KR100592675B1

KR100592675B1 - 기판이송장치

Info

Publication number: KR100592675B1
Application number: KR1020030079531A
Authority: KR
Inventors: 강성윤; 이인호; 박영길; 이강혁; 김혜성
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-11-11
Filing date: 2003-11-11
Publication date: 2006-06-26
Also published as: KR20050045455A

Abstract

본 발명은 기판 부상용 공기를 공급하는 배관구조가 단순하고, 부상용 공기공급이 중단될 때 기판과 이송장치 간의 충돌로 인한 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판이송장치에 관한 것으로,

본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고,

상기 부상부에는 하나 이상의 공기 분출구를 갖는 공기챔버가 하나 이상 마련되고, 상기 분출구에는 상기 공기챔버에서 분출되는 공기의 흐름을 조절하기 위한 조절부재가 구비되고, 상기 조절부재는 다공질 패드인 것을 특징으로 한다.

기판이송장치, 공기부상.

Description

기판이송장치{SUBSTRATE CONVEYOR}

도1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 분해 사시도.

도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 정면도.

도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 공기챔버를 도시한 종단면도.

도4는 도3의 기판이송장치의 공기챔버를 도시한 횡단면도.

도5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 이송부를 도시한 단면도.

도6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 높이조절부를 도시한 단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10: 부상부 20: 공기챔버

21: 케이스 22: 분출판

23: 다공질 패드 27: 공기흡입구

30: 공기공급부 31: 필터

32: 공기공급배관 40: 이송부

41: 이송로울러 50: 구동장치

51: 마그네트 53: 마그네틱로울러

55: 구동모터 60: 높이조절부

61: 높이조절용 볼트 62: 높이조절용 너트

62: 볼트수용부 100: 기판이송장치

101: 기판

본 발명은 LCD, PDP와 같은 평판표시장치의 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 공기로 부상시켜 이송하기 위한 부상부를 갖는 기판이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display: 액정디스플레이)나 PDP(Plasma Display Panel: 플라즈마 디스플레이 패널)와 같은 평판표시장치에 사용되는 기판은 고정밀도 가공을 요구하는 부품으로 그 제조과정에 있어서 불량방지가 매우 중요한 문제이다. 따라서 기판 생산라인에서 기판 이송 시에도 엄격한 관리가 요구되는데 기존의 로울러 이송 방식은 기판과 로울러의 직접 접촉으로 인하여 기판에 스크래치, 정전기, 오염 입자 등이 발생하여 기판의 불량을 야기하는 문제가 있었다.

이를 방지하기 위한 기판이송장치로서 일본 특개평 05-104344호에서는 기판을 공기로 부상시켜 이송하는 방식의 이송장치를 사용하였다. 이 이송장치는 기판을 공기로 부상시키기 위한 부상테이블과 이 부상테이블에 마련된 공기 분출구에 공기를 공급하는 공기공급구조를 갖고 있는데, 이 공기공급구조는 각각의 공기 분출구마다 별도의 배관을 갖고 있어 배관구조가 복잡하고, 공기공급밸브에서 공기공급이 중단되면 기판과 이송장치 간의 충돌로 인하여 기판이 손상될 우려가 있는 문제점이 있었다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판 부상용 공기를 공급하는 배관구조가 단순하고, 부상용 공기공급이 중단될 때 기판과 이송장치 간의 충돌로 인한 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판이송장치를 제공하는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고,

상기 부상부에는 하나 이상의 공기 분출구를 갖는 공기챔버가 하나 이상 마련되고, 상기 분출구에는 상기 공기챔버에서 분출되는 공기의 흐름을 조절하기 위 한 조절부재가 구비되고, 상기 조절부재는 다공질 패드인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 공기챔버들 사이에는 상기 분출구에서 분출된 공기의 이탈을 방지하여 기판을 지지하는 공기막을 형성하도록 하는 연결패널이 마련된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기판이송장치는 상기 부상부의 높이를 조절하기 위한 높이조절부를 더 포함하고, 상기 높이조절부는 상기 부상부를 지지하는 프레임과 상기 부상부 중 어느 일측에 마련되는 높이조절용 볼트와, 다른 일측에 마련되어 상기 높이조절용 볼트의 몸체를 수용하는 볼트 수용부와, 상기 볼트에 체결되며 상기 볼트 수용부에 의해 지지되는 높이조절용 너트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기판이송장치는 상기 공기챔버에 압축공기를 공급하기 위한 공기공급부를 더 포함하고,

상기 공기공급부는 압축공기를 발생시키는 공기공급원과, 상기 공기공급원에서 제공되는 압축공기를 정화하기 위한 필터와, 상기 필터에서 정화된 압축공기를 상기 공기챔버로 전달하는 공기공급배관을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이송부는 기판을 지지하는 이송로울러와, 상기 이송로울러를 회전시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)를 도시한 분 해 사시도이며, 도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)를 도시한 정면도이다.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)는 압축공기에 의하여 기판(101)을 부상시키는 부상부(10)와, 상기 부상부(10)에 압축공기를 공급하는 공기공급부(30)와, 상기 부상부(10)에 의하여 부상된 기판(101)을 소정의 방향으로 이송하기 위한 이송부(40)와, 상기 부상부(10)와 상기 이송부(40) 등을 지지하는 프레임(70)을 포함하여 구성된다.

