KR101504188B1 - 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치 - Google Patents

팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판이송장치에 구성된 이송벨트를 타며 이송되는 기판을 이송 시 기판이송장치의 내측에 팬필터유닛을 다수개 구성한 후 상기 팬필터유닛에서 토출되는 공기를 이용하여 기판의 내측면에 이물질이 발생되지 않도록 이송시킬 수 있는 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치에 관한 것으로서, 이송벨트의 내측에 제 1, 2팬필터유닛을 구성하되, 상기 제 1, 2팬필터유닛 사이에 개구부를 형성한 후 상기 제 1, 2팬필터유닛에서 토출되는 공기의 풍속에 따라 상기 개구부의 넓이를 형성할 수 있고, 사용에 따라 상기 제 1, 2팬필터유닛의 양측에는 각각의 부상판을 구성하여 상기 부상판의 길이도 상기 제 1, 2팬필터유닛에서 토출되는 공기의 풍속에 따라 구성할 수 있도록 하여 기판이 이송벨트의 양측 끝부 저면을 타며 이송 시 상기한 제 1, 2팬필터유닛에 닿지 않도록 이송시킬 수 있는 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치를 제공함에 주안점을 두어, 이송벨트의 내측에 부상판이 구성된 팬필터유닛이 구성되어 있어 기판이송장치의 구성과 구조가 간단하여 제작과 유지보수가 쉬우며, 기판의 양측 끝부만 이송벨트를 타며 이송되어 기판에 대한 스크래치, 정전기, 오염입자 및 기타 이물질 등이 발생되지 않는 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치에 관한 것이다.

Description

팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치{Fan filter unit to the substrate, the substrate feed Feed}
본 발명은 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판이송장치에 구성된 이송벨트를 타며 이송되는 기판을 이송 시 기판이송장치의 내측에 팬필터유닛을 다수개 구성한 후 상기 팬필터유닛에서 토출되는 공기를 이용하여 기판의 내측면에 이물질이 발생되지 않도록 이송시킬 수 있는 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display : 액정디스플레이)나 PDP(Plasma Display Panel : 플라즈마 디스플레이 패널)와 같은 평판표시장치에 사용되는 기판은 고정밀도 가공을 요구하는 부품으로 그 제조과정에 있어서 불량방지가 매우 중요한 문제이다.
따라서 기판 생산라인에서 기판 이송 시에도 엄격한 관리가 요구되는데, 기존의 롤러 이송방식은 기판과 롤러의 직접 접촉으로 인하여 기판에 스크래치, 정전기, 오염 입자 및 기타 이물질 등이 발생하여 기판의 불량을 야기하는 문제가 있었다.
이를 방지하기 위한 기판 이송장치로는 일본 특개평 05-104344호에서는 기판을 공기로 부상시켜 이송하는 방식의 이송장치를 사용하였다. 이 이송장치는 기판을 공기로 부상시키기 위한 부상테이블과 이 부상테이블에 마련된 공기 분출구에 공기를 공급하는 공기공급구조를 갖고 있는데, 이 공기공급구조는 각각의 공기 분출구마다 별도의 배관을 갖고 배관구조가 복잡하여 제작과 유지보수가 어렵고, 배관 내에서의 압력손실 때문에 부상용 공기 공급밸브로부터 멀어질수록 부상용 공기의 압력이 낮아져 압력이 불균일한 문제가 있었다.
등록번호 10-0721550호는 ‘판유리 이송장치’에 관한 것으로서, 작업대 상에 에어토출부가 설치되고 이 에어토출부 양측부에 상기 에어토출부 상으로 옮겨진 판유리를 이송시키는 이송기를 포함하는 판유리 이송장치에 있어서, 상기 에어토출부는 테두리부를 제외한 중앙부가 상하로 관통되고, 그 중앙 관통공에 밀폐판이 설치되며, 이 밀폐판의 하방에 파편수집용기가 배치되는 것을 특징으로 하는 판유리 이송장치를 나타내고 있다.
상기한 ‘판유리 이송장치’의 경우, 상기 에어토출부에 형성된 관통공의 간격이 일정하지 않아 이송되는 판유리가 이송 시 상기 에어토출부 또는 작업대에 닿게 되어 판유리에 대한 불량이 발생하게 되고, 상기 에어토출부의 관통공에 설치된 밀폐판으로 인해 별도의 구성이 발생하게 되어 이송장치에 대한 구조가 복잡해지고, 비용을 상승시키는 요인이 되는 문제가 있었다.
