JP2003176982A - エアーナイフを用いた処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は搬送ローラを分断しても、基板の
支持状態が損なわれることがないようにしたエアーナイ
フを用いた処理装置を提供することにある。 【解決手段】 搬送される基板２６の上下両面に対向し
て上部エアーナイフ５と下部エアーナイフ６とを配置
し、各エアーナイフから基板の上面と下面とに圧縮空気
を噴射させることで、この基板に付着した処理液を除去
する処理装置において、処理槽１と、この処理槽に軸線
を基板の搬送方向に対して交差させて回転可能に設けら
れるとともに下部エアーナイフに対応する箇所で分断さ
れ基板を所定方向に沿って搬送する複数の搬送ローラ１
５と、搬送ローラの分断箇所の下部エアーナイフの基板
の搬送方向上流側と下流側に対応する位置の少なくとも
上流側に設けられ搬送ローラの分断箇所において基板の
搬送ローラによる支持状態が外れた部分を支持する支持
ローラ２９とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は基板の上下面に付
着した処理液を上下一対のエアーナイフによって除去す
る処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置に用いられるガ
ラス製の基板に回路パターンを形成するフォトリソグラ
フィー工程では、上記基板を処理液で洗浄処理する洗浄
工程と、洗浄された基板から処理液を除去する乾燥工程
とが繰り返して行なわれる。

【０００３】洗浄工程で洗浄された基板を乾燥処理する
乾燥工程においては、基板を搬送しながらこの基板の上
面と下面とに上部エアーナイフと下部エアーナイフとか
ら圧縮空気を噴射して乾燥させるということが行なわれ
ている。このような処理装置としては特開平１０−２１
１４７３号公報に示されるものが提案されている。

【０００４】すなわち、上記公報に示された処理装置
は、所定方向一端に搬入口、他端に搬出口が形成された
処理槽を有する。この処理槽内には基板の搬送方向に沿
って複数の搬送ローラが所定間隔で配置されている。

【０００５】上記搬送ローラによって搬送される基板の
上面側には上部エアーナイフが配置され、下面側には下
部エアーナイフが配置されている。各エアーナイフは基
板の搬送方向に対して所定の角度、たとえば４５度の角
度で傾斜して設けられている。

【０００６】それによって、基板の上面と下面に付着し
た処理液を基板の搬送方向後端の角部に吹き寄せ、その
角部から除去するようにしている。つまり、エアーナイ
フを基板の搬送方向に対して所定の角度で傾斜させるこ
とで、基板の板面に付着した処理液を円滑かつ確実に除
去できるようにしている。

【０００７】エアーナイフを基板の搬送方向に対して傾
斜させて設ける場合、下部エアーナイフが搬送ローラの
下側に位置したのでは、下部エアーナイフから噴射され
る圧縮空気が上記搬送ローラに遮られるため、基板の下
面から処理液を均一かつ確実に除去することができない
ということがある。

【０００８】そこで、搬送ローラは下部エアーナイフに
対応する箇所で分断し、この下部エアーナイフから噴射
される圧縮空気が搬送ローラによって遮られることがな
いようにしている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、搬送ローラ
の下部エアーノズルに対応する部分を分断すると、搬送
ローラによって搬送される基板は、搬送ローラの分断さ
れた箇所において搬送ローラによる支持状態が外れ、そ
の状態で上部エアーノズルと下部エアーノズルから噴射
される圧縮空気を受けることになる。

【００１０】そのため、基板には搬送ローラの分断箇所
で圧縮空気の圧力によってうねりが生じ易くなるから、
基板の搬送状態が不安定になったり、基板の板面に付着
した処理液がこの基板の板面から円滑に排出され難くな
るということがある。

