CN101767720B - 输送装置 - Google Patents

Abstract

提供一种能够使推进力施加机构的构成变得简洁、并减轻推进力施加机构的重量的输送装置。备有：向输送物(2)的下表面供给清洁空气、以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支承输送物(2)的送风式支承机构(3)，和对受该送风式支承机构(3)支承的输送物(2)施加输送方向上的推进力的推进力施加机构(4)，使推进力施加机构(4)构成为，对输送物(2)的与输送方向正交的横宽方向的一端侧(2b)施加推进力的单侧驱动式。

Description

输送装置

技术领域

本发明涉及一种备有：向输送物的下表面供给清洁空气、以非接触状态支承上述输送物的送风式支承机构，和对受该送风式支承机构支承的上述输送物施加输送方向上的推进力的推进力施加机构的输送装置。

背景技术

这种输送装置，是用于输送液晶显示器用的玻璃基板等的输送物的装置，通过由推进力施加机构对由送风式支承机构以非接触状态支承的输送物施加推进力来输送输送物。

在以前的输送装置中，通过使推进力施加机构对与输送物的输送方向正交的横宽方向的两端侧施加推进力，使输送物以水平姿势或大致水平姿势得到输送(例如，参照特开2002-321820号公报)。此外，以前，在这种装置中，也有通过输送机构支承输送物为起立姿势的装置(例如，参照特开2002-308423号公报)。

在上述那样的输送装置中，在推进力施加机构中需要备有以下一对机构：对输送物的横宽方向上的一端侧施加推进力的机构和对横向方向上的与一端侧相反侧的另一端侧施加推进力的机构；或需要从该一对机构中的一个向另一个传递动力的机构，从而使推进力施加机构的构成变得复杂，推进力施加机构的重量变重。

本发明的目的在于，提供能够使推进力施加机构的构成变得简单、推进力施加机构的重量变轻的输送装置。

此外，在例如将液晶用的玻璃基板作为输送物输送的情况下，在裁断时使玻璃基板成为水平姿势比较容易进行裁断。另一方面，在检查伤痕或缺陷等时玻璃基板为起立姿势比较容易进行检查。因而，优选为包括：备有以水平姿势或大致水平姿势支承、输送玻璃基板的输送机构的水平输送装置，和备有以起立姿势支承、输送玻璃基板的输送机构的起立输送装置。即、如果一边通过水平输送装置的输送机构以水平姿势支承以水平状态被裁断的玻璃基板一边向输送方向输送，并将该被输送的水平姿势的玻璃基板从水平输送装置交接到起立输送装置，从而一边通过该起立输送装置的输送机构以起立姿势支承一边对被输送的玻璃基板进行检查，则裁断与检查两方面的作业都容易进行、比较方便。

并且，作为用于在水平输送装置的输送机构与起立输送装置的输送机构之间交接玻璃基板的输送装置，考虑有一边通过与受水平输送装置的输送机构支承的玻璃基板的侧部碰抵来限制位置偏移，一边以碰抵状态拾取下表面、并且改变该拾取后的玻璃基板的姿势、交接到起立输送装置的交接机构。但是，在这种构成的输送装置的情况下，将玻璃基板在水平输送装置的输送机构与起立输送装置的输送机构之间交接时，有可能容易损伤玻璃基板。

此外，在构成输送输送物的输送线时，如果能够切换为以水平姿势或大致水平姿势输送输送物的状态、和以起立姿势输送输送物的状态，则例如在输送较薄而容易破损的输送物时，形成以水平姿势或大致水平姿势输送输送物的状态，来抑制输送物的破损，此外，在输送较厚而结实的输送物时，形成以起立姿势输送输送物的状态，从而容易目视输送过程中的输送物等，成为能够获得以水平姿势或大致水平姿势输送输送物的优点和以起立姿势输送输送物的优点的构成，是较好的。

因而，本发明的第2目的在于，提供在构成能够切换为以水平姿势或大致水平姿势输送输送物的状态和以起立姿势输送输送物的状态的输送线时、能够方便地使用的输送装置。

此外，进一步的目的在于，提供能有效地进行一边在水平姿势或大致水平姿势与起立姿势之间改变输送物的姿势、一边输送的输送系统。

发明内容

本发明的输送装置，根据技术方案1的特征，是备有：向输送物的下表面供给清洁空气、以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支承上述输送物的送风式支承机构，和对由该送风式支承机构支承的上述输送物施加输送方向上的推进力的推进力施加机构的输送装置，

上述推进力施加机构为对上述输送物的与上述输送方向正交的横宽方向的一端侧施加推进力的单侧驱动式。

即、由于推进力施加机构构成为单侧驱动式而构成，所以只要是对一端侧施加推进力的构成就可以，而不需要对相反侧的另一端侧施加推进力。因而，达成了能够提供一种能够使推进力施加机构的构成变简洁、并减轻推进力施加机构的重量的输送装置。

根据技术方案2的特征，备有：碰抵在上述输送物的被施加推进力的一端侧的侧面上、用于阻挡在上述横宽方向上移动的输送物的阻挡部，

上述送风式支承机构，以上述横宽方向的另一端侧比受上述推进力施加机构施加推进力的一端侧位于上方的倾斜姿势支承上述输送物。

因此，输送物在输送物的自重作用下向斜下方被施加推进力而要沿着输送物的斜度移动，但通过阻挡部碰抵在输送物的侧面上能够限制该移动。

因而，由于能够通过阻挡部限制输送物向横宽方向的一侧移动、能够通过输送物的自重的作用使输送物向横宽方向的另一端侧的移动变得困难，所以在输送输送物时发生输送物向横宽方向偏移、倾斜等的可能性变小，能够平滑地输送输送物。

根据技术方案3的特征，上述送风式支承机构的清洁空气供给部配置为，在上述输送方向观察时、越与受上述推进力施加机构施加推进力的一端侧相对应的一侧越位于下方，从而以上述倾斜姿势支承上述输送物。

因而，由于能够不改变送风式支承机构的构成而以倾斜姿势支承输送物，所以能够提供容易做成以倾斜姿势支承输送物的构成的输送装置。

根据技术方案4的特征，上述送风式支承机构对上述横宽方向的另一端侧比对受上述推进力施加机构施加推进力的一端侧更多地供给清洁空气，从而以上述倾斜姿势支承上述输送物。

即、由于不需要改变送风式支承机构的姿势、并且几乎不改变送风式支承机构的构成、而能够将输送物支承为倾斜姿势，所以容易将送风装置改变为将输送物支承成倾斜姿势的构成。

根据技术方案5的特征，备有：碰抵在与上述输送物的受上述推进力施加机构施加推进力的一端侧在横宽方向上相反侧的侧面上、限制上述输送物向横宽方向移动的限制部。

由于通过限制部能够限制输送物向横宽方向的离开推进力施加机构的一侧移动，所以能够以更稳定的状态输送输送物。

根据技术方案6的特征，上述限制部构成为，能够在上述横宽方向上进行位置调节。

即、通过根据输送物的横宽方向的大小而对限制部在横宽方向上进行位置调节，消除了如下的情况：如果输送物的横宽方向上的大小变大、则限制部成为障碍而不能输送输送物，或如果输送物的横宽方向上的大小变小、则不能充分地在横宽方向上对输送物进行限制等，从而能够对横宽方向的大小不同的各种尺寸的输送物进行平滑地输送。

