KR100854466B1 - 기판건조방법 및 기판건조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 기판건조방법 및 기판건조장치에 관한 것으로, 에어나이프에서 분출되는 에어의 풍량을 대기시보다도 많게 하고, 기판의 전단부 부근의 영역에 부착된 처리액을 제거한다. 그리고, 센서가 기판 전단부를 검지하고나서 소정 시간 경과 후, 기판 전단부 부근 및 후단부 부근 이외의 영역에서는 영역의 분출량보다도 적게 하여 에어를 분출하여 처리액을 제거하고, 센서가 기판 전단부를 검지하고나서 소정 시간 경과 후에 다시, 기판(G) 후단부에서의 후단부 부근 영역에 부착된 처리액을 제거한다. 이에 의해, 기판 전면에 걸쳐 편차가 없고, 완전히 제거할 수 있고 건조얼룩의 발생을 방지할 수 있으며, 또, 영역에서의 에어 분출량을 삭감할 수 있는 기술이 제시된다.

Description

기판건조방법 및 기판건조장치{SUBSTRATE DRYING METHOD AND SUBSTRATE DRYING APPARATUS}
본 발명은 액정디바이스의 제조공정에서, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD) 등에 사용되는 유리기판에 대해 소정의 액처리를 한 후에, 유리기판을 건조시키는 기판건조방법 및 기판건조장치에 관한 것이다.
LCD 제조공정에 있어서, LCD용 유리기판상에 ITO(Indium Tin Oxide)의 박막과 전극패턴을 형성하기 위해, 반도체디바이스의 제조에 이용되는 것과 동일한 포토리소그래피기술이 이용된다. 포토리소그래피기술에서는 포토레지스트를 유리기판에 도포하고, 이것을 노광하고, 현상한다.
이 레지스트도포, 노광 및 현상의 일련의 처리는 종래부터, 도포, 현상 혹은 베이킹과 세정 등의 각 처리를 하는 도포현상처리시스템에 의해 이루어진다.
이 도포현상처리시스템에서의 현상처리 및 세정처리에서는 기판을 코로식 반송롤러에 의해 거의 수평으로 반송시키면서, 현상액과 세정액 등의 처리액을 기판에 공급하여 현상처리, 세정처리를 하고 있다. 그리고, 그 후 예를 들면, 반송하류쪽에 배치된 에어나이프노즐로부터 기판에 대해 고압의 에어를 분출시키고 기판상 의 처리액을 제거(액제거)하고 건조처리를 하고 있다.
그러나, 종래의 건조처리에 있어서는 일정한 풍량을 에어나이프에서 분출시켰기 때문에 유리기판의 중앙부근에서는 액제거를 충분히 할 수 있어도 기판의 단부 부근에서는 상기 일정한 풍량에서는 적당한 액제거를 할 수 없고, 해당 단부 부근에 처리액이 잔존하는 문제가 발생하고 있었다.
따라서, 일정한 풍량에서 1매의 기판을 얼룩없이 건조시키기 위해서는 기판의 중앙부근 또는 단부 부근에 처리액이 남지 않을 정도의 에어풍량을 기판 1장 전면에 걸쳐 분출해야하고, 소비에어량이 계속 증대하고 있었다. 또, 최근 유리기판의 대형화로 점점 소비에어량이 증대하는 경향에 있다.
또, 이러한 도포현상처리시스템을 공장의 클린룸 내에 설치하는 경우, 상기 공장용력의 일부인 고압에어콤프레서(압축기)의 부하는 계속 증대되기만 한다.
또한 에어나이프에서 분출되는 에어의 유량은 건조성능에서 중요한 파라미터중 하나이다. 그 유량이 많으면 많을수록 건조처리 챔버 내의 기류가 흐트러지고, 미스트가 부유하므로써 건조성능이 악화될 우려가 있다.
이상과 같은 사정을 감안하여, 본 발명의 목적은 에어의 소비량을 삭감할 수 있고, 건조얼룩을 억제하여 건조성능을 향상시킬 수 있는 기판건조방법 및 기판건조장치를 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 1 관점에 관한 기판건조방법은 기 판을 반송시키면서 건조시키는 기판건조방법에서, (a) 상기 반송되는 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근의 영역에 제 1 풍량으로 에어를 분출하는 공정과, (b) 상기 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근 이외의 영역에 상기 제 1 풍량과 다른 제 2 풍량으로 에어를 분출하는 공정을 구비한다.
이러한 구성에 따르면, 종래에 있어서 일정한 에어풍량으로는 다 제거할 수 없었던 처리액을 본 발명에 따르면 기판전면에 걸쳐 빠짐없이 완전히 제거할 수 있고, 건조얼룩의 발생을 방지할 수 있다. 예를 들면 제 1 풍량을 제 2 풍량보다도 많게 하므로써 기판의 잔단부 부근 및 후단부 부근에서 잔존하곤 했던 처리액을 제거할 수 있다.
또, 종래에 처리액을 완전히 제거하기 위해, 기판 전면에 걸쳐 풍량을 많게 하여 일정한 풍량으로 에어를 분출하고 있던 것에 비해, 본 발명에서는 기판 전단분 부근 및 후단부 부근 이외의 영역에서는 분출하는 에어의 풍량을 적게 하고 있다. 따라서, 예를 들면, 에어의 공급원인 전력소비를 삭감할 수 있고, 또 에어소비도 삭감할 수 있어서 에너지 절약에 기여한다.
또한 기판 전단부 부근 및 후단부 부근 이외의 영역에서 에어풍량을 적게 하므로써, 일정하게 많은 풍량의 경우에 비해, 건조처리 챔버 내의 난기류를 억제하고비산하는 미스트상의 처리액량을 줄일 수 있다. 이에 의해 미스트가 다시 기판에 부착되는 일 없이 건조성능이 향상된다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 공정(a)는, (c) 상기 반송되는 기판의 전단부를 검지하고, 이 검지에 기초하여 상기 전단부 부근의 영역에 제 1 풍량으로 에어를 분출하는 공정과, (d) 상기 전단부를 검지한 후, 소정 시간 경과 후에 상기 후단부 부근의 영역에 제 1 풍량으로 에어를 분출하는 공정을 구비한다. 예를 들면, 공정(c)의 검지를 광센서에 의해 행하는 것도 가능하다. 또 한 편, 공정(c)의 검지를 기판에 대해 제 1 풍량에 의한 에어가 닿을 때의 「음」변동에 기초하여 행하는 것도 가능하다. 예를 들면 이 「음」의 강도, 주파수, 음색 등의 변화에 기초하여 기판의 반송속도를 변화시키므로써, 기판 전면에 걸쳐 빠짐없이 처리액을 완전히 제거할 수 있고 건조얼룩의 발생을 방지할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 1 풍량에서 상기 제 2 풍량까지 또는 상기 제 2 풍량에서 상기 제 1 풍량까지 서서히 풍량을 변화시킨다. 여기에서 「서서히」란 단계적, 혹은 연속적이란 의미이다. 이 경우, 예를 들면 기판의 양단부 부근에서 제 1 풍량으로 에어를 분출하고 기판 중앙부근에서 제 2 풍량으로 에어를 분출하게 하면 좋다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 기파면에 대한 에어의 분출각도를 가변한다. 여기에서 「기판면에 대한 에어의 분출각도」란, 기판면을 수평축으로 취할 경우, 그 수평축과 에어분출방향이 이루는 각도를 말하는 것으로 한다. 예를 들면, 공정(a)과 상기 공정(b)에서 에어의 분출각도를 다르게 하므로써, 기판상의 액을 확실히 제거할 수 있게 된다. 특히, 상기 공정(a)에서의 상기 분출각도를 상기 공정(b)에서 분출각도보다 작게 하므로써, 기판 단부의 남아있는 액을 확실히 방지할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면 기판의 반송속도를 가변한다. 이에 의해 제 1 풍량에서 제 2 풍량까지 풍량을 올린 경우(내린 경우), 반송속도를 올리거나(내리거나) 기판에 공급되는 풍량을 적당량으로 조정할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 에어의 분출에 의해 발생하는 미스트를 배기하는 공정을 더 구비하고, 상기 배기량을 가변한다. 이에 의해, 미스트의 발생량에 따라 배기량을 가변하고, 산란하는 미스트량을 억제할 수 있다. 특히, 기판단부의 액체를 제거하는 경우, 단부 이외에 비해 미스트의 발생량이 많다. 따라서, 이에 대응하여 공정(a)에서의 배기량을 공정(b)에서의 배기량보다 많게 하므로써 미스트를 적절히 배기할 수 있다.
본 발명의 제 2 관점에 관한 기판건조방법은 기판을 반송시키면서, 소정 위치에서 기판에 대해 에어를 분출하여 건조시키는 기판건조방법에서, (a) 상기 반송되는 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근이 상기 소정의 위치에 도달했을 때에, 기판의 반송속도를 제 1 속도로 하는 공정과, (b) 상기 전단부 부근 및 후단부 부근이 상기 소정의 위치를 통과한 후에, 기판의 반송속도를 상기 제 1 속도와 다른 제 2 속도로 하는 공정을 구비한다.