【００１１】この発明は、搬送ローラの下部エアーノズ
ルと対応する部分を分断しても、その分断箇所でも基板
を確実に支持できるようにした処理装置を提供すること
にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、所定
方向に搬送される基板の上下両面に、この基板の搬送方
向に対して所定の角度で傾斜して対向する上部エアーナ
イフと下部エアーナイフとを配置し、各エアーナイフか
ら上記基板の上面と下面とに圧縮空気を噴射させること
で、この基板に付着した処理液を除去する処理装置にお
いて、所定方向の一端に搬入口、他端に搬出口を有する
処理槽と、この処理槽に軸線を上記所定方向に対して交
差させて回転可能に設けられるとともに上記下部エアー
ナイフに対応する箇所で分断され回転駆動されることで
上記基板を上記搬入口から搬出口に向けて搬送する搬送
ローラと、上記搬送ローラの分断箇所の上記下部エアー
ナイフの上記基板の搬送方向上流側と下流側に対応する
位置の少なくとも上流側に設けられ上記分断箇所におい
て上記基板の上記搬送ローラによる支持状態が外れた部
分を支持する支持ローラとを具備したことを特徴とする
エアーナイフを用いた処理装置にある。

【００１３】請求項２の発明は、上記支持ローラは、上
記基板の搬送方向に対応する前後方向と、上記基板の板
面に対して直交する上下方向とに位置決め調整可能な構
成であることを特徴とする請求項１記載のエアーナイフ
を用いた処理装置にある。

【００１４】請求項３の発明は、上記上部エアーナイフ
と下部エアーナイフとの幅方向両端部はそれぞれ支持部
材によって回動可能に支持され、一方の支持部材には一
対のエアーナイフを同時に逆方向に回動させる角度調整
機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の
エアーナイフを用いた処理装置にある。

【００１５】この発明によれば、搬送ローラを分断し、
この搬送ローラが下部エアーナイフから噴射される圧縮
空気を遮ることがないようにしても、基板はその分断箇
所で支持ローラによって支持されるから、基板の支持状
態が損なわれてうねりが生じるのを防止できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明の一実施の形態を説明する。

【００１７】図１はこの発明の一実施の形態に係る処理
装置を示し、この処理装置は処理槽１を備えている。こ
の処理槽１は箱型状をなしていて、所定方向の一端面に
は搬入口２が形成され、他端面には搬出口３が形成され
ている。

【００１８】上記処理槽１内には上部エアーナイフ５と
下部エアーナイフ６とが上記所定方向に対して所定の角
度、たとえば４５度の角度で傾斜して設けられている。
各エアーナイフ５、６は図２に示すようにナイフ本体７
を有する。ナイフ本体７は一対の板状部材８，９を接合
してなり、これら板状部材８，９間には圧縮空気が供給
される導入部１１が形成されている。各導入部１１はナ
イフ本体７の先端部に形成されたノズル孔１２に連通し
ている。

【００１９】上記ナイフ本体７には圧縮空気の供給管１
３が接続されている。したがって、供給管１３から上記
導入部１１に供給された圧縮空気は上記ノズル孔１２か
ら噴射されるようになっている。

【００２０】なお、一対のエアーナイフ５、６はノズル
孔１２が形成された先端部を所定の間隔で離間対向させ
て配置されている。

【００２１】上記処理槽１内には、上記所定方向に沿っ
て一定間隔で搬送手段を構成する複数の搬送ローラ１５
が設けられている。上記搬送ローラ１５のうち、上記下
部エアーナイフ６の先端部に対応する搬送ローラ１５
は、その箇所で左右一対の分断ローラ１５ａ，１５ｂに
分断されている。

【００２２】上記処理槽１内の幅方向両端部にはそれぞ
れ支持部材１６が幅方向と直交する上記所定方向全長に
亘って設けられている。上記各分断ローラ１５ａ，１５
ｂは、一端が上記支持部材１６に回転可能に支持されて
いる。各分断ローラ１５ａ、１５ｂの他端は処理槽１の
内底面から立設された支柱部材１７に回転可能に支持さ
れている。