根据技术方案7的特征，上述推进力施加机构备有接触支承上述输送物的下表面并施加推进力的接触式的驱动部。

即、由于通过推进力施加机构的接触式的驱动部、一边支承输送物的下表面一边施加推进力，所以通过与送风式支承机构的联动来支承输送物、由此能够以更稳定的状态支承输送物，此外，由于在输送物的厚度方向的自重的作用下输送物的下表面被推压在驱动部上，所以增大了摩擦力，也能够可靠地进行对输送物施加推进力，能够平滑地输送输送物。

根据技术方案8的特征，上述驱动部备有上述阻挡部。

即、由于阻挡部装备在驱动部上，所以不需要另外设置阻挡部，能够不使输送装置的构成那么复杂化地装备阻挡部，此外，由于在输送物的厚度方向的自重的作用下输送物的下表面被推压在驱动部上、在输送物的横宽方向的自重的作用下输送物的侧面被推压在驱动部上，所以进一步增大了摩擦力，也能够更可靠地对输送物施加推进力，能够平滑地输送输送物。

根据技术方案9的特征，将送风单元在上述输送方向上排列而构成上述送风式支承机构，该送风单元一体地组装除去尘埃的除尘过滤器和通过该除尘过滤器向上述输送物的下表面供给清洁空气的送风机构。

因而，由于仅通过在输送物的输送方向上排列、装备将送风装置与除尘过滤器一体地组装的送风单元，就能够设置向被输送的输送物的下表面供给清洁空气、以非接触状态支承输送物的送风式支承机构，所以送风式支承机构的设置也变得简单。因而，能够提供可实现容易制造的输送装置。

进而，用于达成本发明的第2目的的输送装置，根据技术方案10的特征，是备有：对通过由送风式支承机构向输送物的下表面供给清洁空气而支承为非接触状态的输送物、通过推进力施加机构施加输送方向上的推进力而构成的输送机构的输送装置，上述输送机构可以改变为以水平姿势或大致水平姿势支承上述输送物的水平输送状态和以起立姿势支承输送物的起立输送状态。

即、在将输送机构改变为水平输送状态的状态下，能够一边通过送风式支承机构以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支承输送物、一边通过推进力施加机构施加输送方向上的推进力；在将输送机构改变为起立输送状态的状态下，能够一边通过送风式支承机构以起立姿势并以非接触状态支承输送物、一边通过推进力施加机构施加输送方向上的推进力。

因而，在构成了可在水平输送装置的输送机构和起立输送装置的输送机构之间交接输送物的输送系统的情况下，由于通过在该水平输送装置的输送机构和起立输送装置的输送机构之间的输送物的交接中使用技术方案1所述的输送装置(以下、为了与水平输送装置及起立输送装置区别而将技术方案1的输送装置称为姿势改变用输送装置)，在水平输送装置的输送机构与姿势改变用输送装置的输送机构之间输送输送物时、以及在起立输送装置的输送机构与姿势改变用输送装置的输送机构之间输送输送物时、以及在使输送物从水平姿势改变为起立姿势及从起立姿势向水平姿势改变姿势时，能够通过送风式支承机构以非接触状态支承输送物，所以在水平输送装置的输送机构和起立输送装置的输送机构之间交接输送物时能够降低损伤输送物的可能性。

此外，通过排列、装备多个姿势改变用输送装置、构成可在姿势改变用输送装置的输送机构彼此间交接的输送输送物的输送线，在例如输送较薄且易破损的输送物时，形成以水平姿势或大致水平姿势输送输送物的水平输送状态，来抑制输送物的破损；此外，在输送较厚且结实的输送物时，形成以起立姿势输送输送物的起立输送状态，从而在输送过程中容易目视输送物等，能够得到以水平姿势或大致水平姿势输送输送物的优点和以起立姿势输送输送物的优点。

因而，在构成以水平姿势或大致水平姿势输送输送物后改变为起立姿势输送等、一边改变输送物的姿势一边输送的输送系统时，以及在构成能够切换为以水平姿势或大致水平姿势输送输送物的状态和以起立姿势输送输送物的状态的输送线时，达成了可以得到能够提供可方便地使用的输送装置的输送装置。

根据技术方案11的特征，上述输送机构通过围绕沿着上述输送方向的横轴芯的摆动，能够改变为上述水平输送状态和上述起立输送状态。

由此，能够谋求可将输送机构改变为水平姿势状态和起立姿势状态的构成的简洁化。

根据技术方案12的特征，在将上述输送机构从上述水平输送状态改变为上述起立输送状态时，上述送风式支承机构减少向上述输送物的下表面供给的清洁空气量。

由于与水平状态相比、起立姿势情况下送风式支承机构对输送物的支承力较小就足够了，所以如果通过送风式支承机构向起立姿势的输送物的下表面供给与向水平姿势的输送物的下表面供给的量等量的正常空气，则输送物过度上浮，在以起立姿势输送输送物的情况下有可能使其向与送风式支承机构的存在侧的相反侧翻转、或在用盖板覆盖输送物的上方的情况下有可能接触到该盖板。

所以，通过随着输送机构从水平输送状态改变姿势为起立输送状态、使送风式支承机构向输送物的下表面供给清洁空气的供给量减少，能够降低对输送物的支承力，能够对输送物供给适应其姿势的清洁空气的供给量，在使输送机构成为起立输送状态时，能够消除输送物向与送风式支承机构存在侧的相反侧翻转、或与其它物体接触的可能性。

根据技术方案13的特征，上述推进力施加机构为备有对上述输送物的下表面的与上述输送方向正交的横宽方向的一端侧接触支承、并施加推进力的接触式的驱动部的单侧驱动式。

即、作为推进力施加机构，只要是对输送物的横宽方向的一端侧施加推进力的构成就可以，由于不需要对上述一端侧的横宽方向上的相反侧的另一端侧施加推进力，所以能够谋求构成的简洁化及轻量化。