이러한 구성에 따르면, 제 1 반송속도를 제 2 반송속도보다도 느리게 하므로써, 기판 전면에 걸쳐 처리액을 완전히 제거할 수 있고, 건조얼룩의 발생을 방지할 수 있다. 특히 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근에서 잔존하곤 했던 처리액을 제거할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 공정(a)은 (c) 상기 반송되는 기판의 전단부를 검지하고, 이 검지에 기초하여 기판의 반송속도를 제 1 속도로 하는 공정과, (d) 상기 전단부를 검지한 후, 소정 시간 경과 후에 기판의 반송속도를 제 1 속도로 하는 공정을 구비한다. 예를 들면, 공정(c)를 광센서에 의해 행하는 것도 가능하고, 기판에 대해 제 1 풍량에 의한 에어가 닿을 때의 음의 변동에 기초하여 행하는 것도 가능하다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 에어를 분출하고, 상기 기판의 전단부 또는 후단부의 한쪽 변에 대해 소정의 각도를 갖는 긴 형태의 노즐을 구비하고, 상기 긴 형태의 노즐에서, 상기 기판의 전단부에 가까운 쪽 부위에서 분출되는 에어의 풍량을 상기 기판의 후단부에 가까운 쪽 부위에서 분출되는 에어의 풍량과 다르게 한다. 예를 들면, 기판 후단부에 가까운 쪽 부위에서 분출되는 에어풍량을, 전단부에 가까운 쪽 부위에서 분출되는 에어풍량보다도 많게 하므로써, 상기 후단부에 가까운 쪽에서의 분출에어에 의해 비산하는 처리액을 상기 전단부에 가까운 쪽에서의 분출에어에 의해 비산하는 처리액보다도 먼 쪽으로 할 수 있고, 효율적으로 건조처리를 할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 1 속도에서 상기 제 2 속도까지 또는 상기 제 2 속도에서 상기 제 1 속도까지 서서히 속도를 변화시킨다. 여기에서 「서서히」란, 단계적, 혹은 연속적이란 의미이다. 이 경우, 예를 들면, 상기 소정의 위치에서 제 1 속도로 기판을 반송하고, 반송되는 기판의 중앙부근이 상기 소정의 위치까지 반송되었을 때에 기판이 제 2 속도로 반송되게 하면 된다.
본 발명에 관한 제 1 관점에 관한 기판건조장치는 기판을 반송시키는 반송수단과, 상기 반송수단에 의해 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하고 기판을 건조시 키는 에어분출수단과, 상기 에어분출수단에서 분출되는 에어 풍량을 상기 반송되는 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근의 영역에서 제 1 풍량으로 하고, 상기 전단부 부근 및 후단부 부근 이외의 영역에서 상기 제 1 풍량과 다른 제 2 풍량으로 제어하는 수단을 구비한다.
이러한 구성에 따르면, 종래, 일정한 에어풍량으로는 다 제거할 수 없었던 처리액을 본 발명에 따르면 기판 전면에 걸쳐 빠짐없이 완전히 제거할 수 있고, 건조얼룩의 발생을 방지할 수 있다. 특히 제 1 풍량을 제 2 풍량보다도 많게 하므로써, 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근에서 잔존하곤 했던 처리액을 제거할 수 있다.
또, 종래, 처리액을 완전히 제거하기 위해, 기판 전면에 걸쳐 풍량을 많게 하여 일정한 풍량으로 에어를 분출하던 데에 비해, 본 발명에서는 기판 전단부 부근 및 후단부 부근 이외의 영역에서는 분출하는 에어의 풍량을 적게하고 있다. 따라서, 에어의 공급원인 전력소비를 삭감할 수 있고, 또 에어소비도 삭감할 수 있어서 에너지 절약에 기여한다.
본 발명에 관한 제 2 관점에 관한 기판건조장치는 기판을 반송시키는 반송수단과, 상기 반송수단에 의해 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판을 건조시키는 에어분출수단과, 상기 반송되는 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근이 상기 소정의 위치에 도달했을 때에, 기판의 반송속도를 제 1 속도로 하고, 상기 전단부 부근 및 후단부 부근이 상기 소정 위치를 통과한 후에, 기판의 반송속도를 상기 제 1 속도와 다른 제 2 속도로 하는 수단을 구비한다.
이러한 구성에 따르면, 예를 들면 제 1 반송속도를 제 2 반송속도보다도 느리게 하므로써, 기판 전면에 걸쳐 빈틈없이 처리액을 완전하게 제거할 수 있고, 건조얼룩 발생을 방지할 수 있다. 특히 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근에서 잔존하곤 했던 처리액을 제거할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 기판면에 대한 에어의 분출각도를 가변하는 수단을 더 구비한다. 또, 본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 에어분출수단은 에어를 분출하는 긴 형태의 노즐을 갖고, 상기 가변수단은 상기 노즐의 길이 방향을 축으로 하여 상기 노즐을 회전이동시키는 기구와, 노즐을 회전이동시켰을 때에 노즐의 기판에 대한 높이를 조정하는 기구를 구비한다.
이렇게 노즐의 높이 조정기구를 설치하므로써, 노즐을 회전이동시켰을 때에 발생하는, 노즐과 기판면과의 거리를 일정하게 유지할 수 있고, 건조성능이 저하하는 일이 없어진다.
본 발명의 제 3 관점에 관한 기판건조장치는 기판을 소정 방향으로 반송시키는 반송기구와, 상기 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 1 노즐과, 상기 제 1 노즐에어를 공급하기 위한 블로팬을 구비한다.
이러한 구성에 따르면, 공장의 고압에어콤프레서 등을 사용할 필요가 없어지고, 공장용력을 삭감하여 에너지 절약을 도모할 수 있다. 특히 기판이 유리기판인 경우에서, 기판의 대형화와 함께 용력도 증대하는 경향에 있으므로 블로팬을 사용하는 효과는 크다. 또, 블로팬은 에어콤프레서에 비해 경제적으로도 극히 유리하다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 1 노즐보다 기판의 반송하류쪽으로 배치되고, 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 2 노즐을 더 구비하고, 상기 블로팬은 상기 제 2 노즐에어를 더 공급한다. 이렇게 제 2 노즐을 제 1 노즐의 하류쪽으로 더 배치하는 구성으로 하므로써, 제 1 노즐만으로는 다 제거할 수 없었던 액체를 제 2 노즐에 의해 제거할 수 있으므로 건조성능은 더 향상된다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 1 노즐보다 반송상류쪽에 설치되고 적어도 상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐에서 분출된 에어를 상기 제거된 액체와 함께 배기하는 배기부를 더 구비한다. 또, 본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 2 노즐보다 반송하류쪽으로 설치되고, 반송하류쪽에서 상류쪽을 향해 에어를 공급하는 팬필터유닛을 더 구비한다. 이에 의해 기판에 부착된 액체가 기판의 반송방향과 역방향으로 비산되어 제거되고, 즉 배기부를 향해 비산되어 제거된다. 이 때, 팬필터유닛으로부터의 반송하류쪽에서 상류쪽을 향한 기류제어에 따른 상승효과에 의해 공중에 비산된 미스트를 효율적으로 배출할 수 있다. 또, 이렇게 효율적으로 미스트를 배출할 수 있는 효과, 미스트상의 액체가 다시 기판에 부착되는 일 없이 건조성능이 비약적으로 향상된다. 또 이러한 효과적인 기류제어에 의해 전 공정에서 이루어지는 스프레이세정에 의한 세정액미스트가 건조처리실 내로 유입되어 오는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐은 반송되는 기판 의 표면쪽 및 이면쪽에 각각 두개씩 구비된다. 이에 의해 기판의 양면에 관해 건조처리를 할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐로 공급되는 에어의 공급량을 계측하는 수단과, 상기 계측수단에 의해 얻어진 계측결과에 기초하여 상기 블로팬에 의해 공급되는 에어의 공급량을 조정하는 조정수단을 더 구비한다. 이에 의해 블로팬과 제 1 노즐 및 제 2 노즐 사이에 파티클 등을 배제하는 필터 등을 설치한 경우, 상기 필터의 막힘에 의해 제 1 및 제 2 노즐로 공급되는 에어의 유량이 감소한 경우라도, 계측수단에 의한 계측결과를 블로팬에 피드백하므로써, 각 노즐로 항상 일정한 유량으로 에어를 공급할 수 있다.
본 발명의 제 4 관점에 관한 기판건조장치는 기판을 소정 방향으로 반송시키는 반송기구와, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 1 영역과, 상기 제 1 영역보다 하류쪽에 설치되고, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 2 영역과, 상기 제 1 영역내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 1 노즐과, 상기 제 2 영역내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 2 노즐과, 상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐에어를 공급하기 위한 블로팬을 구비한다.
이러한 구성에 따르면, 공장의 고압에어콤프레서를 사용할 필요가 없어지고, 공장용력을 삭감하여 에너지 절약을 할 수 있고, 제 1 및 제 2 양 노즐에 의해 제 1 및 제 2 영역에서 반송되는 기판에 대해 각각 에어를 분출하여 액체를 제거할 수 있고, 건조효율을 향상시킬 수 있다.
또, 제 2 영역보다 하류쪽으로 적어도 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 3 영역을 더 설치하고, 상기 제 1 영역에서 제 3 영역을 향함에 따라 기압을 높이는 기압조정수단을 설치하게 되므로써, 반출되어 온 기판에 부착된 액체가 기판의 반송방향과 역방향으로 비산되어 제거된다.
여기에서, 상기 기압조정수단으로 적어도 제 1 노즐 및 제 2 노즐에서 분출된 에어를 기판에서 제거된 액체와 함께 배기하는 배기부를 제 1 영역에 배치함과 동시에 제 3 영역에서 제 1 영역을 향해 에어를 공급하는 팬필터유닛을 제 3 영영에 배치하므로써 이 배기부에 의한 배기와 팬필터에 의한 기류제어의 상승효과에 의해 공중에 비산한 미스트를 효율적으로 배출할 수 있다.