【００２３】各分断ローラ１５ａ，１５ｂの支持部材１
６から突出した一端部には第１の従動プーリ１８が嵌着
されている。処理槽１の搬入口２側に位置する搬送ロー
ラ１５は下部エアーナイフ６と非対向であるため分断ロ
ーラに分断されておらず、一対の支持部材１６から突出
した両端にも分断ローラ１５ａ，１５ｂと同様、第１の
従動プーリ１８が嵌着され、さらにその搬送ローラ１５
の一端には第２の従動プーリ２１が嵌着されている。各
搬送ローラ１５の一端部と他端部とに設けられた第１の
従動プーリ１８には、それぞれ第１のベルト１９が張設
されている。

【００２４】上記第２の従動プーリ２１と、駆動源２２
によって回転駆動される駆動プーリ２３とには第２のベ
ルト２４が張設されている。それによって、上記駆動源
２２が作動すれば、各分断ローラ１５ａ，１５ｂに分断
された搬送ローラ１５及び分断ローラに分断されていな
い搬送ローラ１５がそれぞれ同方向に回転駆動されるよ
うになっている。

【００２５】上記処理槽１には、前工程で処理液によっ
て処理された矩形状の基板２６が搬入口２から供給され
る。処理槽１に供給された基板２６は、回転駆動される
搬送ローラ１５によって搬出口３に向かって搬送され
る。基板２６は、搬送の途中で上部エアーナイフ５と下
部エアーナイフ６との対向する先端部間を通過する。そ
れによって、基板２６の上面と下面とに付着残留した処
理液が各エアーナイフ５、６のノズル孔１２から噴射さ
れる圧縮空気によって基板２６の搬送方向後端側の一方
の角部へ押し流されて除去される。

【００２６】なお、各搬送ローラ１５（分断ローラ１５
ａ、１５ｂを含む）には基板２６を部分的に支持するた
めの複数のローラ部２５が軸方向に所定間隔で設けられ
ている。

【００２７】上記搬送ローラ１５の分断ローラ１５ａ，
１５ｂに分断された箇所には、下部エアーノズル６を挟
んで基板２６の搬送方向上流側と下流側とにそれぞれ支
持体２８に回転可能に支持された支持ローラ２９が設け
られている。支持ローラ２９は、上記搬送ローラ１５に
設けられたローラ部２５よりも小径に形成され、回転軸
線を上記搬送ローラ１５の軸線と平行にし、さらに上端
を搬送ローラ１５と同じレベルにして設けられている。

【００２８】上記支持体２８は、図３に示すようにベー
ス部材３１を有し、このベース部材３１上には第１の可
動体３２が基板２６の搬送方向に沿って移動可能に設け
られている。この第１の可動体３２には、上記ベース部
材３１の一端に立設された第１の取付け部材３３に回転
可能に支持された前後送りねじ３４が螺合されている。
それによって、上記第１の可動体３２は上記前後送りね
じ３４によって基板２６の搬送方向に沿う前後方向に位
置決め調整できるようになっている。

【００２９】上記第１の可動体３２には支柱部材３５が
立設されている。この支柱部材３５には第２の可動体３
６が支柱部材３５に沿う上下方向に移動可能に設けられ
ている。この第２の可動体３６には上下送りねじ３７が
螺合されている。この上下送りねじ３７は上記支柱部材
３５の上端に設けられた第２の取付け部材３８に回転可
能に支持されている。したがって、上下送りねじ３７を
回転させることで、上記第２の可動体３６を上下方向、
つまり搬送される基板２６の板面に対して直交する方向
に位置決め調整できるようになっている。

【００３０】上記第２の可動体３６はＬ字状をなしてい
て、支柱部材３５に上下動可能に支持された一端部には
固定ねじ３９を螺合できるようになっており、この固定
ねじ３９を締め付けることで、上記第２の可動体３６を
移動不能に固定できる。

【００３１】第２の可動体３６の他端部には上記支持ロ
ーラ２９が上述した状態で回転可能に設けられている。
したがって、この支持ローラ２９は上記支持体２８によ
って基板２６の搬送方向に沿う前後方向と、基板２６の
板面に直交する上下方向とに位置決め調整できるように
なっている。

