CN100482555C - 板状体输送装置 - Google Patents

板状体输送装置 Download PDF

Info

Publication number
CN100482555C
CN100482555C CNB2004100329689A CN200410032968A CN100482555C CN 100482555 C CN100482555 C CN 100482555C CN B2004100329689 A CNB2004100329689 A CN B2004100329689A CN 200410032968 A CN200410032968 A CN 200410032968A CN 100482555 C CN100482555 C CN 100482555C
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
plates
conveying
tabular body
writing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CNB2004100329689A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1541917A (zh
Inventor
森屋进
村山繁人
森本雄一
池畑淑照
大野隆佳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2003270686A external-priority patent/JP4214468B2/ja
Priority claimed from JP2003271947A external-priority patent/JP4258713B2/ja
Priority claimed from JP2003274874A external-priority patent/JP4251279B2/ja
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Publication of CN1541917A publication Critical patent/CN1541917A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100482555C publication Critical patent/CN100482555C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09B—EDUCATIONAL OR DEMONSTRATION APPLIANCES; APPLIANCES FOR TEACHING, OR COMMUNICATING WITH, THE BLIND, DEAF OR MUTE; MODELS; PLANETARIA; GLOBES; MAPS; DIAGRAMS
    • G09B23/00—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes
    • G09B23/06—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics
    • G09B23/18—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics for electricity or magnetism
    • G09B23/188—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics for electricity or magnetism for motors; for generators; for power supplies; for power distribution
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09B—EDUCATIONAL OR DEMONSTRATION APPLIANCES; APPLIANCES FOR TEACHING, OR COMMUNICATING WITH, THE BLIND, DEAF OR MUTE; MODELS; PLANETARIA; GLOBES; MAPS; DIAGRAMS
    • G09B23/00—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes
    • G09B23/06—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics
    • G09B23/08—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics for statics or dynamics
    • G09B23/12—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics for statics or dynamics of liquids or gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Educational Administration (AREA)
  • Educational Technology (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Pure & Applied Mathematics (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Mathematical Analysis (AREA)
  • Computational Mathematics (AREA)
  • Mathematical Optimization (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Algebra (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

属于具有向被输送的板状体(2)的下面供给洁净空气、对板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构(12)、(13)的板状体输送装置，送风式支持机构(12)、(13)，具有去除尘埃的除尘过滤器(12)、以及、经该除尘过滤器(12)向板状体(2)的下面供给洁净空气的送风风扇(13)。

Description

板状体输送装置
技术领域
本发明涉及，具有向被输送板状体的下面供给洁净空气、以非接触状态对上述板状体进行支持的送风式支持机构的板状体输送装置。
背景技术
这种板状体输送装置，是为了对诸如液晶用玻璃基板等板状体进行输送而使用的装置。现有的装置，是将板状体以水平或大约水平的状态输送的，因而具有施加输送方向上的推进力的推进力施加机构。推进力施加机构中，具有对板状体的两端进行接触式支持的同时施加推进力的驱动旋转体。对于板状体，在以送风式支持机构对其中部进行支持的状态下，以驱动旋转体对板状体的两端以接触状态进行支持，从而以水平或大约水平的状态进行输送。送风式支持机构这样构成，即，具有沿板状体的输送路径隔开既定间隔设置的多个空气喷出部、以及、包含有压缩泵等的空气供给源，为了能够将来自供给源的空气分配给多个空气喷出部，供给源与空气喷出部之间通过供给管相连，并且，自空气喷出部喷出的压缩空气，向所说板状体的位于两端之间的中部供给，从而对板状体的中部以非接触状态进行支持(例如参照特开2002-321820号公报)。
此外，作为将板状体以纵向姿态或与之相接近的姿态进行输送的装置，其施加输送方向上的推进力的推进力施加机构，具有对所说板状体的下端进行接触式支持的同时施加推进力的驱动旋转体，以该推进力施加机构对下端进行接触式支持，对于以纵向姿态或与之相接近的姿态进行输送的板状体的中部，以送风式支持机构进行支持。送风式支持机构，具有沿板状体输送路径隔开既定间隔设置的多个空气喷出部、以及、包含有鼓风机等的供给源，为了能够将来自供给源的压缩空气分配给多个空气喷出部，供给源与空气喷出部之间通过供给管相连。并且，空气喷出部喷出的压缩空气，能够向所说板状体的中部供给，对板状体的中部以非接触状态进行支持(例如参照特开2002-308423号公报)。
现有的板状体输送装置，其送风式支持机构，采用的是空气供给源与在输送方向上排列的多个空气喷出部经供给管相连的结构，因此，需要进行将供给源与多个空气喷出部连接成不允许压缩空气泄漏的复杂的作业，使得板状体输送装置的制作变得复杂。
当板状体输送路径较长时，沿输送方向隔开既定间隔设置的空气喷出部的数量将较多，因而也要将供给源沿输送方向隔开间隔设置，以多个供给源分别向多个空气喷出部供给压缩空气。仅如上所述设置多个供给源这一点，便使得结构变得复杂，而且，还存在着这些供给源要占用安装空间等缺点。
发明内容
本发明是针对上述实际情况提出的，其目的是，提供一种容易制作的板状体输送装置。
此外，在现有技术中，作为送风式支持机构，向输送物的下面吹送的空气的送风量是固定的，因而只是为了对输送物以非接触状态进行支持而使用送风式支持机构。因此，现有输送装置，无法做到对输送物以非接触状态进行支持的同时进行输送，无法应对各种不同的情况。
本发明的另一个目的是，解决这一问题，提供一种可应对各种不同情况的输送装置。再有，在现有技术中，由于送风式支持机构位于被输送板状体的下方，因此，到达板状体下面的洁净空气，其排放途径只有通过板状体与送风式支持机构之间向送风式支持机构的侧方排放，而板状体中部的下方的洁净空气难以排出而容易滞留。这种滞留，将使得板状体在中部变形成拱起形状的状态下输送，板状体要承受很大的负荷。
本发明的又一个目的是，提供一种能够减轻因送风式支持机构供给洁净空气而作用于板状体的负荷的板状体输送装置。
实现发明任务的技术方案
根据方案1，作为一种具有向板状体的下面供给洁净空气、对所说板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构的板状体输送装置，所说送风式支持机构，具有去除尘埃的除尘过滤器、接近于所说除尘过滤器而配置在其上方的多孔体、以及、经该除尘过滤器向所说板状体的下面供给洁净空气的具有电动风扇的送风机构。
因此，通过加大除尘过滤器在板状体输送方向上和与该输送方向相垂直的横宽方向上的尺寸，可借助于除尘过滤器的阻力使得来自送风机构的空气变得均匀，向板状体下面的很大范围内供给，因而即使在具有将送风机构与多个除尘过滤器连接起来的通风风路的场合，所要连接的除尘过滤器的数量也可以较少，因此，能够提供一种，送风机构与除尘过滤器之间连接部位的数量较少、组装作业变得简单因而送风式支持机构的设置能够简单地完成的、容易制作的板状体输送装置。此外，还可以在除尘过滤器的送风方向的下游侧设置整流板等，以将更为均匀的正常空气供给板状体的下面。
根据方案2，具有对板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构，所说推进力施加机构，具有与处于大约水平状态的所说板状体的、与所说输送方向相垂直的宽度方向上的两端接触而施加推进力的驱动旋转体，所说送风式支持机构，以，能够对所说板状体的位于所说两端之间的部分进行支持，而构成。
即，在对板状体的两端以推进力施加机构的驱动旋转体进行接触式支持的同时，对于板状体的位于两端之间的部分，以送风式支持机构以非接触状态进行支持，对于得到驱动旋转体与送风式支持机构支持的板状体，由对板状体的两端进行接触式支持的驱动旋转体施加推进力。
因此，是通过驱动旋转体对两端进行接触式支持而使板状体处于稳定状态，以进行该支持的驱动旋转体施加推进力的，因而不仅能够在其保持稳定的状态下进行输送，而且能够通过送风式支持机构，对板状体的特定部分在不损伤板状体的情况下使板状体不发生旷动地进行支持，因此，板状体能够在被支持成稳定的姿态的状态下得到输送，板状体的输送得以流畅地进行。
根据方案3，除尘过滤器与送风机构组合成一体而构成送风单元，使该送风单元在板状体输送方向上排列而构成所说送风式支持机构。
