JP2005029360A5 - - Google Patents
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- 搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する電動式の送風ファンとを一体的に組み付けた送風ユニットを、搬送経路を搬送される前記板状体の下方に、前記板状体の搬送方向と搬送方向に直交する横幅方向とに並べて構成され、前記横幅方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより前記板状体の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所に前記板状体の下面に供給される清浄空気を下方に排気する通気路が形成されている板状体搬送装置。 - 前記通気路の排気量を調節可能な排気量調節手段が設けられている請求項1記載の板状体搬送装置。
- 前記送風式支持手段が、その上部側に位置されて前記板状体の下面に供給される清浄空気の整風を行う多孔板状体を備えて構成され、
前記多孔板状体が、前記通気路に通風させる通気部を備えて構成されている請求項1又は2記載の板状体搬送装置。 - 前記多孔板状体が、前記横幅方向に分割されて複数の板状部分で構成され、それら複数の板状部分が、前記横幅方向に隣接するもの同士を間隔を隔てて位置させて、前記通気部を形成するように構成され、
前記排気量調節手段が、前記多孔板状体における前記板状部分同士の間隔を調節することにより前記通気路の排気量を調節するように構成されている請求項3記載の板状体搬送装置 - 前記排気量調節手段が、前記通気部の開口量を調整する調節板を備えて構成されている請求項4記載の板状体搬送装置。
- 前記送風式支持手段が、前記送風ユニットを搬送方向に並べて構成され、前記搬送方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより、前記板状体の下面に供給される清浄空気を下方に排気する排風路が形成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の板状体搬送装置。
- 前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の一端側を接触支持する駆動回転体と、他端側を接触支持する従動回転体と、前記駆動回転体に対する駆動機構と、前記駆動機構の動力を従動回転体に伝達する伝達機構とを備えて、前記板状体の両端部を駆動回転体と従動回転体とにより接触支持しながら推進力を付与するように構成され、
前記伝達機構が、前記排風路に配備されている請求項6記載の板状体搬送装置。
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