등록번호 10-1006128호는 ‘기판이송장치’에 관한 것으로서, 기판의 저면에 공기를 토출시켜 기판을 공기 부양 이송시키는 기판이송장치에 있어서, 기판 저면에 대하여 공기를 토출하도록 다열 배열된 팬필터유닛과, 이 팬필터유닛이 내장 배열되도록 측벽과 바닥을 구비한 공간을 갖는 제 1 부상챔버와, 상기 제 1부상챔버에 균일한 냉각 공기를 제공하도록 상기 제 1 부상챔버의 하측에 연결 배치된 제 2 부상챔버와, 상기 제 2부상챔버에 냉각공기를 제공하도록 라인연결된 냉각기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치를 나타내고 있다.
상기한 ‘기판이송장치’의 경우, 팬필터유닛과 함께 상기 팬필터유닛이 내장 배열되도록 측벽과 바닥을 구비한 각각의 부상챔버를 다수개 구성하게 되어 기판이송장치의 비용이 상승되며, 상기 각각의 부상챔버에 제 2부상챔버 및 냉각기를 구성하여 상기 기판이송장치에 대한 구성이 복잡하여 고장의 원인이 되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서 이송벨트의 내측에 제 1, 2팬필터유닛을 구성하되, 상기 제 1, 2팬필터유닛 사이에 개구부를 형성한 후 상기 제 1, 2팬필터유닛에서 토출되는 공기의 풍속에 따라 상기 개구부의 넓이를 형성할 수 있고, 사용에 따라 상기 제 1, 2팬필터유닛의 양측에는 각각의 부상판을 구성하여 상기 부상판의 길이도 상기 제 1, 2팬필터유닛에서 토출되는 공기의 풍속에 따라 구성할 수 있도록 하여 기판이 이송벨트의 양측 끝부 저면을 타며 이송 시 상기한 제 1, 2팬필터유닛에 닿지 않도록 이송시킬 수 있는 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로서 완성해낸 것이다.
상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 기판의 저면으로 공기를 토출시켜 기판을 공기 부양 이송시키는 기판이송장치에 있어서, 기판 저면으로 공기를 토출하며, 상부면 양측에 각각 제 1, 2부상판이 구성된 제 1팬필터유닛과, 상기 제 1팬필터유닛과 일정 간격 이격되어 개구부를 형성하며 구성되되, 기판 저면으로 공기를 토출하며, 상부면 양측에 각각 제 3, 4부상판이 구성된 제 2팬필터유닛과, 상기 제 1, 2팬필터유닛의 양측에 일정 간격 이격되어 외측개구부를 형성하며 구성되되, 기판의 양측 끝부 저면이 닿아 상기 기판을 이송시키는 이송벨트로 구성되는 것을 특징으로 하는 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치를 제공함으로서 그 과제를 해결하고자 한다.
본 발명에 따른 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치에 의하면, 이송벨트의 내측에 부상판이 구성된 팬필터유닛이 구성되어 있어 기판이송장치의 구성과 구조가 간단하여 제작과 유지보수가 쉬우며, 기판의 양측 끝부만 이송벨트를 타며 이송되어 기판에 대한 스크래치, 정전기, 오염입자 및 기타 이물질 등이 발생되지 않는 등 획기적인 발명이라 하겠다.
도 1은 본 발명인 기판이송장치를 나타내는 정면도
도 2는 본 발명인 기판이송장치를 나타내는 평면도
도 3은 본 발명인 기판이송장치에 기판이 안착된 실시 예를 나타내는 정면도
도 4는 본 발명인 기판이송장치에 기판이 안착된 실시 예를 나타내는 정면도
도 5는 본 발명인 기판이송장치의 구성 중 핵심부분을 확대한 정면도
도 6은 도 5의 다른 실시 예를 나타내는 정면도
우선, 본 발명인 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치의 구성을 살펴보면,
기판(g)의 저면으로 공기를 토출시켜 기판(g)을 공기 부양 이송시키는 기판이송장치(10)에 있어서, 기판(g) 저면으로 공기를 토출하며, 상부면 양측에 각각 제 1, 2부상판(110, 120)이 구성된 제 1팬필터유닛(100)과, 상기 제 1팬필터유닛(100)과 일정 간격 이격되어 개구부(400)를 형성하며 구성되되, 기판(g) 저면으로 공기를 토출하며, 상부면 양측에 각각 제 3, 4부상판(210, 220)이 구성된 제 2팬필터유닛(200)과, 상기 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)의 양측에 일정 간격 이격되어 외측개구부(500)를 형성하며 구성되되, 기판(g)의 양측 끝부 저면이 닿아 상기 기판(g)을 이송시키는 이송벨트(300)로 구성된다.
상기 개구부(400)의 넓이는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 제 2, 3부상판(120, 210)의 길이에 따라 가변될 수 있다.
상기 외측개구부(500)의 넓이는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 제 1, 4부상판(110, 220)의 길이에 따라 가변될 수 있다.
상기 제 1, 2부상판(110, 120) 각각의 길이는 상기 제 1팬필터유닛(100)에서 토출되는 공기의 풍속과, 개구부(400)의 넓이에 따라 가변될 수 있다.