因此，仅将由送风装置与除尘过滤器组装成一体的送风单元排列在板状体输送方向上，便能够完成向被输送的板状体的下面供给洁净空气而对板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构的设置，因而送风式支持机构的设置变得简单，因此，能够提供容易制作的板状体输送装置。
根据方案4，所说送风式支持机构，具有在所说输送方向上排列的多个所说除尘过滤器、以及、将所说送风机构送来的空气分配给多个所说除尘过滤器的通风风路。
即，是通过通风风路将来自送风机构的空气分配给多个除尘过滤器的，因而相对于除尘过滤器能够以较少数量的送风机构进行空气的分配，而由于可以减少送风机构的数量，因而对送风机构的配线减少而得以简化，还能够使送风式支持机构的重量减轻。
根据方案5，具有将容纳所说送风式支持机构和所说板状体输送路径的输送空间成大约密闭状态包容的输送外壳，所说送风机构，对所说输送外壳内的空气进行抽吸，以将该被抽吸的空气经所说除尘过滤器向所说板状体的下面作为洁净空气供给的形式，使得所说输送空间内的空气进行循环。
即，通过以输送外壳，将容纳送风式支持机构和所说板状体的输送路径的输送空间，成密闭状态或大约为密闭状态包容，可减少尘埃从外部进入输送空间内的可能性。因此，即使在板状体输送装置安装在尘埃较多而洁净度不太高的场所的场合，通过设置输送外壳，也能够使输送空间内长期保持高洁净度。
根据方案6，所说输送外壳，具有可将所说输送空间内的一部分空气排放的空气排放部，以及、将外部空气导入所说输送空间内的空气导入部。
即，通过从空气排放部排放输送空间内的一部分空气，并从空气导入部将外部空气导入输送空间内，可对输送空间内进行换气。因此，能够抑制因送风式支持机构等散发热量而导致的输送空间内温度的升高，使输送空间内的温度维持与外部相同或与之接近的温度。
此外，通过送风单元从空气导入部将外部空气导入输送空间内，可使输送外壳内的压力随着该外部空气的导入而增高，随着输送外壳内压力的增高，输送空间内的一部分空气将从空气排放部和输送外壳的间隙等处排出。
因此，由于送风单元使输送空间内呈压力增高状态，因而能够防止输送外壳外的空气从空气排放部和输送外壳的间隙进入输送空间内，使输送空间内的洁净度长期得到维持。
根据方案7，具有将从所说空气排放部排放的空气除尘后排放到外部的外排机构。
即，从空气排放部排放的输送空间内的空气是经过外排机构除尘后进行排放的，通过以外排机构防止输送空间内送风式支持机构等产生的尘埃被排放到外部，可提高从输送空间内向外部排放的空气的洁净度。而由于从输送空间内向外部排放的空气的洁净度高，因而即使将板状体输送装置安装在净化间等洁净度高的场所，也能够维持其高洁净度。
根据方案8，将容纳对所说推进力施加机构中的所说驱动旋转体进行驱动的驱动机构的容纳空间大约成密闭状态包容的容纳外壳，在所说输送外壳的旁侧以与之邻接的状态进行设置；所说输送外壳的所说空气排放部，以，能够将所说输送空间内的空气排入所说容纳空间内，而构成；所说外排机构，以，能够对所说容纳空间内的空气进行抽吸、对该空气进行除尘后向外部排放，而构成。
即，由于将输送空间内的一部分空气从空气排放部排入容纳空间内与容纳空间内的空气混合，并且将与输送空间内的一部分空气混合后的容纳空间内的空气，以外排机构进行抽吸并进行除尘后向外部排放，因此，能够防止通过外排机构，将容纳空间内驱动机构等产生的尘埃也与输送空间内送风式支持机构等产生的尘埃一起排放到外部，因而能够提高从容纳空间内排放的空气的洁净度，因此，能够进一步使净化间等的外部维持高洁净度。
此外，通过以外排机构将容纳外壳内的空气向外部排放，可使得容纳外壳内的压力随着该空气的排放而降低，随着容纳外壳内压力的降低，空气将从空气排放部和容纳外壳的间隙被导入容纳空间内。因此，由于通过外排机构使得容纳空间内处于压力降低状态，因而能够防止从空气排放部和容纳外壳的间隙将尘埃较多的输送外壳内的空气排放到容纳空间之外，能够使输送空间和净化间的容纳空间的外部长期维持其洁净度。
根据方案9，所说送风式支持机构，具有在允许洁净空气在所说多孔体的通风孔中流动的状态下，从洁净空气的流动方向上看对所说通风孔进行遮挡的遮挡部。
即，以遮挡部，在允许洁净空气在所说多孔体的通风孔中流动的状态下，从洁净空气的流动方向上看对所说通风孔进行遮挡，这样，在向洁净空气流动方向观察送风式支持机构时，从通风孔无法看到除尘过滤器，因此，送风式支持机构的外观、从而板状体输送装置的外观可得到改善。
特别是，在作为板状体对液晶的玻璃基板进行输送的场合，为了对该被输送的玻璃基板进行缺陷检查、特性检查、边缘检查等检查，要求板状体输送装置的输送面、即与被输送玻璃基板的下面相向的面为黑色，而作为送风式支持机构，通过将多孔体和遮挡部做成黑色，很容易使输送面为黑色。
根据方案10，具有对所说板状体进行输送的上下两层的输送部，该上下两层的输送部的上层的输送部，以，通过操作能够以一端为支点向上转动从而将下层输送部从上方打开，而构成。
尽管输送板状体的输送部设置成上下两层，但通过操作使上层输送部以一端为支点向上转动，便能够将下层输送部从上方打开，因而便于对下层输送部进行维护。
另外，在输送部为上下两层的场合，也可以将输送外壳也设置成两层，而将上层输送部与下层输送部分别放入输送外壳中，此外，也可以将上层输送部和下层输送部放在一个输送外壳中。
根据方案11，所说送风机构，以，能够将向所说输送物的下面吹送的空气的送风量自由改变为对所说输送物以非接触状态进行支持的第1风量、以及、与该第1风量不同的送风量，而构成。
即，送风式支持机构，具有经除尘过滤器向输送物的下面吹送洁净空气的送风机构，因此，借助于送风机构所吹送的洁净空气，能够防止尘埃附着到输送物上，还能够将输送物以非接触状态进行输送。
并且，送风机构向输送物的下面吹送的空气的送风量，不仅可以是第1送风量，而且还能够改变为与该第1送风量不同的送风量，因此，不仅能够用于对输送物以非接触状态进行支持的用途，而且可以在其它用途中使用送风式支持机构。
如上所述，就输送装置的用途而言，不仅能够用于对输送物以非接触状态进行支持的同时进行输送这样一种用途，还能够实现例如防止尘埃等悬浮于输送路径中、或者、将积蓄于输送路径上的尘埃等异物吹走等其它用途，因而能够提供可应对各种不同情况的输送装置。
根据方案12，所说送风机构，以，能够将向所说输送物的下面吹送的空气的送风量自由改变为小于所说第1送风量的设定送风量，而构成。
即，通过使送风机构按照将向输送物的下面吹送的送风量变为设定送风量的要求进行动作，便能够做到，在送风机构进行动作所需要的能量很小的情况下，向输送物的输送路径上送入洁净空气，防止输送物的输送路径上悬浮尘埃等。
因此，作为输送装置的用途，不仅能够实现对输送物以非接触状态进行支持的同时进行输送这种用途，还能够实现防止尘埃等悬浮在输送路径上等用途。
根据方案13，所说送风机构，以，能够将向所说输送物的下面吹送的空气的送风量自由改变为大于所说支持用空气量的设定风量，而构成。
即，通过使送风机构按照将向输送物的下面吹送的空气的送风量变为设定送风量的要求进行动作，可向输送物的输送路径吹送大风量的空气，将积蓄于输送路径上的尘埃等异物吹走。
因此，作为输送装置的用途，不仅能够实现对输送物以非接触状态进行支持的同时进行输送这种用途，还能够实现将积蓄于输送路径上的尘埃等异物吹走等用途。
根据方案14，在送风式支持机构与容纳空间之间，形成有允许空气向下方移动的第1循环路径。这样一来，由送风式支持机构针对板状体吹送的空气能够向下方进行循环。
根据方案15，在所说送风式支持机构中，在与所说板状体的输送方向相垂直的横宽方向上的中间部位形成有可将供给所说板状体的下面的洁净空气向下方排放的第2循环路径。
即，在送风式支持机构的横宽方向上的中间部位、即被输送板状体的中部的下方处，形成有将洁净空气向下方排放的第2循环路径，因此，作为供给板状体的下面的洁净空气，能够通过形成于送风式支持机构的横宽方向上的中间部位的第2循环路径向下方排出，洁净空气在板状体中部的下方易于排出，因而洁净空气不易滞留于板状体中部的下方，因此，被输送板状体将在中部的拱起得到抑制的接近于水平姿态的状态下得到输送，能够减小板状体所承受的负荷。
因此，通过使供给板状体下面的洁净空气从形成于送风式支持机构的横宽方向上的中间处的第2循环路径排出，能够减轻因板状体中部的下方滞留洁净空气而引起的板状体的拱起，因此，能够提供一种，可减轻板状体因送风式支持机构供给洁净空气而承受的负荷的板状体输送装置。
根据方案16，在上述第1特征结构基础上，所说送风式支持机构，是以，所说除尘过滤器与所说送风机构组装成一体而成的送风单元，在所说输送方向上和所说横宽方向上排列，而构成；所说第2循环路径，是所说横宽方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离而形成。
即，仅将送风装置与除尘过滤器组装成一体的送风单元在输送方向上进行排列，便能够完成对板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构的设置，因而送风式支持机构的设置变得简单，此外，在将送风单元在横宽方向上排列着设置时，仅使在该横向宽度上排列的送风单元以彼此之间拉开距离的状态排列便能够形成第2循环路径，因而能够很容易地形成第2循环路径。
此外，在对横宽方向上的两端进行支持而输送板状体的场合，洁净空气的供给容易引起板状体的从输送方向看过去的中部拱起，但由于是在横宽方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离从而沿着输送方向形成第2循环路径的，因此，能够有效地减轻从输送方向上看过去的板状体中部的拱起。
根据方案17，设有能够对所说第2循环路径的排风量进行调节的排风量调节机构。
即，由于可通过排风量调节机构调节第2循环路径的排风量，因而即使被输送板状体的厚度和大小、形状等改变时，也能够根据该板状体的厚度和大小、形状等适当调节排风量，因此，能够提供一种可应对各种不同情况的板状体输送装置。
根据方案18，所说多孔体，具有可向所说第2循环路径通风的通风部。
即，向板状体下面供给的洁净空气，是经多孔体整流后供给板状体下面的，因而能够向板状体的下面在很大范围内供给变得均匀的洁净空气，能够抑制所供给的洁净空气集中于板状体下面的局部而引起的板状体的拱起，而且，尽管多孔体设置在送风式支持机构的上部，但由于该多孔体具有向第2循环路径通风的通风部，因而供给板状体下面的洁净空气能够经通风部和第2循环路径向下方排出。因此，通过设置多孔体，能够进一步减轻洁净空气的供给对板状体形成的负荷。
根据方案19，所说多孔体，由在所说横宽方向上分体设置的多个板状部分构成，该多个板状部分，以，在所说横宽方向上分开的板状部分彼此之间隔开间隔设置从而形成所说通风部，而构成，所说排风量调节机构，通过调节所说多孔体的所说板状部分彼此之间的间隔而对所说第2循环路径的排风量进行调节。
即，多孔体，由在横宽方向上分体设置的多个板状部分构成，在该横宽方向上相邻的板状部分隔开间隔设置，从而形成通风部，因此，不必在多孔体上形成孔等便能够很容易地形成通风部。
根据方案20，所说排风量调节机构，具有对所说通风部的开口量进行调整的调节板。
即，排风量调节机构，系对多孔体所具有的通风部的开口量以调节板进行调节的结构，因而容易将调节板做得小于多孔体，有较小的动力便能够使该小型调节板动作，因此，能够构成较小型的排风量调节机构驱动结构。
根据方案21，所说送风式支持机构，以所说送风单元在输送方向上排列而构成，通过使在所说输送方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离，形成将供给所说板状体的下面的洁净空气向下方排放的第3循环路径。
即，在将送风单元沿输送方向排列时，仅使在该输送方向上排列的送风单元以彼此之间拉开距离的状态进行排列，便能够形成第3循环路径，因而能够很容易地形成排风风路。
此外，使在输送方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离，便能够沿横宽方向形成较长的通风风路，因而能够有效减轻从横宽方向看过去的板状体中部的拱起。
根据方案22，对所说板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构，以，具有对所说板状体的一端进行接触式支持的驱动旋转体、对另一端进行接触式支持的从动旋转体、对所说驱动旋转体进行驱动的驱动机构、将所说驱动机构的传递给从动旋转体的传递机构；能够对所说板状体的两端以驱动旋转体和从动旋转体进行接触式支持的同时施加推进力，而构成，所说传递机构，配置在所说第3循环路径中.