또, 특히 기판의 대형화와 함께 양 노즐로부터의 에어 공급량도 증대하므로써, 특히 제 1 영역 및 제 2 영역의 기류가 흐트러지는 경향에 있지만, 본 발명에 따르면 이러한 사태를 억제할 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 팬필터유닛은 상기 블로팬으로부터의 에어를 주입하는 수단을 구비한다. 이에 의해 외부로부터 팬필터유닛으로 에어를 주입하는 경우에 비해, 에어의 공급량을 삭감할 수 있어서, 에너지 절약에 기여한다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 배기부에서 배기된 에어를 주입하는 이 에어에 혼합된 상기 액체를 제거함과 동시에 상기 제거된 에어를 상기 블로팬으로 공급하는 수단을 더 구비한다. 이에 의해 배기에어를 헛되게 하는 일 없이 에너지 절약에 기여한다. 또 건조한 에어를 각 블로팬으로 공급할 수 있고, 각 블로팬과 기판 등에 악영향을 미칠 우려를 없앨 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 제 1 영역 및 상기 제 2 영역 중 적어도 한쪽은 상자형 부재에 의해 형성되어 있다. 이에 의해 에어분출 시에 기판에서 제거되는 미스트상의 액체를 상자 속으로 밀어넣어, 미스트 산란을 방지할 수 있으므로, 그러한 미스트를 배기할 때의 배기효율을 높일 수 있다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 반송기구는 회전하므로써 재치시킨 기판을 반송하는 복수의 반송롤러를 갖고, 상기 제 1 노즐 및 상기 제 2 노즐의 근방이며 상기 상자형 부재의 하부에 설치되어, 상기 반송롤러에 의해 반송되는 기판의 아래쪽 영역을 구분하는 판부재를 더 구비한다. 이에 의해 반송롤러에 의해 반송되는 기판의 아래쪽 영역에서, 기판의 하류쪽으로 미스트가 산란하는 것을 방지할 수 있고, 건조성능을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제 5 관점에 관한 기판건조장치는 기판을 소정 방향으로 반송시키는 반송기구와, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 1 영역과, 상기 제 1 영역보다 하류쪽으로 설치되고, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 2 영역과, 상기 제 1 영역 내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 1 노즐과, 상기 제 1 노즐로 에어를 공급하기 위한 제 1 블로팬과, 상기 제 2 영역내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 2 노즐과, 상기 제 2 노즐로 에어를 공급하기 위한 제 2 블로팬과, 상기 제 1 블로팬과 제 2 블로팬에 의해 공급되는 에어의 공급량을 각각 개별로 조정하는 조정수단을 구비한다.
이러한 구성에 따르면, 공장의 고압에어콤프레서를 사용할 필요가 없어지고, 공장용력을 삭감하여 에너지 절약을 도모할 수 있다. 또, 각각 개별로 독립된 블로팬에 의해 각 노즐로 에어를 공급하게 했으므로, 예를 들면 제 1 노즐로부터의 에어분출량보다도 제 2 노즐로부터의 그것을 적게 제어하므로써 에어의 공급량을 삭감할 수 있고 에너지 절약을 도모할 수 있으며, 유량이 많은 경우에 비해 각 영역의 난기류 억제가 용이해진다.
본 발명의 또 다른 특징과 이점은 첨부한 도면 및 발명의 실시예 설명을 참작 하므로써 한층 명료해진다.
이상에서 설명한 것과 같이, 본 발명에 따르며, 기판 전면에 걸쳐 효율적으로 처리액을 남김없이 건조처리를 할 수 있고, 건조성능을 향상시킬 수 있다. 또, 에어의 소비량 및 전력을 삭감할 수 있어, 에너지 절약을 도모할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초하여 설명한다.
(제 1 실시예)
도 1은 본 발명의 반송장치가 적용되는 LCD기판의 도포현상처리시스템을 도시하는 평면도이고, 도 2는 그 정면도, 또 도 3은 그 배면도이다.
이 도포현상처리시스템(1)은 복수의 유리기판(G)을 수용하는 카세트(C)를 재치하는 카세트스테이션(2)과, 기판(G)에 레지스트도포 및 현상을 포함하는 일련의 처리를 실시하기 위한 복수의 처리유닛을 구비한 처리부(3)와, 노광장치(32) 사이에서 기판(G)의 인수인계를 하기 위한 인터페이스부(4)를 구비하고 있고, 처리부(3)의 양단부에 각각 카세트스테이션(2) 및 인터페이스부(4)가 배치되어 있다.
카세트스테이션(2)은 카세트(C)와 처리부(3) 사이에서 LCD기판의 반송을 하기 위한 반송기구(10)를 구비하고 있다. 그리고, 카세트스테이션(2)에서 카세트(C)의 반입출이 이루어진다. 또, 반송기구(10)는 카세트 배열방향을 따라 설치된 반송로(12)상을 이동가능한 반송암(11)을 구비하고, 이 반송암(11)에 의해 카세트(C)와 처리부(3) 사이에 기판(G) 반송이 이루어진다.
처리부(3)에는 카세트스테이션(2)에서 카세트(C)의 배열방향(Y방향)으로 수직방향(X방향)으로 연설된 주반송부(3a)와, 이 주반송부(3a)를 따라, 레지스트도포처리유닛(CT)을 포함하는 각 처리유닛이 병설된 상류부(3b) 및 현상처리유닛(DEV, 18)을 포함하는 각 처리유닛이 병설된 하류부(3c)가 설치되어 있다.
주반송부(3a)에는 X방향으로 연설된 반송로(31)와, 이 반송로(31)를 따라 이동가능하도록 구성되고 유리기판(G)을 X방향으로 반송하는 반송셔틀(23)이 설치되어 있다. 이 반송셔틀(23)은 예를 들면, 지지핀에 의해 기판(G)을 유지하고 반송하도록 되어 있다. 또, 주반송부(3a)의 인터페이스부(4)쪽 단부에는 처리부(3)와 인터페이스부(4) 사이에 기판(G) 인수인계를 하는 수직반송유닛(7)이 설치되어 있다.
상류부(3b)에서, 카세트스테이션(2)쪽 단부에는 기판(G)에 세정처리를 실시하는 스크럽세정처리유닛(SCR, 20)이 설치되고, 이 스크럽세정처리유닛(SCR, 20)의 상단부에 기판(G)상의 유기물을 제거하기 위한 엑시머UV처리유닛(e-UV, 19)이 배설 되어 있다.
스크럽세정처리유닛(SCR, 20) 옆에는 유리기판(G)에 대해 열적 처리를 하는 유닛이 다단으로 적층된 열처리계블럭(24) 및 (25)가 배치되어 있다. 이 열처리계블럭(24) 및 (25) 사이에는 수직반송유닛(5)이 배치되고, 반송암(5a)이 Z방향 및 수평방향으로 이동가능하게 되고, 또한 θ방향으로 회전이동가능하게 되어 있으므로, 양 블럭(24) 및 (25)에서의 각 열처리계유닛에 액세스하여 기판(G) 반송이 이루어지게 되어 있다. 또한, 상기 처리부(3)에서 수직반송유닛(7)에 관해서도 이 수직반송유닛(5)과 동일한 구성을 갖고 있다.
도 2에 도시하는 것과 같이 열처리계블럭(24)에는 기판(G)에 레지스트도포 전의 가열처리를 실시하는 베이킹유닛(BAKE)이 2단, HMDS가스에 의해 소수화처리를 실시하는 부착유닛(AD)이 아래로부터 순서대로 적층되어 있다. 한편, 열처리계블럭(25)에는 기판(G)에 냉각처리를 실시하는 쿨링유닛(COL)이 2단, 부착유닛(AD)이 아래로부터 순서대로 적층되어 있다.
열처리계블럭(25)에 인접하여 레지스트처리블럭(15)이 X방향으로 연설되어 있다. 이 레지스트처리블럭(15)은 기판(G)에 레지스트를 도포하는 레지스트도포처리유닛(CT)과, 감압에 의해 상기 도포된 레지스트를 건조시키는 감압건조유닛(VD)과, 기판(G)의 주연부 레지스트를 제거하는 에지리무버(ER)가 일체로 설치, 구성되어 있다. 이 레지스트처리블럭(15)에는 레지스트도포처리유닛(CT)에서 에지리무버(ER)에 걸쳐 이동하는 미도시의 서브암이 설치되어 있고, 이 서브암에 의해 레지스트처리블럭(15) 내로 기판(G)이 반송되게 되어 있다.
레지스트처리블럭(15)에 인접하여 다단구성의 열처리계블럭(26)이 배설되어 있고, 이 열처리계블럭(26)에는 기판(G)에 레지스트도포 후의 가열처리를 하는 프리베이킹유닛(PREBAKE)이 3단적층되어 있다.
하류부(3c)에서는 도 3에 도시하는 것과 같이 인터페이스부(4)쪽 단부에는 열처리계블럭(29)이 설치되어 있고, 이에는 쿨링유닛(COL), 노광 후 현상처리 전의 가열처리를 하는 포스트엑스포저 베이킹유닛(PEBAKE)이 2단 아래로부터 순서대로 적층되어 있다.
열처리계블럭(29)에 인접하여 현상처리를 하는 현상처리유닛(DEV, 18)이 X방향으로 연설되어 있다. 이 현상처리유닛(DEV, 18)의 옆에는 열처리계블럭(28) 및 (27)이 배치되고, 이 열처리계블럭(28)과 (27) 사이에는 상기 수직 반송유닛(5)과 동일한 구성을 갖고, 양 블럭(28) 및 (27)에서 각 열처리계유닛으로 액세스가능한 수직반송유닛(6)이 설치되어 있다. 또, 현상처리유닛(DEV, 18)의 단부상에는 i선처리유닛(i-UV, 33)이 설치되어 있다.
열처리계블럭(28)에는 쿨링유닛(COL), 기판(G)에 현상 후의 가열처리를 하는 포스트베이킹 유닛(POBAKE)이 2단, 아래로부터 순서대로 적층되어 있다. 한편, 열처리계블럭(27)도 동일하게 쿨링유닛(COL), 포스트베이킹유닛(POBAKE)이 2단, 아래로부터 순서대로 적층되어 있다.
