TWI295658B - Transporting apparatus - Google Patents

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1295658 九、發明說明： 【發明所屬之技術甸織 發明領域 本發明係有關-種運送裝置，包含 供給清淨空氣’且在非接觸狀態 :下面 式支持機構；及用以對前述送風式2迷運达物之送風 1支持機構所支持之前诚 運送物賦與往運送方向之推進力之__力㈣。 【先前技術】 發明背景 10 15 20 如此的運找㈣心運送供液晶顯示㈣ =之運送物者，並藉由賦與推進力機構對由送風式= Γ非接觸狀態支持之運送物賦與推進力以搬送運= =:送裝置中，係藉賦與推進力機 ^運适方向直交之橫向方向之兩端側賦 安勢或大略水平錢⑽料送物 ，以水平 公報特開输3細號）。又，以往^考此如的日本專利公開 亦古—，、 在如此的運送裝置申 错由運送機構將運送物支持成起立姿勢者， 公開公報特開2002-308423號）。 > σ曰 t ,务明内容j 發明概要 發明欲解決之課題 在前述之運送裝置中，賦與推進力機構必 月運送物之橫向之一端側賦與推進力之機構、以及季入對 1295658 端側之橫向相反之相反側的另_端細與推進力之機構， 並且需要可用由該-對機構之射-者傳達動力到另-者 之機構，使得賦與推進力機構之構成複雜化 ，且賦與推進 力機構之重量很重。 5 10 15 本發明之目的即在於提供一種可使賦與推進力機構之 構成簡單化’並可減輕賦與推進力機構之重量的運送裝置。 又，例如在搬送運送物為液晶用玻璃基板時，要剪斷 夺使破璃基板王水平姿勢係比較容易進行的。但是，在 ^教損或缺角等檢查時，使玻璃基板呈起立姿勢係比較 谷易進行的。因此’宜設置一具有可以水平姿勢或起立姿 勢支持且運送朗基板之運送機構之水平料裝置，及一 具有可以起立姿勢支持且運送玻璃基板之運送機構之起立 ，运裝置。即，若是可藉水平運送裝置之運送機構以水平 、勢支持在水平狀悲下为斷之玻璃基板，同時往運送方向 運运’亚且將料叙水平姿狀玻璃基板由水平運送裝 置傳达到起立運送裝置，然後由該起立運送裝置之運送機 構以起立姿勢支持並運送之玻璃基板，並對運送之玻璃基 =進行檢查的話，則可輕易進行剪斷及檢查兩方作業且相 當便利。 而且’用於在水平運送裝置之運送機構與起立運送裝 置之運达機構之間傳送玻璃基板之運送裝置，可以押成是 :種與由水平魏裝置之運送㈣所支持之麵基板之^ 德接且限触置偏移，並在抵接其玻璃基板下面之狀能 下捧取’而且變更該所捧取之玻璃基板之姿勢，然後傳: 1295658 到起立運送裝置之機構。可是，如此構成之運送裝置在水 平運送裝置之運送機構與起立運送裝置之運送機構之間= 送玻璃基板時，玻璃基板容易損傷。 曰 5 15 又，在構成用以搬送運送物之運送線時，若作成可士 換成以水平姿勢或大略水平姿勢搬送運送物之狀熊、、刀 以起立姿勢搬送運送物之狀態，可為具有可以水;姿 大略水平姿勢搬送運送物之優點及以起立姿勢搬送運送^ 之優點者，例如，運送薄且容易破損之運送物時，可使之 為以水平姿勢或大略水平姿勢運送之狀態，抑制運送H 破損，又，在運送厚且堅固之運送物時，使之為以起立次 勢搬送運送物之狀態，«看到運送途巾之運送物等等Γ 因此’本發明之第2目的在於提供—構成可切換成以水 平姿勢或大略水平姿勢搬送運送物之狀態及 送運送物讀紅料線時，可制使狀運钱置文料 —又’進-步之目的係可有效率地在水平姿勢或大略 平文勢及起立妥勢之間變更運送物之姿勢且運送之運送系 解決課題之方法 、、，根據本發明之運送裝置之第1項特徵，其係包含有··〜 、、：、式支持機構’係用以朝運送物之下面供給清淨， =水=勢或大略水平姿勢在非接觸狀態下支持前述運 ，-Η與推進力機構，制 =持之前述運送物_運送方向之推:力= J _進力機構係對前述運送物之與前述運送方向直 20 1295658 交之橫向之一端側賦與推進力之單側驅動式者。 、即’由㈣與推進力機構係構成為單侧驅動式， 可為對-端側賦與推進力之構成，不需要對相反 端側賦與推進力。因此，可捭板一、、 力 ;mu# ”種將賦與推進力機構之 構成間早化且可減輕賦與推進力機構之重量的運送 根據第2項之特徵，更包含有一擒止部，該揚止部 述運送物之被賦與推進力之—端側的側面抵接止朝 钭财i别述迗風式支持機構係以傾 10 15