即，用来驱动对板状体的一端进行支持的驱动旋转体和对另一端进行支持的从动旋转体回转的驱动机构有一个即可，因而对驱动机构的配线等得以简化，此外，驱动旋转体和从动旋转体容易达到同步，因此，能够抑制因驱动旋转体和从动旋转体二者回转速度存在差异而引起的板状体的偏移。
并且，在驱动旋转体和从动旋转体设置在相反的两侧、而驱动机构设置在驱动旋转体附近的场合，由于送风式支持机构位于驱动旋转体与从动旋转体之间，因而将驱动机构的动力传递给从动旋转体的传递机构不好设置，但是，由于送风式支持机构的在输送方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离而形成有第3循环路径，因此，利用该第3循环路径来设置传递机构，便不需要使传动机构迂回到送风式支持机构的下方，可使得传递机构的结构、因而推进力施加机构的结构变得简单。
附图的简要说明
图1是第1实施形式中的板状体输送装置的立体图。
图2是第1实施形式中的板状体输送装置的剖视主视图。
图3是第1实施形式中的板状体输送装置的剖视主视图的局部放大图。
图4是第1实施形式中的输送空间处的剖视侧视图。
图5是第1实施形式中的容纳空间处的剖视侧视图。
图6是第1实施形式中的推进力施加机构的剖视主视图。
图7是第1实施形式中的推进力施加机构的剖视侧视图。
图8是第1实施形式中的输送装置的控制框图。
图9是第2实施形式中的板状体输送装置的立体图。
图10是第2实施形式中的板状体输送装置的剖视主视图。
图11是第2实施形式中的输送单元的立体图。
图12是第2实施形式中的板状体输送装置的俯视图。
图13是展示第2实施形式中的传递机构的主视图。
图14是展示板状体拱起状态的说明图。
图15是展示其它实施形式的排风量调节机构的主视图。
图16是展示其它实施形式的排风量调节机构的俯视图。
图17是展示其它实施形式的排风量调节机构的主视图。
图18是展示其它实施形式的排风量调节机构的俯视图。
图19是展示其它实施形式的排风量调节机构的主视图.
图20是展示其它实施形式的排风量调节机构的俯视图。
图21是展示其它实施形式的输送单元的俯视图。
图22是展示又一个实施形式的输送单元的俯视图。
图23是第3实施形式中的输送装置省略一部分后的立体图。
图24是第3实施形式中的输送装置的局剖剖视图。
图25是其它实施形式中的送风单元的局部放大的剖视侧视图。
图26是其它实施形式中的送风单元的局部放大俯视图。
图27是第4实施形式中的板状体输送机构的侧视图。
图28是第4实施形式中的主板状体输送单元的侧视图。
图29是第4实施形式中的从板状体输送单元的侧视图。
图30是其它实施形式中的主板状体输送单元的侧视图。
发明的最佳实施形式
下面，对本发明提供的板状体输送装置结合附图进行说明。
作为板状体的例子，使用的是液晶用的玻璃基板。
下面将对几个实施形式进行说明，而各实施形式所公开的特征，并非只能利用于该实施形式，只要不发生矛盾，也可以应用于其它实施形式。
如图1所示，板状体输送装置H，具有以在玻璃基板2的输送方向上排列的状态设置的多个输送单元1。玻璃基板2，通过自动或人为方式放置在位于输送线上游侧的输送单元1上，在得到送风式支持装置3和推进力施加机构4支持的同时，被推进力施加机构4从输送线上游侧送向输送线下游侧。
输送到位于输送线下游侧的输送单元1上的玻璃基板2，由移放设备移放到其它处所。如图1～图3所示，板状体输送装置H如后所述，在上下方向上设置成两层(级)，具有结构相同的部分M1和M2。
如图2和图3所示，各输送单元1具有：向以水平或大约水平状态输送的玻璃基板2的下面2a供给洁净空气，对玻璃基板2以非接触状态进行支持的送风式支持装置3；具有作为对玻璃基板2的两端2b进行接触式支持的同时施加推进力的驱动旋转体的驱动辊9的、对玻璃基板2施加输送方向上的推进力的推进力施加机构4；以及，将后述的输送空间A以及容纳空间B大约成密闭状态包容的壳体7。
如图3和图4所示，送风式支持装置3，由在玻璃基板2的输送方向上排列的风扇过滤器单元14(fan filter unit)构成。作为该风扇过滤器单元14，使用的是安装在用于净化间等场所的容纳装置的背面的、向容纳空间供给洁净空气的单元。
该送风单元的风扇过滤器单元14，是将，作为去除尘埃的超低穿透空气ULPA(Ultra Low Penetration Air)过滤器的除尘过滤器12、与、作为经该除尘过滤器12向玻璃基板2的下面2a供给洁净空气的送风机构的送风风扇13，二者放在槽14A内对它们进行支持从而组装成一体而构成。即，送风式支持装置3中的风扇过滤器单元14，具有：在与玻璃基板2的输送方向相垂直的横宽方向上排列的两个送风风扇13、将这两个送风风扇13的上方覆盖的一个除尘过滤器12、作为对从所说除尘过滤器12中通过的洁净空气进行整流的板状多孔体的整流板16。整流板16也得到槽14A的支持。送风风扇13，是其扇叶在电动马达EM驱动下旋转的电动式风扇。在整流板16的整个面上形成有通过冲压(punching press)形成的通风孔16a。
并且，送风风扇13将下方的空气吸上来，并将该空气向除尘过滤器12所在位置正上方供给。该向正上方供给的空气，通过除尘过滤器12并通过整流板16的通风孔16a后，作为洁净空气直接供给玻璃基板2的下面2a的、与输送方向相垂直的横宽方向上的中间区域2c，以该洁净空气对玻璃基板2的中间区域2c进行支持。所说风扇过滤器单元14，吸入输送外壳5内的空气，使该吸入的空气从除尘过滤器12中通过而作为洁净空气向玻璃基板2的下面供给，以此使得输送空间A内的空气循环.2d是玻璃基板一端部。
所说壳体7，具有：对风扇过滤器单元14进行支持的、俯视时约为长方形的单元用框体15；在单元用框体15的两端沿输送方向分别设置的左右一对的容纳框架8；从右侧的容纳框架8的上端向左侧的容纳框架8的上端延伸的输送盖20。如图3所示，各个所说的容纳框架8，具有上壁8c、下壁8b以及输送空间A一侧的内周壁8a，从输送方向上看约呈コ字形形成，在输送空间A的相反一侧具有容纳盖8d。
如图3所示，由单元用框体15和所说容纳框架8的内周壁8a和输送盖20，构成了将容纳送风式支持装置3和推进力施加机构4和玻璃基板2的输送路径的输送空间A大约成密闭状态包容的输送外壳5。此外，由上壁8c、下壁8b以及容纳盖8d，构成了将容纳推进力施加机构4的电动马达10的容纳空间B大约成密闭状态包容的容纳外壳6。另外，输送空间A和容纳空间B，通过沿输送方向排列设置的输送线上游侧输送单元1和输送线下游侧输送单元1彼此连通，板状体输送装置H中位于输送线最上游侧的输送单元1，其输送空间A和容纳空间B的输送线上游侧端部被输送外壳5和容纳外壳6封闭，位于输送线最下游侧的输送单元1，其输送空间A和容纳空间B的输送线下游侧端部被输送外壳5和容纳外壳6封闭。此外，拆下输送盖20，可将输送空间A从上方打开，拆下容纳盖8d，可将容纳空间B的侧面打开。
所说单元用框体15，由，具有框架构件的支撑框部分15a，以及，比支撑框部分位于更下方的、具有作为将外部空气导入输送空间A内的空气导入部的空气导入口18的板状的板状框部分15b，构成。容纳框架8的内周壁8a上，设有作为将输送空间A内的一部分空气向容纳空间B排放的空气排放部的空气排出17。此外，在容纳框架8的下壁8b上，形成有将容纳空间B的空气排放到外部的外排24。该外排24上，设有作为具有送风功能和除尘功能的外排机构的子风扇过滤器单元23(sub-fan-filter nuit)。