此外，由于通过推进力施加机构的接触式的驱动部一边支承输送物的下表面一边施加推进力，所以通过由与送风式支承机构的协同来支承输送物、能够以更稳定的状态支承输送物，此外，由于在输送物的厚度方向的自重的作用下输送物的下表面被推压在驱动部上，所以增大了摩擦力、也能够可靠地对输送物施加推进力，能够平滑地输送输送物。

根据技术方案14的特征，备有：碰抵在对上述输送物施加推进力的一端侧的侧面上、在上述水平输送状态下限制上述输送物向上述横宽方向移动、在上述起立输送状态下支承上述输送物的限制支承部，

上述送风式支承机构，在上述水平输送状态下、以上述横宽方向的另一端侧比受上述推进力施加机构施加推进力的一端侧位于上方的倾斜姿势支承上述输送物。

即、在输送机构为水平输送状态下，由于以横宽方向的另一端侧比施加推进力的一端侧位于上方的倾斜姿势进行支承，所以虽然输送物在其自重的作用下向斜下方被施加推进力而要沿着输送物的斜度移动，但通过限制支承部碰抵在输送物的侧面上能够限制该移动。此外，在输送机构为起立输送状态下，能够利用限制支承部来支承起立姿势的输送物。由此，能够通过部件的多用途化而使构成简洁化。

根据技术方案15的特征，将送风单元在上述输送方向上排列而构成上述送风式支承机构，该送风单元一体地组装了除去尘埃的除尘过滤器和通过该除尘过滤器向上述输送物的下表面供给清洁空气的送风机构。

即、由于仅通过将送风机构与除尘过滤器一体地组装的送风单元在输送物的输送方向上排列配置、就能够设置向被输送的输送物的下表面供给清洁空气并以非接触状态支承输送物的送风式支承机构，所以送风式支承机构的设置也变得简单，因而，能够提供可容易制造的输送装置。

根据技术方案16的特征，上述送风式支承机构构成为，备有：允许通过了上述除尘过滤器的清洁空气通过、进而阻止异物向上述除尘过滤器一侧落下而进行遮蔽的遮蔽体，

上述遮蔽体构成为，备有：允许通过了上述除尘过滤器的清洁空气通过的多孔体，和位置比该多孔体靠上述除尘过滤器一侧的过滤器。

即、由于备有允许通过了除尘过滤器的清洁空气通过、并阻止异物向除尘过滤器落下的遮蔽体，所以通过该遮蔽体的多孔体能够阻止较大的异物向除尘过滤器一侧落下、从而能够防止除尘过滤器的破损，此外，通过遮蔽体的过滤器能够阻止较小的异物向除尘过滤器一侧落下。进而，在将玻璃基板作为输送物输送的情况下，为了对该被输送的玻璃基板进行伤痕或缺陷等的检查而要求输送装置的输送面、即与被输送的玻璃基板的下表面对置的面为黑色，但通过使遮蔽体为黑色能够容易地使输送面为黑色。

根据技术方案17的特征，在上述输送机构的输送上游侧或输送下游侧，设有以水平或起立姿势输送输送物、并在与该输送机构之间输送输送物的输送姿势固定型的输送装置。

因而，由于在水平输送装置的输送机构与起立输送装置的输送机构之间交接输送物时能够抑制损伤输送物的可能性，所以达成了能够提供可良好地进行一边将输送物的姿势在水平姿势或大致水平姿势与起立姿势之间改变一边输送的输送系统。

附图说明

图1是实施方式1的板状体输送装置的立体图。

图2是实施方式1的输送单元的正面剖视图。

图3是实施方式1的输送单元的正面剖视的部分放大图。

图4是实施方式1的输送单元的正面剖视的部分放大图。

图5是实施方式1的输送单元的侧面剖视图。

图6是实施方式1的输送单元的俯视图。

图7是实施方式1的存放框的侧面剖视图。

图8是实施方式1的推进力施加机构的正面剖视图。

图9是实施方式1的推进力施加机构的侧面剖视图。

图10是实施方式2的输送单元的正面剖视图。

图11是实施方式2的输送单元的正面剖视的部分放大图。

图12是实施方式2的输送单元的俯视图。

图13是实施方式2的输送单元的俯视图。

图14是实施方式3的输送单元的正面剖视图。

图15是实施方式3的以倾斜姿势支承玻璃基板的作用图。

图16是实施方式4的输送系统的立体图。

图17是实施方式4的姿势改变用输送单元的立体图。

图18是实施方式4的姿势改变用输送单元的后视图。

图19是实施方式4的姿势改变用输送单元的部分放大图。

图20是实施方式4的姿势改变用输送单元的侧视图。

图21是实施方式4的姿势改变用输送单元的俯视图。

图22是实施方式4的推进力施加机构的侧视图。

图23是实施方式4的推进力施加机构的后视图。

图24是实施方式4的推进力施加机构的部分放大图。

图25是表示实施方式4的调风板的图

图26是表示实施方式4的姿势改变用输送机构的水平输送状态和起立输送状态的图。

图27是表示实施方式4的将玻璃基板从水平输送单元移载到姿势改变用输送单元上的状态的图。

图28是表示实施方式4的将玻璃基板从姿势改变用输送单元移载到起立输送单元上的状态的图。

图29是实施方式4的输送系统的控制方块图。

图30是实施方式4的输送系统的流程图。

图31是改变了实施方式4的姿势改变用输送机构的横轴芯位置的状态的图。

图32是其它实施方式的输送单元的正面剖视图。

图33是其它实施方式的输送单元的正面剖视的部分放大图。

具体实施方式

下面，基于附图说明使用玻璃基板2作为输送物的一例的本发明的实施例。以下说明了多个实施方式，但将多个实施方式中所公示的特征组合，只要不发生矛盾，也包含在本发明的范围中。

【实施方式1】

如图1所示，在输送装置H中，上下2级的输送单元1沿着玻璃基板2的输送方向排列。为了将位于输送方向上游侧的输送单元1所移载的玻璃基板2输送到位于下游侧的输送单元1，一边用送风式支承机构3对其支承，一边通过推进力施加机构4施加推进力。将玻璃基板2从别的地方向位于上游侧的输送单元1的移载、及从位于下游侧的输送单元1向别的地方的移载，是通过未图示的装置来进行的。此外，在上下2级的输送单元中，上游侧的单元能够围绕沿着输送方向的横轴芯P摆动。

上侧的输送单元1和下侧的输送单元1上的输送方向，既可以是同方向也可以是反方向，可以根据需要而改变。即、例如，使上侧的输送单元1与下侧的输送单元1的输送方向为同方向，能够在上侧的输送单元1和下侧的输送单元1中进行相同的工序。此外，使下侧的输送单元1为与上侧的输送单元1的输送方向的反方向，在通过上侧的输送单元1输送的玻璃基板2为不合格的情况下，能够通过下侧的输送单元1将其返回到输送源等。