It 另一端側的位置高於可藉前述賦與推進力 機構賦與推進力之-端_姿勢來鳩前述運送物。 ^此，雖然運送物會因為運送物本身的重量而於斜下 抵1於與推進力而沿運送物之傾斜移動，但可藉由擋止部 -；運送物的側面來加以限制。 因此可H由擋止部纽_送物純向之—方側移 之另二運送物也因為運送物本身的重量，而很難往橫向 往;^端側移動’因此在搬送運送物時，就可減少運送物 偏離、傾斜之可能性，而可糊地搬送運送物。 =第3奴特徵，前魏風式域機構之清淨空氣供 於可置成、，以前述運送方向視之時，其位置低於對應 側，^述賦與推進力機構藏與推進力之-端側之對應 ，=此以前述之傾斜姿勢支持前述運送物。 傾斜姿Li於可在不變更送風式支持機構之構成下，以 支採心支運达物，因此’可提供一種可輕易將運送物 、成傾斜姿勢之構成之運送裝置。 20 1295658 根據第4項之特徵，前述送風式支持機構係對前述橫向 之另一端側供給之清淨空氣多於可藉前述賦與推進力機構 賦與推進力之一端側，藉此可以前述傾斜姿勢來支持前述 運送物。 5 即，不需要變更送風式支持機構之姿勢，又，幾乎不 變更送風式支持機構之構成，而可將運送物支持成傾斜姿 勢，因此可容易將送風裝置變更為將運送物支持成傾斜姿 勢之構成。 根據第5項之特徵，更具有一限制部，該限制部係抵接 10 於在橫向上與前述運送物之受前述賦與推進力機構賦與推 進力之一端側相反之側面，以限制前述運送物朝橫向之移 動者。 藉由限制部，可限制運送物在橫向之偏離賦與推進力 機構之側移動，因此可在更安定之狀態下搬送運送物。 15 根據第6項之特徵，前述限制部係構成為可在前述橫向 上調整位置者。 即，可因應運送物之橫向上的大小，來調節限制部在 橫向上的位置，藉此，當運送物在橫向之大小增大時，限 制部不會有所妨礙而不能搬送運送物，或者當運送物在橫 20 向之大小縮小時，不會發生限制部與運送物之側面的間隔 變大而無法充分地限制運送物往橫向之移動的情況，而可 順利地運送橫向大小不同之各種運送物。 根據第7項之特徵，前述賦與推進力機構具有一可接觸 支持前述運送物之下面並賦與推進力之接觸式驅動部。 1295658 運JL藉由賦與推進力機構中的接觸式驅動部，可支持 運运物的下面__鄕進力卩了支持 5 10 15 持機構的合作來支持運送物，而可在更風式支 運送物，X，由於運送物的下面因運 悲下支持 之重量而_於轉部上而提高摩 身在厚度方向 送物賦與推進力，而可順利地搬送運送物可更確實地對運 、據第8項之射^，喊_部設有前 止部，又* 不會那麼複雜化而可具有檔 σ又，由於運送物的下面因運祕本身 :量而壓附於驅動部上而提高摩擦力，可更確實:二 賦與推進力，而可順利地搬送運送物。 ^ 排列2= 項之特徵，前述送風式支持機構係將送風單元 除去塵Γ 向上而構成者，且該送風單元係由用以 、矣之除塵m錢崎鎌㈣ 送物之下面供給清淨空氣之送風機構-體^而Γ 因此，由於可設置-僅藉將送風裝置與除_哭 、、且裝而成之送風單元排列設置於運送物之運 體 朝運送之運送物的下面供給清淨 、°上’可 持運送物之送風式支持機構，因此送風式支持下支 間單。因此，可提供-種可達到製作容易化之運适裝置又置 進一步，根據第刺之特徵，本發明可達 運送農置係包含有一運送機構者， 目的之 賦與推進力機構，對藉由送風式支持機 20 1295658 供給清淨空氣而支持成非接觸狀態之運 向之推進力。 ㈣’靖與運送方 運、^在運送機構業已變更為水平運送狀態之狀 運运物係以水平姿勢或大略水平姿勢由$ ^下 5非接觸狀態下支持，並由賦與推進 2式支持機構在 之推進力，且，在運送機難已變更立財運送方向 送物係以起立姿勢由送風式支持機= :: = 因次，在構成-可在水平運送裝在置^方向之推進力。 10運送h之運送機構之_送運送物 ^機構與起立 水平運送裝置之運送機構與起立運送裝置^系統中，在其 傳送運送物時，使用幻項之運送襄置、^運送機構之間 I運送裝置與起立運送裝置，將第1項之運逆裝2區別水 交更用運送裝置），藉此，在水平 、私為安勢 5勢變更用運送裝置之運送裝置、置之運送機構與姿 立運送裝置之運送機構與姿衣勢置運=時，或在起 之間運送時，以及谨、、，私丄 運k衣置之運送機構 20

