JP5929831B2 - 搬送システム - Google Patents
搬送システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5929831B2 JP5929831B2 JP2013109065A JP2013109065A JP5929831B2 JP 5929831 B2 JP5929831 B2 JP 5929831B2 JP 2013109065 A JP2013109065 A JP 2013109065A JP 2013109065 A JP2013109065 A JP 2013109065A JP 5929831 B2 JP5929831 B2 JP 5929831B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transport
- levitation
- conveyance
- pallet
- clean air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
前記排出スリットは、前記搭載装置の搬送の方向に沿って形成されている。以上の構成によれば、前記搭載装置の前記操作部が前記排出スリットを通って前記外部環境に至る構成でも、前記搭載装置の搬送を問題なく行うことができる。
前記排出スリットは、前記浮上搬送装置の前記搬送板の前記複数の噴射孔の近傍に形成されている。以上の構成によれば、前記複数の噴射孔から前記搬送空間内に噴射された前記清浄空気が前記搬送空間内に満遍なく行き渡るので、前記搬送空間内で空気の澱みが発生し難い。
前記移動停止手段は、前記操作部と磁気的に結合可能な磁気結合部を有する。以上の構成によれば、前記搭載装置の移動を簡素な構成で停止させることができる。
前記搭載装置は、前記搬送対象物を搭載した状態で前記搬送対象物と重ならない位置に配置された突起を有する。以上の構成によれば、前記突起を用いて前記搭載装置を押し出すことで、前記操作部と前記磁気結合部との磁気的な結合を解除することができる。
前記移動停止手段は、前記操作部と磁気的に結合した前記磁気結合部を前記搭載装置の搬送の方向へ移動させると同時に前記操作部から遠ざけるように前記磁気結合部を移動させる磁気結合部移動手段を更に有する。以上の構成によれば、前記搭載装置を加速させながら前記操作部と前記磁気結合部との磁気的な結合を解除することができる。
前記浮上搬送装置は、前記搭載装置の搬送の方向に沿って延びる磁石である搬送案内磁石を有し、前記搭載装置には、浮上搬送時に前記浮上搬送装置の前記搬送案内磁石と同時に磁気的に結合可能な少なくとも2つの磁石である搬送案内対象磁石を有する。以上の構成によれば、前記搭載装置の浮上搬送時における向きを一定に維持することが可能となる。
前記カバーは、前記搬送板に対して着脱自在に構成されている。以上の構成によれば、前記搬送板のメンテナンス性がよい。
前記搬送板と前記カバーの間には、シール部材が配置されている。以上の構成によれば、前記搬送板と前記カバーとの間からの前記清浄空気の意図しない漏れを効果的に抑制できる。
前記浮上搬送装置は、前記清浄空気生成手段によって生成された前記清浄空気を前記複数の噴射孔から前記搬送空間内に噴射する前に一時的に溜め込む高圧空間を形成する高圧筒体と、前記高圧空間を前記搭載装置の搬送の方向において仕切ることで前記高圧空間を複数の高圧室に分割する仕切り板と、を有し、前記清浄空気生成手段によって生成された前記清浄空気は、前記仕切り板の近傍に形成される。以上の構成によれば、前記複数の噴射孔から前記搬送空間内に噴射された前記清浄空気の前記搬送空間内における噴射方向は鉛直上向き又は単一の方向に若干傾いた斜め上向きとなる。従って、前記搭載装置を前記単一の方向に搬送する場合は、その搬送を円滑に行うことができる。
パレット6は、ウエハ2を搭載するものである。即ち、本実施形態のウエハ搬送システム3は、ウエハ2を直接的に搬送するのではなく、ウエハ2を搭載したパレット6を搬送することで間接的にウエハ2を搬送する。パレット6は、パレット本体8(搭載装置本体)と、3本の搭載ピン9、3本の位置決めピン10、一対のフラつき防止磁石11(搬送案内対象磁石)、押し出しピン12(突起)、一対の停止操作部13(操作部)、を備える。
図1に示すように、浮上搬送装置7は、パレット浮上ユニット20と複数のカバー21、複数のFFU22(Fan Filter Unit)を備える。
2 ウエハ
3 ウエハ搬送システム
6 パレット
7 浮上搬送装置
Claims (8)
- 板状の搭載装置本体を有し、搬送対象物を搭載可能な搭載装置と、
前記搭載装置本体に対して対向すると共に複数の噴射孔が形成された搬送板と、前記搬送板上に外部環境から隔離された搬送空間を形成するためのカバーと、清浄空気を生成する清浄空気生成手段と、を有し、前記清浄空気生成手段が生成した前記清浄空気を前記搬送板の前記複数の噴射孔から前記搬送空間内に噴射させることで前記搭載装置を浮上させつつ前記搭載装置を清浄雰囲気内で搬送する浮上搬送装置と、
を備えた搬送システムであって、
前記浮上搬送装置の前記搬送板は、前記搬送空間内の前記清浄空気を前記外部環境へ排出するための排出スリットを有し、
前記搭載装置は、浮上搬送時に、前記排出スリットを通って前記外部環境に至るまで延びる操作部を有し、
前記浮上搬送装置は、前記外部環境に配置され、前記操作部を用いて前記搭載装置の移動を所定位置にて停止する移動停止手段を更に有し、
前記移動停止手段は、
モータと、
前記モータの回転軸に取り付けられた円盤と、
前記円盤の円周上の任意の箇所に取り付けられ、前記操作部と磁気的に結合可能な磁気結合部と、
を有する、
搬送システム。 - 請求項1に記載の搬送システムであって、
前記排出スリットは、前記搭載装置の搬送の方向に沿って形成されている、
搬送システム。 - 請求項2に記載の搬送システムであって、
前記排出スリットは、前記浮上搬送装置の前記搬送板の前記複数の噴射孔の近傍に形成されている、
搬送システム。 - 請求項1〜3の何れかに記載の搬送システムであって、
前記搭載装置は、前記搬送対象物を搭載した状態で前記搬送対象物と重ならない位置に配置された突起を有する、
搬送システム。 - 請求項1〜4の何れかに記載の搬送システムであって、
前記浮上搬送装置は、前記搭載装置の搬送の方向に沿って延びる磁石である搬送案内磁石を有し、
前記搭載装置には、浮上搬送時に前記浮上搬送装置の前記搬送案内磁石と同時に磁気的に結合可能な少なくとも2つの磁石である搬送案内対象磁石を有する、
搬送システム。 - 請求項1〜5の何れかに記載の搬送システムであって、
前記カバーは、前記搬送板に対して着脱自在に構成されている、
搬送システム。 - 請求項6に記載の搬送システムであって、
前記搬送板と前記カバーの間には、シール部材が配置されている、
搬送システム。 - 請求項1〜7の何れかに記載の搬送システムであって、
前記浮上搬送装置は、前記清浄空気生成手段によって生成された前記清浄空気を前記複数の噴射孔から前記搬送空間内に噴射する前に一時的に溜め込む高圧空間を形成する高圧筒体と、前記高圧空間を前記搭載装置の搬送の方向において仕切ることで前記高圧空間を複数の高圧室に分割する仕切り板と、を有し、