인터페이스부(4)에는 정면쪽에 타이틀러 및 주변노광유닛(Titler/EE, 22)이 설치되고, 수직반송유닛(7)에 인접하여 익스텐션쿨링유닛(EXTCOL, 35)이, 또 배면쪽에는 버퍼카세트(34)가 배치되어 있고, 이 타이틀러 및 주변노광유닛(Titler/EE, 22)과 익스텐션쿨링유닛(EXTCOL, 35)과 버퍼카세트(34)와 인접한 노광장치(32) 사이에 기판(G)의 인수인계를 하는 수직반송유닛(8)이 배치되어 있다. 이 수직반송유닛(8)도 상기 수직반송유닛(5)과 동일 구성을 갖고 있다.
이상과 같이 구성된 도포현상처리시스템(1)의 처리공정에 관해서는 우선 카세트(C) 내의 기판(G)이 처리부 3부에서 상류부(3b)로 반송된다. 상류부(3b)에서는 엑시머UV처리유닛(e-UV, 19)에서 표면개질 ·유기물 제거처리가 이루어지고, 다음으로 스크럽세정처리유닛(SCR, 20)에서 기판(G)이 대략 수평으로 반송되면서 세정처리 및 건조처리가 이루어진다. 이어서 열처리계블럭(24)의 최하단부에서 수직반송유닛에서의 반송암(5a)에 의해 기판(G)이 제거되고, 동일 열처리계블럭(24)의 베이킹유닛(BAKE)에서 가열처리, 부착유닛(AD)에서 소수화처리가 이루어지고, 열처리계블럭(25)의 쿨링유닛(COL)에 의한 냉각처리가 이루어진다.
다음으로, 기판(G)은 반송암(5a)에서 반송셔틀(23)로 인수인계된다. 그리고 레지스트도포처리유닛(CT)에 반송되고, 레지스트의 도포처리가 이루어진 후, 감압건조처리유닛(VD)에서 감압건조처리, 에지리무버(ER)에서 기판주연의 레지스트제거처리가 순차적으로 이루어진다.
다음으로, 기판(G)은 반송셔틀(23)에서 수직반송유닛(7)의 반송암으로 인수인계되고, 열처리계블럭(26)의 프리베이킹유닛(PREBAKE)에서 가열처리가 이루어진 후, 열처리계블럭(29)의 쿨링유닛(COL)에서 냉각처리가 이루어진다. 이어서 기판(G)은 익스텐션쿨링유닛(EXTCOL, 35)에서 냉각처리됨과 동시에 노광장치에서 노광처리된다.
다음으로, 기판(G)은 수직반송유닛(8) 및 (7)의 반송암을 통해 열처리계블럭(29)의 포스트익스포저베이킹유닛(PREBAKE)으로 반송되고, 여기에서 가열처리가 이루어진 후, 쿨링유닛(COL)에서 냉각처리가 이루어진다. 그리고 기판(G)은 수직반송유닛(7)의 반송암을 통해 현상처리유닛(DEV, 18)의 기판(G)은 대략 수평으로 반송되면서 현상처리, 린스처리 및 건조처리가 이루어진다.
다음으로, 기판(G)은 열처리계블럭(28)의 최하단에서 수직반송유닛(6)의 반송암(6a)에 의해 인수인계되고, 열처리계블럭(28) 또는 (27)의 포스트베이킹유닛(POBAKE)에서 가열처리가 이루어지고, 쿨링유닛(COL)에서 냉각처리가 이루어진다. 그리고 기판(G)은 반송기구(10)에 인수인계되어 카세트(C)에 수용된다.
도 4(a)는 상기 스크럽세정처리유닛(SCR, 20)을 도시하는 개략측면도이다. 이 스크럽세정처리유닛(SCR, 20)에는 유리기판(G)을 반송하기 위한 코로식 반송롤러(38)가 복수 설치되어 있다. 반송롤러(38)의 양단부에는 승강동작에 의해 다른 처리부 사이에서 기판의 인수인계를 하는 인수인계핀(39)이 배치되어 있고, 이 양 인수인계핀(39) 사이에는 이 기판 반송상류쪽(도에서는 왼쪽)에서 롤브러시세정실(36), 스프레이세정실(37) 및 본 발명에 관한 건조처리장치(40)가 순서대로 배치되어 있다. 롤브러시세정실(36)에는 롤브러시(45)가 설치되고, 스프레이세정실(37)에는 세정액을 분출하는 스프레이식 노즐(46)이 설치되어 있다. 또한, 스프레이식 노즐(46)은 도시하는 것과 같이 기판의 표면쪽뿐 아니라 기판이면쪽에 더 배치해도 상관없다.
이러한 스크럽세정처리유닛(SCR, 20)에 있어서는 우선 롤브러시세정실(36)에 서 기판상의 비교적 큰 먼지를 제거세정한 후, 스프레이세정실(37)에서 미세한 먼지를 제거세정하고, 건조처리장치(40)에서 건조처리된다.
도 4(b)는 상기 현상처리유닛(DEV, 18)을 도시하는 개략측면도이다. 이 현상처리유닛(DEV, 18)에는 스크럽세정처리유닛(SCR, 20)과 동일하게 코로식 반송롤러(38) 및 인수인계핀(39)이 배치되어 있다. 이 양 인수인계핀(39) 사이에는 반송상류쪽(도에서 왼쪽)에서 프리웨트처리실(41), 현상처리실(42), 린스처리실(43) 및 본 발명에 관한 상기와 동일한 건조처리장치(40)가 순서대로 배치되어 있다. 프리웨트처리실(41)에는 프리웨트노즐(47)이 또 현상처리실(42)에는 현상액을 토출하는 현상액노즐(48)이 각각 설치되고, 또 린스처리실(43)에는 린스노즐(49)이 설치되어 있다.
이러한 현상처리유닛(DEV, 18)에서는 우선 프리웨트처리실(41)에서 현상액토출 시의 기판에 대한 임팩트 경감을 위해, 기판을 프리웨트하고, 다음으로 현상처리실(42)에서 현상액이 토출되어 현상되고, 그리고 린스처리실(43)에서 현상액이 씻겨지고 마지막으로 건조처리장치(40)에서 건조처리된다.
또한, 현상처리실(42)에서는 현상시간을 확보하기 위해, 반송롤러(38)를 역회전시켜 기판(G)을 왕복시키면서 현상처리를 하고 있다.
도 5 및 도 6은 제 1 실시예에 관한 건조처리장치(40)의 평단면도 및 측단면도이다. 이 건조처리장치(40)의 챔버(51) 내 공간은 반송상류쪽(도 5 및 도 6에서 왼쪽)에서 구분판(63)으로 구분되어 있다. 이 챔버(51)의 상류단부 및 하류단부에는 각각 기판(G)을 반입 및 반출하기 위한 개구부(51a) 및 (51b)가 형성되어 있다.
구분판(63)의 하단절결부(63a)에는 반송되는 기판(G)에 대해 청정에어를 분출하여 기판(G)을 건조시키는 긴 형태의 에어나이프노즐(53a) 및 (53b)가 반송되는 기판(G)을 끼우듯이 상하로 배치되어 있다. 이 에어나이프(53a) 및 (53b)는 기판(G)에 대해 연직방향으로 40°이상 기울여서 배치되어 있고, 에어가 기판면의 연직방향에 대해 40°이상 기울어져 분출되게 되어 있다.
도 7(a)에 도시하는 것과 같이 양 에어나이프(53a) 및 (53b)는 동일 구성을 갖고 있고, 내부에 공급구(72)에서 공급된 에어를 일단 체류시키는 버퍼실(73)을 갖고, 이 버퍼실(73)에서 기판(G)에 대해 선형태로 에어를 분출시키기 위한 슬릿(74)이 형성되어 있다.
각각의 반송롤러(38)에는 그 축심부재의 한 단부에 복수의 톱니바퀴(75)가 설치되고, 이 톱니바퀴(75)에 각각 맞물리는 톱니바퀴(68)가 축부재(44)에 각각 설치되어 있다. 이 축부재(44)는 모터(71)의 구동에 의해 회전하도록 되어 있고, 모터(71)의 구동에 의해 반송롤러(38)가 회전하고 기판(G)을 반송하게 되어 있다.
도 6을 참조하여, 에어나이프(53a, 53b)에는 블로팬(60)에서 필터부(59) 및 공급관(66)을 통해 에어가 공급되도록 되어 있다. 이 블로팬(60)은 클린룸 내 혹은 외부 공기를 주입시키고 있다. 필터부(59)에는 굵은 파티클용 프리필터(61)와 작은 파티클용 ULPA필터(62)가 설치되어 있다. 이 ULPA필터(62)는 HEPA필터여도 좋다.
이렇게 블로팬(60)을 설치하므로써, 공자의 고압에어콤프레서를 사용할 필요가 없어지고, 공장용력을 삭감하여 에너지 절약을 꾀할 수 있다. 특히 기판(G)의 대형화와 함께 용력도 증대하는 경향에 있으므로 블로팬을 사용하는 효과는 크다. 또, 블로팬은 에어콤프레서에 비해 경제적으로도 극히 유리하다.
제어계(50)는 CPU(56), 메모리(57), 인버터회로(58)를 갖고 있고, 블로팬(60)은 이 제어계(50)에 의해 주파수제어되게 되어 있다. 예를 들면, 공급관(66)에 설치되어 상기 관내의 에어 유량을 계측하는 플로미터의 계측결과에 기초하여, 블로팬(60)에서 토출되는 에어의 유량이 제어되게 되어 있다. 이에 의해 필터부(59)의 막힘 등에 의해 에어나이프(53a, 53b)에 공급되는 에어의 유량이 감소한 경우라도, 플로미터(65)의 계측결과를 피드백하므로써 에어나이프(53a, 53b)로 항상 소망하는 유량으로 에어를 공급할 수 있다.