起立姿勢變更為水平次水平安勢變更為起立姿勢及由 觸狀態下支=1時，可由送風式支持機構在非接 送機構鱼起立運、壯 此’可減少在水平運送裝置之運 運送物損傷之=置之運送機構之間傳送運送物時，使 勢變更又用=1置置多2固、姿勢變更用運送裝置，構成可在姿 送線，藉此，可為機構群之間傳送搬送運送物之運 “’、-有以水平姿勢或大略水平姿勢搬送 11 1295658 $达物=優點、及以起立姿勢搬送運送物之優點者，例如 運运紅Μ破損之運送物時，使運送物為以水平姿勢 =大略水平錢運送之水平運送狀態，可抑㈣送物之破 5 10 15 20 次執、害、、'在運运後且堅固之運送物時，使運送物為以起立 =等。狀起立運送狀態，可容易看到運送途中之運送物 因此’可提供_種如以水平姿勢或大略水平姿勢搬 ==:可變更騎立姿勢運送之可變更運送物之姿勢 或大略二或者在構^切換成以水平姿勢 物之狀態之運送線0送物之狀態及以起立姿勢搬送運送 —’可便利使用之運送裳置。 根據弟11項之特徵，前述運送機構 運送方向之橫轴芯的摇動而可變更 ;二:述 前述起立運送狀態。 財水+運达狀態與 藉此，達到運送機構可變更為水 勢狀態之構叙簡單化。 文勢“與起立姿 根據第12項之特徵，前述送風式 — 送機構由前述水平運送狀態變更成前述起与^前述運 減少朝前述運送物下面供給之清淨空氣之量運讀態時， 达風式支持機構對於運送物之 小於水平狀態且可完成者，因此，若逆2立姿勢下係 立姿勢之運送物的下面供給之正常空氣η:支持機構對起 運送物的下面供給之量相同，運送物”起=平姿勢之 立姿勢搬送運送物時，可能會在與送風式支持:構::： 12 I295658 p相反之相反側反轉，並在以蓋覆蓋運送物之 接觸到前述蓋。 " 在此’隨者運送機構由水平運送狀態變更為起立運送 5 =送風式支持機構朝運送物下面供給之清淨供 給置減少，藉此可幾少對運送物之支持力，並且可對運送 J供勢之清淨空氣之量’可消除運送機構為起立 =狀㈣，運送物會在與送風式域蘭之存在側相反 相反側反轉並與他物接觸之可能性。 10 十居Γ據第13項之特徵，前述賦與推進力機構係具有接觸 動部之單側驅動式者，且該接觸式驅動部係接觸支持 :在:直一的： 二:進橫向中之-端側 15 貝對與則：4-端财橫向上 ::另-端側賦與推進力’因此可達到構成之簡單化： ❿ 又，藉由賦與推進力機構之接觸式驅動部 =的下面並賦與推進力，因此可藉由與 = 的合作來支持運送物，而可在更安 ^機構 20物，又，由於谨详舲从 狀心、下支持運送 旦而r 、、下面因運送物本身在厚度方向之重 罝而麼附於驅動部上而提高摩擦力，可更確 賦與推進力，而可順觀搬送運送物。n 、運达物 根據弟14項之特徵，更且有一 支持部係抵接於可對前述奴物賦與=者’該限制 疋刀之一端側之側 13 ^5658 %不十連送狀態下限制 移動，並在前述起立運送狀態下支持;;=物往孤述橫向 述送風式支持機構在前述水平運逆狀:下物二且，前 之另-端側高於可藉前勒^ ，#、呈《橫向 5端侧之傾斜姿勢來支持前述運送物力機構賦與推進力之— 即，由於運送物在水平 之另-端側之位置高於職與傾斜成橫向 持，因此，物相為本身之p 狀*勢受支 10 15 20 進力且沿著運送物之傾斜來移動，下方被賦與推 接於運送物之側面而可—疋错由限制支持部抵 ::_下，二 物因此，可利用構件之善田儿 文势之運迗 板據第15項之特徵=而使構成簡單化。 元排列於錢運送方6 持機構係將送風單 埃之除塵過遽器广=二3送風翠元係由用以除去塵 ^過則迷除塵過減哭 之下r?:r淨空氣二送風機構一體《而成運送物 成之送几:°又x僅精將送風機構與除塵攄器-體”而 成之思風早元排列設置於 體、、且衣而 送之運送物的下面供給清淨t方向上，而可朝運 運送物之送風式支持機構^此—、、,在非接觸狀態下支持 變簡:：:==作 «，該遮_:許===構係、具有-遮 的通過，進-步，遮 一物彺則述除塵過濾 14 1295658 器側落下’且前述遮㈣係具有：由可允許通過前述除塵 滤器之清淨空氣通過之纽體、及相對於該纽體較靠近 鈾述除塵濾器側之濾器。 5 10 即，由於設有一可允許通過除塵濾器之清淨空氣的通 過’且可阻止異物朝除塵濾器落下之遮蔽體，因此可阻止 該遮蔽體中大於多孔體之異物朝除塵濾器侧落下，而可防 止除塵濾㈣破損’又，可阻止舰財持絲之異物 朝除錢器側落下。進-步，在搬送運送物為玻璃基板時， 為了進灯知之麵基板之破損或缺肖之檢查，運送裝置 之運送面即與運送之玻璃基板的下面相向之面係要求為 黑色’但㈣令遮蔽體為黑色，運送面則容易為黑色。 15 置 、根據弟17項之特徵，係於前述運送機構之運送上游側 或運达下⑯側&有以水平或起立姿勢搬料送物，並且可 在該運送機構之間搬送運送物之運送姿勢D定型之運送裝 罢。 因此，在水平運送裝置之運送機構與起立運送裝置之 運送機構之間傳送運送物時，可抑制使運送物受損，因此 可提供可在水平姿勢或大略水平姿勢及起立姿勢之間變更 運送物之姿勢，並良好地運送之運送系統。 20【實施冷式】 較佳實施例之詳細說明 以下’根據圖式說明使用玻璃基板2作為運送物之例之 本發明的實施例。以下說明複數實施形態，但只要組合複 數實施形態中揭示之特徵不會產生矛盾，皆包含於本發明 15 1295658 之範圍。 〔實施形態1〕 如第1圖所示，運送裝置Η中，上下2段之 運送單元1係 並列於玻喊似的料Μ ^了將㈣運料 之運 面由 :!”元1所移載之玻填基板2,運送到位於下游側 达早兀卜則以送風式支持機構3 一面 賦與推進力麟4賦與錢力。 、二田 游側夕、W、、，4 、 圾禹基板2由他處往位於上 ③早兀之移載、或由位於下游側之運送單元後 10 他处之移載，係藉由未圖示之裝置進行。又，上下 =元中，上側之單元係可環繞沿著運送方向之橫轴^ W 下側之運送單元1之運送方向可為 ^向或者逆向，可視需要而變更。也就是說，例如，令上 15 20 ==單""與下侧之運送單元1之運送方向為同向1 η 1之運达早兀1與下側之運送單元1進行相同的工 又、下狀料單幻之運送方向與上敵運 1之運送方向為逆向，則甚 璃基板2例，可由τ側之運^=^所運送之玻 χ外 j疋連达早兀1運回運送來源處。 美板=下2、3圖所示，運送單元1皆分別具有：用以朝玻璃 板2支持A面2峨給清衫4，且以大略特絲將玻璃基 =支=為非接觸狀態之送風式支持機構3;對玻璃基板2賦 向之推進力之賦與推進力機構4;及用以收納該等 J支持機構3及賦與推進力機構4之殼體7。而且 推進力機構4係一對與運送方向直交之橫向之-端側賦與 16 1295658 推進力之單側驅動式。以下，則將該一端側稱為推進側邡。 如第2圖所示，前述殼體7具有··用以支持送風式支持 機構3，且以平視視之係呈大略長方形之單元用框體9 ;於 單元用框體9之橫向之一端側，沿運送方向設置之收納框 5 10 15 20 8 ;位於與收納框8相反之相反側，朝運送方向延伸之殼體 側壁10;及由收納框8之上端部到殼體側壁1〇之上端部設置 之運送蓋20。如第4圖所示，前述收納框8以運送方向視之 係呈角筒狀。其角筒之2個側面係由與單元用框體9連結之

内壁8a及可開閉之收納蓋8c所構成。由單元用框體9、收納 框8、殼體侧壁10以及運送蓋2〇形成運送空間a。進一步， 於收納框8内形成收納空間b。前述單元用框體9係由具有框 體構件之支持框部分9a、及位於該支持框部分％下方，且 形成將外Μ氣導人運送空^内之空氣導人川之板狀 的板狀框部分％所構成。在收納框8之下壁沾設有用以將收 納空間B之空氣排出到外部之外部排出明，並且設有在該

外部排出口 21閉塞之狀態下，具有送風機能齡塵機能之 -人运風4^23。藉由該錢風單元23，_空_内之空氣 可朝外部排出。 第2圖所示，前述殼體7係由傾斜用支持構件Μ支持成 叫送方向視之，低於具有收_8之側之傾斜狀態，。且， ^殼體7在傾斜狀態下受切，送風式支持機構3亦可以 皮單元用框體9所支持。第2圖中，為了要容易理 解=早元1之傾斜度，將含有送風式支持機構3之運送單 兀王體傾斜5來圖示，但實施本發明時，運送單元i之傾 17 1295658 5 10 15 斜度些微傾斜0.5。左右即可。 則迷運适空間纽前述收納空間B在並列設置於運送 通二之二t側之運运單元1與下游侧之運送單元1係互相連 ;的。在運送裝置H中位於最上游侧之運送單元！中，運送 ^及收納空間以上游側端部係被未圖示之閉塞構件 所阻基。位於最下游側運 空間此下_物姆目物以及收納 W係被未圖不之閉塞構件所阻塞。因此， 以間A由單元用框體9、前述收納框8之内物、運送甚 2〇、及閉塞構件形成—密閉狀態，而收納則係由收納 框8及閉塞構件形成一大略密閉狀態。 如第2圖所示，前述送風式支持機構3係設置於運送空 •，且將_㈣單元14_在魏方向及與該運送方向 直又之t、向上㈣性〉絲單元係由用以除去塵埃之除塵 過渡器12及通過該除塵過濾㈣朝玻璃基板2之下面供給 清淨空氣之送風扇13所-體組合而成。送風扇⑽適合送 風機構之-例。而且’如第6圖所示，2個排列於橫向上之 扇形慮1§早7014係在運送方向上排列成3列，而送風式支持 機構3總共設有6個扇形濾器單元14。