并且，输送空间A与容纳空间B二者经所说空气排出17连通，从空气排出17排出的空气，从空气排出17通过后进入容纳空间B中。此外，该空气排出17上，设有允许空气从输送空间A流向容纳空间B、而防止空气从容纳空间B流向输送空间A的防逆流阀21。
即，借助于送风风扇13的送风作用，可使空气在输送空间A内循环，并将外部空气从空气导入口18导入输送空间A内，并且，通过将输送空间A内进行循环的一部分空气从空气排出口17排放到容纳空间B内，可使输送空间A内进行循环的空气的一部分得到更换。排放到容纳空间B内的空气，受到子风扇过滤器单元23的抽吸，该空气经过除尘后从外排口24排放到外部。
因此，输送空间A内的空气将如下所述地进行循环。输送空间A内的空气受到送风风扇13的抽吸，经由除尘过滤器12和整流板16作为洁净空气向玻璃基板2的下面2a供给。此外，随着外部空气从空气导入口18被导入输送空间A内、输送空间A内压力增高，在输送空间A内循环的一部分空气，或从空气排出口17被排放到容纳空间B内，或从容纳框架8和输送盖20之间的间隙等处被排放到外部，因而输送空间A内进行循环的一部分空气将得到更换。因此，在输送空间A内，空气处于压力增高的状态，因而能够防止容纳空间B内的空气从空气排出口17进入，防止外部空气从容纳框架8与输送盖20之间的间隙等处进入，而且，通过对输送空间A内的部分空气进行更换，能够抑制输送空间A内温度的升高。
而对于容纳空间B，随着子风扇过滤器单元23将容纳空间B内的空气从外排口24排放到外部、容纳空间B内压力降低，空气可从上壁8c与容纳盖8d之间的间隙和空气排出口17被导入容纳空间B内，从而使容纳空间B内的部分空气得到更换。因此，由于容纳空间B内的空气处于压力降低状态，因而能够防止容纳空间B内的空气通过空气排出口和上壁8c与容纳盖8d之间的间隙等处进入，而且，通过对容纳空间B内的一部分空气进行更换，能够抑制容纳空间B内空气温度的升高。
下面，对所说推进力施加机构4结合图5～图8进行详细说明。如图5所示，在容纳空间B内，设有：在输送方向上多根排列的、彼此通过联轴器31可连动地联接的传动轴27；以及，所说电动马达10。此外，以容纳框架8的内壁8a，对沿输送方向隔开间隔设置的、分别向容纳空间B侧和输送空间A侧突出的多个输出轴26进行支持而使之能够自由旋转。在输出轴26的向输送空间A侧突出的部分上，设有具有大直径部9a的所说驱动辊9。在输出轴26的向容纳空间B侧突出的部分上，设有由螺旋齿轮构成的输入齿轮部30。此外，在多个传动轴27之中的一个上，设有直齿齿轮28。该直齿轮28与电动马达10的齿轮部啮合。传动轴27在多个输出轴26处分别设有输出齿轮部29。它们与输出轴26的输入齿轮部30相啮合。
即，作为推进力施加机构4，具有电动马达10和输出轴26和传动轴27和驱动辊9，驱动辊9可在电动马达10的驱动力的驱动下旋转。输出轴26通过环形部件(collar member)CM得到容纳框架8的内壁8a的支持而能够自由旋转。
因此，如图3所示，对于玻璃基板2，在以推进力施加机构4的驱动辊9对其两端2b以接触状态进行支持的状态下，以送风式支持装置3的洁净空气对其中间区域2c以非接触状态进行支持，并且，以受到驱动而旋转的驱动辊9施加推进力，从而沿输送方向进行输送。此时，通过驱动辊9的大直径部9a，对于在与输送方向相交叉的方向上的位置偏移进行限制。
如图1和图2所示，板状体输送装置H中，设有对玻璃基板2进行输送的上下两层的输送部M1和M2，作为该上下两层的输送部M1和M2之中的上层的输送部M1，通过操作能够以一端为支点向上摆动从而将下层的输送部M2从上方打开。即，各个输送单元1中，输送外壳5设置成上下两层，各个输送外壳5中分别容纳有由送风式支持装置3和推进力施加机构4等构成的输送部M1或M2。并且，通过上层输送外壳5以轴线P为轴向上摆动，可使上层输送部M也与该上层输送外壳5一起向上摆动，将下层输送外壳5从上方打开，拆下下层输送外壳5的盖20，便能够从上方对输送空间A内部进行维护。在对容纳空间B进行维护作业时，拆下容纳盖8d将容纳空间B打开，便能够进行维护作业。
另外，作为上下两层输送部M1和M2的一种使用形式，可以使上层输送部M1和下层输送部M2的输送方向相反，以上层的输送部M1将玻璃基板2从输送起始地输送到输送目的地，以下层的输送部M2将进行相同工序的玻璃基板2或不合格的玻璃基板2等从输送目的地输送到输送起始地。除此之外，也可以采用如下使用形式，即，使上层输送部M1与下层输送部M2的输送方向相同，以上层输送部M1和下层输送部M2将板状体从输送起始地输送到输送目的地。
如图8所示，板状体输送装置的控制部H按照运行指令开关S发出的指令，对多个输送单元1的各个单元，进行电动马达EM开始工作和停止工作、风扇过滤器单元14的工作状态、以及、子风扇过滤器单元23开始工作和停止工作等控制。
所说风扇过滤器单元14中的送风风扇13这样构成，即，能够按照运行指令开关S发出的指令，将向玻璃基板2的下面吹送的空气的送风量，自由地改变为，对玻璃基板2以非接触状态进行支持的支持用送风量以及与该支持用送风量不同的送风量。具体地说，送风风扇13能够在支持用送风量、小于支持用送风量的设定送风量、以及、大于支持用空气量的设定送风量等多级送风量之间自由改变。
并且，控制部H这样构成，即，当通过运行指令开关S发出输送开始指令时，使推进力施加机构的电动马达10以及子风扇过滤器单元23工作，并使送风风扇13按照向玻璃基板2的下面吹送的空气的送风量为支持用送风量的要求进行工作。此外，控制部H还这样构成，即，当通过运行指令开关S等发出小风量运行指令时，使电动马达10不工作，而使送风风扇13按照向玻璃基板2的下面吹送的空气的送风量为较小的设定风量的要求进行工作。在这种场合，无论使子风扇过滤器单元23工作还是不工作均可。
而且，控制部H还这样构成，即，当通过运行指令开关S等发出大风量运行指令时，使电动马达10不工作，而使送风风扇13按照向玻璃基板2的下面吹送的空气的送风量为较大的设定风量的要求进行工作。在这种场合，无论使子风扇过滤器单元23工作还是不工作均可。
并且，作为运行指令开关S，能够对多个输送单元1分别发出指令，能够对多个输送单元1的所有单元发出相同的指令，或者分别发出不同的指令。
此外，上述对送风风扇13发出的指令，能够使多个输送单元1的所有单元执行同样的指令，对于所有输送单元1，能够使送风风扇13进行同样的动作。
送风量可调节级数，除了上面所公开的3级之外，也可以根据需要加以改变.
另外，虽未图示，在位于所说输送线下游侧的既定的板状体输送装置1中，在沿输送方向排列的风扇过滤器单元14之间，形成有将板状体转移到其它场所的移放设备的臂部可伸入的间隙。此外，在板状体输送装置1中，设有将该板状体输送装置1所产生的负离子中和的离子发生器(ionizer)。
[第2实施形式]
下面对第2实施形式进行说明。凡与第1实施形式的构成相同者，赋予与第1实施形式相同的编号，将说明省略。
在第1实施形式中，公开的是一种，具有在与玻璃基板2输送方向相垂直的横宽方向上排列的两个送风风扇13的风扇过滤器单元14。该第2实施形式所公开的风扇过滤器单元14，其横宽方向上的宽度，大约是第1实施形式所公开的宽度的一半，各个风扇过滤器单元14各具有一个送风风扇13。因此，如图12所示，送风式支持装置3，由沿输送方向排列3个、沿横宽方向排列2个的共计6个风扇过滤器单元14构成。在该实施形式中，该风扇过滤器单元14使用的也是安装在净化间等中所使用的容纳装置的背面、向容纳空间供给洁净空气的单元.