前記清浄空気生成手段によって生成された前記清浄空気は、前記仕切り板の近傍に形成される、
搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013109065A JP5929831B2 (ja) | 2013-05-23 | 2013-05-23 | 搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013109065A JP5929831B2 (ja) | 2013-05-23 | 2013-05-23 | 搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014227273A JP2014227273A (ja) | 2014-12-08 |
JP5929831B2 true JP5929831B2 (ja) | 2016-06-08 |
Family
ID=52127478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013109065A Active JP5929831B2 (ja) | 2013-05-23 | 2013-05-23 | 搬送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5929831B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108792449B (zh) * | 2018-07-11 | 2023-12-12 | 东莞市敏顺自动化科技有限公司 | 一种高精度输送的生产线 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS615810U (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-14 | 日本エア−シユ−タ−株式会社 | 搬送体を用いたエア−浮上式搬送設備 |
JPS6186311A (ja) * | 1984-07-04 | 1986-05-01 | Hitachi Ltd | 半導体ウェハ移送装置 |
JPS61235258A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-10-20 | Daifuku Co Ltd | リニアモ−タ使用の搬送装置 |
JPH05147731A (ja) * | 1991-11-25 | 1993-06-15 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空気浮上式搬送装置 |
JP3393692B2 (ja) * | 1993-11-22 | 2003-04-07 | 株式会社荏原製作所 | 停止位置決め装置 |
JPH0858965A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-03-05 | Hitachi Ltd | 姿勢転換装置、及びこれを備えている搬送装置 |
JP4896148B2 (ja) * | 2006-10-10 | 2012-03-14 | 株式会社日本設計工業 | 薄板状材料搬送装置 |
JP4392692B2 (ja) * | 2006-12-01 | 2010-01-06 | 日本エアーテック株式会社 | 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置 |
-
2013
- 2013-05-23 JP JP2013109065A patent/JP5929831B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014227273A (ja) | 2014-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101409524B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
JP2011213435A (ja) | 搬送装置及び塗布システム | |
WO2021106799A1 (ja) | 基板搬送装置及び基板処理システム | |
KR102605684B1 (ko) | 기판 부상 반송 장치 | |
JP5929831B2 (ja) | 搬送システム | |
JP4274601B2 (ja) | 基体の移載装置及びその操作方法 | |
KR101796627B1 (ko) | 배기장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
KR101653335B1 (ko) | 냉각 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 방법 | |
US20230021035A1 (en) | Linearly moving mechanism and method of suppressing particle scattering | |
JP6090013B2 (ja) | 搬送システム | |
JP4805258B2 (ja) | カセット搬送システム | |
JP6332153B2 (ja) | ウエハ搬送システム | |
JP5888891B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2011246213A (ja) | 基板搬送装置 | |
CN101752173B (zh) | 真空处理装置、真空处理系统和处理方法 | |
KR102446950B1 (ko) | 기판 세정 모듈 및 이를 구비하는 기판 이송 장치 | |
KR101840166B1 (ko) | 분사모듈 | |
JP4893481B2 (ja) | シリコンウェーハ搬送装置 | |
TWI854061B (zh) | 基板搬運裝置及基板處理系統 | |
JP2013212920A (ja) | 搬送アーム、搬送装置および搬送方法 | |
JP2011184196A (ja) | 薄板搬送装置 | |
KR102278080B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP6079529B2 (ja) | 支持機構および搬送装置 | |
JP5145209B2 (ja) | 真空処理装置 | |
KR102089350B1 (ko) | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160418 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5929831 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |