KR100772333B1 - 비접촉 공기부상 이송장치의 압력검출 및 제어장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 FPD용 기판유리를 공기부상방법으로 수평 또는 경사이송하는 장치에서 이송되는 기판유리를 수평 또는 에어블로잉 파이프와의 간격을 일정하게 유지할 수 있게 하기 위한 최적의 블로잉 조건을 검출할 수 있도록 에어블로잉 파이프 내에 구비되는 하나 이상의 압력센서로 공기압력을 측정하고 기판유리의 부상정도와의 상관관계에 따라 각각의 에어블로잉 파이프에 공기를 공급하는 공기압력조절용 밸브를 자동제어하거나 수동으로 셋팅할 수 있게 한 장치에 관한 것이다.

기판유리, 공기부상, 압력조절용 밸브, 압력센서, 에어블로잉

Description

비접촉 공기부상 이송장치의 압력검출 및 제어장치{The pressure detection and control unit of no-contact air levitation transport device}

도 1은 본 발명에 의하여 기판유리가 수평상태를 유지하게 하는 개념도로서 a)는 공기부양 되기 전의 기판상태이고, b)는 통상적인 공기부양상태이며 c)는 본 발명에 의하여 에어블로잉 파이프의 압력을 개별제어한 경우의 상태도이다.

도 2는 본 발명의 압력센서 설치상태도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1. 롤러 2. 기판유리

3. 에어블로잉 파이프 4. 노즐

5. 하부프레임 6. 에어탱크

7. 공급호스 8. 압력센서

9. 중앙처리장치 10. 공기압력조절용 밸브

본 발명은 FPD(Flat Panel Dispaly)용 기판유리를 비접촉방식으로 수평 또는 경사 이송하는 장치에서 기판유리를 공기부상하기 위한 최적의 블로잉조건을 도출할 수 있게 하는 이송장치의 공기압 검출장치에 관한 것이다.

통상적인 FPD용 기판유리는 0.7mm전후의 얇은 두께와 넓은 면적을 가지며 공정별로 필요한 작업을 거친 후 다음 공정으로 이송된다.

FPD용 기판유리는 매우 높은 표면정밀도와 청정상태를 요구하며 미세한 흠집이나 이물질 등도 품질에 치명적인 영향을 미칠 수 있다.

따라서 FPD용 기판유리는 그 제조공정은 물론 기판유리의 이송과정에서도 기판유리에 긁힘이나 크랙 등의 손상이 발생되지 않도록 하는 것이 필요하다.

기판유리의 이송은 기판유리에서 접촉이 허용되는 테두리로부터 8mm이내를 롤러 등과 접촉시켜 이송하며 이송되는 기판유리의 가운데 부분이 자중에 의하여 처짐으로서 파손되는 것을 방지하기 위하여 공기를 분사하는 공기부상방법으로 처짐이나 이송장치와의 접촉을 차단하는 비접촉식 방법을 사용하고 있다.

종래 공기부상방법을 이용하는 기판유리 이송장치로는 공개특허 2004-38301호에서와 같이 기판유리의 하면에 구비된 다수의 에어블로잉 파이프로 공기를 분사하여 기판유리를 부상시키는 에어블로잉 수단을 구비한 것이 제안된 바 있었으나 상기의 구성은 다수의 에어블로잉 파이프에서 분사되는 공기의 양을 개별을 제어할 수가 없어 7세대 또는 8세대용 TFT-LCD와 같이 한 변의 길이가 2000mm 전후에 달하는 기판유리를 에어블로잉으로 부상할 경우 테두리부분이 이송장치에 걸쳐진 기판 유리는 가운데 부분이 공기부상으로 솟아오르는 현상이 발생하였으므로 이와 같은 문제점 해결을 위하여 다수의 에어블로잉 파이프에서 분사되는 공기분사량을 각각 독립적으로 제어할 수 있도록 한 것이 등록실용신안 363212호로 제안된바 있었다.

그러나 상기와 같은 구성은 각각의 에어블로잉 파이프에서 분사되는 공기의 양을 기판유리의 부상정도에 따라 개별조정을 가능하게 하여 가운데 부분이 솟아오르는 현상을 방지하게는 할 수 있었으나 분사되는 공기량을 기판유리와 이송장치간의 부상높이에 따라 임의조정하였으므로 기판유리의 표면에 기복이 발생한다거나 기판유리의 부상정도를 일정하게 유지하기 어려워 확실한 비접촉상태를 유지하기 위하여는 필요 이상의 많은 청정공기를 블로잉하는 것이 필요하였으므로 기판유리를 취급하는 클린룸내에 블로잉공기로 인한 난류를 발생시켜 미립자의 비산으로 기판유리를 오염시킬 수 있다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로 이송되는 기판유리의 중량과 공기흐름에 따른 제반변수를 고려하여 기판유리가 에어블로잉 파이프와 일정한 간격을 유지하면서 부상될 수 있게 하는 각각의 에어블로잉 파이프에 대한 최적의 공기압제어조건을 도출할 수 있게 하는 검출장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 기판유리 이송장치에서 블로잉되는 청정공기의 양을 최소화하여 클린룸내에서의 미립자 비산을 억제할 수 있게 하는 것이다.

상기한 목적을 위한 본 발명 '비접촉 공기부상 이송장치의 압력검출 및 제어장치'는 에어블로워와 에어블로워에서 가압송풍되는 에어를 저장하는 에어탱크와 에어탱크에서 배출되는 공기량을 제어하는 하나 이상의 유량제어밸브와 유량제어밸브로부터 가압된 공기를 이송하는 공급호스와 공급호스에 의하여 공급된 공기를 다수의 노즐공을 통하여 상부면으로 분사하는 에어블로잉 파이프로 구성된 비접촉 공기부상 이송장치에 있어서, 에어블로잉 파이프의 측면에 형성된 하나이상의 삽입공에 압력센서를 구비하여 에어블로잉 파이프내의 공기압력을 측정하고 이를 중앙제어장치에 입력하여 기판유리의 부상정도와 공기압력간의 상관관계를 측정한 후 기판유리가 수평상태를 유지할 수 있도록 에어블로잉 파이프내의 압력이 최적의 압력을 유지할 수 있도록 공기압력조절용 밸브를 각각 제어한다.