챔버(51)의 하류쪽 상부에는 개구가 형성되고 여기에 팬필터유닛(52)이 설치되어 있다. 이 팬필터유닛(52)은 클린룸 내 혹은 외부 에어를 청정하게 하여 챔버(51) 내로 주입하고, 이 주입된 에어를 반송상류쪽 상하부에 설치된 배기구(55a) 및 (55b)에서 배기하고 있다. 배기구(55a) 및 (55b)에는 미도시의 진공장치 등에 접속되어 있다. 이에 의해 챔버(51) 내의 기압을 하류쪽에서 상류쪽을 향함에 따라서 낮아지도록 제어하고 있고, 이 기압 제어에 의해 액제거에 따른 기판(G)상의 처리액도 효율적으로 배출할 수 있다.
에어나이프(53a, 53b)보다 반송상류쪽에는 발광부(Sa) 및 수광부(Sb)를 구비한 광센서(S)가 배치되어 있다. 예를 들면, 기판(G)에 의해 광센서(S)의 빛이 차광되면, 그 정보가 제어계(50)로 전달되게 되어 있고, 이에 기초하여 블로팬(60)의 주파수를 제어하여 에어나이프(53a, 53b)로 공급되는 에어량을 조정할 수 있게 되어 있다.
예를 들면, 센서(S)에 의해 기판(G) 전단부를 검지하면, 도 7(a)에 도시하는 것과 같이, 에어나이프(53a, 53b)에서 분출되는 에어의 풍량을 대기시보다도 많게, 예를 들면, 기판(G)의 전단부 부근의 영역(Ga)에 부착된 처리액을 제거한다. 이 전단부 부근의 영역(Ga)으로는 예를 들면, 기판(G)의 전단부로부터의 거리가 1cm ~ 5cm의 부위이다. 이 영역(Ga)에서 분출되는 에어량은 예를 들면, 기판폭이 700mm의 경우에 1000(l/min)이다.
그리고, 센서(S)가 기판전단부를 검지하고나서 소정 시간 경과 후, 기판전단부 부근 및 후단부 부근 이외의 영역(Gc)에 있어서는 도 7(b)에 도시하는 것과 같이 영역(Ga)의 분출량보다도 적게 하여 에어를 분출하고 처리액을 제거하여 도 7(c)에 도시하도록 센서(S)가 기판 전단부를 검지하고나서 소정 시간 경과 후에 다시 기판(G) 후단부에서의 거리가 1cm ~ 5cm의 부위인 후단부 부근의 영역(Gb)에 부착된 처리액을 제거한다. 센서(S)가 기판전단부를 검지하고나서 소정 시간 경과 후란 것은 기판반송속도와 기판(G) 사이즈에 의해 기정치이고, 이 수치는 미리 제어계(50)에 입력되어 있다.
그래서, 영역(Gc)에서 분출되는 에어량은 예를 들면 700mm인 경우에 800(l/min)이고, 영역(Gb)에서 분출되는 에어량은 700mm인 경우 1300(l/min)이다.
이에 의해, 종래의 일정한 에어풍량에서는 제거되지 않았던 처리액을 본 실시예에 따르면 기판전면에 걸쳐 편차가 없고, 완전히 제거할 수 있으며 건조얼룩 발생을 방지할 수 있다. 따라서, 특히 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근에서 잔존하곤했던 처리액을 제거할 수 있다.
또, 종래 처리액을 완전히 제거하기 위해 기판전면에 걸쳐 풍량을 많게 하여 일정한 풍량으로 에어를 분출하고 있던 것에 비해, 본 실시예에서는 영역(Gc)의 분출하는 에어 풍량을 적게 하고 있다. 따라서, 블로팬(60)의 전력소비를 삭감할 수 있고, 또 에어소비도 삭감할 수 있어서 에너지절약에 기여한다.
또한, 기판의 영역(Gc)에서 에어풍량을 적게하므로써, 일정하게 많은 풍량의 경우에 비해, 챔버(51) 내 난기류를 억제할 수 있고, 챔버(51) 내에 비산하는 미스트상의 처리액량을 줄일 수 있다. 이에 의해 미스트가 다시 기판(G)에 부착되는 일 없이 건조성능이 향상된다.
또한, 블로팬(60)에 의해 변화된 에어량의 에어나이프에의 응답시간에 손실이 있으므로, 예를 들면 도 6에서 센서(S) 배치위치를 에어나이프(53a) 및 (53b)에서 소정거리만큼 격리시키는 것이 바람직하다.
또, 영역(Ga) 내에서 에어량을 1000(l/min)에서 단계적 혹은 선형적으로 감소시켜도 좋고 또는 영역(Gc)에서 영역(Gb)에 걸쳐 단계적으로 혹은 선형적으로 에어량을 800(l/min)에서 1300(l/min)로 증가시켜도 좋고 이렇게 제어하므로써 급격한 에어량의 변화에 의한 기판 근방 기류의 흐트러짐 및 미스트의 발생을 억제할 수 있다.
(제 2 실시예)
다음으로 도 8을 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 관해 설명한다. 또, 도 8에 있어서, 도 5 및 도 6에 있어서 구성요소와 동일한 것에 관해서는 동일 부호를 붙이기로 하고 그 설명을 생략한다.
본 실시예에 있어서는 센서(S)가 기판(G)의 전단부를 검지하면, 이 정보가 모터(71)의 회전수를 제어하는 모터제어부(69)에 전달되고 반송롤러(38)의 회전속도를 떨어뜨린다. 이에 의해 기판(G)의 반송이 감속되고, 도 7에 도시한 경우와 동일하게 기판(G)의 전단부 부근 영역(Ga)에 에어를 공급하고 다음으로 소정 시간 경과 후에 반송속도를 높여 영역(Gc)으로 에어를 공급하고 또 소정시간 경과 후에 반송속도를 영역(Ga)으로 에어를 공급하는 경우와 동일속도가 되도록 감속하여 영역(Gb)에 에어를 공급한다. 그리고 기판(G) 후단부가 에어나이프(53a) 및 (53b)를 통과한 후에 다시 반송속도를 높인다. 여기에서, 센서(S)가 기판전단부를 검지하고나서 소정시간 경과 후란 것은 기판반송속도와 기판(G) 사이즈에 의해 기정치이고, 이 수치는 미리 모터제어부(69)에 입력되어 있다. 또한, 에어가 분출되는 풍량은 영역(Ga, Gc) 및 (Gb)에서 일정해진다.
*이렇게 영역(Ga) 및 (Gb)에 에어가 공급될 때의 기판(G) 반송속도를 그 이외의 영역(Gc)에 에어가 공급될 때의 경우에 비해 느려지게 되므로써 기판 전면에 걸쳐 빈틈없이, 완전히 제거할 수 있다. 따라서, 특히 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근에서 잔존하곤 했던 처리액을 제거할 수 있다.
또한, 영역(Gb)에 에어가 공급될 때의 기판(G) 반송속도를 영역(Ga)에 에어가 공급될 때의 기판(G) 반송속도보다 느리게 해도 좋고, 이 경우, 기판의 전단부보다 액이 남아있기 쉬운 후단부 부근에서의 처리액 제거성능을 향상시킬 수 있다.
(제 3 실시예)
도 9는 본 발명의 제 3 실시예를 도시하고 있다. 또, 도 9에 있어서, 도 8의 구성요소와 동일한 것에 관해서는 동일 부호를 붙이기로 하고 그 설명을 생략한다.
본 실시예에서는 기판(G) 전단부를 검지하는 센서로 마이크(70)를 이용하고 있다. 이것은 에어나이프(53a) 및 (53b)에서 에어가 분출되고 있을 때에 기판(G)이 이 에어나이프에 접근하면, 에어가 기판에 닿기 시작하므로써 서서히 음이 그때까지보다 강해지고, 또한 주파수가 높아지는 현상을 이용하는 것이다.
그리고 이 「음」은 도 7에 도시하는 기판의 영역(Ga) 부근에 있어서는 그렇게 강해지고 또한 주파수가 높아지지만, 영역(Gc)에 있어서는 영역(Ga)에 비하면 약해지고 주파수가 낮아지는 경향이 있다. 그리고 영역(Gb)에 있어서 다시 영역(Ga)과 동일하게 「음」이 강해지고, 주파수, 즉 음이 높아진다. 즉 「음」의 강도 및 주파수는 Ga ≒ Gb 〉Gc가 된다.
이 「음」의 변동에 기초하여, 상기 제 2 실시예와 동일하게 기판(G)의 반송속도를 변화시키므로써, 기판 전면에 걸쳐 빈틈없이, 완전히 제거할 수 있다. 따라서, 특히 기판의 전단부 부근 및 후단부 부근에서 잔존하곤 했던 처리액을 제거할 수 있다.
여기에서 「음」은 그 강도 또는 주파수뿐 아니라 예를 들면 감쇠도, 복수화음의 조합 등에 의해 여러가지 「음질」과 「음색」이 있고, 어쨌든 「음」의 변동을 검지할 수 있으면, 기판을 검지할 수 있다.
또한 본 실시예에 있어서는 「음」이 변화할 때마다 이것을 피드백하여 기판의 반송속도를 제어하도록 했지만, 기판전단부의 「음」을 처음에 한번 검출하는 것 뿐으로 그 후는 이 최초의 검출에어 소정시간 경과 후에 반송속도를 변화시키도록 해도 상관없다.
