JP6090013B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、搬送システムに関する。

この種の技術として、特許文献１は、ダクト本体にエアー突出孔を設け、エアー突出孔に対向する斜板をキャリアに設けることで、キャリアを浮上搬送するキャリア搬送装置を開示している。キャリアは、ダクト本体に対して遊嵌している。

実開昭63-4921号公報

しかし、特許文献１の構成では、キャリアがダクト本体に対して遊嵌しているので、キャリアとダクト本体との隙間を安定して確保することが難しく、発塵抑制の面で改善の余地が残されている。

本発明の目的は、発塵の少ない搬送システムを提供することにある。

本願発明の観点によれば、少なくとも１つの通気孔が形成された平板状の本体と、前記本体上に搬送対象物を搭載可能な搭載部と、を有する搭載装置と、上方へ向けて開口する複数の噴射孔が形成された搬送路と、清浄空気を生成する清浄空気生成手段と、を有し、前記清浄空気生成手段が生成した前記清浄空気が前記搬送路の前記複数の噴射孔から前記本体に向かって噴射することで前記搭載装置を前記搬送路上で浮上させつつ前記搭載装置を搬送する浮上搬送装置と、を備え、前記搭載装置は、前記少なくとも１つの通気孔を通って吹き上がる前記清浄空気の運動エネルギーを利用して、前記搭載装置を前記搬送路上で搬送するための力としての搬送駆動力を生成する搬送駆動力生成手段を更に有し、前記搬送駆動力生成手段は、前記少なくとも１つの通気孔を通って吹き上がる前記清浄空気が斜めに当たる傾斜面を有するように前記本体上に突出して形成されている、搬送システムが提供される。以上の構成によれば、前記搭載装置の前記浮上搬送装置側の面が実質的に平坦となるので、前記搭載装置と前記浮上搬送装置との間における発塵を抑えることができる。
前記搬送駆動力生成手段は、前記浮上搬送装置による浮上搬送時に前記本体の先頭となる部分としての先頭部に配置されている。前記傾斜面は、前記搬送路に近づくにつれて前記搭載装置の搬送方向に向かうように傾斜する。以上の構成によれば、前記搭載装置は前記搬送駆動力生成手段を先頭にして搬送されることになるので、前記搭載装置の平面視における向きが安定する。
前記浮上搬送装置は、前記搭載装置の搬送方向に沿って延びる磁石である搬送案内磁石を有し、
前記搭載装置は、前記浮上搬送装置による浮上搬送時に前記浮上搬送装置の前記搬送案内磁石によって磁気的に引き寄せられる磁石としての２つの搬送案内対象磁石を有する。前記２つの搬送案内対象磁石は、前記本体の前記先頭部と、前記浮上搬送装置による浮上搬送時に前記本体の後尾となる部分としての後尾部と、に夫々配置されている。以上の構成によれば、前記搭載装置の平面視における向きを一定に維持することが可能となる。
前記搬送路の前記複数の噴射孔は、前記搭載装置の搬送方向に沿って二列に並べて形成されている。
前記浮上搬送装置は、前記搬送路上に外部環境から隔離された搬送空間を形成するためのカバーを更に有する。前記浮上搬送装置は、前記清浄空気生成手段が生成した前記清浄空気が前記搬送路の前記複数の噴射孔から前記本体に向かって前記搬送空間内に噴射することで前記搭載装置を前記搬送路上で浮上させつつ前記搭載装置を清浄雰囲気内で搬送する。

本発明によれば、発塵の少ない搬送システムが提供される。

図1は、半導体製造ラインの斜視図である。 図2は、パレットの斜視図である。 図3は、図２のA部拡大図であって、説明の便宜上、一部の線分を二点鎖線で描いている。 図4は、パレットの斜視図である。 図5は、浮上搬送装置の一部切り欠き斜視図である。 図6は、浮上搬送装置の一部切り欠き斜視図である。 図7は、浮上搬送装置の一部切り欠き斜視図である。 図8は、図１のVIII-VIII線断面図である。 図9は、図１のIX-IX線断面図である。 図10は、浮上搬送装置の断面図であって、パレットの移動が禁止されている状態を示す図である。 図11は、駆動部の斜視図である。 図12は、駆動部の断面図である。 図13は、駆動部の変形例の斜視図である。 図14は、駆動部の変形例の断面図である。 図15は、浮上搬送装置の一部切り欠き斜視図であって、変形例を示す図である。

図１及び図２に示すように、半導体製造ライン１は、破線で示すウエハ２（搬送対象物）を搬送するウエハ搬送システム３（搬送システム）と、ウエハ２に対して所定の処理を行うプロセス装置４と、ウエハ搬送システム３によって搬送されているウエハ２をウエハ搬送システム３から受け取ってプロセス装置４に渡すと共にプロセス装置４によって処理されたウエハ２をプロセス装置４から受け取ってウエハ搬送システム３に戻す移載装置５と、を備える。「移載する（to transfer）」とは、「装置間で対象物を受け渡す」を意味する。

ウエハ搬送システム３は、パレット６（搭載装置）と、浮上搬送装置７と、を備える。図１に示すように、浮上搬送装置７は、水平方向において直線的に構成されている。

ここで、図１を参照して、「システム長手方向」及び「鉛直方向」、「システム幅方向」を定義する。システム長手方向は、浮上搬送装置７の長手方向を意味する。システム長手方向のうち、ウエハ２を搬送する方向を「搬送方向」とし、搬送方向と反対の方向を「反搬送方向」とする。鉛直方向は、地面に対して垂直な方向である。鉛直方向のうち、地面に向かう方向を「下方向」とし、地面から離れる方向を「上方向」とする。システム幅方向は、システム長手方向及び鉛直方向に対して直交する方向である。システム幅方向のうち、浮上搬送装置７の中央に近づく方向をシステム幅中央方向とし、浮上搬送装置７の中央から離れる方向をシステム幅反中央方向とする。

（パレット６）
図２に示すように、パレット６は、ウエハ２を搭載するものである。即ち、本実施形態のウエハ搬送システム３は、ウエハ２を直接的に搬送するのではなく、ウエハ２を搭載したパレット６を搬送することで間接的にウエハ２を搬送する。パレット６は、パレット本体８（本体）と、３つの搭載ピン９（搭載部）、３つの位置決めユニット１０、一対のフラつき防止磁石１１（搬送案内対象磁石）、押し出しピン１２（突起）、一対の停止操作部１３（操作部）、一対の駆動部６０（搬送駆動力生成手段）、４つのフック６１、を備える。

パレット本体８は、平面視で長方形の平板状に形成されている。パレット本体８は、長方形の基部１４と、一対の張り出し部１５と、を有する。本実施形態において、パレット６は、パレット本体８の基部１４の長手方向がシステム長手方向に対して平行となるような姿勢で拘束されたまま、浮上搬送装置７によって搬送される。従って、以降、パレット６を説明するに際しても、前述した「システム長手方向」及び「鉛直方向」、「システム幅方向」をそのまま利用するものとする。パレット本体８の基部１４は、システム長手方向に対して平行に延びる一対の長辺１４ａと、システム幅方向に対して平行に延びる一対の短辺１４ｂと、を有する。パレット６が浮上搬送装置７によって搬送されるに際し、パレット本体８の先頭となる部分を先頭部６２と称し、パレット本体８の後尾となる部分を後尾部６３と称する。一対の張り出し部１５は、基部１４の各長辺１４ａの略中央からシステム幅反中央方向へ突出する。

４本の搭載ピン９は、ウエハ２をパレット６に搭載するに際し、ウエハ２とパレット本体８との間の距離を制御するためのピンである。４本の搭載ピン９は、パレット本体８上にウエハ２を搭載するためのものである。４本の搭載ピン９は、パレット本体８の基部１４から上方向に突出するように配置されている。各搭載ピン９の上端９ａは、半球状に形成されている。ウエハ２は、４本の搭載ピン９の上端９ａに搭載される。各搭載ピン９の上端９ａが半球状に形成されているので、各搭載ピン９とウエハ２との接触面積が最小限に抑えられており、各搭載ピン９とウエハ２との接触による発塵を効果的に抑制している。

３つの位置決めユニット１０は、ウエハ２をパレット６に搭載するに際し、パレット６に対するウエハ２の水平方向での位置決めを行うためのものである。各位置決めユニット１０は、パレット本体８から上方に突出する支持部１０ａと、支持部１０ａに回転自在に支持されるローラー１０ｂと、を有する。

一対のフラつき防止磁石１１は、パレット６が浮上搬送装置７によって搬送される際の、パレット６を平面視で見たときのパレット６のフラつきを防止するための磁石である。各フラつき防止磁石１１は、パレット本体８の基部１４の各短辺１４ｂの略中央近傍に配置されている。換言すれば、一対のフラつき防止磁石１１は、パレット本体８の基部１４の先頭部６２及び後尾部６３に配置されている。

押し出しピン１２は、パレット６を搬送方向へ強制的に押し出すためのピンである。押し出しピン１２は、パレット本体８の基部１４から上方向に突出するように配置されている。押し出しピン１２は、パレット６がウエハ２を搭載した状態でウエハ２と重ならないような位置に配置される。押し出しピン１２は、パレット６がウエハ２を搭載した状態で、ウエハ２から離れた位置に配置される。押し出しピン１２は、パレット６がウエハ２を搭載した状態で、ウエハ２よりも後尾部６３側となるように配置される。