이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 의하여 기판유리가 수평상태를 유지하게 하는 개념도로서 a)는 공기부상 전의 상태도이고, b)는 통상적인 공기부상상태이며, c)는 본 발명에 의한 에어블로잉 파이프의 압력을 개별제어한 경우의 상태도이고, 도 2는 본 발명의 압력센서 설치상태도이다.

본 발명의 상세한 설명에 앞서 본 발명의 요지를 불명료하게 하지 않게 하는 범위내에서 공지된 구성에 대하여는 상세한 설명을 생략하여 본 발명의 특징적인 구성을 더욱 명확하게 하기로 한다.

도면에 도시된 바와 같이 전동장치에 의하여 회전하는 다수의 롤러(1)에 걸쳐져 이송되는 기판유리(2)는 에어블로잉 파이프(3)에 천공된 다수의 에어분사노즐(4)에서 분사되는 공기에 의하여 부상된 상태를 유지한다.

노즐(4)에서 분사되는 공기는 기판유리(2)를 부상시킨 후 이송장치의 하부프레임(5)과 기판유리(2)사이를 지나서 이송장치의 하부프레임(5)의 가장자리 부분으로 배출된다.

이때 기판유리(2)의 가운데 부분은 노즐(4)에서 분사된 공기의 체류시간이 길어져 기판유리(2)를 과다하게 상승시키므로 기판유리(2)의 중심부분은 위쪽으로 솟아오르는 현상이 발생한다.

따라서 기판유리(2)의 이송방향을 따라 길게 구비된 다수의 에어블로잉 파이프(3)는 기판유리(2)를 수평상태로 이송될 수 있게 하기 위하여 그 설치위치에 따라 분사되는 공기의 양을 조절하여야할 필요가 있다.

에어블로잉 파이프(3)의 공기분사량은 에어블로잉 파이프(3) 내부의 압력과 노즐(4)의 크기 및 수량, 에어블로잉 파이프의 길이 등에 따라 변화되며 공기분사량은 에어블로잉 파이프(3)와 기판유리(2)의 간격에 상관관계를 가진다.

또한 에어블로잉 파이프(3)의 내부압력은 에어탱크(6)의 압력과 에어블로잉 파이프(3)까지 공기를 공급하는 공급호스(7)의 길이에 영향을 받으므로 각각의 에어블로잉 파이프(3)에는 기판유리(2)가 인입되는 지점과 파이프의 중간지점 및 기판유리(2)가 인출되는 지점에 각각 압력센서(8)를 설치하며 설치된 압력센서(8)에 의하여 측정된 압력은 중앙처리장치(9)로 전달된다.

비접촉식 공기부상방식의 이송장치는 이송되는 기판유리(2)의 규격이나 에어블로잉 파이프(3)의 내부압력, 설치개수, 노즐의 크기 및 수량 등에 따라 분사되는 공기의 적정량이 달라지므로 이송장치의 제원이 결정되면 기판유리(2)의 이송과정에서 수평상태를 유지할 수 있는 최적의 공기분사량을 도출하기 위하여 에어블로잉 파이프(3) 내부압력과 기판유리(2)의 부상정도를 정밀하게 측정하고 상기의 계측치에 따라 에어블로잉 파이프(3)에 가압된 공기를 공급하는 공기압력조절용 밸브(10)를 조절한 후 셋팅하면 최소한의 공기분사량만으로 기판유리를 수평상태를 유지하면서 이송할 수 있다.

또한 본 발명의 압력검출 및 제어장치는 이송장치에 부착하고 이송조건의 변화에 대응하는 데이터를 사전입력하여 공기압력조절용 밸브(10)를 자동으로 조절할 수 있게 구성할 수도 있다.

예를 들면 기판유리를 수평이송에서 경사이송하는데 따른 압력의 변화를 입력하여 공기압력조절용 밸브를 자동으로 제어하게 할 수도 있으며, 이송장치에 부착하여 이송조건에 따른 최적압력상태를 검출하고 셋팅한 후 탈거하는 착탈식으로 구성할 수도 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 비접촉식 공기부상방법으로 대형의 기판유리를 이송하는데 있어서 이송장치에서 분사되는 공기압을 측정하여 기판유리를 수평 또는 에어블로잉 파이프와 일정간격을 유지하면서 이송할 수 있게 하는 압력셋팅 작업을 신속하게 할 수 있게 하고 이송조건의 변화에 대응하여 자동으로 압력을 조절할 수도 있게 하여 장치의 생산성을 향상하게 하는 효과와 함께 청정공기의 사용량을 줄여 클린룸내의 난류발생을 억제할 수 있게 하는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 공기부상을 위한 에어블로잉수단과 부상된 기판유리를 수평이송하는 수단 및 기판유리를 경사시켜 이송하는 수단을 구비하여 에어블로잉 파이프(3)와 기판유리(2) 간의 부양간격에 따라 중앙처리장치(9)에서 에어블로잉 파이프(3)에 공기를 공급하는 공기압력조절용 밸브(10)를 자동으로 조절하는 기판유리이송장치에 있어서,

   상기 에어블로잉 파이프(3) 내부에 하나 이상의 압력센서(8)를 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉 공기부상 이송장치의 압력검출 및 제어장치.
2. 삭제

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