如图2、图3所示，各输送单元1分别备有：向玻璃基板2的下表面2a供给清洁空气、以大致水平姿势将玻璃基板2支承为非接触状态的送风式支承机构3，对玻璃基板2施加输送方向的推进力的推进力施加机构4，和存放这些送风式支承机构3及推进力施加机构4的箱体7。并且，推进力施加机构4为对与输送方向正交的横宽方向的一端侧施加推进力的单侧驱动式。以下，将该一端侧称为推进侧2b。

如图2所示，上述箱体7备有：支承送风式支承机构3、俯视为大致长方形的单元用框体9，在单元用框体9的横宽方向的一端侧上沿着输送方向装备的存放框8，在与存放框8相反侧沿着输送方向延伸的箱侧壁10，和从存放框8的上端部到箱侧壁10的上端部而装备的输送盖板20。如图4所示，上述存放框8构成为，在输送方向观察为方筒状。该方筒的2个侧面由与单元用框体9相连的内壁8a和可开闭的存放盖板8c构成。由单元用框体9、存放框8、箱侧壁10和输送盖板20形成输送空间A。进而，在存放框8内形成存放空间B。上述单元用框体9，由具有框部件的支承框部分9a，和位置比该支承框部分9a靠下方、形成有将外部空气导入到输送空间A内的空气导入口11的板状的板状框部分9b构成。在存放框8的下壁8b上，备有将存放空间B的空气向外部排出的外部排出口21，并且备有在将该外部排出口21闭塞的状态下具有送风功能和除尘功能的辅助送风单元23。通过该辅助送风单元23将存放空间B内的空气向外部排出。

如图2所示，上述箱体7以在输送方向观察、越靠备有存放框8的一侧越位于下方的方式受倾斜用支承部件19支承为倾斜状态。并且，通过使箱体7以倾斜状态得到支承，送风式支承机构3也以倾斜状态受单元用框体9支承。在图2中，为使输送单元1的斜度易于明了，将包含送风式支承机构3的输送单元1整体倾斜5°而图示，但在实施本发明时，输送单元的斜度为0.5°左右较小的斜度就可以。

上述输送空间A及上述存放空间B，通过在输送方向上排列设置的上游侧的输送单元1和下游侧的输送单元1而相互连通。在位于输送装置H的最上游侧的输送单元1中，输送空间A及存放空间B的上游侧端部通过未图示的闭塞部件闭塞。在位于最下游侧的输送单元1中，输送空间A及存放空间B的下游侧端部通过未图示的闭塞部件闭塞。从而，输送空间A通过单元用框体9、上述存放框8的内壁8a、输送盖板20、和闭塞部件形成为大致密闭状态，存放空间B通过存放框8和闭塞部件形成为大致密闭状态。

如图2所示，上述送风式支承机构3设于输送空间A中，是将风扇过滤器单元14在输送方向及正交于输送方向的横宽方向上排列而构成的，该风扇过滤器单元14一体地组装了除去尘埃的除尘过滤器12、和通过该除尘过滤器12向玻璃基板2的下表面供给清洁空气的送风风扇13。送风风扇13是送风机构的优选的一例。并且，如图6所示，在横宽方向上排列了2个的风扇过滤器单元14在输送方向上排列3列，在送风式支承机构3中备有共计6个风扇过滤器单元14。

如果更详细地描述上述送风式支承机构3，则如图3、图4所示，上述风扇过滤器单元14是将1个送风风扇13和覆盖该1个送风风扇13的上方的1个除尘过滤器12一体地组装而构成的。位于该风扇过滤器单元14的上部侧、而作为对向上述玻璃基板2的下表面2a所供给的清洁空气进行调风的清洁空气供给部的调风板15，如图1、图6所示，装备成覆盖6个风扇过滤器单元14的上方。即、送风式支承机构3由6个风扇过滤器单元14和1个调风板15构成。送风风扇13由电动马达驱动。在调风板15上，在位于风扇过滤器单元的正上方的地方备有通过冲压(punching press)形成的通气孔15a。在此，所谓调风，是指将空气遍及较大范围地均匀分配。此外，送风式支承机构3所备有的6个送风风扇构成为，以相同的旋转速度进行驱动，送风式支承机构3构成为，通过调风板15向玻璃基板2的下表面2a所供给的清洁空气的量在输送方向和横宽方向上都供给大致等量的清洁空气。

并且，如上述那样，由于上述输送单元1以在输送方向观察、越备有存放框8的一侧越位于下方的倾斜状态被支承，所以该输送单元1的送风式支承机构3设置为，在输送方向观察、越与玻璃基板2的推进侧2b相对应的一侧越位于下方。由此，如图2～图4所示，沿横宽方向设置在送风式支承机构3上的调风板15也同样地倾斜。

接着，说明上述推进力施加机构4。如图2所示，对上述玻璃基板2施加推进力的推进力施加机构4构成为对玻璃基板2的推进侧2b施加推进力的单侧驱动式。在推进力施加机构4上备有接触支承玻璃基板2的下表面2a、作为施加推进力的驱动部的驱动辊24。并且，在该驱动辊24上，如图4、图9所示，备有碰抵在玻璃基板2的推进侧2b的侧面上、作为向横宽方向移动的玻璃基板2的阻挡部的大径部24a。

推进力施加机构4，如图4、图8、图9、图10所示，备有：电动马达25，备有与该电动马达25的输出齿轮啮合的正齿轮28的传动轴27，和备有与传动轴27上装备的输出齿轮29啮合的输入齿轮30的多个输出轴26。电动马达25及传动轴27配备在上述存放空间B内，上述输出轴26以分别向存放空间B一侧及输送空间A一侧突出的状态旋转自如地支承在上述内壁8a上。在输出轴26的突出到存放空间B的部分上备有上述输入齿轮30，在输出轴26的突出到输送空间A中的部分上备有上述驱动辊24。

因而，从送风风扇13的下方吸入的空气，在送风风扇13的作用下，通过除尘过滤器12、经由调风板15的通气孔15a，被作为清洁空气提供给玻璃基板2的下表面2a。通过该供给的清洁空气支承玻璃基板2的下表面2a的大致整个区域。此外，推进力施加机构4，玻璃基板2的推进侧2b的下表面受驱动辊24接触支承。并且，通过驱动辊24由电动马达25驱动旋转，由此对玻璃基板2的推进侧2b施加朝向输送方向的推进力，来输送玻璃基板2。