20 進-步詳述前述送風式支持機構3，如第3圖、第4圖所 示’前述扇形濾器單元14係由i個送風扇13、及覆蓋前述】 個送風扇13的上方之！個除塵渡器12_體組合而構成。又， 位於該扇祕H單元U之上糊且作為清淨空氣供給部之 整風板15係進行供給到前述玻璃基板2之下面2 a之清淨空 氣之整風’亚如第1圖、第6圖戶斤示，係構成為覆蓋於6個扇 18 1295658 增器單iU4之上方。也就是說，送風式支持機構3係由6 固扇形濾器單元個整風板15所構成。送風扇13係由電 =馬達所驅動。整風板15於扇形濾器單^之正上方的位置 5叹置有由衝壓機(PunchinS Press)所形成之通氣孔15a。在 此，所謂整風係指空氣通過大範圍後均一分配之意。又， =置於送風式支持機構3之6個送風扇係構成為以相同旋轉 f度驅動，而送風式支持構件3則係構成為將通過整風板15 供給到玻璃基板2之下面2a之清淨空氣之量，不論在運送方 向或橫向上都係供給大略等量之清淨空氣。 1〇 而且，如前所述，由於前述運送單元1係在以運送方向 視之時，低於具有收納框8之側的傾斜狀態下受支持，因 此忒運迗單疋1之送風式支持機構3係設置成以運送方向 視之時，低於對應於玻璃基板2之推進侧沙之側。因此，如 第4圖所示，於送風式支持機構3沿橫向設置之整風板 15 也會同樣嫡斜。 其次，說明前述賦與推進力機構4。如第2圖所示，對 Η述玻璃基板2賦與推進力之賦與推進力機構錄構成為， 對玻璃基板2之推進側办賦與推進力之單側驅動式。賦與推 進力機構4係具有-作為驅動部之驅動滾軸％，係用以接觸 20支持玻璃基板2之下面2a且賦與推進力。而且，如第4、9圖 所不’雜動滾軸24具有一大徑部⑽，其係抵接於玻璃基 板2之推進側2b，且作為朝橫向移動之玻璃基板2之擔止部。 如第4、8、9、1〇圖所示，賦與推進力機構4包含有： 電動馬達25、具有與該電動馬達25之輸出歯輪咬合之平齒 19 1295658 車28之傳動軸27、及具有設置於傳動軸27之輸出齒輪29咬 合之輸入齒輪30之多數輸出軸26。而且，電動馬達25及傳 動軸27係配設於前述收納空間B内，前述輸出軸26係在分別 突出於收納空間B側及運送空間A側之狀態下，旋轉自如且 5 受前述内壁8a支持。突出於輸出轴26之收納空間B之部分設 有前述輸入齒輪30,而突出於輸出軸26之運送空間A之部分 則設有前述驅動滾軸24。 因此，由送風扇13之下方所吸引之空氣係藉由送風扇 13，通過除塵濾器12，並通過整風板15之通氣孔15a而作為 10 w淨玉氣’然後供給到玻璃基板2之下面2a。玻璃基板2之 下面2a之大略全域係藉由該供給之清淨空氣而支持。又， 藉由賦與推進力機構4，玻璃基板2之推進側沘的下面可受 驅動滾軸24接觸支持。而且，藉由電動馬達25驅動旋轉驅 動滾軸24，可對玻璃基板2之推進側2b賦與朝運送方向之推 15 進力來運送玻璃基板2。 又，不論是在運送方向或者是橫向，皆係由整風板。 將大略等量之清淨空氣供給到玻璃基板2之下面2a，且玻螭 基板2係對整風板15保持大略一定之間隔而受支持。因此， 由於整風板15係設置成低於對應於玻璃基板2之推進側办 2〇之侧，因此玻璃基板2也以在傾斜成另一端側2〇高於推進側 2b之姿勢下受支持。再者，·斜姿勢之玻璃基板2係僅傾 斜〇.5左右，包含於大略水平姿勢。 因此，藉玻璃基板2在傾斜之姿勢下受支持，會因為 相基板2自身之重1而朝設有賦與推進力機構4之側移動， 20 1295658 但是該玻璃基板2之移動可藉與驅動滾軸24之大徑部24a的 抵接而受到限制。又，由於玻璃基板2往另—端側之移動合 因士為玻璃基板2自身之重量而變得難以移動，因此運送絲 時，可防止諸如停止破璃基板時，玻璃基板會往橫向偏離， 5或者朝^送方向之姿勢歪斜之情況。又，因為玻璃基板2自 身之重ϊ，玻ί离基板2會壓附於驅動滾軸24，因此可在驅動 滾軸24空轉之可能性小的狀態下運送玻璃基板2。又，亦可 利用如下說明之第23圖所示之機構來取代在驅動滾軸24設 置大徑部24a。 10 15 20 〔實施形態2〕 上述實施形態1中，係藉送風式支持機構3以傾斜之姿 勢支持玻璃基板2’並於驅動滾軸24設有大徑部24a，藉此 防止玻璃基板2朝橫向移動，但在以下的構成，亦可構成為 可防止由姐式支持機構3以水平㈣所支持之玻璃基板a 朝橫向移動。又，與實施形態冰同構成的部分則賦予與實 施形態1相同之標號，並省略說明。 /、、 如第10圖所示，殼體7以運送方向視之時，係由水平用 支持構件37支持成水平狀態，支持於殼體7之送風式支持機 構3亦以水平㈣切。因此’整風板15切水平姿勢設置。 且玻璃基板2

因此’無論是在運送方向或橫向上，皆可由整風 X 板朝 玻璃基板2之下面供給大略等量之清淨空氣， 可與整風板15保持一定的間隔且被支持。 又1運送空.設置有多數作為限制部之限制滾轴 、係抵接於與玻璃基板2之推進側化在橫向上相反之相 21 1295658 反側之另一端側2C之側面，且限制玻璃基板2朝樺向之移 動。該限制滾軸33個別可在前述橫向上調節位置。 其次，說明前述限制滾軸33之位置調節構造。如第u 圖所示，前述限制滾軸33係可環繞設置於滾軸支持框从之 5縱轴芯旋轉自如且被支持。該滾軸支持框34係藉支持於單 元用框體9之電動式馬達35而構成可在橫向上自由滑動。因 此，藉由利用馬達35使滾軸支持體34在橫向上滑動，限制 滾轴33可在橫向上調節位置。而且，送風式支持機構3在對 應於滾軸支持框34之之縱框部34a之處形成有凹入部如，以 10使刖述滾軸支持框34與送風式支持機構3不會互為干涉。 因此，玻璃基板2往橫向之一方側的移自會受到驅動滾 軸24之大徑部2如所限制，而玻璃基板2往橫向之另一端側 的移動會受限制滾軸33所限制，故可在運送結束時，防止 諸如使玻璃基板2停止時，玻璃基板2會朝橫向偏離，或者 15朝運送方向之姿勢傾斜。 接著’如第12、13圖所示，藉由調節限制滾軸％在橫 向之位置，且使驅動滾軸24之大徑部24a與限制滾轴33之間 的間隔與玻喊板2之橫向的大小相符，則運送之玻璃基板 2不會旋轉且朝橫向偏離，並且不會受玻璃基板2之橫向大 小的限制而可順利地運送。 〔實施形態3〕 W述實施形態1中，亦可構成為以運送方向視之時，送 =式支持機構3係支持成傾斜姿勢，並將清淨空氣供給部設 置成對應於玻璃基板2之另—端側2c之側位於上方之傾斜 22 !295658 姿勢 且以傾斜姿勢支持玻璃基板， ϋι^ λ ^ 〇 7正凤板15係設置成 /、11之另一端側2c之供給空氣多於由 W述賦與推進力 5 10 15 20 即’如第14圖所示，前述殼體7以運送方向視之時，係 ^ ^支持構件37支持成水平«，並㈣體7在水平狀 辦〇1又士支持’适風式支持構機構3亦以水平姿勢由單元用極 J支持。因此，料送方向視之時，於送風式支持機構 ^ K向⑤置之整風仙也設置成水平姿勢。也就是說，包 含送方式支持機構3之料單元丨全體係設£成水平狀態。 、在設置於送風式支持機構3之6個送風扇13中，係構成 為相較於由在橫向上位於設有賦與推進力機構4之側的⑽ 送風扇13,位於相反側之3個送風扇13以較快的旋轉速度驅 動’且送風量變多。且，整風板15以運送方向視之時，排 列於橫向之2個送風扇係設有相等間隔。也就是說，送風式 支持機構3係設置成橫向之另一端側2c所供給之清淨空氣 多於前述推進側2b，且以傾斜之姿勢支持玻璃基板2。 總之，如第15圖所示，供給到另一端側2c之清淨空氣 係多於玻璃基板2之推進側2b，且藉另一端側2c浮起高於玻 5离基板2之推進側2b，因此玻璃基板2成傾斜姿勢。