一対の停止操作部１３は、パレット６の移動を所定位置で停止するためのものである。図３に示すように、各停止操作部１３は、薄板１６と、パレット側停止磁石１７と、を有する。各停止操作部１３の薄板１６は、パレット本体８の基部１４の各長辺１４ａの略中央から下方向に延びる。各停止操作部１３のパレット側停止磁石１７は、薄板１６の下端に取り付けられている。なお、薄板１６の下端は、平面視でシステム幅反中央方向に凸のV字状となるように若干折り曲げられている。

駆動部６０は、パレット６を搬送するための搬送駆動力Rを生成する部分である。駆動部６０の詳細は、後述する。

４つのフック６１は、図４に示すように、例えば移載装置５に搭載されたロボットのアーム６４がウエハ２とパレット６を同時に保持するためのものである。各フック６１は、L字に形成されている。各フック６１は、パレット本体８の基部１４上に配置されている。各フック６１は、パレット本体８の基部１４から上方向に延びる突出部６１ａと、突出部６１ａの上端からシステム長手方向に延びる引っ掛け部６１ｂと、を有する。４つのフック６１のうち２つは、先頭部６２寄りに配置され、残りの２つは後尾部６３側に配置されている。

（浮上搬送装置７）
図１に示すように、浮上搬送装置７は、パレット浮上ユニット２０と複数のカバー２１、複数のFFU２２（Fan Filter Unit、清浄空気生成手段）を備える。

複数のFFU２２は、清浄空気を生成するものである。複数のFFU２２は、システム長手方向において間隔を空けて配置されている。

パレット浮上ユニット２０は、複数のFFU２２が生成した清浄空気を用いてパレット６を浮上させつつパレット６を搬送するものである。図５に示すように、パレット浮上ユニット２０は、中央ユニット２３と、一対の側方ユニット２４と、を備える。

中央ユニット２３は、システム幅方向において一対の側方ユニット２４に挟まれるように配置されている。中央ユニット２３は、高圧筒体２５と、マグネットガイド２６（搬送案内磁石）と、を有する。高圧筒体２５は、複数のFFU２２によって生成された清浄空気を溜め込むことで高圧空間Pを形成するものである。高圧筒体２５は、システム長手方向に延びる。高圧筒体２５は、天板２７と一対の側板２８、底板２９によって構成される。天板２７には、複数の噴射スリット３０（噴射孔）が形成されている。複数の噴射スリット３０は、高圧筒体２５内の清浄空気を上方向に噴射するためのスリットである。複数の噴射スリット３０は、システム長手方向に２列を成して並んでいる。マグネットガイド２６は、パレット６が浮上搬送装置７によって搬送される際の、パレット６を平面視で見たときのパレット６のフラつきを防止するための磁石である。マグネットガイド２６は、システム長手方向に直線的に延びている。マグネットガイド２６は、天板２７の下面２７ａに取り付けられている。

また、図６に示すように、中央ユニット２３は、複数の仕切り板４０を有する。複数の仕切り板４０は、高圧筒体２５内に形成された高圧空間Pをシステム長手方向で仕切る薄板である。高圧空間Pは、複数の仕切り板４０で仕切られることで、複数の高圧室Qに分割されている。そして、底板２９には、FFU２２によって生成された清浄空気を高圧室Qに供給するための複数の供給孔４１が形成されている。各供給孔４１は、仕切り板４０の近傍に形成されている。各供給孔４１は、仕切り板４０の配置位置よりも僅かに搬送方向側にズレた位置に形成されている。

図５に戻り、各側方ユニット２４は、天板３１と側板３２、底板３３、シール３４（シール部材）を有する。一対の側方ユニット２４は、システム幅方向において線対称であるから、一方の側方ユニット２４のみ説明し、他方の説明は省略する。

天板３１は、中央ユニット２３の高圧筒体２５の天板２７に対してシステム幅方向で隣り合っている。天板３１と天板２７の間には、ガイドスリット３５（排出スリット）が形成されている。ガイドスリット３５は、システム長手方向に沿って細長く形成されている。シール３４は、側板３２からシステム幅反中央方向に突出している。

また、図７に示すように、各側方ユニット２４は、浮上ユニット側停止磁石４２（磁気結合部、移動停止手段）を有する。浮上ユニット側停止磁石４２は、底板３３に支持されている。浮上ユニット側停止磁石４２は、天板３１の下方向側に配置されている。浮上ユニット側停止磁石４２は、外部環境Fに配置されている。浮上ユニット側停止磁石４２は、ガイドスリット３５の下方向に配置されている。