도 10은 다른 실시예에 관한 에어나이프를 도시하는 단면도이다. 이 에어나이프(80) 내는 구분판(81)에 의해 세개의 버퍼실(73a, 73b) 및 (73c)가 형성되어 있다. 이 각 버퍼실(73a, 73b) 및 (73c)에 각각 에어를 공급하기 위한 공급관(77, 78) 및 (79)가 접속되고, 또, 각각의 에어 공급량을 조절하는 밸브(83, 84) 및 (85)가 설치되어 있다.
본 실시예에서는 이 밸브(83, 84) 및 (85)의 개도를 각각 대, 중 및 소로 하고, 각 버퍼실(73a, 73b) 및 (73c)에서 분출되는 에어의 풍량을 각각 대, 중 및 소로 한다.
예를 들면, 도 11에 도시하는 것과 같이 화살표 A에서 도시하는 방향으로 반송되는 기판(G)상의 도중 오른쪽으로 효율적으로 액제거하기 위해, 반송방향(A)에 대해 소정의 각도 α= 10°~ 20°로 에어나이프(80)의 길이방향을 기울여 배치시키고 있는 경우, 버퍼실(73a)에서 분출되는 에어량을 버퍼실(73c)에서 분출되는 에어량보다 많게 하므로써, 기판(G)의 도중 왼쪽에 있는 처리액을 오른쪽보다도 멀리로 제거할 수 있고, 효율적으로 건조처리를 할 수 있다.특히, 배기구(55a)의 위치가 에어나이프(80)에 의한 에어분출 방향이므로, 효율은 크다.
(제 4 실시예)
다음으로, 본 발명의 제 4 실시예에 관해 설명한다. 도 12 및 도 13은 그 실시예에 관한 에어나이프노즐의 정면도 및 측면도이다. 이 에어나이프(76a)는 예를 들면 그 상부에 설치된 고정구(87)에 축부재(88)가 고정되어 있다. 그리고 이 축부재(88)가 스테핑모터(95)에 의해 θ방향으로 회전이동하게 되어 있다. 이에 의해 기판(G)에 대한 에어나이프(76a)로부터의 에어 분출각도가 도 13에 도시하는 것과 같이 가변하게 되어 있다. 또, 축부재(88)는 이 유지부재를 유지하는 유지구(82)에 유지되어 있다. 이 유지구(82)는 모터(96)에 의한 볼나사(89)의 회전으로 상하 이동가능해져 있다. 이에 의해 에어나이프(76a)와 반송되는 기판(G)의 거리(C)를 조정할 수 있게 되어 있다. 각 모터(95, 96)는 모터제어부(90)에 의해, 자동제어되게 되어 있다. 또한, 기판(G)의 이면쪽 에어나이프는 도시하고 있지 않지만, 표면쪽 에어나이프(76a)와 동일 구성을 갖고 있다.
다음으로, 본 실시예에 관한 동작을 설명한다. 도 14에 도시하는 것과 같이 기판(G)이 도중 오른쪽 방향으로 반송되어 가는 것으로 한다. 기판(G) 중앙부의 영역(Gc)에 대해서는 분출각도(A = 50°)로 하고, 후단부 부근의 영역(Gb)에는 분출각도(B = 40°)로 하여 작게 하고 있다. 이 때, 본 실시예에서는 거리(C)를 일정하게 유지하기 위해 에어나이프(76a, 76b) 높이를 조절하고 있다. 즉, 분출각도의 변화에 의해 거리(C)가 변하므로, 이것을 보정하고 있는 것이다. 도 14에서는 높이(h)만큼 에어나이프가 아래쪽으로 이동하고 있다.
이렇게 제어하므로써, 특히 기판의 후단부 부근에 남아있는 액을 확실하게 방지할 수 있다. 또, 에어나이츠(76a) 및 (76b)와 기판면의 틈새(C)를 일정하게 유지할 수 있고, 건조성능이 저하하는 일이 없어 진다.
이러한 동작에 있어서 에어분출량, 분출각도 및 에어나이프(76a)의 높이를 도 15에 도시하고 있다. 예를 들면, 에어 분출량은 선(a)으로 도시하는 것과 같이 기판 중앙부에서 가장 약하고, 기판 전단부 및 후단부에서 최대가 되도록 연속적으로 제어한다. 혹은 선(b)로 도시하는 것과 같이 이것을 단계적으로 행해도 좋다.
또, 분출각도에 관해서는 기판 후단부 부근에서 선(c)에서 도시하는 것과 같이 연속적으로 작아지게 해도 좋고, 선(d)으로 도시하는 것과 같이 단계적으로 작게 해도 좋다. 또한 선(e)로 도시하는 것과 같이 기판 중앙부에서 연속적으로 작게 해도 좋다. 한편, 에어나이프의 높이에 관해서도 선(f, g, h)로 도시하듯이 분출각도와 동일한 제어를 할 수 있다.
또한, 이 제어에 조합하여, 앞에서 서술한 것과 같이 기판의 반송속도를 제어하는 것도 가능하다. 예를 들면 기판의 중앙부 부근에서 후단부 부근에 걸쳐 풍량을 높인 경우, 반송속도를 높여 기판에 공급되는 풍량을 적당량으로 조정할 수 있다.
또한, 각도(A, B)는 상기한 수치에 한정되지 않고 적당히 변경가능하게 할 수 있다.
(제 5 실시예)
다음으로, 본 발명의 제 5 실시예에 관해 설명한다. 도 16, 도 17 및 도 18은 건조처리장치(140)의 평단면도, 측단면도 및 정면도이다. 이 건조처리장치(140)의 챔버(151)내 공간은 반송상류쪽(도 16 및 도 15에 있어 왼쪽)에서 구분판(163) 및 (164)에 의해 구분되고, 이에 의해 제 1 영역(A), 제 2 영역(B) 및 제 3 영역(C)이 형성되어 있다. 이 챔버(151)의 상류단부 및 하류단부에는 각각 기판(G)을 반입 및 반출하기 위한 개구부(151a) 및 (151b)가 형성되어 있다.
구분판(163)의 하류절결부(163a)에는 제 1 영역(A)내에서 반송되는 기판(G)에 대해 청정에어를 분출하여 기판(G)을 건조시키는 제 1 에어나이프노즐(153a) 및 (153b)가 각각 기판(G)을 끼워넣듯이 상하로 배치되어 있다. 또 동일하게 구분판(164)의 하단절결부(164a)에는 제 2 영역(B)내에서 반송되는 기판(G)에 대해 청정에어를 분출하여 기판(G)을 건조시키는 제 2 에어나이프노즐(154a) 및 (154b)가 각각 기판(G)을 끼워넣듯이 상하로 배치되어 있다.
이 각각의 에어나이프(153a, 153b, 154a, 154b)는 기판(G)에 대해 연직방향으로 40°이상 기울어져 배치되어 있고 에어가 기판면의 연직방향에 대해 40°이상 기울어져 분출되게 되어 있다.
각 에어나이프(153a, 153b, 154a, 154b)는 동일한 구성을 갖고 있고, 예를 들면 도 19에 도시하는 것과 같이 내부에 공급구(171)에서 공급된 에어를 일단 체류시키는 버퍼실(167)을 갖고, 이 버퍼실(167)에서 기판(G)에 대해 선형태로 에어를 분출시키기 위한 슬릿(172)이 형성되어 있다.
도 17을 참조하여 각 에어나이프(153a, 153b, 154a, 154b)에는 블로팬(160)에서 필터부(159) 및 공급관(166)을 통해 에어가 공급되게 되어 있다. 이 블로팬(160)은 클린룸 내 혹은 외부 공기를 주입하고 있다. 필터부(159)에는 예를 들면, 굵은 파티클용 프리필터(161)와 가는 파티클용 ULPA필터(162)가 설치되어 있다. 이 ULPA필터(162)는 HEPA필터여도 좋다.
이렇게 블로팬(160)을 설치하므로써, 공장의 고압에어콤프레서를 사용할 필 요가 없어지고, 공장용력을 삭감하여 에너지 절약을 도모할 수 있다. 특히 기판(G)의 대형화와 함께 용력도 증대하는 경향에 있으므로 블로팬을 사용하는 효과는 크다. 또, 블로팬은 에어콤프레서에 비해 경제적으로도 극히 유리하다.
제어계(150)는 CPU(156), 메모리(157), 인버터회로(158)를 갖고 있고, 블로팬(160)은 제어계(150)에 의해 주파수제어되도록 되어 있다. 예를 들면 공급관(166)에 설치되어 상기 관내의 에어유량을 계측하는 플로미터(165)의 계측결과에 기초하여 블로팬(160)에서 토출되는 에어의 유량이 제어되게 되어 있다. 이에 의해 필터부(59)의 막힘 등에 의해 각 에어나이프(153a, 153b, 154a, 154b)에 공급되는 에어의 유량이 감소된 경우라도, 플로미터(165)의 계측결과를 피드백하므로써 각 에어나이프로 항상 일정한 유량으로 에어를 공급할 수 있다.
제 3 영역(C)의 챔버(151) 상부에는 개구가 형성되고 여기에 팬필터유닛(152)이 설치되어 있다. 이 팬필터유닛(152)은 예를 들면 클린룸내 혹은 외부의 에어를 청정하게 하여 챔버(151)내로 주입하고, 이 주입된 에어를 제 1 영역(A)의 상하양부에 설치된 배기구(155a) 및 (155b)에서 배기하고 있다. 배기구(155a) 및 (155b)에는 미도시의 진공장치 등에 접속되어 있다. 이에 의해 챔버(151) 내의 기압을 제 3 영역(C)에서 제 1 영역(A)을 향함에 따라 낮아지도록 제어하고 있다. 또, 제 1 영역(A, B, C) 내의 기압, 즉 챔버(151) 내의 기압은 미도시의 센서 등의 검지결과에 기초하여 챔버바깥 분위기의 압력보다 높아지도록 제어된다. 이에 의해 챔버바깥으로부터의 파티클 유입을 방지할 수 있다. 또한 이 기압의 제어에 의해 제거된 기판(G)상의 세정액(H)도 효율적으로 배출할 수 있다.