因此，與實施形態1同樣地，玻璃基板2往橫向之一方 側移動係受驅動滾軸24之大徑部24a所限制，且玻璃基板2 朝橫向之另一端側移動會因為玻璃基板2自身之重量而難 23 1295658 以移動，因此，在運送結束時，可防止諸如使玻璃基板2停 止時，玻璃基板2往橫向偏移，且朝運送方向之姿勢偏斜。 又’由於玻璃基板2會因為玻璃基板2自身之重量，而壓附 於驅動滾軸24，因此可在驅動滾軸24空轉之可能性小的狀 5 態下運送玻璃基板2。 〔實施形態4〕 以下，就運送作為運送物之液晶用玻璃基板之運送系 統並根據圖式來說明第4實施形態。有關與第1實施形態相 同之構件則使用相同之參考標號，並省略說明。 10 如第16圖所示，運送系統Η設置有：以起立姿勢運送玻 璃基板2之起立運送單元1(：、設置於該起立運送單元忆之 運送上游側及運送下游側之兩側，且以大略水平姿勢運送 玻璃基板2之水平運送單元把、及在水平運送單元ιβ與起 立運送單元1C之間交接玻璃基板2之姿勢變更用運送單元 15 1Α。 即’安勢變更用運送單元1Α之運送機構6a(以下稱為姿 勢變更用運送機構6a)係構成為可變更為以大略水平姿勢 支持玻璃基板2之水平運送狀m起立姿勢支持玻 板2之起立運送狀態。當該姿勢變更収 $ 2«運送狀態時’可在與水平運送單元1B之間互相運^ 千安勢之玻璃基板2。又，當姿勢變更用運送機構6a變更為 起立運送狀態時，可在與起立運送單⑽之間相互運送起 =勢之玻=板2。在起立運送單元ic之橫側形成用以進 订起立運达早捷運送之起立姿勢之玻璃基板2之瑕疲 24 1295658 或裂痕等檢查之檢查區域F。 &即’安勢變更用運送機構如構成可變更為水平運送狀 態及起立運送狀態之運送裝置係姿勢變更用運送單元1A， 且水平運送狀態係以大略水平姿勢支持玻璃基板2,而起立 5運送狀態係以起立姿勢支持玻璃基板2,以大略水平姿勢支 持玻璃基板2之運送姿勢固定型之運送襄置係水平運送單 元1B’而以起立姿勢支持玻璃基板2之運送姿勢固定型運送 裝置係起立運送單元1C。 又，第29圖所示，運送系統η中具有：用以發出運送系 1〇統H之開始運轉、停止運轉、及停止運送之人為操作模式之 運轉切換開關S、及根據該運轉切換開關S之指令，來控制 該等姿勢變更用運送單元1Α、水平運送單元1Β、及起立運 送單元1C之運轉之控制裝置Ε。 以下說明姿勢變更用運送單元1Α。 15 如第17〜19圖所示，姿勢變更用單元1Α係由前述姿勢變 更用運送機構6a、及用以支持前述姿勢變更用運送機構$之 支持框體5所構成。而且，姿勢變更用運送機構^係連結支 持於前述支持框體5 ’並精由壞繞位於橫向之一端側且沿著 運送方向之橫軸芯P搖動，而可變更為以大略水平姿勢支持 20 玻璃基板2之水平運送狀態、及以起立姿勢支持玻璃基板2 之起立運送狀態。 姿勢變更用運送機構6 a與第1實施形態中之裝置同樣 設有：朝玻璃基板2之下面2a供給清淨空氣，且以大略水平 姿勢呈非接觸狀態地支持玻璃基板2之送風式支持機構3 ; 25 1295658 對由則述运風式支持機構3所支持之玻璃基板2賦與在運送 方向之推進力之賦與推進力機構4;及用以收納該等送風式 支持機構3與賦與推進力機構4之殼體7。而且，賦與推進力 機構4係構成為’僅對玻璃基板2中與運送方向直交之橫向 5之一端側賦與推進力之單側驅動式。以下，將該玻璃基板2 $與運送方向直交之橫向之—端侧稱為推進側㉛。又，如 第27、28圖所示，在玻璃基板2之運送路徑上設有一用以檢 ^玻璃基板2是否存在之物齡在❹imT。若該物體存在 感測器τ未由受光部接受到來自投光部之光，則檢測出運送 1〇路控上存在有玻璃基板2，若受光部受到來自投光部之光， 則檢測為於運送路徑上不存在玻璃基板2。又，有關物體存 在感測&T的數目或設置處係可視需要而變更，只要可在姿 勢變更用運送機構6a上檢測出玻璃基板2全體是否存在即 可。 26 1295658 機構3總共設有4個扇形濾器單心。而且，2個並列於橫向 機構3共設有4個扇形渡器單元14。而且，並列於橫向之 :風式支持機構3係構成為可個別變更清淨空氣之供給 5里’例如使賦與推進力機構4不存在之側的送風式支持機構 场送風量多於賦與推進力機構4存在之側的送風式支持機 構3。 如第17、21圖所示，位於扇形濾器單元14之上部側且 允許通過除塵渡器12之清淨空氣之通過，並可遮蔽以阻止 10異物朝除塵濾、器12側落下之作為遮蔽體之整風板15，係設 置成覆蓋於4個扇形漶器單元14之上方。也就是說，送風式 支持機構3係由4個扇形濾器單元14及丨個整風板15所構 成而且，送風扇13係藉由設置於其上之電動馬達13a來旋 轉。 15 如第25圖所示，本實施形態之整風板15係由容許通過 除塵濾器12之清淨空氣通過之多孔體42、及多數位於該多 孔體42到除塵濾器12側之如第25(B)、25(c)圖所示之濾器43 所構成。多孔體42係藉由衝壓而形成多數之通氣孔42a，且 濾器43係設置成在挾持於同樣構成之2枚多孔體化之間的 20狀態，且在突起部43a嵌合於上側之多孔體42之通氣孔42a 之一來防止朝位置橫向錯移之狀態。 其次，如第19、22〜24圖所示，本實施形態之賦與推進 力機構4係構成為單側驅動式，該單側驅動式係具有接觸支 持玻璃基板2之下面2a之推進側2b並賦與推進力之作為接 27 1295658 觸式驅動部之驅動滾軸24，，並且賦與推進力機構*與實施 形態1所揭示者大略相同。 其次，說明姿勢變更用運送機構6a變更姿勢為水平運 送狀態與起立運送狀態之構成。如第26(A)、①）圖所示，支 5持框體5設有電動式搖動用缸45’該搖動用紅45的前端與姿 勢變更用運送機構6a之殼體7相連結，且藉由該搖動用缸^ 的伸縮，姿勢變更用運送機構如的姿勢會如第26(A)所示 般，變更成以運送方向視之時，係稍微傾斜成低於設有收 納框8之側之起立運送狀態、及如㈣(聊所示般，以運 送方向視之時，係由垂直姿勢猶微傾斜成水平運送狀態側 之起立運送狀態。該搖動用缸Μ係習知存在之裝置，有油 壓缸或氣紅。致動器亦可為設置有與具有齒輪之電動馬達 〇父合之齒輪之桿，以取代搖動用缸45。 也就是說，送風式支持機構3藉由使姿勢變更用運送機 15構如為水平運送狀態而呈大略水平狀態，而由該送風式支 持機構3所支持之玻璃基板2則係在大略水平姿勢下受支 持。 匕著使姿勢變更用運送機構6a由水平運送狀態 文更文勢為起立運送狀態而增大姿勢變更用運送機構如之 2〇角度’而利用前述控制裝置E來減少由送風式支持機構3往 1璃土板2之下面2a供給之清淨线之量。又，隨著使姿勢 ^更^運适機構6a由起立運送狀態變更姿勢為水平運送狀 匕來細j文勢變更用運送機構6a的角度 ，而利用前述控制 裝置既大由送風式支持機構3往玻璃基板2之下面叫共給 28 1295658 之清淨空氣。 因此，在水平運送狀態下，由送風式支持機構3朝玻璃 基板2之下面2a的大略全區域供給多量之清淨空氣，且在玻 璃基板2安定之狀態下請，麵立運送狀態下，藉由送風 式支持機構3往玻璃基板2之下⑩之大略全區域供給少量 的清淨空氣，*可請成_基衫會浮起太高。 5 10 15 20 有關玻璃基板2之運送，係不論在水平料狀態下或起