【００３２】支持ローラ２９が上記搬送ローラ１５に設
けられたローラ部２５よりも小径に形成されている。そ
のため、搬送ローラ１５のローラ部２５による基板２６
の円滑な搬送が上記支持ローラ２９によって阻害される
ことがない。

【００３３】上記上部エアーナイフ５と下部エアーナイ
フ６とは、図４に示すように幅方向両端に支軸４１が設
けられ、各支軸４１はそれぞれ左右一対の支持部材とし
てのブロック４２に回転可能に支持されている。

【００３４】各エアーナイフ５、６の一端側のブロック
４２には、それぞれ操作軸４３がこれらのブロック４２
を貫通して回転可能に支持されている。上記操作軸４３
の上部エアーナイフ５を支持したブロック４２の上面か
ら突出した部分には、操作摘み４４と第１のベベルギア
４５とが固定され、下部エアーナイフ６を支持したブロ
ック４２の下面から突出した下端部には第２のベベルギ
ア４６が設けられている。

【００３５】上記第１のベベルギア４５は上部エアーナ
イフ５をブロック４２に回転可能に支持した一方の支軸
４１に嵌着固定された第３のベベルギア４７に噛合し、
第２のベベルギア４６は下部エアーナイフ６を回転可能
に支持した一方の支軸４１に嵌着固定された第４のベベ
ルギア４８に噛合している。それによって、上記操作摘
み４４を介して操作軸４３を回転させれば、第３、第４
のベベルギア４７，４８を図５に矢印で示すように逆方
向に回転させることができるから、その回転に一対のエ
アーナイフ５、６を連動させることができる。

【００３６】それによって、一対のエアーナイフ５，６
から噴射される圧縮空気の基板２６の板面に対する角度
を設定することができる。なお、上記操作軸４３、第１
乃至第４のベベルギア４５〜４８によってエアーナイフ
５，６の角度調整機構を構成している。

【００３７】つぎに、上記構成の処理装置によって基板
２６を乾燥処理する場合について説明する。処理液によ
って処理された基板２６が処理槽１に送り込まれると、
その基板２６は回転駆動される搬送ローラ１５によって
所定方向に沿って搬送される。基板２６が上部エアーナ
イフ５と下部エアーナイフ６との先端部間を通過する
と、各エアーナイフ５，６のノズル孔１２から基板２６
の搬送方向後方に向かって噴射される圧縮空気により、
基板２６の上面と下面とに付着した処理液が搬送方向後
方に押し流され、この基板２６の一方の角部から円滑に
排出される。それによって、基板２６が乾燥処理される
ことになる。

【００３８】各搬送ローラ１５の下部エアーナイフ６と
対応する部分を分断し、分断ローラ１５ａ，１５ｂとし
たことで、下部エアーナイフ６は分断ローラ１５ａ，１
５ｂの分断箇所から露出する。そのため、下部エアーナ
イフ６から噴射される圧縮空気は搬送ローラ１５によっ
て邪魔されることなく基板６の下面側に到達するから、
基板２６の下面を上記下部エアーナイフ６によって確実
に乾燥処理することができる。

【００３９】搬送ローラ１５を分断ローラ１５ａ，１５
ｂに分断したことで、その分断箇所で基板２６は支持さ
れていない状態になり、各エアーナイフ５，６から噴射
される圧縮空気の圧力及び自重によって基板２６にうね
りが生じる虞がある。

【００４０】しかしながら、各搬送ローラ１５の分断箇
所には、支持ローラ２９が下部エアーナイフ６を挟んで
基板２６の搬送方向上流側と下流側とに設けられてい
る。そのため、搬送ローラ１５の分断箇所において、基
板２６は支持ローラ２９によって支持されるため、基板
２６にうねりが生じるのが防止されるから、基板２６を
安定した状態で確実に搬送することができるばかりか、
基板２６に付着した処理液の除去も確実かつ円滑に行な
うことができる。