在输送方向和横宽方向上都从调风板15向玻璃基板2的下表面2a供给大致等量的清洁空气，玻璃基板2相对于调风板15有一定的间隔地被支承。由此，由于调风板15被设置为越与玻璃基板2的推进侧2b相对应的一侧越位于下方，所以玻璃基板2也以倾斜成另一端侧2c比推进侧2b位于上方的姿势得到支承。另外，该倾斜姿势的玻璃基板2为0.5°左右的斜度，包含在大致水平姿势中。

因而，玻璃基板2通过以倾斜姿势得到支承，虽然在玻璃基板2的自重的作用下要向备有推进力施加机构4的一侧移动，但该玻璃基板2的移动通过与驱动辊24的大径部24a碰抵而被限制。此外，由于玻璃基板2在玻璃基板2的自重的作用下向另一侧移动变得困难，所以在输送结束时停止玻璃基板时等，能够防止玻璃基板在横宽方向上偏移、或相对于输送方向姿势变得倾斜。此外，由于在玻璃基板2的自重的作用下玻璃基板2被推压在驱动辊24上，能够在驱动辊空转可能性较小的状态下输送玻璃基板2。也可以代替在驱动辊24上设置大径部24a，而利用以下说明的如图23所示的机构。

【实施方式2】

在上述实施方式1中，通过送风式支承机构3以倾斜姿势支承玻璃基板2，并通过在驱动辊24上备有大径部24a，防止了玻璃基板2向横宽方向移动，但也可以构成为，防止由送风式支承机构3以水平姿势支承的玻璃基板2向横宽方向的移动。另外，对与实施方式1同样地构成的部分，附以与实施方式1相同的标记，省略说明。

如图10所示，箱体7在输送方向观察时、通过水平用支承部件37支承为水平状态，受该箱体7支承的送风式支承机构3也以水平姿势被支承。因而，调风板15也以水平姿势设置。

由此，在输送方向上和横宽方向上都从调风板15向玻璃基板2的下表面2a供给大致等量的清洁空气，玻璃基板2相对于调风板15有一定的间隔地被支承。由此，由于调风板15设置为水平状态，所以玻璃基板2以水平姿势被支承。

并且，在输送空间A中，备有碰抵在与玻璃基板2的推进侧2b在横宽方向上相反侧的另一端侧2c的侧面上、而作为对玻璃基板2的向横宽方向的移动的限制部的多个限制辊33。该限制辊33分别可以在上述横宽方向上进行位置调节。

接着，说明上述限制辊33的位置调节构造。如图11所示，上述限制辊33支承为围绕设于辊支承框34上的纵轴芯旋转自如。该辊支承框34通过受单元用框体9支承的电动式马达35在横宽方向上滑动移动自如地构成。因而，通过由马达35使辊支承框34在横宽方向上滑动移动，限制辊33构成为可在横宽方向上进行位置调节。并且，在送风式支承机构3上，在对应辊支承框34的纵框部34a的地方形成有凹入部3a，以使上述辊支承框34与送风式支承机构3不干涉。

因而，由于玻璃基板2的向横宽方向的一侧的移动被驱动辊24的大径部24a限制，玻璃基板2的向横宽方向的另一端侧的移动受限制辊33限制，所以在输送结束时使玻璃基板2停止时等，能够防止玻璃基板2在横宽方向上偏移或相对于输送方向姿势发生倾斜。

并且，如图12、图13所示，通过调节限制辊33的横宽方向上的位置、使驱动辊24的大径部24a与限制辊33的间隔与玻璃基板2的横宽方向的大小一致，消除了被输送的玻璃基板2旋转、或向横宽方向偏移，能够受限于玻璃基板2的横宽方向的大小而平滑地输送。

【实施方式3】

在上述实施方式1中，构成为，在输送方向观察时、将送风式支承机构3支承为倾斜姿势，将清洁空气供给部设置为越与玻璃基板2的另一端侧2c相对应的一侧越位于上方的倾斜姿势，而以倾斜姿势支承玻璃基板2；但也可以构成为，将调风板15设置为，与受上述推进力施加机构4施加推进力的推进侧2b相比，向上述横宽方向的另一端侧2c更多地供给清洁空气，以上述倾斜姿势支承玻璃基板2。另外，对于与实施方式1同样地构成者，赋以与实施方式1相同的标记，省略说明。

即、如图14所示，上述箱体7在输送方向观察时，受水平用支承部件37支承为水平状态，通过箱体7以水平状态被支承，送风式支承机构3也以水平姿势被支承在单元用框体9上。因而，沿着横宽方向设置在送风式支承机构3上的调风板15，在输送方向观察时、也设置为水平姿势。即、将包含送风式支承机构3的整个输送单元1装备为水平状态。

构成为，在送风式支承机构3上备有的6个送风风扇13中，与位于在横宽方向上备有推进力施加机构4一侧的3个送风风扇13相比，位于相反侧的3个送风风扇13以较快的旋转速度驱动、使得送风量变多。并且，调风板15设置为，在输送方向观察时、相对于在横宽方向上排列的2个送风风扇13隔开相同的间隔。即构成为，送风式支承机构3设置为横宽方向的另一端侧2c比上述推进侧2b更多地供给清洁空气，以倾斜姿势支承玻璃基板2。

总而言之，如图15所示，通过对玻璃基板2的另一端侧2c比对推进侧2b更多地供给清洁空气、使玻璃基板2的另一端侧2c比推进侧2b更高地浮起，使得玻璃基板2成为倾斜姿势。

因而，与实施方式1同样，由于玻璃基板2的向横宽方向的一侧的移动被驱动辊24的大径部24a限制，在玻璃基板2的自重的作用下玻璃基板2的向横宽方向的另一端侧的移动变得困难，所以在输送结束时使玻璃基板2停止时等，能够防止玻璃基板2在横宽方向上偏移或相对于输送方向姿势发生倾斜等。此外，由于在玻璃基板2的自重的作用下、玻璃基板2被推压在驱动辊24上，所以能够以驱动辊24的空转可能性较小的状态输送玻璃基板2。

【实施方式4】

下面基于附图针对将液晶用的玻璃板作为输送物输送的输送系统说明第4实施方式。关于与第1实施方式相同的部件，使用相同的参照标记，省略说明。

如图16所示，在输送系统H中设有：以起立姿势输送玻璃基板2的起立输送单元1C，设于该起立输送单元1C的输送上游侧和输送下游侧两侧的、以大致水平姿势输送玻璃基板2的水平输送单元1B，和在水平输送单元1B与起立输送单元1C之间交接玻璃基板2的姿势改变用输送单元1A。