そして、図５に戻り、中央ユニット２３の高圧筒体２５の天板２７と、一対の側方ユニット２４の天板３１と、によって搬送板３６（搬送路）が構成される。

中央ユニット２３と一対の側方ユニット２４は、所定の位置で相互に連結されている。

複数のカバー２１は、搬送板３６上に外部環境Fから隔離された搬送空間Sを形成するためのものである。複数のカバー２１は、システム長手方向に並べて配置されている。各カバー２１は、システム長手方向で見て下方向に開口する断面U字状に形成されている。各カバー２１は、天板３７と一対の側板３８を有する。そして、各カバー２１の一対の側板３８でパレット浮上ユニット２０をシステム幅方向で挟み込むことで、各カバー２１とパレット浮上ユニット２０の搬送板３６との間に搬送空間Sが形成される。なお、各カバー２１の一対の側板３８でパレット浮上ユニット２０をシステム幅方向で挟み込むと、各カバー２１の一対の側板３８は、パレット浮上ユニット２０の各側方ユニット２４のシール３４に対して接触し、シール３４がシステム幅中央方向に圧縮されるようにシール３４を弾性変形させる。各カバー２１は、シール３４の自己弾性復元力によってパレット浮上ユニット２０との間で気密にシールされている。なお、各カバー２１は、上方向へ引っ張り上げればパレット浮上ユニット２０から比較的容易に取り外すことができる。

次に、図８及び図９を参照して、浮上搬送装置７内における清浄空気の流れについて説明する。先ず、FFU２２によって生成された清浄空気は、パレット浮上ユニット２０の中央ユニット２３の高圧筒体２５の底板２９の供給孔４１を通って高圧筒体２５内の高圧空間Pの高圧室Qに供給される。この結果、高圧室Qの気圧は、例えば2atm程度の高気圧（第１の気圧）となる。

次に、高圧室Q内の圧縮状態にある清浄空気は、パレット浮上ユニット２０の中央ユニット２３の高圧筒体２５の天板２７が有する複数の噴射スリット３０を通って上方向に、搬送空間Sへ噴射される。これにより、搬送空間Sの気圧は、高圧室Qの気圧である高気圧よりも低く、外部環境Fの気圧である大気圧（第３の気圧）よりも高い、例えば20Pa（ゲージ圧）程度の中気圧（第２の気圧）となる。図６には、各噴射スリット３０から噴射された清浄空気の流れの向きを太い矢印で示している。図６に示すように、高圧室Q内の清浄空気は、複数の噴射スリット３０を通って概ね上方向に噴射されるが、実際には若干傾いて噴射される。詳しくは、複数の噴射スリット３０のうち供給孔４１に近い噴射スリット３０を通って噴射される清浄空気は確かに殆ど上方向に噴射されるが、供給孔４１から離れた噴射スリット３０を通って噴射される清浄空気の噴射は、供給孔４１から離れる方向の水平成分を有している。ところで、本実施形態では、供給孔４１が仕切り板４０の配置位置よりも僅かに搬送方向側にズレた位置に形成されている。従って、供給孔４１から離れた噴射スリット３０を通って噴射される清浄空気の噴射は、搬送方向の水平成分を有することになる。別の言葉で言えば、清浄空気は、殆ど上方向か若干搬送方向に傾きながら高圧室Qから搬送空間Sへと噴射される。

次に、図９に示すように、高圧室Qから複数の噴射スリット３０を通じて搬送空間Sへ噴射された清浄空気は、搬送空間Sを清浄雰囲気に維持しつつ、やがてガイドスリット３５から外部環境Fへ排出される。ここで、ガイドスリット３５は複数の噴射スリット３０の近傍に形成されているので、高圧室Qから複数の噴射スリット３０を通じて搬送空間Sへ噴射された清浄空気は、搬送空間S内に満遍なく行き渡ることになり、搬送空間S内での空気の澱みが発生し難くなっている。

図１０には、高圧室Qから複数の噴射スリット３０を通じて搬送空間Sへ噴射された清浄空気により、パレット６が搬送空間S内で浮上している様子を示している。図１０に示すように、パレット浮上ユニット２０の搬送板３６と、パレット６のパレット本体８の基部１４と、の間に清浄空気が高い圧力で供給されることで、パレット６は、搬送空間S内で浮上する。そして、パレット６のパレット本体８の基部１４に搭載された一対の駆動部６０（図２を併せて参照）の存在により、パレット６は、浮上しながら搬送方向へと搬送される。

このとき、図２に示すパレット６の一対のフラつき防止磁石１１が、図５に示す浮上搬送装置７のパレット浮上ユニット２０の中央ユニット２３のマグネットガイド２６によって磁気的に引き寄せられる。これにより、図２に示すパレット６は、浮上搬送時、搬送空間S内でパレット６を平面視で見て、ふらつき難い。