즉, 도 19에 도시하는 것과 같이 반출되어 온 기판(G)에 부착된 세정액(H)이 기판(G) 반송방향과 역방향으로 비산되어 제거되고, 즉, 배기구(155a) 및 (155b)를 향해 날려서 제거된다. 이 때, 팬필터유닛(152)으로부터의 기류제어(175)에 의한 상승효과에 의해 공중으로 비산된 세정액미스트를 효율적으로 배출할 수 있다.
이렇게 효율적으로 미스트를 배출된 결과, 미스트상의 세정액이 다시 기판(G)에 부착되는 일 없이 건조성능이 비약적으로 향상된다.
또, 특히 기판(G)의 대형화에 동반하여 각 에어나이프(153a, 153b, 154a, 154b)로부터의 에어 공급량도 증대되므로써, 챔버 내, 특히 제 1 및 제 2 영역의 기류가 흐트러지는 경향에 있지만, 본 실시예에 따르면 이러한 사태를 억제할 수 있다.
또, 이러한 효과적인 기류제어에 의해 전공정에서 이루어진 스프레이세정에 의한 세정액미스트가 개구부(151a)에서 유입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 있어서, 제 2 에어나이프(154a) 및 (154b)를 제 1 에어나이프(153a) 및 (153b)의 하류쪽으로 더 배치하는 구성으로 했으므로, 제 1 에어나이프(153a) 및 (153b)만으로는 제거할 수 없었던 세정액을 제거할 수 있으므로 건조성능은 더 향상된다.
(제 6 실시예)
도 20은 본 발명의 제 6 실시예에 관한 건조처리장치를 도시한다. 또한 도 20에서, 도 17의 구성요소와 동일한 것에 관해서는 동일한 부호를 붙이기로 하고 그 설명을 생략한다.
이 건조처리장치(190)의 제 1 에어나이프노즐(153a 및 153b)과 제 2 에어나이프노즐(154a 및 154b)에는 각각 별개의 공급관(183)과 (184)가 접속되고, 각 에어나이프에는 각각 별개의 블로팬(160a)과 (160b)에 의해 에어가 공급되게 되어 있다. 이에 의해 제 1 에어나이프, 제 2 에어나이프에서 분출되는 에어의 유량을 별개로 독립적으로 제어할 수 있다. 예를 들면 실제로는 제 1 에어나이프에 의한 에어공급에 의해 기판(G)상에 거의 세정액이 잔존하고 있지 않은 상태가 되므로, 제 2 에어나이프의 유량을 제 1 에어나이프보다 적게 해도 충분히 건조처리할 수 있다. 이에 의해 에어의 공급량을 삭감할 수 있어 에너지 절약을 도모할 수 있다. 게다가 유량을 적게 하므로써, 유량이 많은 경우에 비해 챔버(151) 내의 난기류 억제가 쉬워진다.
또, 각 블로팬(160a) 및 (160b)로부터의 에어는 각각 바이패스관(185) 및 (186)을 통해 팬필터유닛(152)에도 공급되게 되어 있고, 이 팬필터유닛(152)에 공급된 에어에 의해 상기 실시예와 동일하게 챔버(151)내의 기류를 제어하게 되어 있다. 이에 의해 외부로부터 팬필터유닛(152)으로 에어를 주입하는 경우에 비해, 에어 공급량을 삭감할 수 있어, 에너지 절약에 기여한다.
또한, 본 실시예에서는 배기구(155a) 및 (155b)로부터의 액체혼합 에어가 배기관(181)을 통해 액체제거장치(180)에 주입되게 되어 있다. 이 액체제거장치(180)는 공급구(177)에서 액체혼합 에어가 공급되고, 예를 들면 필터(176)에서 액체가 제거, 건조된 에어가 배기구(179)에서 배기되게 되어 있고, 또한, 건조된 에어는 이 배기구(179)에서 배기관(182)을 통해 각 블로팬(160a) 및 (160b)으로 되돌아가 게 되어 있다. 이에 의해 배기에어를 헛되게 하는 일 없이 에너지 절약에 기여한다. 또, 액체제거장치(180)를 통하고 있으므로, 건조된 에어를 각 블로팬(160a) 및 (160b)로 공급할 수 있고, 각 블로팬과 기판(G) 등에 악영향을 미칠 우려는 없다.
또, 상기 실시예와 동일하게 공장용력의 부하 경감, 세정액미스트의 배제 효율와에 의한 건조성능 향상을 도모할 수 있다.
(제 7 실시예)
다음으로, 본 발명의 제 7 실시예에 관해 설명한다. 도 21은 그 실시예에 관한 건조처리장치의 단면도이다. 또한, 도 21에서 도 17의 구성요소와 동일한 것에 관해서는 동일한 부호를 붙이기로 하고 그 설명을 생략한다.
이 건조처리장치(240) 상류쪽에는 상자형 부재(91)가 설치되어 있다. 제 1 에어나이프(153a)는 상자형 부재(91)내에서 에어를 분출하게 되어있다. 도 22 및 도 23은 그 상자형 부재(91)의 사시도 및 정면도이다. 이 상자형 부재(91)의 하부는 입구가 형성되어 있고, 측부에는 에어나이프(153a)를 배치하기 위한 개구부(91a)가 형성되어 있다.
상자형 부재(91)의 하부로서, 에어나이프(153a) 근방에는 판부재(92)가 배치되어 있다. 이 판부재(92)는 미도시의 나사 등에 의해 그 높이가 조정가능해져 있다.
또한, 본 실시예에서는 상부의 배기부는 설치되어 있지않고, 하부의 배기부(155)만이 설치되어 있다.
이러한 상자형 부재(91)를 설치하므로써, 이 상자형 부재(91) 내에서 제 1 영역(A)을 형성할 수 있다. 그 결과, 에어나이프(153a)에서 에어를 분출할 때에 기판에서 제거되는 미스트상의 액체를 상자형 부재(91) 중에서 억제할 수 있다. 이에 의해 미스트의 산란을 방지할 수 있으므로, 그러한 미스트를 배기할 때의 배기효율을 높일 수 있다.
또, 본 실시예에서는 판부재(92)를 배치시키므로, 반송롤러(138)에 의해 반송되는 기판(G)의 아래쪽 영역에서 영역(B) 및 (C)로 미스트가 산란하는 것을 방지할 수 있고, 건조성능을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 이상에서 설명한 실시예에 한정되지 않고, 여러가지 변형이 가능하다.
예를 들면, 상기 제 1 ~ 제 4 실시예에서는 반송되는 기판의 전단부를 검지하는 센서로 광센서(S)와 마이크를 사용했지만, 이에 한정되지 않고, 기판(G)의 중량에 의해 반응하는 진자식 센서를 사용하는 것도 가능하다.
또, 상기 제 1 실시예에 있어서, 에어나이프(53a) 및 (53b)의 하류쪽에 동일한 에어나이프를 2개 더, 반송되는 기판의 상하에 설치하는 구성으로 해도 좋다. 이 경우, 상류쪽 에어나이프와 하류쪽 에어나이프, 각각 별개의 블로팬을 접속하고, 반송되는 기판의 사이즈와 반송속도를 기억한 다음 양 블로팬을 각각 별개로 인버터제어하므로써, 본 발명의 목적을 달성할 수 있다.
또, 이렇게 에어나이프(53a) 및 (53b)의 하류쪽으로 더 설치할 때에, 하류쪽 에어나이프에 대한 영역(Ga, Gb, Gc)에 대해서도 앞에서 서술한 것과 같은 제어를 행해도 좋고, 상기 하류쪽 에어나이프에서 영역(Ga, Gb)에 대한 단위면적당 에어량 이 상류쪽 에어나이프에서 영역(Ga, Gb)에 대한 단위면적당 에어량보다 많아지도록 제어해도 좋다. 이렇게 하면, 처리액이 남기 쉬운 기판의 전단부 또는 후단부 근방을 확실히 건조할 수 있다. 또, 상류쪽 에어나이프가 주이고, 하류쪽 에어나이프가 보조의 의미가 강하면, 반대로 하류쪽 에어나이프로부터의 영역(Ga, Gb)에 대한 단위면적당 에어량을 상류의 에어나이프에 대한 단위면적당 에어량보다 적게 제어하므로써, 유지비와 미스트를 억제할 수 있다. 또한, 영역(Gc)는 (Ga) 및 (Gb)에 비해 액제거가 쉽고, 영역(Gc)은 상류쪽 에어나이프에서 거의 액제거되어 있으므로, 하류쪽 에어나이프로부터의 영역(Gc)에 대한 단위면적당 에어량을 상류쪽 에어나이프로부터의 영역(Gc)에 대한 에어량보다 적게 해도 좋다.
또, 도 10에 있어서 에어나이프의 버퍼실을 3개로 했지만, 구분판(81)을 더 늘리고, 기판에 분출되는 풍량을 더 상세하게 제어하도록 해도 좋다.
또, 상기 각 실시예에 있어서 배기량을 변하게 해도 좋다. 이에 의해 미스트의 발생량에 따라 배기량을 변하게 하고 산락하는 미스트량을 억제할 수 있따. 특히 기판 단부의 액체를 제거하는 경우, 단부 이외에 비해 미스트의 발생량이 많다. 따라서, 이에 대응하여 기판단부의 영역에 에어를 분출할 때의 배기량을 기판단부의 영역이외에서 그것보다 많게 하므로써, 미스트를 적절하게 배기할 수 있다.