即、姿势改变用输送单元1A的输送机构6a(以下称为姿势改变用输送机构6a)构成为，能够改变为以大致水平姿势支承玻璃基板2的水平输送状态、和以起立姿势支承玻璃基板2的起立输送状态。如果将其改变为水平输送状态，则能够在与水平输送单元1B之间相互输送大致水平姿势的玻璃基板2。此外，如果将姿势改变用输送机构6a改变为起立输送状态，则能够在与起立输送单元1C之间相互输送起立姿势的玻璃基板2。在起立输送单元1C的横侧，形成了对由起立输送单元1C输送的起立姿势的玻璃基板2的损伤或裂纹等进行检查的检查区域F。

即、构成有能够改变为以大致水平姿势支承玻璃基板2的水平输送状态、和以起立姿势支承玻璃基板2的起立输送状态的姿势改变用输送机构6a的输送装置是姿势改变用输送单元1A，以大致水平姿势支承玻璃基板2的输送姿势固定型的输送装置是水平输送单元1B，以起立姿势支承玻璃基板2的输送姿势固定型的输送装置是起立输送单元1C。

此外，如图29所示，在输送系统H中还备有：指示输送系统H的运转开始、运转停止及输送停止的人为操作式的运转切换开关S，及根据来自该运转切换开关S的指示、来控制这些姿势改变用输送单元1A、水平输送单元1B、起立输送单元1C的运转的控制装置E。

下面对姿势改变用单元1A进行说明。

如图17～图19所示，姿势改变用单元1A由上述姿势改变用输送机构6a、和对其支承的支承框体5构成。并且，姿势改变用输送机构6a，通过位于横宽方向的一端侧、并围绕沿着输送方向的横轴芯P摆动，从而连结支承在上述支承框体5上，以能改变为以大致水平姿势支承玻璃基板2的水平输送状态、和以起立姿势支承玻璃基板2的起立输送状态。

在姿势改变用输送机构6a中，与第1实施方式的装置同样，备有：向玻璃基板2的下表面2a供给清洁空气、以大致水平姿势并以非接触状态支承玻璃基板2的送风式支承机构3，对由该送风式支承机构3所支承的玻璃基板2施加输送方向上的推进力的推进力施加机构4，和存放这些送风式支承机构3及推进力施加机构4的箱体7。并且，推进力施加机构4构成为仅对与输送方向正交的横宽方向的一端侧施加推进力的单侧驱动式。以下，将该与玻璃基板2的输送方向正交的横宽方向的一端侧称为推进侧2b。此外，如图27、28所示，在玻璃基板2的输送线路上备有检测玻璃基板2是否存在的存在物传感器T。该存在物传感器T如果通过受光部没有接收到投光部传来的光，则检测为在输送线路上存在玻璃基板2，如果通过受光部接收到来自投光部的光，则检测为在移动线路上不存在玻璃基板2。另外，存在物传感器T，其数量或设置部位可以根据需要改变，只要能够检测到姿势改变用输送机构6a上是否存在整个玻璃基板2就可以。

上述箱体7、存放框8、存放空间A及B分别如图18和图19所示，实际上与第1实施方式中的相同。

如图19、图23所示，在存放框8的内壁8a上备有作为限制支承部的限制支承辊17，该限制支承辊17碰抵在玻璃基板2的推进侧2b的侧面上，在姿势改变用输送机构6a为水平输送状态下限制玻璃基板2向横宽方向的移动、在姿势改变用输送机构6a为起立输送状态下支承玻璃基板2，该限制支承辊17绕着稍倾斜的纵轴芯旋转自如地构成。

上述送风式支承机构3与第1实施方式中的构造大致相同，但在本实施方式中，如图18、图20、图21所示，将在横宽方向上排列的2个风扇过滤器单元14在输送方向上排列2列，在送风式支承机构3上备有共计4个风扇过滤器单元14。并且，在横宽方向上排列的2个送风式支承机构3构成为能够分别地改变清洁空气的供给量，例如相对于存在推进力施加机构4的一侧的送风式支承机构3、使不存在推进力施加机构4的一侧的送风式支承机构3的送风量较多。

位于风扇过滤器14的上部侧、作为允许通过了除尘过滤器12的清洁空气通过、并阻止异物向除尘过滤器12一侧落下而进行遮蔽的遮蔽体的调风板15，如图17、图21所示，以覆盖4个风扇过滤器14的上方的方式装备。即、送风式支承机构3由4个风扇过滤器单元14和1个调风板15构成。并且，送风风扇13受装备在其上的电动马达13a驱动旋转。

如图25所示，本实施方式的调风板15构成为，备有允许通过了除尘过滤器12的清洁空气通过的多孔体42，和多个位置比该多孔体42靠除尘过滤器12一侧的如图25(B)或图25(C)所示那样的过滤器43。多孔体42通过冲孔而形成多个通气孔42a，过滤器43以夹在同样构成的2片多孔体42之间的状态、且将突起部43a嵌合到上侧的多孔体42的一个通气孔42a中而以防止向横向产生位置偏移的状态进行设置。

接着，本实施方式的推进力施加机构4，如图19、图22～图24所示，推进力施加机构4构成为，备有作为接触支承玻璃基板2的下表面2a的推进侧2b并施加推进力的接触式的驱动部的驱动辊24的单侧驱动式，与实施方式1所公开的大致相同。

接着，说明姿势改变用输送机构6a改变姿势为水平输送状态和起立输送状态的构成。如图26(A)、图26(B)所示，在支承框体5上备有电动式的摆动用压力缸45，将该摆动用压力缸45的前端连结到姿势改变用输送机构6a的箱体7上，并通过该摆动用压力缸45伸缩，而构成为，可以将姿势改变用输送机构6a的姿势改变为，如图26(A)所示那样的、在输送方向观察时、越靠备有存放框8的一侧越位于下方的稍微倾斜的水平输送状态，和如图26(B)所示那样的、在输送方向观察时、从垂直姿势向水平输送状态一侧稍微倾斜的起立输送状态。该摆动用压力缸45是以前就有的装置，有油压压力缸、或空气压力缸。也可以代替摆动用压力缸45，而装备具有与有齿轮的电动马达啮合的齿的杆来作为驱动器。

即、通过使姿势改变用输送机构6a成为水平输送状态，送风式支承机构3成为大致水平状态，受该送风式支承机构3支承的玻璃基板2以大致水平姿势被支承。此外，通过使姿势改变用输送机构6a成为起立输送状态，送风式支承机构3也成为起立状态，受该送风式支承机构3支承的玻璃基板2以起立姿势被支承。