상기 부상부(10)는 압축공기를 상부로 분출하는 다수의 공기챔버(20)와, 상기 다수의 공기챔버(20)를 서로 연결하는 연결바(11)와, 상기 부상부(10)의 상면이 평면을 이루도록 상기 다수의 공기챔버(20) 사이에 마련되는 연결패널(12)을 포함한다.

도3은 상기 공기챔버(20)를 도시한 종단면도이며, 도4는 상기 공기챔버(20)를 도시한 횡단면도로서, 이에 도시된 바와 같이 상기 공기챔버(20)는 기판(101)의 이동방향을 따라 길게 형성되는 직육면체의 케이스(21)와, 상기 케이스(21)의 상면에 나사결합되며 다수의 공기 분출구(28)가 형성된 분출판(22)과, 상기 분출판(22)의 저면에 부착되는 다공질 패드(23)를 포함한다. 상기 분출판(22)과 케이스(21)의 결합을 위하여 결합나사(24)가 마련되고, 상기 결합나사(24)는 상기 분출판(22)에 형성되는 제1나사공(25)과, 상기 케이스(21)에 형성되는 제2나사공(26)에 결합된다. 그리고 상기 케이스(21) 저면의 양측에는 상기 공기공급부(30)로부터 압축공기를 공급받기 위한 공기흡입구(27)가 형성된다.

이러한 공기챔버(20)는 다수개가 평행하게 늘어서서 상기 연결바(11)에 의해 양단이 연결되며, 인접한 공기챔버(20)의 분출판(22)과 분출판(22) 사이에는 상기 연결패널(12)이 마련되어 있어 상기 분출구(28)에서 분출된 압축공기가 이탈되지 않고 기판(101)을 지지하는 공기막을 형성하도록 한다.

상기 공기챔버(20)에 압축공기를 제공하기 위한 상기 공기공급부(30)는 압축공기를 발생시키는 압축기 등과 같은 공기공급원(미도시)과, 상기 공기공급원(미도시)에서 발생된 압축공기에 있는 오염물을 제거하여 청정공기를 공급하기 위한 필터(31)와, 상기 필터(31)에서 정화된 청정공기를 각각의 공기챔버(20)로 분배하는 공기공급배관(32)으로 구성된다.

한편, 상기 부상부(10)에 의해 부상된 기판(101)을 소정의 방향으로 이송하기 위하여 상기 부상부(10)의 양측을 따라 위치하는 상기 이송부(40)는 도5에 도시된 바와 같이, 기판(101)의 측단부에 직접접촉되어 이를 지지하면서 회전하여 이송력을 전달하는 이송로울러(41)와, 상기 이송로울러(41)를 구동하는 구동장치(50)로 구성된다. 상기 구동장치(50)는 비접촉 마그네트(51)방식의 구동장치(50)로서 자성을 띠고 있는 마그네트(51)와, 상기 마그네트(51)가 둘레에 결합되는 회전축(52)과, 상기 마그네트(51)와 이격되어 설치되며 상기 마그네트(51)의 회전에 따라 상호작용하는 자기력에 의하여 회전하도록 자성을 띠는 마그네틱로울러(53)와, 상기 마그네틱로울러(53)와 상기 이송로울러(41)가 일체로 회전하도록 이들을 연결하는 연결축(54)과, 상기 회전축(52)을 회전시키는 구동모터(55)와, 상기 구동모터(55) 의 회전력을 상기 회전축(52)에 전달하는 벨트(56)로 구성된다.

상기 부상부(10)와 기판(101) 사이의 적절한 간격조절을 위하여 상기 부상부(10)의 높이를 조절할 수 있는 높이조절부(60)가 상기 공기챔버(20)의 양단 하부에 마련되는데, 도6에 도시된 바와 같이 높이조절부(60)는 상기 공기챔버(20) 밑면에 고정되는 높이조절용 볼트(61)와, 상기 볼트에 체결되는 높이조절용 너트(62)와, 상기 높이조절용 볼트(61)의 몸체가 수용되며 상기 높이조절용 너트(62)의 하부를 지지하는 볼트수용부(62)와, 상기 볼트수용부(62)를 상기 프레임(70)에 고정하기 위한 고정용 볼트(64)로 구성된다. 이 높이조절부(60)는 상기 높이조절용 너트(62)를 회전시킴에 따라서 상기 높이조절용 볼트(61)가 진퇴 운동하여 상기 부상부(10)의 높이를 조절하게 된다.