立運送狀態下皆由送風式切機構3來支持下面h之大略 全面，且藉由賦與推進力機構*，玻璃基板2之推進側歡 下面2a會受到驅動滾轴接觸支持。又，即使係由水平運送 狀態變更為起立運秘態之過財，或者是由起立運送狀 態變更為水平運送狀態之過程中，皆可由送風式支持機構3 以非接觸狀態支持。 而且，藉由驅動滾轴24係由電動馬達25驅動旋轉，而 對推進側处賦與往運送方向之推進力來運送玻璃基板2。

又，不論係在水平運送狀態或起立運送狀態，皆由送 風式支持機構3以傾斜之姿勢來支持玻璃基板a，且會因為 ^基板2自身的重量而朝横向中為傾斜下方側之具有賦 、力機構4之側移動，但是該破璃基板2之移動會受前 =限制支持滾軸η而擋止住。因此，玻璃基板2往橫向之一 方則的軸會糾㈣场料⑺㈣，且相為玻璃基 ^的重量而變得難以往另—端側移動，因此，可防止 * °束％ ’諸如使玻璃基板2制動時，玻璃基板2會朝 ㈣偏移’料勢朝運送方向偏斜。 29 Ϊ295658 如第27圖所示，藉將姿勢變更用運送單元认之姿勢鱗 t用運送機構6a變更為水平運送狀態’可在與設置於該姿 勢變更用運送單元社運送上游側或運送下游側之水平運 送單元1B之間運送玻璃基板2。又，如第28圖所示，藉將姿 5勢變更用運送機構6a變更為起立運送狀態，可在與二置= 該姿勢變更麟送單元1A之運送上_或運送下游:之起 立運送單元1C之間運送玻璃基板2。 10 15 接耆說月水平連达早元1B及起立運送單元^，水平運 送單元職在水平運送機_以稍微傾斜成 之時，係低於設有_框8之_水平運送㈣定於水 平用支持《47的狀態下受讀，而起立運送單⑽俾 傾斜用運送機構㈣運送方向視之時，料㈣直 ^平運送狀‘態_漸傾斜之起立運魏態㈣定於起立用 支持框體48之狀態T受支持。又，姿勢變更料送機構6a 與水平運顯構6b及起立料機構&係制姻構成之運 ，機構所構成，且姿勢變更輯送機構6神設有物體存在 20 /接著說明前述控職置E。如第29圖赫，控制 係構成為根據來自運轉切換開關s之指令來㈣ ;之了運轉、停止運轉及停止運送。也瞻:若：