상기 제 3, 4부상판(210, 220) 각각의 길이는 상기 제 2팬필터유닛(200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 개구부(400)의 넓이에 따라 가변될 수 있다.
상기한 본 발명의 구성에 대해 도 1 내지 도 6을 참고로 보다 상세히 설명하면,
본 발명인 기판이송장치(10)는 기판(g)을 이송하는 과정에서 상기 기판(g)에 스크래치, 정전기, 오염입자 및 기타 이물질 등이 발생되지 않도록 이송시키도록 한 것이다.
상기 기판이송장치(10)에는 기판(g)을 이송시키는 이송벨트(300)가 구성되는데, 본 발명에 사용되는 이송벨트(300)는 상기 기판(g)의 양측 끝부 저면이 닿아 이송되는 것이다.
상기한 이송벨트(300)는 일반적으로 사용되는 이송벨트와 같이 모터와 같은 구동체의 작동으로 회전하며, 상기 기판(g)을 이송시킨다.
상기 기판(g)의 내측에는 제 1팬필터유닛(100)과 제 2팬필터유닛(200)이 구성된다. 상기한 팬필터유닛(100, 200)은 일반적으로 사용되는 것으로서, 일 측에 필터가 구성되고, 상기 필터와 연결된 팬이 구성되며, 상기 팬을 구동하는 컨트롤러가 구성된다.
상기한 팬필터유닛(100, 200)에 대한 구성은 일반적인 것으로서, 상기 팬필터유닛(100, 200)의 구성에 대해서는 본 발명에 대한 설명에서 한정하지 않는다.
상기 제 1팬필터유닛(100)의 양측에는 제 1부상판(110)과 제 2부상판(120)이 구성된다.
상기한 제 1, 2부상판(110, 120)은 제 1팬필터유닛(100)의 상부면 양측에 각각 구성되며, 각각의 부상판(110, 120)은 양측의 길이가 같거나 또는 제 1부상판(110)의 길이가 제 2부상판(120)의 길이보다 길거나 또는 제 1부상판(100)의 길이가 제 2부상판(120)의 길이보다 짧게 구성할 수 있다.
상기한 제 1, 2부상판(110, 120) 각각의 길이는 상기 제 1팬필터유닛(100)에서 토출되는 공기의 풍속과, 개구부(400)의 넓이에 따라 길이가 가변될 수 있다.
상기 제 2팬필터유닛(200)의 양측에는 제 3부상판(210)과 제 4부상판(220)이 구성된다.
상기한 제 3, 4부상판(210, 220)은 제 2팬필터유닛(200)의 상부면 양측에 각각 구성되며, 각각의 부상판(210, 220)은 양측의 길이가 같거나 또는, 제 3부상판(210)의 길이가 제 4부상판(22)의 길이보다 길거나 또는, 제 3부상판(210)의 길이가 제 4부상판(220)의 길이보다 짧게 구성할 수 있다.
상기한 제 3, 4부상판(210, 220) 각각의 길이는 상기 제 2팬필터유닛(200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 개구부(400)의 넓이에 따라 길이가 가변될 수 있다.
상기 제 1팬필터유닛(100)과 제 2팬필터유닛(200) 사이에는 개구부(400)가 형성되는데, 상기 개구부(400)는 상기 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기가 자연적으로 배기되도록 형성하였다.
상기한 개구부(400)의 넓이는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 제 2, 3부상판(120, 210)의 길이에 따라 가변될 수 있다.
또한, 외측개구부(500)는 상기 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)의 양 끝부 외측에 각각 형성되며, 이송벨트(300)의 내측에 형성되는데, 상기 외측개구부(500)는 상기 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기가 자연적으로 배기되도록 형성하였다.
상기 외측개구부(500)의 넓이는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 제 1, 4부상판(110, 220)의 길이에 따라 가변될 수 있다.
상기한 제 1, 2, 3, 4부상판(110, 120, 210, 220)과, 개구부(400) 및 외측개구부(500)의 길이에 대해 도 1 내지 도 6을 참고로 보다 상세히 설명하면,
우선, 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 일정량의 공기가 토출되어 기판(g)을 부양시키게 된다.
상기에서 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에 의해 토출되는 공기는 개구부(400)와 외측개구부(500)를 통해 자연 배기된다.
이때, 상기 개구부(400)의 넓이는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 풍속에 의해 간격을 넓게 또는 좁게 할 수 있다.
상기 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 풍속에 따라 상기 개구부(400)의 넓이가 넓어지면,
상기 제 2부상판(120)과, 제 3부상판(210)에 대한 길이는 좁아지게 된다.