또, 상기 각 실시예에서는 배기구(155a) 및 (155b)를 챔버(151)의 한쪽에 설치하는 구성으로 했지만, 좌우양쪽에 설치하도록 해도 좋다. 이에 의해, 배기효율을 더 향상시킬 수 있다.
또, 제 5 각 실시예에 있어서, 전후 및 상하의 4개의 각 에어나이프별로 블 로팬을 각각 설치하는 구성으로 하고, 각각 4개를 별개로 하여 독립적으로 에어의 분출량을 억제하게 해도 좋다. 이에 의해 기판표면쪽에 분출되는 에어를 이면쪽보다도 많게 제어하므로써 반송중 기판이 뜨는 것을 방지할 수 있다.
또, 도 20에 도시하는 건조처리장치에 있어서, 제 2 에어나이프의 유량을 제 1 에어나이프의 유량보다 많게 해도 좋고, 이 경우, 건조처리의 확실성을 향상시킬 수 있다.
도 1 은 본 발명이 적용되는 도포현상 처리시스템의 전체 구성을 도시하는 평면도이다.
도 2 는 도 1에 도시하는 도포현상 처리시스템의 정면도이다.
도 3 은 도 1에 도시하는 도포현상 처리시스템의 배면도이다.
도 4 는 (a)스크럽세정 처리유닛(SCR), (b) 현상처리유닛(DEV)을 도시하는 개략 측면도이다.
도 5 는 본 발명의 제 1 실시예에 관한 건조처리장치를 도시하는 평단면도이다.
도 6 은 도 5에 도시하는 건조처리장치의 측단면도 및 개념구성도이다.
도 7 은 제 1 실시예에 관한 건조작용을 도시하는 측면도이다.
도 8 은 본 발명의 제 2 실시예에 관한 건조처리장치를 도시하는 측단면도이다.
도 9 는 본 발명의 제 3 실시예에 관한 건조처리장치를 도시하는 측단면도이다.
도 10 은 본 발명의 다른 실시예에 관한 에어나이프를 도시하는 단면도이다.
도 11 은 도 10에 도시하는 에어나이프를 사용한 경우의 건조작용을 도시하는 평면도이다.
도 12 는 본 발명의 제 4 실시예에 관한 건조처리장치의 에어나이프를 도시하는 정면도이다.
도 13 은 도 12에 도시하는 에어나이프의 측면도이다.
도 14 는 제 4 실시예에 관한 건조처리장치의 동작을 도시하는 도이다.
도 15 는 에어분출량, 분출각도 및 에어나이프 높이의 시간변화를 도시하는 그래프이다.
도 16 은 본 발명의 제 5 실시예에 관한 건조처리장치를 도시하는 평단면도이다.
도 17 은 도 16에 도시하는 건조처리장치의 측단면도 및 개념구성도이다.
도 18 은 도 16에 도시하는 건조처리장치의 정면도이다.
도 19 는 건조처리장치의 건조처리작용을 도시하는 측면도이다.
도 20 은 본 발명의 제 6 실시예에 관한 건조처리장치의 측단면도 및 개념구성도이다.
도 21 은 본 발명의 제 7 실시예에 관한 건조처리장치를 도시하는 측단면도 및 개념구성도이다.
도 22 는 상자형 부재의 사시도이다.
도 23 은 도 22에 도시하는 상자형 부재의 정면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
G : 유리기판 S : 광센서
Ga, Gb : 기판전단부 부근 및 후단부 부근의 영역
Gc : 기판의 Ga, Gb이외의 영역 A : 반송방향
α: 소정 각도 38, 138 : 반송롤러
40, 140, 190, 240 : 건조처리장치 50, 150 : 제어계
53a, 53b, 76a, 76b, 80, 153a, 153b : 에어나이프노즐
60, 160 : 블로팬 69 : 모터제어부
70 : 마이크 71 : 모터
83, 84, 85 : 밸브 87 : 고정구
88 : 축부재 90 : 모터제어부
91 : 상자형 부재 92 : 판부재
95, 96 : 모터

Claims (19)

  1. 기판을 소정방향으로 반송시키는 반송기구와,
    상기 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하고 기판에 부착된 액체를 제거하여 건조시키는 제 1 노즐과,
    상기 제 1 노즐로 에어를 공급하기 위한 블로팬과,
    상기 제 1 노즐로 공급되는 에어의 공급량을 계측하는 수단과,
    상기 계측수단에 의해 구해진 계측결과에 의거하여 상기 블로팬에 의해 공급되는 에어의 공급량을 조정하는 조정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  2. 기판을 소정의 방향으로 반송시키는 반송기구와,
    상기 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 1 노즐과,
    상기 제 1 노즐보다 기판 반송하류측으로 배치되고, 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하고 기판에 부착된 액체를 제거하여 건조시키는 제 2 노즐과,
    상기 제 1 노즐 및 상기 제 2 노즐로 에어를 공급하기 위한 블로팬과,
    상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐로 공급되는 에어의 공급량을 계측하는 수단과,
    상기 계측수단에 의해 구해진 계측결과에 의거하여 상기 블로팬에 의해 공급되는 에어의 공급량을 조정하는 조정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 노즐보다 반송상류측으로 설치되고, 적어도 상기 제1 노즐 및 제 2 노즐에서 분출된 에어를 상기 제거된 액체와 함께 배기하는 배기부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제 2 노즐보다 반송하류측으로 설치되고, 반송하류측에서 상류측을 향해 에어를 공급하는 팬필터유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  5. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐은 반송되는 기판의 표면측 및 이면측에 각각 두개씩 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  6. 기판을 소정방향으로 반송시키는 반송기구와,
    적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 1 영역과,
    상기 제 1 영역보다 하류측으로 설치되고, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 2 영역과,
    상기 제 1 영역내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 1 노즐과,
    상기 제 2 영역내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하고 기판에 부착된 액체를 제거하여 건조시키는 제 2 노즐과,
    상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐로 에어를 공급하기 위한 블로팬과,
    상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐로 공급되는 에어의 공급량을 계측하는 수단과,
    상기 계측수단에 의해 구해진 계측결과에 의거하여 상기 블로팬에 의해 공급되는 에어의 공급량을 조정하는 조정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제 2 영역보다 하류측에 설치되고, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 3 영역을 더 구비하고, 상기 제 1 노즐은 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이에 배치되고, 상기 제 2 노즐은 상기 제 2 영역과 상기 제 3 영역 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제 1 영역에서 제 3 영역을 향함에 따라서 기압을 높이는 기압조정수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 기압조정수단은,
    상기 제 1 영역에 배치되고, 적어도 상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐에서 분출된 에어를 상기 제거된 액체와 함께 배기하는 배기부와,
    제 3 영역에 배치되고, 상기 제 3 영역에서 상기 제 1 영역을 향해 에어를 공급하는 팬필터유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 팬필터유닛은 상기 블로팬으로부터의 에어를 주입하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  11. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 배기부에서 배기된 에어를 주입하고 이 에어에 혼합된 상기 액체를 제거함과 동시에 상기 제거된 에어를 상기 블로팬으로 공급하는 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  12. 기판을 소정방향으로 반송시키는 반송기구와,
    적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 1 영역과,
    상기 제 1 영역보다 하류측으로 설치되고, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 2 영역과,
    상기 제 1 영역 내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하여 기판에 부착 된 액체를 제거하고 건조시키는 제 1 노즐과,
    상기 제 1 노즐로 에어를 공급하기 위한 제 1 블로팬과,
    상기 제 2 영역내에서 반송되는 기판에 대해 에어를 분출하고 기판에 부착된 액체를 제거하고 건조시키는 제 2 노즐과,
    상기 제 2 노즐로 에어를 공급하기 위한 제 2 블로팬과,
    상기 제 1 블로팬과 제 2 블로팬에 의해 공급되는 에어의 공급량을 각각 별개로 조정하는 조정수단과,
    상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐로 공급되는 에어의 공급량을 계측하는 수단과,
    상기 계측수단에 의해 구해진 계측결과에 의거하여 상기 조정수단을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 조정수단에 의해 상기 제 1 노즐로부터의 에어공급량을 제 2 노즐로부터의 에어공급량보다도 많게 하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  14. 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
    상기 제 2 영역보다 하류측으로 설치되고, 적어도 상기 반송기구의 기판이 반송되는 공간을 덮는 제 3 영역을 더 구비하고,
    상기 제 1 노즐은 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이에 배치되고, 상기 제 2 노즐은 상기 제 2 영역과 상기 제 3 영역 사이에 배치되어 있는 것을 특징으 로 하는 기판건조장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 제 1 영역에서 제 3 영역을 향함에 따라 기압을 높이는 기압조정수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 기압조정수단은,
    상기 제 1 영역에 배치되고, 적어도 상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐에서 분출된 에어를 상기 제거된 액체와 함께 배기하는 배기부와,
    제 3 영역에 배치되고, 상기 제 3 영역에서 상기 제 1 영역을 향해 에어를 공급하는 팬필터유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 팬필터유닛은 상기 제 1 블로팬 및 제 2 블로팬으로부터의 에어를 주입하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  18. 청구항 16에 있어서,
    상기 배기부에서 배기된 에어를 주입하고 이 에어에 혼합된 상기 액체를 제거함과 동시에 상기 제거된 에어를 상기 제 1 블로팬 및 제 2 블로팬으로 공급하는 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  19. 청구항 6 내지 청구항 10, 청구항 12 및 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 노즐 및 제 2 노즐은 반송되는 기판의 표면측 및 이면측 각각 두개씩 구비하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
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