變更用運送單⑽、水平《單m各^ 一送風式支持娜、次送風單二；： 機構4作動’而開始運犠Η之運轉。又，若控制裝置E 30 ㈣658 5 10 15 20 運=切射伽蝴止繼齡，料麵勢變更用 拄…70水平運送單元1B、起立運送單元lc中，在維 動适^支持機構3之作動下，停止賦與推進力機構4之作 τ止運送系統Η之玻璃基板2之運送。 L控制裝置S在運轉切換開齡發出開始 微狀態下、’根據前述物體存在感測以之檢嶋果，在姿勢 ^更用運送單元1Α變更送赋域機構3之清淨之 使賦與推進力機構4開始作動及停止作動，並使搖 =45伸縮作動，而在水平運送單㈣物立運送單元 ，使賦與推進力機構4開始作動或停止作動。 變更式支持機構3之清Μ氣之供給量的變更係藉 ^風扇13之電動馬達13a之驅動速度來進行。 错運送系統Η開始運轉，玻璃基板2可依序由運送上游 =之水平運送單元_乘到運送下_之轉運送單元 二且，進-步運送玻璃基板2時，由運送下游側之水平 =达早轉乘到水平運送狀態之姿勢變更用運送單元 以下，根據第30圖所示之流程圖，說明在運轉切換開 ，發出運轉開始之指令後運送系統Η之運轉開始之狀態下 之控，置Ε之姿勢變更用運送單元认的控制動作。二， 以下說明由水平料單㈣經㈣㈣更料元Κ 運”運送單元1C之情形，省略由起立運送單元隨 由文勢I更用運送單元1A運制水平運送單元1B之情況。 若為玻璃基板2由水平運送單元16運送到姿勢變更運 31 1295658 送用單元ΙΑ，且物體存在感測器T檢測到玻璃基板2之全體 轉乘到姿勢變更用運送單元1Α之檢測狀態，則使姿勢變更 用運送單元1Α之賦與推進力機構4之作動。然後，為了使姿 勢變更用運送機構6a之狀態為起立運送狀態，可使搖動用 5缸45伸長作動且使送風式支持機構3之清淨空氣之供給量 減少。 若姿勢變更用運送機構6a為起立運送狀態，在起立運 送單元1C之賦與推進力機構4作動之狀態下，使姿勢變更用 運送單元1A之賦與推進力機構4作動，且將玻璃基板2由姿 10勢變更用運送單元1A運送到起立運送單元lc。又，姿勢變 更用運送單元1A變更為起立運送狀態後，姿勢變更用運送 單7G1A之賦與推進力機構4所作動之時間，經過玻璃基板之 全體要由姿勢變更用運送單元丨八轉乘到起立運送單元… 所需要之預定時間後，為了使姿勢變更用運送機構如之狀 15恶為水平運送狀態，則縮減搖動用缸45之作動時間，且增 大送風式支持機構3之清淨空氣之供給量。 又，安勢變更用運送機構如在為水平運送狀態之外的 狀態下’被未圖示之水平運送單元化之檢測機構檢測到下 一個玻璃基板2正運料來的話，縣該_基板2運送到 2〇接=勢變更用運送單元1A之前端之位置，然後停止水平 運达單元1B之賦與推進力機構4之作動，並當姿勢變更用運 送機構如變更為水平運送狀態時，再開始水平運送單元⑺ 之賦與推進力機構4之作動。 (其他實施之形態） 32 !295658 元入2 中，以運送方向視之時in 几王體為傾斜雜叫傾· 、7運达率 持，但亦可如第16_- U 持風式切機構支 持h 水H切構件37料體7支 寺成水平姿勢，使送風式支持: 體7之單元用框體9。 勢支持於該殼 部述實施形態1〜3中仙複數之驅動滾轴構成驅動 可由計時帶等循環帶狀體。χ，使用猶環帶狀體 冓成驅動部時，亦可於循環帶狀體之作用面沿長向形成一 10 連串的突起部’將該突起部作為用以擋止於橫向移動之運 送物之擋止部。 立⑶前述實施形態2中，係以複數之限制滾軸構成限制 邵，但以可由旋轉自如之循環帶狀體構成，又，亦可使限 制部可在橫向上變更位置地支持於殼體。也就是說，例如， 亦可以限制滾軸構成限制部，並使該限制滾軸支持於殼體 之殼體側壁之情況下，則如第33圖所示，使電動缸4〇支持 於固定於殼體側壁10之支持框39，並使限制滾軸33旋轉自 如地支持於該電動缸4〇之前端部。 (4) 前述實施形態係例示除塵濾器與送風機構一體組裝 而成之送風單元，但未必要將除塵濾器與送風扇組裝成一 體’亦可設計將由送風扇送風之空氣導引於除塵濾器之導 引路，而由別體構成實施除塵濾器與送風扇。 (5) 前述實施形態1〜3係將清淨空氣供給部傾斜〇.5°，但 亦可因應對象之運送物等，而傾斜較大或較小之角度。又， 第2、3、4、8、16圖中，為了要更容易瞭解清淨空氣供給 33 1295658 部15之傾斜，係傾斜5°圖示。 (6)前述實施形態4中，係構成使用姿勢變更用運送單元 1A在姿勢變更用運送用單元1A與起立運送用運送二 之間傳送玻璃基板2的運送系統H ’但亦可構成僅具有姿勢 5 變更用運送單元1Α之運送線。 也就是說，亦可將複數之姿勢變更用運送單元丨八並列 於運送方向而構成運送線，例如，在運送薄且容易破損之 運送物時’係為以水平姿勢或大略水平姿勢搬送運送物之 水平運送狀態， 0 ⑺構成如前述其他實削彡態⑹時，亦可料勢變更用 運送機構6a之狀態變更為在水平運送狀態與起立運送狀態 之間加上傾斜運送狀態之3段以上之構成。 (8) 前述實施形態4係使姿勢變更用運送機構如之搖動 軸芯P位於橫向之一端側，但並不限定於橫向之一端侧。也 5就是說，亦可將姿勢變更用運送機構如之搖動軸芯p如第 31(A)圖所示般位置於橫向之中央部，並如第31巾）圖所示 般，使搖動軸芯P位於相當低於姿勢變更用運送機構如之 處。藉由如此之構成，可改變起立運送狀態時之高度，並 可改變前後位置。 0 又，亦可在前後或者上下設置複數之姿勢變更用運送 機構6a之搖動軸芯p而容易使用。 (9) 前述實施形態4係由除麈濾器12與送風扇13 一體組 裝而成之多數的扇形濾器單元14構成送風式支持機構3，但 亦可使除塵濾器12與送風扇13為別體而個別組裝構成送風 34 1295658 式支持機構。 (10) 前述實施形態4係由複數之驅動滾軸24構成驅動 部，但亦可由計時帶等循環帶狀體構成驅動部。 (11) 前述全部之實施形態中，運送物係為液晶用玻璃基 5 板，但亦可為半導體之晶圓，運送物之形狀或大小並不限 定於實施形態。 L圖式簡單說明】 第1圖係實施形態1之板狀體運送裝置之透視圖。 第2圖係實施形態1之運送單元之正面截面圖。 10 第3圖係實施形態1之運送單元之正面截面之部分放大 圖。 第4圖係實施形態1之運送單元之正面截面之部分放大 圖。 第5圖係實施形態1之運送單元之側面截面圖。 15 第6圖係實施形態1之運送單元之平面圖。 第7圖係實施形態1之收納框之側面截面圖。 第8圖係實施形態1之賦與推進力機構之正面截面圖。 第9圖係實施形態1之賦與推進力機構之側面截面圖。 第10圖係實施形態2之運送單元之正面截面圖。 20 第11圖係實施形態2之運送單元之正面截面之部分放 大圖。 第12圖係實施形態2之運送單元之平面圖。 第13圖係實施形態2之運送單元之平面圖。 第14圖係實施形態3之運送單元之正面截面圖。 35 1295658 第15圖係實施形態3之以傾斜姿勢支持玻璃基板之作 用圖。 第16圖係實施形態4之運送系統之透視圖。 第17圖係實施形態4之姿勢變更用運送單元之透視圖。 5 第18圖係實施形態4之姿勢變更用運送單元之背面圖。 第19圖係實施形態4之姿勢變更用運送單元之部分放 大圖。 第20圖係實施形態4之姿勢變更用運送單元之側面圖。 第21圖係實施形態4之姿勢變更用運送單元之平面圖。 10 第22圖係實施形態4之賦與推進力機構之側面圖。 第23圖係實施形態4之賦與推進力機構之背面圖。 第24圖係實施形態4之賦與推進力機構之部分放大圖。 第25(A)〜(C)圖係顯示實施形態4之整風板者。 第26(A)、（B)圖係顯示實施形態4之姿勢變更用運送機 15 構之水平運送狀態與起立運送狀態者。 第27圖係顯示實施形態4之玻璃基板由水平運送單元 轉乘到姿勢變更用運送單元之狀態圖。 第28圖係顯示實施形態4之玻璃基板由姿勢變更用運 适早凡轉乘到起立運送單元之狀態圖。 20 隻 29圖係實施形態4之運送系統之控制區塊圖。 第3〇圖係實施形態4之運送系統之流程圖。 …第31(A)、（B)圖係顯示實施形態4之變更姿勢雙更用運 、、：為構之松軸芯之位置之狀態圖。 第32圖係其他實施形態之運送料之正面截面圖。 1295658 第33圖係其他實施形態之運送單元之正面截面之部分 放大圖。 【主要元件符號說明】 1··.運送單元 10...殼體側壁 1A...姿勢變更用運送單元 11…空氣導入口 1B···水平運送單元 A...運送空間 1C···起立運送單元 B...收納空間 2...玻璃基板 E...控制裝置 2a...玻璃基板2之下面 H...運送裝置 2b...推進側 P...橫軸芯 2c...另一端側 S...運轉切換開關 3...送風式支持機構 T...物體存在感測器 3a···凹入部 12...除塵過濾器 4...賦與推進力機構 13...送風扇 6a...姿勢變更用運送機構 13a...電動馬達 6b...水平運送機構 14...扇形濾器單元 6c...傾斜用運送機構 15...整風板 7...殼體 15a...通氣孔 8...收納框 17...限制支持滾軸 8a...内壁 19...傾斜用支持構件 8b...下壁 20...運送蓋 8c...收納框 21...外部排出口 9···單元框體 23...次送風單元 9a...支持框部分 24.··驅動滾軸