并且，如图10所示，在风扇过滤器单元14放置在所说单元用框体15上并得到后者支持的状态下，在风扇过滤器单元14与位于其旁侧的容纳框架8之间形成第1循环路径CP1。通过使在横宽方向上排列的所说风扇过滤器单元14彼此之间拉开距离而形成第2循环路径CP2。通过使在输送方向上排列的所说风扇过滤器单元14彼此之间拉开距离而形成第3循环路径CP3。第1循环路径CP1、第2循环路径CP2、第3循环路径CP3彼此连通。并且，如图12所示，在整流板16的、位于第2循环路径CP2的正上方的部分上，通过冲压形成有第2通风孔16b，在整流板16的、位于第3循环路径CP3的正上方的部分上，通过冲压形成有第3通风孔16c。
因此，作为将向玻璃基板2的下面2a供给的洁净空气向送风风扇13下方空间排放的路径，除了从送风式支持装置3和位于其旁侧的容纳框架8二者之间的第1循环路径CP1通过的路径之外，还存在着，经第2通风孔16b从在横宽方向上排列的所说风扇过滤器单元14彼此之间的第2循环路径CP2通过的路径、以及、经第3通风孔16c从在输送方向上排列的所说风扇过滤器单元14彼此之间的第3循环路径CP3通过的路径。因此，通过将滞留于板状体2的中间区域2c的下方的洁净空气，经从第2循环路径CP2通过的路径向下方排放，能够抑制板状体中间区域2c拱起。
即，如图14(A)所示，在送风式支持装置3的横宽方向上的中部未形成有第2循环路径CP2的场合，洁净空气容易滞留于送风式支持装置3的横宽方向上的中部的板状体2与送风式支持装置3之间，板状体2将在中间区域2c拱起的状态下进行输送。然而，通过在送风式支持装置3的横宽方向上的中部形成第2循环路径CP2，如图14(B)所示，即使在送风式支持装置3的横宽方向上的中部，由于洁净空气可从第2循环路径CP2排出，因而洁净空气也不容易滞留于板状体2与送风式支持装置3之间，可抑制板状体2的中间区域2c拱起而能够将其以大约水平状态进行输送。
下面，就第2实施形式的对所说玻璃基板2施加输送方向上的推进力的推进力施加机构4进行说明。该推进力施加机构4具有：作为对所说玻璃基板2的一端进行接触式支持的驱动旋转体的多个驱动辊9A；作为对另一端进行接触式支持的从动旋转体的多个从动辊9B；作为对所说驱动辊9A进行驱动的驱动机构的电动马达10；作为将所说电动马达10的动力传递给从动辊9B的传递机构的传动轴TS。并且，推进力施加机构4，对处于水平或大约水平状态的所说玻璃基板2的两端2b以驱动辊9A和从动辊9B进行接触式支持的同时施加推进力。所说传动轴TS配置在所说第3循环路径CP3中。
并且，如图12、图13所示，在驱动侧推进力施加机构4a的一个传动轴27、与、从动侧推进力施加机构4b的一个传动轴27上，分别设有传递齿轮TG。动力从驱动侧推进力施加机构4a的传递齿轮TG向从动侧动力传递机构4b的传递齿轮TG的传递，是通过以所说传动轴TS进行连动式联接而实现的。
因此，驱动辊9A在电动马达10的动力的驱动下旋转，从动辊9B也在电动马达10的经由传动轴TS传递过来的动力的驱动下旋转。并且，对于玻璃基板2，以推进力施加机构4的驱动辊9A和从动辊9B对其两端2b以接触状态进行支持的同时施加推进力，在以推进力施加机构4的洁净空气对其中间区域2c以非接触状态进行支持的同时沿输送方向进行输送。此时，通过驱动辊9A和从动辊9B的大直径部，对在与输送方向相交叉的方向上的位置偏移进行限制。
通过采用这种结构，能够减少电动马达10等驱动机构的数量，结构得以简化，而且，所说玻璃基板2两侧的辊容易同步。驱动旋转体和从动旋转体由同步皮带等环形带状体构成的方案，也属于本发明的范围。
在该实施形式中，还可以设置能够对通风风路的排风量进行调节的排风量调节机构。
即，如图15(A)、图15(B)、以及图16所示，作为多孔体的分体式整流板41，由在所说横宽方向上分体设置的多个板状部分41a构成，在所说横宽方向上相邻的板状部分41a彼此隔开间隔设置，从而形成向所说第2循环路径CP2通风的第2通风孔16b。在这里，可通过排风量调节机构40，对所说分体式整流板41的所说板状部分41a彼此之间的间隔进行调节，从而对所说第2循环路径CP2的排风量进行调节。
即，所说分体式整流板41，是以分体成，将位于横宽方向上的一侧的3个风扇过滤器单元14的上方覆盖的板状部分41a、以及、将位于横宽方向上的另一侧的3个风扇过滤器单元14的上方覆盖的板状部分41a，的两板构成。在该两个板状部分41a之间形成有第2通风孔16b。下面，对横宽方向上的一侧的板状部分41a进行说明。该板状部分41a，由位于风扇过滤器单元14的上方的形成有多个通风孔16a的多孔部41b、以及、位于所说通风风路的上方的未形成有通风孔16a的封堵部41c构成；在风扇过滤器单元14的上部，以可在横宽方向上自由滑动地得到支持。此外，在所说3个风扇过滤器单元14之中的输送线上游侧风扇过滤器单元14的输送线上游一侧的侧壁、以及、输送线下游侧风扇过滤器单元14的输送线下游一侧的侧壁上，分别设有电动式缸42，该缸42各自的前端与板状部分41a相联接。随着缸42进行伸缩动作，板状部分41a在横宽方向上滑移，封堵部41c在通风风路的上方沿横宽方向进退。另外，其它板状部分41a也具有相同的结构，故省略其说明。
即，所说排风量调节机构40，由上述共计4个的缸42构成，通过使各42同步伸缩，能够对板状部分41a彼此之间的间隔进行调节。因此，如图15(A)所示，随着各缸42伸出，板状部分41a彼此之间的间隔变窄，第2通风孔16b的通风量减少，从而第2循环路径CP2的排风量也减少。如图15(B)所示，随着各缸42退缩，板状部分41a彼此之间的间隔变宽，第2通风孔16b的通风量增加，从而第2循环路径CP2的排风量也增加。
在上述实施形式中，还可以设置能够对通风风路的排风量进行调节的排风量调节机构。
如图17和图18所示，可以使排风量调节机构40具有对所说第2通风孔16b的开口量进行调节的调节板45。即，能够以排风量调节机构40驱使调节板45移动而使第2通风孔16b的开口量得到调节，从而对所说第2循环路径CP2的排风量进行调节。
更具体地说，在与上述实施形式同样构成的整流板16的下面一侧，有一板调节板45得到支持而能够在横宽方向上自由滑动，随着该调节板45在横宽方向上滑移，可将多个第2通风孔16b的各孔或部分封闭或全部封闭，从而对第2通风孔16b的开口量进行调节。并且，以所说支撑框部分15a对电动式马达46进行支持而使之位于第2循环路径CP2中。设置在该马达46的输出轴上的齿轮部46a与形成于调节板45下表面上的齿轮槽45a啮合。
即，排风量调节机构40，由调节板45和马达46构成，通过使马达46正反转旋转而使得调节板45进行滑移，便能够对第2通风孔16b的开口量进行调节，通过调节第2通风孔16b的通风量，可使第2循环路径CP2的排风量得到调节。
此外，作为上述实施形式，也可以设计成能够对送风单元在横宽方向上的位置进行调节，所说排风量调节机构，也可以设计成，通过调节改变横宽方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离的距离而对通风风路的排风量进行调节。
即，如图19(A)、图19(B)、以及图20所示，风扇过滤器单元14被支持成能够相对于单元用框体15的支撑框部分15a向横宽方向自由滑移，在输送方向上排列的3个风扇过滤器单元14通过联接部件的联接而能够成一体地在横宽方向上滑移。并且，如图19(A)、图19(B)所示，支撑框部分15a上设有4个电动式的单元用48，在输送线上游侧的两个风扇过滤器单元14各自的输送线上游一侧的底部、以及、输送线下游侧的两个风扇过滤器单元14各自的输送线下游一侧的底部上，有单元用缸48的前端与之联接。此外，整流板16被固定在单元用框体15等板状体输送装置H的固定部分上而得到支持。
即，所说排风量调节机构40，由上述共计4个的缸48构成，通过各个缸48同步伸缩，在横宽方向上排列的风扇过滤器单元14彼此之间的间隔可得到调节。因此，如图19(A)所示，随着各单元用缸48伸出，在横宽方向上排列的风扇过滤器单元14彼此之间的间隔变窄，从而第2循环路径CP2的排风量减少。而如图19(B)所示，随着各单元用缸48退缩，在横宽方向上排列的风扇过滤器单元14彼此之间的间隔变宽，从而第2循环路径CP2的排风量增加。并且，随着单元用缸48的伸缩，风扇过滤器单元14将相对于整流板16在横宽方向上移动，当单元用缸48伸出时，风扇过滤器单元14将一部分第2通风孔16b挡住，从而使第2通风孔16b的通风量减少，即，通过风扇过滤器单元14的移动还能够使第2通风孔16b的通风量得到调节。
此外，对于供给板状体下面的风压，需要时可根据送风式支持机构的风力和被支持板状体的情况加以改变。
在上述实施形式中，横宽方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离而形成的第2循环路径、与、输送方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离而形成的第3循环路径二者均具有。但也可以设计成仅具有其中的某一种。即，如图21所示，也可以设计成，使横宽方向上排列的风扇过滤器单元14彼此分开而具有第2循环路径CP2，而使输送方向上排列的送风单元彼此靠近而不具有第3循环路径CP3。
并且，如图22所示，还可以设计成，通过在作为送风单元的风扇过滤器单元之中的两个送风机构之间的位置上形成所说第2循环路径CP2，从而在送风式支持机构的横宽方向上的中部形成循环路径。
[第3实施形式]
图23和图24示出输送物姿态的另一个实施形式，下面，围绕与其它实施形式的不同点结合附图进行说明。凡与上述实施形式相对应的部件，赋予相同的编号，将其详细说明省略。
所说纵向姿态输送单元33如图23和图24所示，是在玻璃基板2的输送方向上排列多个而设置的，将作为输送物的玻璃基板2以接近于纵向姿态的姿态进行输送。
并且，纵向姿态输送单元33，具有以接近于纵向姿态的姿态设置的纵向姿态送风式支持装置3、以及、纵向姿态推进力施加机构VT。
附带说明，在该实施形式中，是将玻璃基板2以接近于纵向姿态的姿态输送的，因此，纵向姿态输送单元33所在一侧是玻璃基板2的下面部分。
纵向姿态送风式支持机构3，能够向以接近于纵向姿态的姿态输送的玻璃基板2的下面供给洁净空气，对玻璃基板2以非接触状态进行支持。
附带说明，该纵向姿态送风式支持装置3，与上述实施形式中的送风式支持装置3同样，由除尘过滤器12和送风风扇13组装成一体的风扇过滤器单元14构成，该风扇过滤器单元14由上下排列的两个送风风扇13和一个除尘过滤器12组装成一体而成。
此外，还设有对来自风扇过滤器单元14的洁净空气进行整流的整流板16。
并且，纵向姿态推进力施加机构VT，具有对玻璃基板2的一个端部进行接触式支持的同时施加推进力的同步皮带34，由此对玻璃基板2施加输送方向上的推进力。更具体地说，作为纵向姿态推进力施加机构VT，具有：位于输送线下游侧的、在电动式马达50的驱动下旋转的驱动轮36；位于输送线上游侧的可自由旋转的从动轮37；以及，绕挂在上述驱动轮36与从动轮37上的同步皮带34。
并且，同步皮带34，其在送进路径内的部分从内周面一侧得到内支持轮38的支持，其在返回路径内的部分从外周面一侧得到外支持轮39的支持。
此外，设有将容纳纵向姿态送风式支持机构3与玻璃基板2的输送路径的输送空间A成密闭状态或大约为密闭状态包容的输送外壳5。
所说送风风扇13与上述实施形式同样，能够在支持用送风量、小于支持用送风量的设定送风量、以及、大于支持用空气量的设定风量的多级送风量之间自由改变。
并且，控制部H，能够按照运行指令开关S发出的指令，对多个输送单元1分别进行电动式马达50开始工作和停止工作、以及、风扇过滤器单元14的工作状态等控制。
附带说明，在该实施形式中，未设置子风扇过滤器单元，因此，作为控制框图，在图8中，要将子风扇过滤器单元23省略，将电动马达10改为电动式马达50。
并且，控制部H，能够按照运行指令开关S发出的指令，使风扇过滤器单元14中的送风风扇13，以支持用送风量和较小设定风量和较大设定风量之中的某一风量工作。
在上述实施形式中，还可以替代将输送空间A包容的输送外壳5而使用可将该空间从上方打开的输送外壳5。
[第4实施形式]