また、図１０に示すように、パレット６の停止操作部１３は、浮上搬送装置７のパレット浮上ユニット２０の搬送板３６のガイドスリット３５を通じて、搬送板３６の下方向に突出している。そして、浮上搬送装置７のシステム長手方向における所定の位置において、パレット６の停止操作部１３のパレット側停止磁石１７と、浮上搬送装置７のパレット浮上ユニット２０の側方ユニット２４の浮上ユニット側停止磁石４２と、が磁気的に結合する。これにより、浮上搬送装置７のシステム長手方向における所定の位置において、パレット６は、浮上したまま浮上搬送装置７によって拘束され、パレット６の移動が禁止される。このように、浮上搬送装置７のシステム長手方向における所定の位置においてパレット６の移動が禁止されることで、図１に示す移載装置５が浮上搬送装置７からウエハ２を簡単に受け取ることができるようになる。なお、「磁気的な結合」とは、物理的な接触を伴った磁気的結合である場合と、物理的な接触を伴わない磁気的結合で場合と、が考えられる。本実施形態では、物理的な接触を伴わない磁気的結合を例示している。

上記のように、パレット６の移動が禁止され、パレット６に搭載されているウエハ２が移載装置５によってプロセス装置４に引き渡され、プロセス装置４による所定の処理が完了すると、処理後のウエハ２が移載装置５によってパレット６上に再び搭載される。その後、パレット６の移動を再開するには、移載装置５が有するロボットのアーム６４（図４参照）などを用いて図２に示すパレット６の押し出しピン１２を搬送方向に押し出してやればよい。これにより、パレット６の停止操作部１３のパレット側停止磁石１７と、浮上搬送装置７のパレット浮上ユニット２０の側方ユニット２４の浮上ユニット側停止磁石４２と、の磁気的な結合が強制的に解除されるので、パレット６の移動が再び許容されることになる。ところで、パレット６の停止操作部１３のパレット側停止磁石１７と、浮上搬送装置７のパレット浮上ユニット２０の側方ユニット２４の浮上ユニット側停止磁石４２と、は相互に物理的に接触する場合がある。物理的な接触はダストの発生源となる。しかしながら、パレット６の停止操作部１３のパレット側停止磁石１７と、浮上搬送装置７のパレット浮上ユニット２０の側方ユニット２４の浮上ユニット側停止磁石４２と、がシステム幅方向において対向する場所は、搬送空間Sから見て、清浄空気の流れの下流側である。従って、仮に、上記の物理的な接触によりダストが発生したとしても、発生したダストが搬送空間S内に侵入することはなく、搬送空間Sの空気清浄度が高いレベルで維持されることになる。

それでも、搬送板３６は定期的にアルコール拭き取りなどによる清掃をすることが好ましい。これに対し、本実施形態において複数のカバー２１は、シール３４の自己弾性復元力によりパレット浮上ユニット２０に保持されているだけなので、パレット浮上ユニット２０から簡単に取り外すことができる。従って、本実施形態の浮上搬送装置７はメンテナンス性が高い。

次に、図２に示す一対の駆動部６０を説明する。図１１及び図１２に示すように、パレット本体８の基部１４の先頭部６２には、一対の通気孔６５が形成されている。一対の通気孔６５は、システム幅方向に若干離れて配置されている。図２及び図１１、図１２に示すように、各駆動部６０は、パレット本体８を挟んで搬送板３６と反対側に配置され、各通気孔６５を通って吹き上がる清浄空気の運動エネルギーを利用して、パレット６を搬送板３６上で搬送するための力としての搬送駆動力Rを生成する。一対の駆動部６０は、パレット６のパレット本体８の基部１４の先頭部６２に配置されている。一対の駆動部６０は、システム幅方向に若干離れて配置されている。一対の駆動部６０は、同一形状である。一対の駆動部６０は、パレット本体８上に突出して形成されている。一対の駆動部６０は、パレット本体８から上方向に突出して形成されている。

図１１及び図１２に示すように、各駆動部６０は、パレット本体８の基部１４から上方向に突出する角筒体状に形成されている。図１２に示すように、各駆動部６０には、空気流路６６が形成されている。各駆動部６０の空気流路６６は、基部１４から離れるにつれて後尾部６３に向かうように傾斜している。各駆動部６０の空気流路６６は、基部１４から離れるにつれて先頭部６２から離れるように傾斜している。各駆動部６０の空気流路６６は、搬送板３６へ近づくにつれてパレット６の搬送方向に向かうように傾斜している。各駆動部６０の空気流路６６は、パレット本体８の基部１４の各通気孔６５と接続している。各駆動部６０は、空気流路６６の先頭部６２側を区画する内壁面としての傾斜面６７を有する。各駆動部６０の傾斜面６７は、搬送板３６へ近づくにつれてパレット６の搬送方向に向かうように傾斜している。以上の構成で、噴射スリット３０から上方向に噴射され、通気孔６５を通って吹き上がる清浄空気は、傾斜面６７に対して斜めに当たる。これにより、傾斜面６７には、傾斜面６７に対して直交する反力Wが発生する。この反力Wの水平成分が、上述した搬送駆動力Rとなる。