이하에서는 상기 실시예에 따른 공기 부상 이송장치의 작용을 설명한다.

상기 기판이송장치(100)는 부상부(10)에서 기판(101)을 부상시키고, 기판(101)의 양측 단부를 지지하고 있는 이송로울러(41)의 회전에 의해 기판(101)을 소정의 방향으로 이송하게 된다.

상기 부상부(10)는 압축공기를 기판(101)의 저면에 분출시켜 기판(101)을 부상시키게 되는데, 이에 필요한 압축공기는 상기 공기공급부(30)의 공기공급원(미도시)에서 제공되고, 공기공급원(미도시)에서 제공되는 고압의 압축공기는 상기 필터(31)를 거치면서 먼지 등의 오염물질이 제거된 후, 공기공급배관(32)을 통해 각각의 공기챔버(20)로 분배된다.

공기챔버(20)로 분배된 압축공기는 공기챔버(20) 내에 축적되고, 이 압축공기는 다공질 패드(23)를 투과하여 분출구(28)를 통해 기판(101)의 저면으로 분출된다. 이 다공질 패드(23)는 공기챔버(20) 내의 공기가 일시에 분출되는 것을 방지하여 공기챔버(20) 내의 압력을 일정한 압력으로 유지시켜 줌과 함께 분출되는 공기에서 난류 발생을 방지해 준다. 그리고 상기 공기챔버(20) 내에는 일정량의 공기가 축적되어 있기 때문에 공기공급원(미도시)에서 압축공기의 공급이 일시적으로 중단되어도 일정시간 동안은 부상부(10)에서 공기 분출이 계속되어 안정정인 공기 공급이 가능하며, 기판(101)이 부상부(10)와 접촉할 때에는 공기 분출량이 서서히 줄어들기 때문에 충격을 완화해 준다.

분출구(28)에서 분출된 공기는 상기 분출판(22)과 상기 연결패널(12) 위에서 공기막을 형성하여 기판(101)이 상기 분출판(22) 또는 상기 연결패널(12)에 직접접촉되는 것을 방지한다.

이렇게 하여 부상된 기판(101)은 부상부(10)의 양측에 배열된 이송로울러(41)에 의해 이송력을 전달받아 이송된다. 이송로울러(41)를 회전시키기 위하여 상기 구동장치(50)의 구동모터(55)는 상기 벨트(56)를 통하여 마그네트(51)를 회전시키고, 이에 따라 상호작용하는 자기력에 의해 마그네틱로울러(53)가 회전하면서 연결축(54)에 의해 결합된 이송로울러(41)도 일체로 회전한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판이송장치는 다수의 공기 분출구를 갖는 공기챔버를 포함하고 있어서 각각의 분출구 마다 별도의 공기공급배관 없이 부상부의 공기공급배관 구조가 단순화되고, 또한 상기 공기챔버는 공기가 축적되는 공기탱크의 역할을 하기 때문에 일시적으로 공기공급원에서 공기 공급이 중단되어도 안정적인 공기공급이 이루어지고, 기판이 부상부에 충돌할 때에도 충격을 완화해주는 효과가 있다.

Claims

기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고,

상기 부상부에는 하나 이상의 공기 분출구를 갖는 공기챔버가 하나 이상 마련되고, 상기 공기챔버들 사이에는 상기 분출구에서 분출된 공기의 이탈을 방지하여 기판을 지지하는 공기막을 형성하도록 하는 연결패널이 마련된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서,

상기 분출구에는 상기 공기챔버에서 분출되는 공기의 흐름을 조절하기 위한 조절부재가 구비된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제2항에 있어서,

상기 조절부재는 다공질 패드인 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
삭제
제1항에 있어서,

상기 기판이송장치는 상기 부상부의 높이를 조절하기 위한 높이조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제5항에 있어서,

상기 높이조절부는 상기 부상부를 지지하는 프레임과 상기 부상부 중 어느 일측에 마련되는 높이조절용 볼트와, 다른 일측에 마련되어 상기 높이조절용 볼트의 몸체를 수용하는 볼트 수용부와, 상기 볼트에 체결되며 상기 볼트 수용부에 의해 지지되는 높이조절용 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서,

상기 기판이송장치는 상기 공기챔버에 압축공기를 공급하기 위한 공기공급부를 더 포함하고,

상기 공기공급부는 압축공기를 발생시키는 공기공급원과, 상기 공기공급원에서 제공되는 압축공기를 정화하기 위한 필터와, 상기 필터에서 정화된 압축공기를 상기 공기챔버로 전달하는 공기공급배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서,

상기 이송부는 기판을 지지하는 이송로울러와, 상기 이송로울러를 회전시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.