JP2006306549A - 浮上装置および搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース部材7と、物体Wを浮上させるための流体が入るチャンバー9と、チャンバー9の流体の入り口に設けられた絞り要素11と、チャンバー9に連通し開口部15がベース部材7の上面に設けられ物体Wを浮上させるための流体を噴出する流体噴出孔13とを具備する浮上装置3と、浮上装置3で浮上する物体Wを搬送するために物体Wに力を加える搬送力付与手段5とを有する。
【選択図】図3
Description
一方、前記流体噴出孔13の開口部15が開放されているときには、すなわち、ガラス基板Wが存在していない部位においては、前記絞り要素11を介して前記チャンバー9内に供給される圧縮空気の流量が制限されることにより、各浮上装置3のチャンバー9には均等に空気が供給される。そのため前記流体噴出口13で圧損をたてる必要がなく、空気を速い流速で前記流体噴出孔13から噴出する必要がなくなる。
3 浮上装置
5 搬送力付与手段
7 ベース部材
9 チャンバー
11 絞り要素
13 流体噴出孔
15 開口部
17 連結部材
Claims (5)
- 流体を用いて物体を浮上させる浮上装置において、
ベース部材と;
前記物体を浮上させるための流体が入るチャンバーと;
前記チャンバーの流体の入り口に設けられた絞り要素と;
前記チャンバーに連通し、開口部が前記ベース部材の上面に設けられ、前記物体を浮上させるための流体を噴出する流体噴出孔と;
を有することを特徴とする浮上装置。 - 平面状の部位を備えた物体を、流体を用いて浮上させつつ搬送する搬送装置において、
ベース部材と、前記物体を浮上させるための流体が入るチャンバーと、前記チャンバーの流体の入り口に設けられた絞り要素と、前記チャンバーに連通し開口部が前記ベース部材の上面に設けられ前記物体を浮上させるための流体を噴出する流体噴出孔とを具備する浮上装置と;
前記浮上装置で浮上する物体を搬送するために、前記物体に力を加える搬送力付与手段と;
を有することを特徴とする搬送装置。 - 請求項2に記載の搬送装置において、
前記浮上装置は複数設けられており、
前記各浮上装置は、前記各ベース部材の上面の各平面状部が1つの平面状に存在するように、前記物体の搬送方向で並んで設けられていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項3に記載の搬送装置において、
前記流体噴出孔は、前記各浮上装置のそれぞれに複数個設けられていると共に、前記物体を搬送する場合、それぞれの前記各浮上装置に設けられている各流体噴出孔は、前記搬送される物体の移動によってほぼ同時に覆われ、または、ほぼ同時に開放されるように配置されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項3または請求項4に記載の搬送装置において、
前記各ベース部材の各平面状の上面が、前記物体の搬送方向で連続して形成されるように、前記各浮上装置の各ベース部材の間に連結部材が設けられていることを特徴とする搬送装置。
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JP2009023776A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 搬送物浮上装置及びこれを用いたステージ装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63225028A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-20 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JP2000128346A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 浮揚装置、浮揚搬送装置および熱処理装置 |
JP2003300618A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-21 | Orc Mfg Co Ltd | 基板搬送機構 |
JP2004262608A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Orbotech Ltd | 空気浮上装置 |
JP2004331265A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Olympus Corp | 浮上ユニット及び基板検査装置 |
JP2004331395A (ja) * | 2003-04-14 | 2004-11-25 | Daifuku Co Ltd | 板状体搬送装置 |
JP2005528586A (ja) * | 2001-12-27 | 2005-09-22 | オーボテック リミテッド | 浮揚物品搬送システム及び搬送方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63225028A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-20 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JP2000128346A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 浮揚装置、浮揚搬送装置および熱処理装置 |
JP2005528586A (ja) * | 2001-12-27 | 2005-09-22 | オーボテック リミテッド | 浮揚物品搬送システム及び搬送方法 |
JP2003300618A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-21 | Orc Mfg Co Ltd | 基板搬送機構 |
JP2004262608A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Orbotech Ltd | 空気浮上装置 |
JP2004331395A (ja) * | 2003-04-14 | 2004-11-25 | Daifuku Co Ltd | 板状体搬送装置 |
JP2004331265A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Olympus Corp | 浮上ユニット及び基板検査装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009023776A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 搬送物浮上装置及びこれを用いたステージ装置 |
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