なお、本実施形態では、図５に示すように、搬送板３６には、複数の噴射スリット３０が形成されている。複数の噴射スリット３０は、２列に並べて配置されている。２列のうち一方に属する複数の噴射スリット３０は、図１２に示すようにパレット６のパレット本体８の基部１４の一方の通気孔６５と鉛直方向において対向可能であり、他方に属する複数の噴射スリット３０は、他方の通気孔６５と鉛直方向において対向可能である。従って、一対の駆動部６０は、同一の搬送駆動力Rを生成することになり、もって、パレット６は、平面視でふらつくことなくシステム長手方向に沿ってスムーズに搬送される。

以上に、本願発明の好適な実施形態を説明したが、上記実施形態は、以下の特長を有する。

（１）ウエハ搬送システム３（搬送システム）は、通気孔６５が形成された平板状のパレット本体８（本体）と、パレット本体８上にウエハ２（搬送対象物）を搭載可能な４つの搭載ピン９（搭載部）と、を有するパレット６（搭載装置）と、上方へ向けて開口する複数の噴射スリット３０（噴射孔）が形成された搬送板３６（搬送路）と、清浄空気を生成するFFU２２（清浄空気生成手段）と、を有し、FFU２２が生成した清浄空気が搬送板３６の複数の噴射スリット３０からパレット本体８に向かって噴射することでパレット６を搬送板３６上で浮上させつつパレット６を搬送する浮上搬送装置７と、を備える。パレット６は、通気孔６５を通って吹き上がる清浄空気の運動エネルギーを利用して、パレット６を搬送板３６上で搬送するための力としての搬送駆動力Rを生成する駆動部６０（搬送駆動力生成手段）を更に有する。駆動部６０は、通気孔６５を通って吹き上がる清浄空気が斜めに当たる傾斜面６７を有するようにパレット本体８上に突出して形成されている。以上の構成によれば、パレット６の浮上搬送装置７側の面が実質的に平坦となるので、パレット６と浮上搬送装置７との間における発塵を抑えることができる。

なお、上記実施形態において、パレット６は、２つの駆動部６０を有している。しかし、これに代えて、駆動部６０は、１つでもよいし、３つ以上でもよい。

（２）駆動部６０は、浮上搬送装置７による浮上搬送時にパレット本体８の先頭となる部分としての先頭部６２に配置されている。傾斜面６７は、搬送板３６に近づくにつれてパレット６の搬送方向に向かうように傾斜する。以上の構成によれば、パレット６は駆動部６０を先頭にして搬送されることになるので、パレット６の平面視における向きが安定する。

（３）浮上搬送装置７は、パレット６の搬送方向に沿って延びる磁石であるマグネットガイド２６（搬送案内磁石）を有する。パレット６は、浮上搬送装置７による浮上搬送時に浮上搬送装置７のマグネットガイド２６によって磁気的に引き寄せられる磁石としての２つのフラつき防止磁石１１（搬送案内対象磁石）を有する。２つのフラつき防止磁石１１は、パレット本体８の先頭部６２と、浮上搬送装置７による浮上搬送時にパレット本体８の後尾となる部分としての後尾部６３と、に夫々配置されている。以上の構成によれば、パレット６の平面視における向きを一定に維持することが可能となる。

なお、パレット６は、フラつき防止磁石１１を３つ以上有してもよい。この場合、３つのフラつき防止磁石１１は、好ましくは、一列に並んで配置される。

（４）搬送板３６の複数の噴射スリット３０は、パレット６の搬送方向に沿って二列に並べて形成されている。

（５）浮上搬送装置７は、搬送板３６上に外部環境Fから隔離された搬送空間Sを形成するためのカバー２１を更に有する。浮上搬送装置７は、FFU２２が生成した清浄空気が搬送板３６の複数の噴射スリット３０からパレット本体８に向かって搬送空間S内に噴射することでパレット６を搬送板３６上で浮上させつつパレット６を清浄雰囲気内で搬送する。

