JP4177828B2 - フラットパネル製造装置 - Google Patents

Description

本発明はフラットパネル製造装置に係り、より詳細には、フラットパネルを縦置きに載置して搬送する工程ラインの途中に複数の処理槽を備えて順次処理するフラットパネル製造装置に関する。

従来、例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＬＴＰＳ−ＴＦＴ（低温ポリシリコン薄膜トランジスタ）パネルなどを含むフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：以下、フラットパネルと称す）の製造工程において、フラットパネルを縦置きに載置して搬送する工程ラインの途中に複数の処理槽を備えて順次処理（例えば、特許文献１参照）するフラットパネル製造装置がよく知られている。図３は、このようなフラットパネルを縦置きに搬送する工程ラインに処理槽を複数備えた従来のフラットパネル製造装置を示す工程のレイアウト図である。また、図４は、図３に示した処理槽Ｐ１の詳細を示す拡大図である。

図３に示すように、従来のフラットパネル製造装置は、液晶の製造工程などに採用されており、ガラス基板などのフラットパネル１に施すマスク枚数に応じた工程ラインＦ１〜Ｆｎを複数連設し、この工程ラインＬ１〜Ｌｎに沿ってフラットパネル１を縦置きに載置して枚葉毎に搬送する搬送手段３０と、この搬送手段３０により搬送する工程ラインＬ１〜Ｌｎの途中に各々複数配置してフラットパネル１を順次処理する処理槽Ｐ１〜Ｐｎとを備えている。

ここで、搬送手段３０は、図４に示すように、フラットパネル１を縦置きで搬送する際、若干、傾斜させて搬送角度を付けることが好ましく、ガラス基板１を垂直に立てた時に搬送が不安定になることを防止している。一方、処理槽Ｐ１は、例えば、フラットパネル１の洗浄、エッチングなどの液処理を行う各種槽を有して生産ラインを構成し、システム化及びＦＡ（ファクトリーオートメーション）化が図られている。この処理槽Ｐ１では、フラットパネル１を搬送手段３０から縦置きに傾斜させた状態で搬入し、この傾斜した状態のままで所定の処理（図４では洗浄）を実行している。

従って、従来のフラットパネル製造装置は、フラットパネル１を枚葉毎に縦姿で搬入して処理するため、フラットパネル１が大型化するほど工程ラインＬ１〜Ｌｎの占有面積を低減させる効果が大きく、工程ラインＬ１〜Ｌｎ及び処理槽Ｐ１〜Ｐｎのみならず、液晶の製造工程全体の省スペース化を図り、その結果、液晶の製造コスト及び液晶ディスプレイの製造コストを低減していた。
特開２００２−３０８４２２号公報

しかしながら、従来のフラットパネル製造装置では、図４に示したように、搬送手段３０からフラットパネル１を縦置きに受け取って処理する処理槽Ｐ１内の傾斜角度を一定に固定しているため、例えば、洗浄処理などの液処理においてフラットパネル１の傾斜した処理面に流す処理液の流速（流量）が一定になってしまい、フラットパネル１の形状に応じて傾斜角度を変えて所望の流速で処理することが困難であるという不具合があった。
本発明はこのような課題を解決し、縦置きに搬送されるフラットパネルの形状に応じて液処理時の傾斜角度を変えて処理液を所望の流速に調整できるフラットパネル製造装置を提供することを目的とする。

本発明は上述の課題を解決するために、フラットパネルを縦置きに載置して搬送する工程ラインの途中に複数の処理槽を備えて順次処理するフラットパネル製造装置であって、フラットパネルを縦置きに受け取って所望の処理液により処理する処理槽を備えるとともに、この処理槽がフラットパネルの搬入方向に対して左右両側の一端側を支点にして他端側を上下に回動可能にして縦置きの傾斜角度を変えて処理できるように設けられ、当該処理槽は、底部に設けた基台の上部に載置され、フラットパネルの搬入方向対して左右両側で一端側を支点にして他端側が上下に回動するように保持し、この一端側を支点にして他端側を回動させる駆動力を伝達する半円状に突出した歯車を設け、基台には処理槽に設けた歯車に係合して駆動力を伝えるモータを備えることで、フラットパネルを収納して一端側を支点に他端側を上下に回動させて表面に塗布した処理液を搬送方向の左右に揺動させて一定の時間滞留させて処理するとともに、処理槽は、傾斜角度が一端側の支点を基準に他端側が上方に７９度回転した位置から下方に３０度回転した位置までの範囲を可変可能に設ける。

このように本発明によるフラットパネル製造装置によれば、処理槽の傾斜角度を自由に変えることができるため、フラットパネルの形状に応じて傾斜角度を変えることで表面に流す処理液を所望の最適な流速に調整して処理することが可能になる。

次に、添付図面を参照して本発明によるフラットパネル製造装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明によるフラットパネル製造装置の一実施形態を示す構成図である。また、図２は、図１に示したフラットパネル製造装置の内部構造を示す図であり、図２（ａ）は図１に示した矢印Ａ方向から見た状態を、図２（ｂ）は図１に示した矢印Ｂ方向から見た状態を各々示している。