下面，就板状体输送装置的送风式支持机构中，设置有将送风机构送来的空气分配给多个除尘过滤器的通风风路的场合，结合附图进行说明。在该实施形式中，玻璃基板是以水平或大约水平状态输送的。
对于与第1实施形式构成相同者，赋予与第1实施形式相同的编号，将说明省略。
如图27所示，作为板状体输送装置H，是将板状体输送机构h在玻璃基板2的输送方向上排列而加以使用的，该板状体输送机构h中设有，作为向被输送的玻璃基板2的下面2a供给洁净空气、对玻璃基板2以非接触状态进行支持的送风式支持机构的送风式支持机构53。
所说送风式支持机构53，具有：去除尘埃的以ULPA过滤器构成的9个除尘过滤器12；经该除尘过滤器12向玻璃基板2的下面2a供给洁净空气的送风风扇13；以及、将送风风扇13送来的空气分配给多个除尘过滤器12的通风风路54。此外，如图28、29所示，设置有将3个除尘过滤器12的上方覆盖的、可使从除尘过滤器12中通过的洁净空气从中流过的板状的整流板16。
并且，如图27所示，所说通风风路54，以硬质管道形成，由将送风风扇13送来的空气向顺沿于输送方向的横向进行引导的横向通风风路55、以及、向纵向进行引导的纵向通风风路56构成。
横向通风风路55，与容纳送风风扇13的风扇外壳57的侧壁相连，具有从该风扇外壳57向输送线上游侧延伸的横向通风风路55、以及、向输送线下游侧延伸的横向通风风路55两个通风风路。纵向通风风路56因与9个除尘过滤器12分别相连，因而具有9个。
并且，与位于输送方向上游侧的4个除尘过滤器12进行连接的4个纵向通风风路56，分别与向输送线上游侧延伸的横向通风风路55相连。同样地，与位于输送方向下游侧的4个除尘过滤器12进行连接的4个纵向通风风路56，分别与向输送线下游侧延伸的横向通风风路55相连。再有，与位于输送方向正中的除尘过滤器12进行连接的一个纵向通风风路56，与风扇外壳57的顶壁相连。
另外，在风扇外壳57的底壁上，形成有将所说输送空间A内的空气导入风扇外壳57内的导入孔57a。
如图28、图29所示，在各个纵向通风风路56中，设置有能够以横向轴线为轴摆动的风量调节阀58，通过使该风量调节阀58摆动，可调节向除尘过滤器12侧供给的空气的量。此外，在纵向通风风路56的上端、即与除尘过滤器的周边壁进行连接的部位，形成有存留送风风扇13送来的空气的腔室C，即使送风风扇13供给的空气发生脉动(pulsation)，也能够通过腔室C内部空气压力增高降低所产生的缓冲作用抑制脉动。
所说板状体输送机构h由3个单元构成，由如图28所示的具有主部分53a的一个主输送单元1a、以及、如图29所示的具有从部分53b的两个从输送单元1b构成。另外，在主输送单元1a和从输送单元1b中，也分别设置有所说推进力施加机构4和所说壳体7，因与上述第1实施形式构成相同，故将详细说明省略。
因此，在主输送单元1a的输送线上游侧和输送线下游侧，分别连接有主部分53a的横向通风风路55和从部分53b的横向通风风路55，通过连接从板状体输送单元1b而组装成板状体输送机构h。
另外，板状体输送机构h，既可以由主输送单元1a的一个单元构成，也可以由主输送单元1a和在该主输送单元1a的输送方向一侧与之连接的从输送单元1b两个单元构成。在这种场合，将主输送单元1a中的不进行连接的横向通风风路55的端部封闭。
并且，送风式支持机构53对板状体这样进行支持，即，利用送风风扇13的送风作用，对送风风扇13下方的输送空间A内的空气进行抽吸并从导入孔57a吸入风扇57内，该吸入的空气经通风风路54进入除尘过滤器12一侧，从除尘过滤器12和整流板16中通过后作为洁净空气供给玻璃基板2的下面2a的中间区域2c，以该洁净空气对玻璃基板2的中间区域2c进行支持。
在主输送单元1a中，在送风风扇13的送风作用下，使空气以经由通风风路54、除尘过滤器12、整流板16向板状体2的下面2a供给的形式在主输送单元1a内进行循环。此外，在送风风扇13的送风作用下，外部空气从空气导入口18被导入输送空间A内，输送空间A内压力增高，因此，在输送空间A内进行循环的一部分空气从空气排出口17和容纳框架8与输送盖20之间的间隙等处排放到外部，使在输送空间A内循环的空气的一部分被更换。
而在从输送单元1b中，在送风风扇13的送风作用下，空气从主输送单元1a侧经由通风风路54被导入从输送单元1b侧。该导入的空气经由通风风路54、除尘过滤器12、整流板16供给板状体2的下面2a。由于来自主输送单元1a侧的空气的导入，从输送单元1b的输送空间A内处于压力增高状态，因此，输送空间A的一部分空气将从空气排出口17和容纳框架8与输送盖20之间的间隙等处排放到外部，输送空间A内的一部分空气得到更换。
因此，主输送单元1a以及从输送单元1b的输送空间A，随着空气的导入而处于压力增高状态，因而能够防止外部空气从空气排出口17和容纳框架8与输送盖20之间的间隙等处进入。此外，由于将外部空气导入输送空间A内，因而能够使输送空间内的温度维持在与外部温度相同或与之接近的温度上。
[其它实施形式]
(1)在上述实施形式中，也可以设计成，所说送风单元具有，在允许洁净空气在所说多孔体的通风孔中流动的状态下、从洁净空气的流动方向上看对所说通风孔进行遮挡的遮挡部。
即，如图25、图26所示，送风单元14中，在整流板16的更上方具有作为遮挡部的遮挡板19，在该遮挡板19上，在从洁净空气的流动方向上看不与整流板16的通风孔16a重复的位置上通过冲压形成通风孔19a。
此外，也可以使整流板与遮挡板的位置关系相反。此外，还可以设计成，相对于遮挡部为遮挡板而分别具有整流板和遮挡部的场合，代之以，在整流板上的通风孔的周边的上面或下面，具有作为在允许洁净空气在整流板的通风孔中流动的状态下、从洁净空气的流动方向上看对通风孔进行遮挡的遮挡部的舌板等，从而在整流板上成一体地形成遮挡部。
(2)在上述第4实施形式中，通风风路是由硬质管道构成的，但也可以设计成通风风路的整体或局部以软质软管等构成。此外，将风量调节阀设计成，能够以横向轴线为轴摆动，从而能够对向除尘过滤器一侧供给的通风量进行调节，但风量调节阀也可以设计成，能够滑移而相对于通风风路进行进退，从而能够对向除尘过滤器一侧供给空气的通风风路进行调节。
即，如图30所示，也可以设计成，通风风路54中的纵向通风风路56以软管构成，而且，具有在横向通风风路55上能够滑动的风量调节阀58从而能够对横向通风风路55的为了与纵向通风风路56实现连通而开设的开口的开口量进行调节，通过调节该风量调节阀58相对于风路的进退量，能够对向除尘过滤器一侧供给空气的通风风路进行调节。
(3)在上述实施形式中，送风式支持机构，是由除尘过滤器与送风机构组装成一体的多个送风单元构成的，但也可以如第4实施形式那样，设置将送风机构送来的空气向除尘过滤器进行引导的通风风路等，除尘过滤器12与送风风扇13分别单独组装而构成送风式支持机构。
(4)在上述第1实施形式和第2实施形式中，输送外壳设置成上下两层，输送部容纳于该各输送外壳中，从而将输送部设置成上下两层，但也可以将上下两层的输送部容纳在一个容纳外壳中。在这种场合，也可以这样构成，即，使容纳外壳分成上下两部分，随着输送外壳的上部分围绕一端的支点向上摆动，可使得上层输送部与该上层输送外壳一起也向上转动.此外，也可以设计成，将一个输送部容纳于一个输送外壳中，将输送部做成一层。
(5)在上述第1实施形式和第2实施形式中，对所说板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构，以具有对所说板状体进行接触式支持的同时施加推进力的驱动旋转体而构成，所说送风式支持机构，以能够对所说板状体的位于两端之间的部分进行支持而构成，但对于玻璃基板，也可以仅以送风式支持机构以非接触状态进行支持。
(6)在上述第1实施形式和第2实施形式中，是以推进力施加机构的驱动旋转体对板状体的两端以接触状态进行支持，通过驱动该进行接触式支持的驱动旋转体旋转而对板状体施加推进力，将板状体沿输送方向进行输送的，但也可以这样构成，对于板状体的两端，或者以可自由旋转的旋转体进行支持，或者如上所述，仅以送风式支持机构以非接触状态进行支持，在不具有推进力施加机构的情况下，利用将板状体自动或人为移放到位于输送线上游侧的板状体输送装置上的力，从后面推前面的板状体从而对前面的板状体施加输送方向上的推进力。此外，也可以设计成，通过送风式支持机构所供给的洁净空气，对板状体施加输送方向上的推进力。还可以设计成，向着板状体输送方向逐渐变低，从而靠板状体自重施加推进力。
(7)在上述第3实施形式中，是以纵向姿态推进力施加机构的驱动旋转体对板状体的一端以接触状态进行支持，通过驱动该进行接触式支持的驱动旋转体旋转而对板状体施加推进力，将板状体沿输送方向进行输送的，但也可以这样构成，即，以自由旋转的旋转体对板状体的一个端部进行支持，在不具有纵姿态输送用推进力施加机构的情况下，利用将板状体自动或人为移放到位于输送线上游侧的板状体输送装置上的力，从后面推前面的板状体从而对前面的板状体施加输送方向上的推进力，也可以这样构成，即，使得向板状体输送方向倾斜，从而靠板状体自重施加推进力。
(8)作为上述第1实施形式和第2实施形式中对板状体的两端进行支持的同时施加推进力的驱动旋转体，也可以由同步皮带等环形带状物构成，此外，作为第3实施形式中对板状体的一个端部进行接触式支持的同时施加推进力的驱动旋转体，也可以由驱动辊构成。此外，在上述第3实施形式中，也可以具有，对板状体的相对于一个端部的另一个端部，以驱动辊或环形带状物进行接触式支持的同时施加推进力的子推进力施加机构。
(9)在上述第3实施形式中，板状体是以接近于纵向姿态的姿态进行输送的，但也可以设计成，向板状体的两面的中部供给洁净空气，将板状体以纵向姿态进行输送。
(10)在上述实施形式中，是在输送外壳上设置空气排放部和空气导入部，从而使得输送空间大约成密闭状态的，但也可以不设置空气排放部和空气导入部而使输送空间成密闭状态。
(11)在上述实施形式中，除尘过滤器由ULPA过滤器构成，当也可以由高效颗粒空气(HEPA)(High Efficiency Particulate Air)过滤器等其它过滤器构成。
(12)在第1和第2实施形式中，也可以采用，不使用输送盖20而使输送空间A向上方敞开的结构。
(13)作为板状体，列举的是液晶用玻璃基板的例子，但也可以是诸如半导体晶片等，被支持体的形状和大小等不受实施形式的限定。
(14)在第1实施形式中，也可以设计成，对于风量调节，即使以以非接触状态进行输送为目的，也能够根据输送条件提供不同的风量。
提供一种容易制作的板状体输送装置。

Claims (22)

1.一种板状体输送装置，是具有向被输送板状体的下面供给洁净空气、对所说板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构的板状体输送装置，其特征是，
所说送风式支持机构，具有去除尘埃的除尘过滤器、接近于所说除尘过滤器而配置在其上方的多孔体、以及、经该除尘过滤器向所说板状体的下面供给洁净空气的具有电动风扇的送风机构。
2.如权利要求1所记载的板状体输送装置，其特征是，
具有对所说板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构，所说推进力施加机构具有，与处于大约水平状态的所说板状体的、与所说输送方向相垂直的宽度方向上的两端接触而施加推进力的驱动旋转体，
所说送风式支持机构，以，能够对所说板状体的位于所说两端之间的部分进行支持，而构成。
3.如权利要求1或2所记载的板状体输送装置，其特征是，所说除尘过滤器与所说送风机构组合成一体而构成送风单元，使该送风单元在板状体输送方向上排列而构成所说送风式支持机构。
4.如权利要求1或2所记载的板状体输送装置，其特征是，所说送风式支持机构，具有在所说输送方向上排列的多个所说除尘过滤器、以及、将所说送风机构送来的空气分配给多个所说除尘过滤器的通风风路。
5.如权利要求1或2所记载的板状体输送装置，其特征是，
具有将容纳所说送风式支持机构和所说板状体输送路径的输送空间成大约密闭状态包容的输送外壳，
所说送风机构，对所说输送外壳内的空气进行抽吸，将该被抽吸的空气经所说除尘过滤器向所说板状体的下面作为洁净空气供给，使得所说输送空间内的空气进行循环。
