JP2005067770A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物をわずかに傾けた略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
   前記推進力付与手段が、前記搬送物における前記搬送方向と直交する横幅方向の傾斜下方側となる一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されている搬送装置。
2. 前記搬送物における推進力が付与される一端側の側面に接当して、前記横幅方向に移動する搬送物を受け止める受け止め部が備えられ、
   前記送風式支持手段が、前記搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも前記横幅方向の他端側が上方に位置するようにわずかに傾けた略水平姿勢で支持するように構成されている請求項１記載の搬送装置。
3. 前記送風式支持手段が、前記搬送方向視にて、前記横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側に対応する側ほど下方に位置させるように設けて、前記搬送物を前記わずかに傾けた略水平姿勢で支持するように構成されている請求項２記載の搬送装置。
4. 前記送風式支持手段が、前記横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を、前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側より前記横幅方向の他端側の方が清浄空気を多く供給するように設けて、前記搬送物を前記わずかに傾けた略水平姿勢で支持するように構成されている請求項２記載の搬送装置。
5. 前記搬送物における前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側とは横幅方向において反対側の側面に接当して、前記搬送物の横幅方向への移動を規制する規制部が備えられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
6. 前記規制部が、前記横幅方向に位置調節可能に構成されている請求項５記載の搬送装置。
7. 前記推進力付与手段が、前記搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部を備えて構成されている請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
8. 前記駆動部が、前記受け止め部を備えて構成されている請求項７記載の搬送装置。
9. 前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の搬送装置。