并且，构成为，随着使姿势改变用输送机构6a从水平输送状态向起立输送状态改变姿势、从而姿势改变用输送机构6a的角度变大，通过上述控制装置E使由送风式支承机构3向玻璃基板2的下表面2a供给的清洁空气的量减少。此外，构成为，随着使姿势改变用输送机构6a从起立输送状态向水平输送状态改变姿势、从而姿势改变用输送机构6a的角度变小，通过上述控制装置E使由送风式支承机构3向玻璃基板2的下表面2a供给的清洁空气的量增大。

因而，在水平输送状态下，由送风式支承机构3向玻璃基板2的下表面2a的大致整个区域供给较多量的清洁空气，而以稳定的状态使玻璃基板2得到支承；在起立输送状态下，由送风式支承机构3向玻璃基板2的下表面2a的大致整个区域供给较少量的清洁空气，能够使玻璃基板2不过度浮起地得到支承。

如果说明玻璃基板2的输送，则在水平输送状态和起立输送状态下都通过送风式支承机构3支承玻璃基板2的下表面的大致整个面，并且，通过推进力施加机构4，由驱动辊24接触支承玻璃基板2的推进侧2b的下表面2a。进而，即使在从水平输送状态向起立输送状态或从起立输送状态向水平输送状态改变的途中，也能够通过送风式支承机构3以非接触状态支承输送物。

并且，通过由电动马达25驱动驱动辊24旋转，对推进侧2b施加朝向输送方向的推进力，来输送玻璃基板2。

此外，在水平输送状态和起立输送状态下，玻璃基板2都利用送风式支承机构3而以倾斜姿势得到支承，在玻璃基板2的自重的作用下、要向横宽方向上成为倾斜下方侧的备有推进力施加机构4的一侧移动，但该玻璃基板2的移动被上述限制支承辊17阻挡。因而，由于玻璃基板2的向横宽方向的一侧的移动被限制支承辊17限制、玻璃基板2在玻璃基板2的自重的作用下而难以移动向横宽方向的另一端侧，所以在输送结束时使玻璃基板2制动时等，能够防止玻璃基板2在横宽方向上偏移或相对于输送方向姿势发生倾斜等。

通过将姿势改变用输送单元1A的姿势改变用输送机构6a改变为水平输送状态，如图27所示，能够在与设置在该姿势改变用输送单元1A的输送上游侧或输送下游侧的水平输送单元1B之间输送玻璃基板2。此外，通过将姿势改变用输送单元1A的姿势改变用输送机构6a改变为起立输送状态，如图28所示，能够在与设置在该姿势改变用输送单元1A的输送上游侧或输送下游侧的起立输送单元1C之间输送玻璃基板2。

如果对水平输送单元1B及起立输送单元1C进行说明，则水平输送单元1B构成为，水平输送机构6b在以输送方向观察时、越靠备有存放框8的一侧越位于下方的稍微倾斜的水平输送状态固定在水平用支承框体37上的状态下得到支承；起立输送单元1C构成为，倾斜用输送机构6c在以输送方向观察时、从垂直姿势稍微向水平输送状态侧倾斜的起立输送状态固定的状态下得到支承。另外，姿势改变用输送机构6a和水平输送机构6b以及起立输送机构6c使用同样构成的输送机构而构成，在姿势改变用输送机构6a上设有存在物传感器T。

接着对上述控制装置E进行说明。如图29所示，控制装置E构成为，基于来自运转切换开关S的指示，对输送系统H进行运转开始、运转停止及输送停止的控制。即、如果从运转切换开关S指示运转开始，则控制装置E在各个姿势改变用输送单元1A、水平输送单元1B、起立输送单元1C中，分别使送风式支承机构3、辅助送风单元23、推进力施加机构4动作，使输送系统H的运转开始。此外，如果从运转切换开关S指示运转停止，则控制装置E在各个姿势改变用输送单元1A、水平输送单元1B、起立输送单元1C中，分别使送风式支承机构3、辅助送风单元23、推进力施加机构4的动作停止，使输送系统H的运转停止。并且，如果从运转切换开关S指示输送停止，则控制装置E在各个姿势改变用输送单元1A、水平输送单元1B、起立输送单元1C中，在维持着送风式支承机构3的动作的状态下使推进力施加机构4停止，使输送系统H停止玻璃基板2的输送。

此外，控制装置E构成为，在从运转切换开关S指示运转开始的状态下，基于上述存在物传感器T的检测结果，在姿势改变用输送单元1A中，改变送风式支承机构3的清洁空气的供给量、或使推进力施加机构4开始动作以及使动作停止、或使摆动用压力缸45伸缩动作，在水平输送单元1B及起立输送单元1C中，使推进力施加机构4开始动作及使动作停止等。

另外，送风式支承机构3的清洁空气的供给量的改变，是通过改变送风风扇13的电动马达13a的驱动速度来进行的。

通过开始输送系统H的运转，玻璃基板2被从输送上游侧的水平输送单元1B依次移载、输送到输送下游侧的水平输送单元1B上。并且，如果进一步输送玻璃基板2，则从输送下游侧的水平输送单元1B移载到水平输送状态的姿势改变用输送单元1A上。

下面，基于图30所示的流程图说明在通过运转切换开关S指示运转开始、而开始了输送系统H的运转的状态下，控制装置E对姿势改变用输送单元1A的控制动作。另外，对从水平输送单元1B经由姿势改变用输送单元1A输送到起立输送单元1C上的情况进行说明，而对于从起立输送单元1C经由姿势改变用输送单元1A输送到水平输送单元1B上的情况则省略说明。

如果将玻璃基板2从水平输送单元1B输送到姿势改变用输送单元1A上，存在物传感器T若成为检测到玻璃基板2的整体移载到姿势改变用输送单元1A上的检测状态，则使姿势改变用输送单元1A的推进力施加机构4的动作停止。然后，为使姿势改变用输送机构6a的状态成为起立输送状态，而使摆动用压力缸45伸长动作并减少送风式支承机构3的清洁空气的供给量。

如果姿势改变用输送机构6a成为起立输送状态，则在起立输送单元1C的推进力施加机构4动作的状态下使姿势改变用输送单元1A的推进力施加机构4动作，将玻璃基板2从姿势改变用输送单元1A输送到起立输送单元1C上。接着，如果在姿势改变用输送单元1A改变为起立输送状态以后的姿势改变用输送单元1A的推进力施加机构4所动作的时间，超过了为将整个玻璃基板2从姿势改变用输送单元1A移载到起立输送单元1C上所需的规定时间，则为使姿势改变用输送机构6a的状态成为水平输送状态，而使摆动用压力缸45缩短动作并增大送风式支承机构3的清洁空气的供给量。