6.如权利要求5所记载的板状体输送装置，其特征是，所说输送外壳，具有可将所说输送空间内的一部分空气排放的空气排放部，以及、将外部空气导入所说输送空间内的空气导入部。
7.如权利要求6所记载的板状体输送装置，其特征是，具有将从所说空气排放部排放的空气除尘后排放到外部的外排机构。
8.如权利要求7所记载的板状体输送装置，其特征是，
将容纳对所说推进力施加机构中的所说驱动旋转体进行驱动的驱动机构的容纳空间大约成密闭状态包容的容纳外壳，在所说输送外壳的旁侧以与之邻接的状态进行设置；
所说输送外壳的所说空气排放部，以，能够将所说输送空间内的空气排入所说容纳空间内，而构成；
所说外排机构，以，能够对所说容纳空间内的空气进行抽吸、对该空气进行除尘后向外部排放，而构成。
9.如权利要求1或2所记载的板状体输送装置，其特征是，所说送风式支持机构，具有在允许洁净空气在所说多孔体的通风孔中流动的状态下，从洁净空气的流动方向上看对所说通风孔进行遮挡的遮挡部。
10.如权利要求1或2所记载的板状体输送装置，其特征是，
具有对所说板状体进行输送的上下两层的输送部，
该上下两层的输送部之中的上层的输送部，以，通过操作能够以一端为支点向上摆动从而将下层的输送部从上方打开，而构成。
11.如权利要求1所记载的板状体输送装置，其特征是，所说送风机构，以，能够将向所说输送物的下面吹送的空气的送风量自由改变为对所说输送物以非接触状态进行支持的第1风量、以及、与该第1风量不同的送风量，而构成。
12.如权利要求11所记载的板状体输送装置，其特征是，所说送风机构，以，能够将向所说输送物的下面吹送的空气的送风量自由改变为小于所说支持用送风量的设定送风量，而构成。
13.如权利要求11所记载的板状体输送装置，其特征是，所说送风机构，以，能够将向所说输送物的下面吹送的空气的送风量自由改变为大于所说支持用送风量的设定送风量，而构成。
14.如权利要求1所记载的板状体输送装置，其特征是，在所说送风式支持机构的旁侧形成有允许空气向下方移动的第1循环路径。
15.如权利要求1所记载的板状体输送装置，其特征是，在所说送风式支持机构中，在与所说板状体的输送方向相垂直的横宽方向上的中间部位形成有可将供给所说板状体的下面的洁净空气向下方排放的第2循环路径。
16.如权利要求15所记载的板状体输送装置，其特征是，
所说送风式支持机构，是使所说除尘过滤器与所说送风机构组装成一体而成的送风单元在所说输送方向上和所说横宽方向上排列而构成；
所说第2循环路径，是所说横宽方向上排列的送风单元彼此之间离开距离而形成。
17.如权利要求15或16所记载的板状体输送装置，其特征是，设有能够对所说第2循环路径的排风量进行调节的排风量调节机构。
18.如权利要求17所记载的板状体输送装置，其特征是，
所说多孔体，具有可向所说第2循环路径通风的通风部。
19.如权利要求18所记载的板状体输送装置，其特征是，
所说多孔体，由在所说横宽方向上分体设置的多个板状部分构成，该多个板状部分，在所说横宽方向上拉开间隔设置从而形成所说通风部，
所说排风量调节机构，通过调节所说多孔体的所说板状部分彼此之间的间隔而对所说第2循环路径的排风量进行调节。
20.如权利要求18所记载的板状体输送装置，其特征是，所说排风量调节机构，具有对所说通风部的开口量进行调整的调节板。
21.如权利要求16所记载的板状体输送装置，其特征是，所说送风式支持机构，以所说送风单元在输送方向上排列而构成，通过使在所说输送方向上排列的送风单元彼此之间拉开距离，形成将供给所说板状体的下面的洁净空气向下方排放的第3循环路径。
22.如权利要求15或16所记载的板状体输送装置，其特征是，
对所说板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构，以，具有对所说板状体的一端进行接触式支持的驱动旋转体、对另一端进行接触式支持的从动旋转体、对所说驱动旋转体进行驱动的驱动机构、将所说驱动机构的动力传递给从动旋转体的传递机构；能够对所说板状体的两端以驱动旋转体和从动旋转体进行接触式支持的同时施加推进力，而构成，所说传递机构配备在所说第2循环路径中。
CNB2004100329689A 2003-04-14 2004-04-14 板状体输送装置 Expired - Lifetime CN100482555C (zh)

Applications Claiming Priority (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP109137/03 2003-04-14
JP2003109137 2003-04-14
JP109137/2003 2003-04-14
JP270686/03 2003-07-03
JP2003270686A JP4214468B2 (ja) 2003-07-03 2003-07-03 搬送装置
JP270686/2003 2003-07-03
JP271947/03 2003-07-08
JP271947/2003 2003-07-08
JP2003271947A JP4258713B2 (ja) 2003-07-08 2003-07-08 板状体搬送装置
JP2003274874A JP4251279B2 (ja) 2003-04-14 2003-07-15 板状体搬送装置
JP274874/03 2003-07-15
JP274874/2003 2003-07-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1541917A CN1541917A (zh) 2004-11-03
CN100482555C true CN100482555C (zh) 2009-04-29

Family

ID=33556537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100329689A Expired - Lifetime CN100482555C (zh) 2003-04-14 2004-04-14 板状体输送装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7108474B2 (zh)
KR (2) KR100966131B1 (zh)
CN (1) CN100482555C (zh)
TW (1) TWI327985B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI408095B (zh) * 2009-06-02 2013-09-11 Ihi Corp Floating handling device and floating unit

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004037191A2 (en) * 2002-10-22 2004-05-06 University Of Vermont And State Agriculture College Symbiotic food products comprising oats and methods for manufacturing the same
TWI295657B (en) * 2003-07-29 2008-04-11 Daifuku Kk Transporting apparatus
TWI295658B (en) * 2003-08-21 2008-04-11 Daifuku Kk Transporting apparatus
TWI295659B (en) * 2003-08-29 2008-04-11 Daifuku Kk Transporting apparatus
KR100956348B1 (ko) * 2003-09-05 2010-05-06 삼성전자주식회사 인라인 반송 시스템
KR100665715B1 (ko) * 2005-01-27 2007-01-09 주식회사 태성기연 판유리 이송장치
KR100713815B1 (ko) * 2005-07-08 2007-05-02 주식회사 태성기연 판유리 이송장치
US7513716B2 (en) * 2006-03-09 2009-04-07 Seiko Epson Corporation Workpiece conveyor and method of conveying workpiece
KR101038844B1 (ko) * 2006-10-10 2011-06-03 가부시키가이샤 니혼 셋케이 고교 박판 형상 재료 반송 장치
US8267636B2 (en) * 2007-05-08 2012-09-18 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
US9752615B2 (en) 2007-06-27 2017-09-05 Brooks Automation, Inc. Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor
US8129984B2 (en) 2007-06-27 2012-03-06 Brooks Automation, Inc. Multiple dimension position sensor
US8659205B2 (en) 2007-06-27 2014-02-25 Brooks Automation, Inc. Motor stator with lift capability and reduced cogging characteristics
US7834618B2 (en) 2007-06-27 2010-11-16 Brooks Automation, Inc. Position sensor system
US8283813B2 (en) 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
WO2009012396A2 (en) 2007-07-17 2009-01-22 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus with motors integral to chamber walls
JP5233212B2 (ja) * 2007-09-05 2013-07-10 株式会社Ｉｈｉ クリーン搬送システム
US8517588B2 (en) * 2008-09-30 2013-08-27 Rainier Horst Integrally illuminated panel apparatus and methods
KR100928674B1 (ko) * 2009-04-07 2009-11-27 삼성코닝정밀유리 주식회사 비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임
JP5077718B2 (ja) * 2010-04-12 2012-11-21 株式会社ダイフク 搬送装置
JP5088591B2 (ja) * 2010-04-15 2012-12-05 株式会社ダイフク 板状体搬送装置
JP5585236B2 (ja) * 2010-06-23 2014-09-10 村田機械株式会社 有軌道台車システム
JP5445863B2 (ja) * 2010-08-04 2014-03-19 株式会社ダイフク 板状体搬送装置
NL1039113C2 (nl) * 2011-10-18 2013-04-22 Edward Bok Semiconductor installatie, bevattende een semiconductor tunnel,waarin de bewerkstelliging van opvolgende rechthoekige platen, bevattende een aantal semiconductor basis-chips, met een tijdelijke opslag ervan in een daarachter gelegen cassette.