【００４１】また、上記支持ローラ２９を基板２６の搬
送方向に沿う前後方向と、基板２６の板面に対して垂直
な上下方向とに位置決め調整できるようにしたから、支
持ローラ２９を、搬送される基板２６の下面に確実に接
触する高さに調整することができる。そのため、そのこ
とによっても、搬送ローラ１５の分断箇所で、基板２６
にうねりが生じるのを防止することができる。さらに、
支持ローラ２９は、搬送ローラ１５にも受けられたロー
ラ部２５よりも小径なので、下部エアーナイフ６に近接
して設けることができる。

【００４２】上部エアーナイフ５と下部エアーナイフ６
とは、操作摘み４４によって操作軸３を回転させること
で、同時に角度調整することができる。そのため、一対
のエアーナイフ５，６の角度調整を、別々に行なう場合
に比べて容易に、しかも確実に行なうことができる。

【００４３】なお、上記一実施の形態では搬送ローラの
分断箇所には、下部エアーナイフを挟んで基板の搬送方
向上流側と下流側との両方向にそれぞれ支持ローラを設
けるようにしたが、圧縮空気は基板の搬送方向後端側
（上流側）に向けて噴射されるから、圧縮空気による撓
みを防止するだけであれば、支持ローラはエアーナイフ
の上流側だけに設けるようにしてもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、搬送ロ
ーラを分断し、この搬送ローラが下部エアーナイフから
噴射される圧縮空気を遮ることがないよう分断したとき
に、その分断箇所に基板を支持する支持ローラを設ける
ようにした。

【００４５】そのため、基板は上記搬送ローラの分断箇
所では搬送ローラに代わり支持ローラによって支持され
るから、上記分断箇所で基板の支持状態が損なわれてう
ねりなどの変形が発生するのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態に係る処理装置の横断
面図。

【図２】一対のエアーナイフの断面図。

【図３】支持ローラを回転可能に設けた支持体の説明
図。

【図４】一対のエアーナイフの傾斜角度を調整する機構
を示す正面図。

【図５】同じく側面図。

【符号の説明】

１…処理槽 ２…搬入口 ３…搬出口 ５…上部エアーナイフ ６…下部エアーナイフ １５…搬送ローラ ２９…支持ローラ ４２…ブロック（支持部材） ４３…操作軸（角度調整機構）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 末吉 秀樹 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号 芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 Ｆターム(参考） 3B116 AA01 AB14 AB47 BB22 BB90 CC03 3L113 AA02 AA03 AB01 AC31 AC48 AC67 BA34 DA04

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定方向に搬送される基板の上下両面
   に、この基板の搬送方向に対して所定の角度で傾斜して
   対向する上部エアーナイフと下部エアーナイフとを配置
   し、各エアーナイフから上記基板の上面と下面とに圧縮
   空気を噴射させることで、この基板に付着した処理液を
   除去する処理装置において、 所定方向の一端に搬入口、他端に搬出口を有する処理槽
   と、 この処理槽に軸線を上記所定方向に対して交差させて回
   転可能に設けられるとともに上記下部エアーナイフに対
   応する箇所で分断され回転駆動されることで上記基板を
   上記搬入口から搬出口に向けて搬送する複数の搬送ロー
   ラと、 上記搬送ローラの分断箇所の上記下部エアーナイフの上
   記基板の搬送方向上流側と下流側に対応する位置の少な
   くとも上流側に設けられ上記分断箇所において上記基板
   の上記搬送ローラによる支持状態が外れた部分を支持す
   る支持ローラとを具備したことを特徴とするエアーナイ
   フを用いた処理装置。
2. 【請求項２】 上記支持ローラは、上記基板の搬送方向
   に対応する前後方向と、上記基板の板面に対して直交す
   る上下方向とに位置決め調整可能な構成であることを特
   徴とする請求項１記載のエアーナイフを用いた処理装
   置。
3. 【請求項３】 上記上部エアーナイフと下部エアーナイ
   フとの幅方向両端部はそれぞれ支持部材によって回動可
   能に支持され、一方の支持部材には一対のエアーナイフ
   を同時に逆方向に回動させる角度調整機構が設けられて
   いることを特徴とする請求項１記載のエアーナイフを用
   いた処理装置。