（付記１）ウエハ搬送システム３（搬送システム）は、板状のパレット本体８（本体）を有し、ウエハ２（搬送対象物）を搭載可能なパレット６（搭載装置）と、パレット本体８に対して対向すると共に複数の噴射スリット３０（噴射孔）が形成された搬送板３６（搬送路）と、搬送板３６上に外部環境Fから隔離された搬送空間Sを形成するためのカバー２１と、清浄空気を生成するFFU２２（清浄空気生成手段）と、を有し、FFU２２が生成した清浄空気を搬送板３６の複数の噴射スリット３０から搬送空間S内に噴射させることでパレット６を浮上させつつパレット６を清浄雰囲気内で搬送する浮上搬送装置７と、を備える。浮上搬送装置７の搬送板３６は、搬送空間S内の清浄空気を外部環境Fへ排出するためのガイドスリット３５（排出スリット）を有する。パレット６は、浮上搬送時に、ガイドスリット３５を通って外部環境Fに至るまで延びる停止操作部１３（操作部）を有する。浮上搬送装置７は、外部環境Fに配置され、停止操作部１３を用いてパレット６の移動を所定位置にて停止する移動停止手段を更に有する。以上の構成によれば、移動停止手段が搬送空間Sから見て清浄空気の流れの下流側に配置されるので、移動停止手段の作動によって発生したダストが搬送空間Sに侵入することがない。従って、搬送空間Sの空気清浄度を低下させることなくウエハ２の移動を所定位置にて停止することができる。なお、本実施形態において移動停止手段は、浮上ユニット側停止磁石４２によって構成される。

（付記２）ガイドスリット３５は、システム長手方向（パレット６の搬送の方向）に沿って形成されている。以上の構成によれば、パレット６の停止操作部１３がガイドスリット３５を通って外部環境Fに至る構成でも、パレット６の搬送を問題なく行うことができる。

また、ガイドスリット３５は、浮上搬送装置７の搬送板３６に形成されている。以上の構成によれば、搬送空間S内の清浄空気の、外部環境Fへの排出の方向を下向きにすることができる。

（付記３）ガイドスリット３５は、浮上搬送装置７の搬送板３６の複数の噴射スリット３０の近傍に形成されている。以上の構成によれば、複数の噴射スリット３０から搬送空間S内に噴射された清浄空気が搬送空間S内に満遍なく行き渡るので、搬送空間S内で空気の澱みが発生し難い。

（付記４）移動停止手段は、停止操作部１３と磁気的に結合可能な浮上ユニット側停止磁石４２（磁気結合部）を有する。以上の構成によれば、パレット６の移動を簡素な構成で停止させることができる。

（付記５）パレット６は、ウエハ２を搭載した状態でウエハ２と重ならない位置に配置された押し出しピン１２（突起）を有する。以上の構成によれば、押し出しピン１２を用いてパレット６を押し出すことで、停止操作部１３と浮上ユニット側停止磁石４２との磁気的な結合を解除することができる。

（付記６）浮上搬送装置７は、システム長手方向（パレット６の搬送の方向）に沿って延びる磁石であるマグネットガイド２６（搬送案内磁石）を有する。パレット６には、浮上搬送時に浮上搬送装置７のマグネットガイド２６によって磁気的に引き寄せられる磁石としての２つのフラつき防止磁石１１（搬送案内対象磁石）を有する。２つのフラつき防止磁石１１は、パレット本体８の先頭部６２と、浮上搬送装置７による浮上搬送時にパレット本体８の後尾となる部分としての後尾部６３と、に夫々配置されている。以上の構成によれば、パレット６の浮上搬送時における向きを一定に維持することが可能となる。

（付記７）カバー２１は、搬送板３６に対して着脱自在に構成されている。以上の構成によれば、搬送板３６のメンテナンス性がよい。

（付記８）搬送板３６とカバー２１の間には、シール３４（シール部材）が配置されている。以上の構成によれば、搬送板３６とカバー２１との間からの清浄空気の意図しない漏れを効果的に抑制できる。

（付記９）浮上搬送装置７は、FFU２２によって生成された清浄空気を複数の噴射スリット３０から搬送空間S内に噴射する前に一時的に溜め込む高圧空間Pを形成する高圧筒体２５と、高圧空間Pをシステム長手方向（パレット６の搬送の方向）において仕切ることで高圧空間Pを複数の高圧室Qに分割する仕切り板４０と、を有する。FFU２２によって生成された清浄空気は、仕切り板４０の近傍に形成される。以上の構成によれば、複数の噴射スリット３０から搬送空間S内に噴射された清浄空気の搬送空間S内における噴射方向は鉛直上向き又は単一の方向に若干傾いた斜め上向きとなる。従って、パレット６を上記単一の方向に搬送する場合は、その搬送を円滑に行うことができる。

以上に、上記実施形態を説明したが、上記実施形態は以下のように変更できる。

図１１及び図１２に示すように、上記実施形態では、一対の駆動部６０を角筒体とした。しかし、これに代えて、図１３及び図１４に示すように、各駆動部６０を、傾斜面６７を有する傾斜板６８と、傾斜板６８を支持する一対の支持脚６９と、ストレート板７０と、によって構成してもよい。ストレート板７０は、傾斜板６８の下端からパレット本体８の基部１４に至るまで延びる平板である。この構成でも、清浄空気が噴射スリット３０から上方向に噴射し、傾斜面６７に対して斜めに当たると、傾斜面６７には、搬送駆動力Rを分力として含む反力Wが生成されることになる。