另外，如果姿势改变用输送机构6a为水平输送状态的状态以外、通过未图示的水平输送单元1B的检测机构检测到后面的玻璃基板2被输送过来，则将该玻璃基板2输送到接近于姿势改变用输送单元1A之前为止的位置上，将水平输送单元1B的推进力施加机构4的动作停止，如果姿势改变用输送机构6a改变为水平输送状态的状态，则再次开始水平输送单元1B的推进力施加机构4的动作。

【其它实施方式】

(1)在上述实施方式1中，在输送方向观察时、为了将送风式支承机构支承为倾斜姿势而使整个输送单元成为倾斜姿势，但也可以如图16所示，构成为，通过水平式支承部件37支承箱体7使其成为水平姿势，使送风式支承机构3以倾斜姿势支承在该箱体7的单元用框体9上。

(2)在上述实施方式1～3中，由多个驱动辊构成了驱动部，但也可以由同步带等的环形带状体构成。另外，在由环形带状体构成驱动部的情况下，也可以在环形带状体的作用面上沿着长度方向形成一连串的突起部，将该突起部作为对在横宽方向上移动的输送物的阻挡部。

(3)在上述实施方式2中，由多个限制辊构成了限制部，但也可以由旋转自如的环形带状体构成，此外，也可以使限制部可向横宽方向改变位置地支承在箱体上。即、例如，由限制辊构成限制部，在使该限制辊支承在箱体的箱侧壁上的情况下，也可以如图33所示，使电动压力缸40支承在固定于箱侧壁10上的支承框39上，使限制辊33旋转自如地支承在该电动压力缸40的前端部上。

(4)在上述实施方式中，例示了将除尘过滤器和送风机构一体地进行了组装的送风单元，但不一定需要将除尘过滤器和送风风扇一体地安装，也可以设置将由送风风扇送来的空气导引到除尘过滤器中的导引通路等、将除尘过滤器和送风风扇由分别单独构成来实施。

(5)在上述实施方式1及3中，将清洁空气供给部倾斜了0.5°，但也可以对应成为对象的输送物等、比该角度大或小地倾斜。另外，在图2、图3、图4、图8、图16中，为了使清洁空气供给部15的斜度容易明了，倾斜5°来图示。

(6)在上述实施方式4中，使用姿势改变用输送单元1A在姿势改变用输送单元1A与起立输送用输送单元1B之间传递玻璃基板2而构成了输送系统H，但也可以构成为仅备有姿势改变用输送单元1A的输送线。

即、也可以将多个姿势改变用输送单元1A在输送方向上排列而构成输送线，例如在输送较薄而易破损的输送物时，形成将输送物以水平姿势或大致水平姿势输送的水平输送状态，来抑制输送物的破损，此外，在输送较厚而结实的输送物时，形成将输送物以起立状态输送的起立输送状态，从而容易目视输送途中的输送物。

(7)在如上述其它实施方式(6)那样构成的情况下，也可以构成为，使姿势改变用输送机构6a的状态能够改变为加上水平输送状态与起立输送状态之间的倾斜输送状态的3级以上。

(8)在上述实施方式4中，使姿势改变用输送机构6a的摆动轴芯P位于横宽方向的一端侧，但并不限于横宽方向的一端侧。即、也可以使姿势改变用输送机构6a的摆动轴芯P如图31(A)所示那样位于横宽方向的中央部，或者如图31(B)所示那样位于从姿势改变用输送机构6a向下方较远地离开的地方。通过这样构成，能够改变起立输送状态时的高度或改变前后位置。

此外，也可以将姿势改变用输送机构6a的摆动轴芯P在前后装备多个、或在上下装备多个而使其使用灵活性较好。

(9)在上述实施方式4中，由多个将除尘过滤器12和送风风扇13一体地组装的风扇过滤器单元14构成了送风式支承机构3，但也可以将除尘过滤器12与送风风扇13作为分体单独组装而构成，从而构成送风式支承机构。

(10)在上述实施方式4中，由多个驱动辊24构成了驱动部，但也可以由同步带等的环形带状体构成驱动部。

(11)在上述所有的实施方式中，以液晶用的玻璃基板作为输送物，但也可以是半导体晶片等，输送物的形状或大小并不限定于实施方式。

Claims (7)

1.一种输送装置，是备有：对通过由送风式支承机构向输送物的下表面供给清洁空气而支承为非接触状态的输送物、通过推进力施加机构施加输送方向上的推进力而构成的输送机构的输送装置，其特征在于，

上述输送机构可以改变为以水平姿势或大致水平姿势支承上述输送物的水平输送状态和以起立姿势支承输送物的起立输送状态，

在将上述输送机构从上述水平输送状态改变为上述起立输送状态时，使上述送风式支承机构减少向上述输送物的下表面供给的清洁空气量，在将上述输送机构从上述起立输送状态改变为上述水平输送状态时，使上述送风式支承机构增大向上述输送物的下表面供给的清洁空气量，

送风单元在上述输送方向上排列而构成上述送风式支承机构，

上述送风单元一体地组装了除去尘埃的除尘过滤器和通过该除尘过滤器向上述输送物的下表面供给清洁空气的送风风扇，上述除尘过滤器覆盖上述送风风扇的上方。

2.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述输送机构通过围绕沿着上述输送方向的横轴芯的摆动，能够改变为上述水平输送状态和上述起立输送状态。

3.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述推进力施加机构为备有对上述输送物的下表面的与上述输送方向正交的横宽方向的一端侧接触支承、并施加推进力的接触式的驱动部的单侧驱动式。

4.如权利要求3所述的输送装置，其特征在于，

备有：碰抵在对上述输送物施加推进力的一端侧的侧面上、在上述水平输送状态下限制上述输送物向上述横宽方向移动、在上述起立输送状态下支承上述输送物的限制支承部，

上述送风式支承机构，在上述水平输送状态下、以上述横宽方向的另一端侧比受上述推进力施加机构施加推进力的一端侧位于上方的倾斜姿势支承上述输送物。

5.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述送风式支承机构构成为，备有：允许通过了上述除尘过滤器的清洁空气通过、并且阻止异物向上述除尘过滤器一侧落下而进行遮蔽的遮蔽体，

上述遮蔽体构成为，备有：允许通过了上述除尘过滤器的清洁空气通过的多孔体，和位置比该多孔体靠上述除尘过滤器一侧的过滤器。

6.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述推进力施加机构具有多个辊，上述输送机构处于上述水平输送状态时，所述多个辊通过与所述输送物的推进侧的下表面接触施加推进力。

7.一种输送系统，是备有权利要求1～5中任一项所述的输送装置的输送系统，

其特征在于，在上述输送机构的输送上游侧或输送下游侧设有：以水平或起立姿势输送输送物、并在与该输送机构之间输送输送物的输送姿势固定型的输送装置。

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