37 1295658 24a...大徑部 35...馬達 25...電動馬達 37...水平用支持構件 26...輸出軸 42··.多孔體 27...傳動軸 42a...通氣孔 28...平齒車 43...過濾器 29...輸出齒輪 43a...突起部 30…輸入齒輪 45"·缸 33...限制滾軸 47...水平用支持框體 34...滾軸限制框 48...起立用支持框體 34a...縱框部 38

Claims (1)

1^658 十、申請專利範圍： 1. -種運送裝置，包含有： 空氣，且以_送物之下面供給清淨 ;.寺前述運送物;及略水平姿勢在非接觸狀態下: 賦與推進力機構 所支持之前料獅料/广“述賴4持機構 且十W 運送方向之推進力， 送方向直交之橫向之—端側述運达物輿前述運 者。 ⑼與推進力之單匈驅動式 2·，申請專利範圍第！項之運送裝置，更包 15 20 和该擋止部與前述運送物之被賦與推進力之1止 側面抵接，以擋止朝前述橫向移動之運送物，2侧的 風式支持機構係以傾斜成前述橫向之另 财述送 兩於可藉前述賦與推進力機構賦與推二的仇置 姿勢來支持前述運送物。 端側的 3·如巾請專利範圍第2項之運送裝置，其十前述关 持顧之料线供給料配置相支 之時，其位置低於對應於可藉前述賦與推：：向硯 推進力之-端側之對應側，藉此以前述之傾斜姿勢支持 前述運送物。 f 汝申明專利範圍第2項之運送裝置，其中前述送風式支 持機構係對前述橫向之另一端側供給之清淨空氣多於 可藉前述賦與推進力機構賦與推進力之—端側，藉此可 39 1295658 5 以述傾斜*勢來支持前述運送物。 申月專利h圍第1項運送裝置，更具有一限制部，該 _部係抵接於在橫向上與前述運送物中之受前述賦二推進力機酬與推進力之—端側相反之側面，以限制 蝻述運送物朝橫向之移動。 6. 如申請專利範圍第5項運送裝置 成為可在前述橫向上調整位置者 ，其中前述限制部係構 10 8. 力如固第2項之運送裝置，其中前物推進 ㈣與推::::::圍第7項之運送裝置，其中前述-部設

15 20 持機構传將逆風單-Γ 其中前述送風式 «係將城早讀列於前述運送 ^且該送風單元係由用以除麵埃^構 通過前述除塵滤器且朝前述運送 麵慮益、 氣之送風機構一體組裝而成。 供給清淨 10·—種運送裝置，係包含有—運送機構者 構成為藉賦與推進力機構，對 '-運运機構 送物之下面供給清淨空^ 、風式切機構朝 物’賦與運送方向之推進力。成態之運

u.如申請專利範圍第10項之運送裝置，盆A 係藉環繞沿著前述運送方命 其中刎述運送機構 之橫幸由广乂 為前述水平運送狀態與前述 心徭動而可變更 I立運送狀態。 40 1295658 12. 如申請專利範圍第陶之運送裝置， … :構在前述運送機構由前述水平運送:態：二 =之立旦r送狀態時’減少朝前述運送物下面供4= 5 10 15 20 13. 如申請專利範圍第陶之運送裝置， 力機構係具有接觸式驅動部之單側驅動式者，且:推進 式驅動部接觸支持於在前述運送物下面並與前^觸 方向直父之橫向的—端側，以賦與推進力。、運适 14. 如申請專利範圍第13項之運送裝置，更 制支持部係抵接於可對前述運送物賦:= 並一運送狀態下支持 係以^^知風式支持機構在前述水平運送狀態下， 係以傾斜成前述橫向之 進力機構賦與推進力之側两於可藉前述賦與推 物。 進力之1侧之姿勢來支持前述運送 15.==Γ圍第1G項之運送裝置，其中前述送風式支 制=料風單元排浙前料財向上，且該送風 :哭且朝!除去塵埃之除塵過遽器、及通過前述除塵 二:::成述運送物之下面供給清淨嫩， 16‘=!__第15項之運送裝置’其中前述送風式支 持機構係具有—舰體，_蔽體係可允許通過前述除 41 1295658 塵過濾器之清淨空氣的通過，進一步，可用以遮蔽以阻 止異物往前述除塵過濾器側落下， 且前述遮蔽體係具有：由可允許通過前述除塵濾 器之清淨空氣通過之多孔體、及相對於該多孔體較靠近 5 前述除塵濾器側之濾器。 17. —種運送系統，係具有如前述請求項10〜16中任一項之 運送裝置，且於前述運送機構之運送上游側或運送下游 側設有以水平或起立姿勢搬送運送物，並且可在該運送 機構之間搬送運送物之運送姿勢固定型之運送裝置。 10 15

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