また、図７に示すように、上記実施形態では、移動停止手段としての浮上ユニット側停止磁石４２は側方ユニット２４に固定されているとした。しかし、これに代えて、図１５に示すように、浮上ユニット側停止磁石４２が側方ユニット２４によって移動可能に支持される構成を採用してもよい。具体的には、側方ユニット２４は、モータ５０と、モータ５０の回転軸に取り付けられた円盤５１と、浮上ユニット側停止磁石４２と、を備える。浮上ユニット側停止磁石４２は、円盤５１の円周上の任意の箇所に取り付けられている。以上の構成によれば、モータ５０を駆動させることで、パレット６の停止操作部１３のパレット側停止磁石１７と磁気的に結合した浮上ユニット側停止磁石４２を搬送方向へ移動させると同時に停止操作部１３から遠ざけるように浮上ユニット側停止磁石４２を移動させることができる。即ち、本変形例は以下の特長を有する。

（付記１０）移動停止手段は、停止操作部１３と磁気的に結合した浮上ユニット側停止磁石４２を搬送方向（パレット６の搬送の方向）へ移動させると同時に停止操作部１３から遠ざけるように浮上ユニット側停止磁石４２を移動させる磁気結合部移動手段を更に有する。以上の構成によれば、パレット６を加速させながら停止操作部１３と浮上ユニット側停止磁石４２との磁気的な結合を解除することができる。なお、本実施形態において移動停止手段は、浮上ユニット側停止磁石４２とモータ５０と円盤５１により実現される。磁気結合部移動手段は、モータ５０及び円盤５１によって実現される。

１ 半導体製造ライン
２ ウエハ
３ ウエハ搬送システム
４ プロセス装置
５ 移載装置
６ パレット
７ 浮上搬送装置
８ パレット本体
１４ 基部
３０ 噴射スリット
３６ 搬送板
６０ 駆動部
６５ 通気孔

Claims (5)

1. 少なくとも１つの通気孔が形成された平板状の本体と、前記本体上に搬送対象物を搭載可能な搭載部と、を有する搭載装置と、
   上方へ向けて開口する複数の噴射孔が形成された搬送路と、清浄空気を生成する清浄空気生成手段と、を有し、前記清浄空気生成手段が生成した前記清浄空気が前記搬送路の前記複数の噴射孔から前記本体に向かって噴射することで前記搭載装置を前記搬送路上で浮上させつつ前記搭載装置を搬送する浮上搬送装置と、
   を備え、
   前記搭載装置は、前記少なくとも１つの通気孔を通って吹き上がる前記清浄空気の運動エネルギーを利用して、前記搭載装置を前記搬送路上で搬送するための力としての搬送駆動力を生成する搬送駆動力生成手段を更に有し、
   前記搬送駆動力生成手段は、前記少なくとも１つの通気孔を通って吹き上がる前記清浄空気が斜めに当たる傾斜面を有するように前記本体上に突出して形成されている、
   搬送システム。
2. 請求項１に記載の搬送システムであって、
   前記搬送駆動力生成手段は、前記浮上搬送装置による浮上搬送時に前記本体の先頭となる部分としての先頭部に配置されており、
   前記傾斜面は、前記搬送路に近づくにつれて前記搭載装置の搬送方向に向かうように傾斜する、
   搬送システム。
3. 請求項２に記載の搬送システムであって、
   前記浮上搬送装置は、前記搭載装置の搬送方向に沿って延びる磁石である搬送案内磁石を有し、
   前記搭載装置は、前記浮上搬送装置による浮上搬送時に前記浮上搬送装置の前記搬送案内磁石によって磁気的に引き寄せられる磁石としての２つの搬送案内対象磁石を有し、
   前記２つの搬送案内対象磁石は、前記本体の前記先頭部と、前記浮上搬送装置による浮上搬送時に前記本体の後尾となる部分としての後尾部と、に夫々配置されている、
   搬送システム。
4. 請求項１〜３の何れかに記載の搬送システムであって、
   前記搬送路の前記複数の噴射孔は、前記搭載装置の搬送方向に沿って二列に並べて形成されている、
   搬送システム。
5. 請求項１〜４の何れかに記載の搬送システムであって、
   前記浮上搬送装置は、前記搬送路上に外部環境から隔離された搬送空間を形成するためのカバーを更に有し、
   前記浮上搬送装置は、前記清浄空気生成手段が生成した前記清浄空気が前記搬送路の前記複数の噴射孔から前記本体に向かって前記搬送空間内に噴射することで前記搭載装置を前記搬送路上で浮上させつつ前記搭載装置を清浄雰囲気内で搬送する、
   搬送システム。

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