NL1039111C2 (nl) * 2011-10-18 2013-04-22 Edward Bok Uitwisselbare semiconductor cassette achter een semiconductor tunnel-opstelling voor het daarin tijdelijk opslaan van de daarin bewerkstelligde rechthoekige platen, bevattende reeds basis-chips.
NL1039112C2 (nl) * 2011-10-18 2013-04-22 Edward Bok Semiconductor chips, bewerkstelligd in een semiconductor installatie, en waarbij daartoe in een tunnel-opstelling ervan de productie van rechthoekige platen en waaruit tenslotte in een inrichting door deling het verkrijgen ervan.
NL1039114C2 (nl) * 2011-10-18 2013-04-22 Edward Bok Semiconductor installatie, waarbij in een semiconductor tunnel ervan de bewerkstelliging van opvolgende rechthoekige platen, bevattende een aantal basis-chips ten behoeve van in een inrichting door deling ervan het verkrijgen van chips.
NL1039463C2 (nl) * 2012-03-13 2013-09-16 Edward Bok Semiconductor chip, vervaardigd in een semiconductor installatie en waarbij in een semiconductor tunnel-opstelling ervan de opname van een extreem ultra violet lithographysysteem ten behoeve van met behulp van de euv-stralen het plaatsvinden van een belichtings-proces van opvolgende gedeeltes van een semiconductor substraat.
FI126983B (fi) 2013-10-03 2017-09-15 Glaston Finland Oy Laite lasilevyn kuljettamiseksi kuumennusuunin ilmakannatuspöydällä
CN103560100B (zh) * 2013-10-23 2016-05-11 合肥京东方光电科技有限公司 空气净化系统和洁净室
JP6287089B2 (ja) * 2013-11-13 2018-03-07 村田機械株式会社 基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置
US9290270B2 (en) * 2014-08-20 2016-03-22 Goodrich Corporation Air cushion aircraft cargo loading systems and methods
US9567166B2 (en) 2014-10-10 2017-02-14 Goodrich Corporation Compact centrifugal air blowers for air cushion supported cargo loading platform
US10196146B2 (en) 2014-10-10 2019-02-05 Goodrich Corporation Self propelled air cushion supported aircraft cargo loading systems and methods
US9511861B2 (en) 2014-10-10 2016-12-06 Goodrich Corporation Noise reduction barrier for air cushion supported aircraft cargo loading robot
US9764840B2 (en) 2014-10-10 2017-09-19 Goodrich Corporation Air cushion aircraft cargo loading systems and wireless charging unit
US9511860B2 (en) 2014-10-10 2016-12-06 Goodrich Corporation Air cushion aircraft cargo loading systems and wireless communication unit
US9643723B2 (en) 2014-10-10 2017-05-09 Goodrich Corporation Slide bushing supported aircraft cargo loading systems and methods
US9352835B2 (en) 2014-10-10 2016-05-31 Goodrich Corporation Wedge lift jacking system for crawler supported aircraft loading robot
US9284130B1 (en) 2014-10-10 2016-03-15 Goodrich Corporation Multi-zone load leveling system for air cushion supported aircraft cargo loading robot
US9387931B2 (en) 2014-10-10 2016-07-12 Goodrich Corporation Air cushion aircraft cargo loading systems and shuttle drive unit
US9555888B2 (en) 2014-10-10 2017-01-31 Goodrich Corporation Pressure compensating air curtain for air cushion supported cargo loading platform
US10393225B2 (en) 2015-01-05 2019-08-27 Goodrich Corporation Integrated multi-function propulsion belt for air cushion supported aircraft cargo loading robot
US9580250B2 (en) 2015-01-30 2017-02-28 Goodrich Corporation Bushing cleaner systems and methods
CN109484798B (zh) * 2018-11-29 2024-04-26 安徽省皖北煤电集团有限责任公司 一种矿用皮带运输装置
CN114671217A (zh) * 2020-12-24 2022-06-28 志圣工业股份有限公司 自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备
CN116453996B (zh) * 2023-06-20 2023-08-11 常州比太科技有限公司 一种硅片载板输送支撑装置及其工作方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3734567A (en) * 1971-01-25 1973-05-22 Bangor Punta Operations Inc Air conveyor for flat thin articles
US3731823A (en) * 1971-06-01 1973-05-08 Ibm Wafer transport system
US4355940A (en) * 1980-05-21 1982-10-26 Derickson Edward E Automatic loading platform and method of using same
US4630975A (en) * 1983-10-11 1986-12-23 Becker John H Air encasement system for transportation of particulates
US4618295A (en) * 1984-08-24 1986-10-21 Acf Industries, Incorporated Plenum chamber flow restrictor and check valve
JPS6221623A (ja) 1985-07-19 1987-01-30 Hitachi Ltd 搬送装置
US5037245A (en) * 1990-03-02 1991-08-06 Simplimatic Engineering Company Article transfer device and method for air conveyors
JP2576284Y2 (ja) * 1990-05-22 1998-07-09 旭光学工業株式会社 静圧気体スライドテーブル
US5584614A (en) * 1996-02-28 1996-12-17 Aidlin; Stephen H. Air handling system for a pneumatic conveyor
US6183186B1 (en) * 1997-08-29 2001-02-06 Daitron, Inc. Wafer handling system and method
JP2000007151A (ja) 1998-06-17 2000-01-11 Tabai Espec Corp ワーク浮上用構造体
JP2000062951A (ja) 1998-08-19 2000-02-29 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 搬送装置
US6241427B1 (en) * 1998-11-20 2001-06-05 Seagate Technology, Inc. System and method for substantially touchless hydrodynamic transport of objects
JP3851077B2 (ja) 2000-11-15 2006-11-29 富士写真フイルム株式会社 基板エア浮上搬送装置及びそれを用いた基板搬送方法
JP3756402B2 (ja) 2000-12-08 2006-03-15 富士写真フイルム株式会社 基板搬送装置及び方法
DE10062954B4 (de) * 2000-12-16 2004-04-15 Schott Glas Vorrichtung zum Erzeugen von Glasgobs
JP2002228967A (ja) * 2001-01-31 2002-08-14 Canon Inc ガルバノミラー及びその製造方法及びガルバノミラーを備えた光走査装置及び画像形成装置
US6676365B2 (en) * 2001-03-16 2004-01-13 Toda Kogyo Corporation Air track conveyor system for disk production
JP2002289670A (ja) 2001-03-28 2002-10-04 Takehide Hayashi 浮上ユニット
JP2002308421A (ja) 2001-04-10 2002-10-23 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 板状部材収納装置
JP2002308423A (ja) 2001-04-18 2002-10-23 Corning Japan Kk 板材搬送方法および板材搬送装置
JP3868223B2 (ja) 2001-04-27 2007-01-17 東京エレクトロン株式会社 搬送装置
US6808358B1 (en) * 2003-06-12 2004-10-26 Lockheed Martin Corporation Conveyor system having inclined structure utilizing vacuum and air bearing means for facilitating edgewise product transportation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI408095B (zh) * 2009-06-02 2013-09-11 Ihi Corp Floating handling device and floating unit

Also Published As

Publication number Publication date
KR101051681B1 (ko) 2011-07-26
CN1541917A (zh) 2004-11-03
US20050002743A1 (en) 2005-01-06
TW200500282A (en) 2005-01-01
KR20040089568A (ko) 2004-10-21
TWI327985B (en) 2010-08-01
US7108474B2 (en) 2006-09-19
KR100966131B1 (ko) 2010-06-25
KR20100028614A (ko) 2010-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100482555C (zh) 板状体输送装置
CN100497132C (zh) 玻璃基板搬运装置
CN101143644B (zh) 基板收纳设备及基板处理设备及基板收纳设备的动作方法
CN102529983B (zh) 物品输送装置
CN1590253B (zh) 输送装置
CN101332934B (zh) 物品保管库
CN101503141A (zh) 物品收纳设备
CN110137121B (zh) 基板处理装置
KR100864378B1 (ko) 공기부양식 평판 이송장치
CN109132548B (zh) 玻璃基板翻转上片装置和玻璃基板加工系统
CN101342992A (zh) 板状体搬运装置
JP5233212B2 (ja) クリーン搬送システム
JP4251279B2 (ja) 板状体搬送装置
JP3882139B2 (ja) クリーン搬送車
CN105652790B (zh) 一种微环境控制系统
CN105347038B (zh) 集中控制管道传输系统及其传输方法
JP4186129B2 (ja) 板状体搬送装置
JP4258713B2 (ja) 板状体搬送装置
JP4214468B2 (ja) 搬送装置
JP2009147163A (ja) 搬送台車
CN208218537U (zh) 镀膜玻璃的单圆边磨边机的渣水收集装置
CN108749873A (zh) 一种传输装置
JP2005154041A (ja) 基板搬送装置
KR20200017830A (ko) 반도체 소자 제조용 이송 장치 및 이를 구비하는 반도체 소자 이송 시스템
CN101670943B (zh) 集中控制管道传输系统及其传输方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20090429