図１に示すように、本発明によるフラットパネル製造装置の一実施形態は、図３に示した従来技術のようにＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＬＴＰＳ−ＴＦＴ（低温ポリシリコン薄膜トランジスタ）パネルなどのフラットパネル１を縦置きに搬送する工程ラインの途中に複数配置して順次洗浄処理する処理槽１０を備えたものであり、フラットパネル１を縦置きに受け取って所望の処理液（洗浄液）により洗浄処理する処理槽１０を備えるとともに、この処理槽１０がフラットパネル１の搬入方向両側の一端側を支点にして他端側を上下に回動可能にして縦置きの傾斜角度を変えて処理できるように設けている。

ここで、処理槽１０は、底部に設けた基台２０の上部に載置され、フラットパネル１の搬入方向両側で一端側を支点にして他端側が上下に回動するように保持している。また、処理槽１０は、一端側を支点にして他端側を回動させる駆動力を伝達するために半円状に突出した歯車１２を設けている。そして、基台２０には、処理槽１０に設けた歯車１２に係合して駆動力を伝えるモータ２２を備えている。この処理槽１０は、傾斜角度が一端側の支点を基準に他端側が上方に７９度回転した位置から支点より下方に３０度回転した位置までの範囲を可変可能に設けている。

また、処理槽１０には、フラットパネル１を内部に縦置きで搬入して引き込むローラ１４を複数配列させて設けている。このローラ１４の周囲には、図２（ａ）に示すように、上部及び下部に各々延在して搬入したフラットパネル１の表面及び裏面に処理液（洗浄液）を噴出するノズル１６が配置されている。また、ローラ１４には、図２（ａ）に示した一点鎖線のように処理槽１０を傾けた際にフラットパネル１が斜面に沿って摺動しないように係合するストッパ（図示せず）を設けている。

このように形成された本発明によるフラットパネル製造装置の一実施形態を用いてフラットパネル１を洗処理する場合、まず、工程ラインの搬送手段（図示せず）からフラットパネル１を縦置きに傾斜した状態で処理槽１０内に搬入する。そして、処理槽１０では、図２（ｂ）に示したようにフラットパネル１を搬入すると同時にローラ１４を回転させて内部に引き込んで収納した後、図２（ａ）に示したモータ２２を駆動して歯車１２を回転させてフラットパネル１のサイズ（形状）に応じた最適な角度に調節して傾斜させる。その後、処理槽１０内では、ノズル１６から処理液を噴出させることで、フラットパネル１の表面に処理液を所望の流速で流すことができ、良好に洗浄処理を実行できる。

一方、フラットパネル１を処理槽１０内に収納して洗浄する際、例えば、処理槽１０の一端側を支点に他端側を回動させて上下交互に一定時間昇降させることで、表面に噴出した処理液を搬送方向の左右両側に揺動させて表面処理することも可能である。この際、処理槽１０は、傾斜角度が一端側の支点を基準に他端側が上方に７９度の位置から支点より下方に３０度の位置までの範囲で上下動させることができる。従って、フラットパネル１は、処理面上に処理液を左右に流して一定の時間滞留させて処理するため、ノズル１６から噴出する処理液の流量を低減することができる。

このように本発明によるフラットパネル製造装置の一実施形態によると、処理槽１０の傾斜角度を自由に変えることができるため、フラットパネル１の形状に応じて傾斜角度を変えることで表面に流す処理液を所望の最適な流速に調整して処理することが可能になる。また、処理槽１０は搬送方向両側の一端側を支点に他端側を上下に昇降させて処理液をフラットパネル１の表面で左右に流して一定の時間滞留させて処理できるため、ノズル１６から噴出する処理液の流量を低減し、生産コスト及び製品コストを削減できる。

以上、本発明によるフラットパネル製造装置の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、フラットパネルを洗浄処理する処理槽のみに採用したフラットパネル製造装置の一実施形態を詳細に説明したが、これに限定されるものではなく、エッチングなどの処理槽にも適用することができる。

本発明によるフラットパネル製造装置の一実施形態を示す構成図。 図１に示したフラットパネル製造装置の内部構造を示す図。 従来のフラットパネル製造装置を示す工程のレイアウト図。 図３に示した処理槽の詳細を示す拡大図。

符号の説明

１ フラットパネル
１０ 処理槽
１２ 歯車
１４ ローラ
１６ ノズル
２０ 基台
２２ モータ

Claims (1)

1. フラットパネルを縦置きに載置して搬送する工程ラインの途中に複数の処理槽を備えて順次処理するフラットパネル製造装置において、
   前記フラットパネルを縦置きに受け取って所望の処理液により処理する処理槽を備えるとともに、この処理槽が前記フラットパネルの搬入方向対して左右両側の一端側を支点にして他端側を上下に回動可能にして前記縦置きの傾斜角度を変えて処理できるように設けられ、
   当該処理槽は、底部に設けた基台の上部に載置され、前記フラットパネルの搬入方向対して左右両側で一端側を支点にして他端側が上下に回動するように保持し、この一端側を支点にして他端側を回動させる駆動力を伝達する半円状に突出した歯車を設け、前記基台には前記処理槽に設けた歯車に係合して駆動力を伝えるモータを備えることで、
   前記フラットパネルを収納して前記一端側を支点に前記他端側を上下に回動させて表面に塗布した前記処理液を搬送方向の左右に揺動させて一定の時間滞留させて処理するとともに、
   前記処理槽は、前記傾斜角度が前記一端側の支点を基準に前記他端側が上方に７９度回転した位置から下方に３０度回転した位置までの範囲を可変可能に設けたことを特徴とするフラットパネル製造装置。

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