또한, 상기에서 제 2, 3부상판(120, 210)의 길이가 좁아짐으로써, 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)의 외측에 각각 구성된 제 1, 4부상판(110, 220)의 길이는 상기 제 2, 3부상판(120, 210) 보다 같거나 길어지게 되고, 상기 제 1, 4부상판(110, 220)의 길이에 따라 외측개구부(500)의 넓이는 같거나 또는 좁아지게 된다.
상기와는 반대로, 상기 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 풍속에 따라 상기 개구부(400)의 넓이가 좁아지면,
상기 제 2부상판(120)과, 제 3부상판(210)에 대한 길이는 길어지게 된다.
또한, 상기에서 제 2, 3부상판(120, 210)의 길이가 길어짐으로써, 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)의 외측에 각각 구성된 제 1, 4부상판(110, 220)의 길이는 상기 제 2, 3부상판(120, 210) 보다 같거나 좁아지게 되고, 상기 제 1, 4부상판(110, 220)의 길이에 따라 외측개구부(500)의 넓이는 같거나 또는 길어지게 된다.
상기한 제 1, 2, 3, 4부상판(110, 120, 210, 220)의 길이와 개구부(400) 및 외측개구부(500)의 넓이는 기판(g)이 이송벨트(300)를 타며 이송 시 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)의 상측에는 토출되는 공기에 의해 상측방향으로 볼록하게 되고, 중간부분 및 외측부분은 기판(g)의 무게로 인해 자연스레 오목하게 되게 되는데, 이때 오목하게 되는 부분(각각의 부상판 및 팬필터유닛이 구성된 부분)이 상기한 각각의 부상판(110, 120, 210, 220)과 팬필터유닛(100, 200)에 닿지 않도록 하여 이송시키는 것이 요지이다.
이에 기판(g)이 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기로 인해 볼록하게 되는 부분을 부상량이라하는데, 상기 부상량의 높낮이 조절을 개구부(400)의 넓이와, 제 1, 2, 3, 4부상판(110, 120, 210, 220)의 길이가 좁아지거나 넓어질 수 있으며, 이에 따라 외측 개구부(500)의 넓이도 가변될 수 있는 것으로서, 상기한 넓이와 길이에 대해서는 한정하지 않겠다.
상기한 설명과 같이 본 발명은 이송벨트(300)의 내측에 각각의 부상판(110, 120, 210, 220)이 구성된 팬필터유닛(100, 200)이 구성되어 있어 기판이송장치(10)의 구성과 구조가 간단하여 제작과 유지보수가 쉬우며, 기판의 양측 끝부만 이송벨트(300)를 타며 이송되어 기판(g)에 대한 스크래치, 정전기, 오염입자 및 기타 이물질 등이 발생되지 않는 발명이다.
10 : 기판이송장치
100 : 제 1팬필터유닛 110 : 제 1부상판 120 : 제 2부상판
200 : 제 2팬필터유닛 210 : 제 1부상판 220 : 제 2부상판
300 : 이송벨트 400 : 개구부 500 : 외측개구부
g : 기판

Claims (5)

  1. 기판(g) 저면으로 공기를 토출하며, 상부면 양측에 각각 제 1, 2부상판(110, 120)이 구성된 제 1팬필터유닛(100)과, 상기 제 1팬필터유닛(100)과 일정 간격 이격되어 개구부(400)를 형성하며 구성되되 기판(g) 저면으로 공기를 토출하며, 상부면 양측에 각각 제 3, 4부상판(210, 220)이 구성된 제 2팬필터유닛(200) 및 상기 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)의 양측에 일정 간격 이격되어 외측개구부(500)를 형성하며 구성되되, 기판(g)의 양측 끝부 저면이 닿아 상기 기판(g)을 이송시키는 이송벨트(300)로 구성되어 기판(g)을 공기에 부양하여 이송시키는 기판이송장치(10)에 있어서,
    기판(g)의 중심부분 저면에는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)이 기판(g)의 저면으로 직접 공기를 토출하며 이송시키되,
    상기 개구부(400)의 넓이는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 제 2, 3부상판(120, 210)의 길이에 따라 가변되고,
    상기 외측개구부(500)의 넓이는 제 1, 2팬필터유닛(100, 200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 제 1, 4부상판(110, 220)의 길이에 따라 가변되며,
    상기 제 1, 2부상판(110, 120) 각각의 길이는 상기 제 1팬필터유닛(100)에서 토출되는 공기의 풍속과, 개구부(400)의 넓이에 따라 가변되고,
    상기 제 3, 4부상판(210, 220) 각각의 길이는 상기 제 2팬필터유닛(200)에서 토출되는 공기의 풍속과, 개구부(400)의 넓이에 따라 가변될 수 있는 것을 특징으로 하는 팬필터유닛을 이용하여 기판을 이송시키는 기판이송장치.


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* Cited by examiner, † Cited by third party
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