さらに搬送ラインが
作業者から分離されるので、作業の安全性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係る液晶工場のレイアウト
図、

【図２】同実施形態に用いる搬送装置の側面図、

【図３】同搬送装置の要部断面図、

【図４】同要部レイアウト図、

【図５】同実施形態に用いる搬送装置及び移載装置の
斜視図、

【図６】同実施形態に用いる搬送装置及び緊急基板待
機ステーションの斜視図、

【図７】別例に係る液晶工場のレイアウト図、

【図８】第２実施形態に係る液晶工場のレイアウト
図、

【図９】同要部レイアウト図、

【図１０】従来の液晶工場のレイアウト図、

【図１１】同液晶工場の搬送フロー図。

【符号の説明】

１ガラス基板２搬送装置２０
基台２０Ａ移動基台３０
搬送台３１モータ３２
原動ローラ３３従動ローラ３４
支持ローラ３５浮上ユニット３６搬送面３７
キャスタ３５０圧力ケース３５
１気体３５２多孔質体３５
３気体膜４ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）５
カーテン６８ガラス基板ステーション６０入庫口６１
出庫口６２６３
移載機７ガラス基板移載装置７Ａ
移載装置９緊急ガラス基板待機ステーションＦ１〜ＦｎフローＬ１〜Ｌｎ搬送ラインＰ１
〜Ｐｎ各処理装置Ｐ１，Ｐ３ガラス基板洗浄装置ＣＬクリーンリフターＬｉｎガラス基板投入エリアＬｏｕｔ
ガラス基板払出エリア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者林武秀東京都小金井市緑町５丁目17番25号Ｆターム(参考） 5F031 CA04 CA05 DA01 DA17 FA02 FA03 FA07 FA11 FA14 FA15 FA18 GA53 GA58 HA48 HA60 LA03 MA06 MA23 NA03 NA16 PA03 PA05 PA06 PA13 PA18 PA20 PA23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】処理装置等を配置した生産ラインに設け
られ、且つ、フラットパネルを搬送する搬送ラインを備
えたフラットパネル搬送システムであって、前記フラッ
トパネルを枚葉毎に、かつ、水平方向に搬送することを
特徴とするフラットパネル枚葉搬送システム。
【請求項２】処理装置等を配置した生産ラインに設け
られ、且つ、複数のフローからなるインライン・フロー
方式のフラットパネル搬送システムであって、前記フラ
ットパネルを枚葉毎に、かつ、水平方向に搬送すること
を特徴とするフラットパネル枚葉搬送システム。
【請求項３】浮上ユニットを用いて前記フラットパネ
ルを非接触で搬送することを特徴とする請求項１又は２
に記載のフラットパネル枚葉搬送システム。