KR20140132732A - 부상 반송 장치 및 부상 반송 방법 - Google Patents

부상 반송 장치 및 부상 반송 방법 Download PDF

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고이치 쯔노다
도시유키 이케다
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오일레스고교 가부시키가이샤
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Abstract

레일을 반송 방향을 따라서 복수개 나열하여 반송 라인을 구축하는 경우에서도, 안정적으로 반송 대상을 비접촉으로 반송할 수 있고, 또한 저비용의 반송 기술을 제공한다. 레일(2)의 반송면(20)에는, 통기로에 공급된 압축 기체를 분출하여 반송면(20) 상의 기판(5)에 분출하기 위한 압축 기체 분출구(22)와, 압축 기체를 분출하여 선회류를 생성하는 선회류 생성부(23)가 각각 복수 형성되어 있다. 선회류 생성부(23)는, 적어도, 기판(5)의 선단부(51a)가 후속 레일(2)의 반송면(20)의 반송 방향(A) 후방측의 단부(21b)에 도달할 때에 기판(5)의 후단부(51b)에 대응하는 반송면(20)상의 위치와, 기판(5)의 후단부(51b)가 레일(2)의 반송면(20)의 반송 방향(A) 전방측의 단부(21a)에 도달했을 때에 기판(5)의 선단부(51a)에 대응하는 반송면(20)상의 위치에 복수 형성된다. 압축 기체 분출구(22)는, 선회류 생성부(23)의 형성 영역(29)을 제외한, 반송면(20)상의 영역(28) 전체면에 복수 형성된다.

Description

부상 반송 장치 및 부상 반송 방법{FLOAT TRANSPORTATION DEVICE AND FLOAT TRANSPORTATION METHOD}
본 발명은, 반송 대상을 부상(浮上)시켜서 비접촉으로 반송하는 부상 반송 기술에 관한 것이다.
제조 라인 등에 있어서, 반송 대상을 반송용 레일 등의 반송면으로부터 부상시켜서 비접촉으로 반송하는 부상 반송 장치가 알려져 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에는, 반송용 레일의 반송면으로부터 기체의 분출과 흡인을 동시에 행하는 것으로, 반송용 레일의 반송면으로부터의 반송 대상의 부상 높이를 안정시켜서 반송하는 것이 가능한 부상 반송 장치가 개시되어 있다.
일본 공개특허 2008-7319호 공보
그러나, 특허 문헌 1에 기재된 부상 반송 장치는, 기체 분출용 및 기체 흡인용의 2계통의 통기로를 반송용 레일 내에 구축해야 한다. 그리고, 기체 분출 및 기체 흡인의 양쪽 모두에 대응하는 펌프가 필요하다. 이 때문에, 장치의 구조가 복잡화되고, 비용이 높아진다.
또한, 일반적으로, 부상 반송 장치에 있어서는, 반송 대상의 반송 거리를 연장하는 경우에, 반송용 레일을 반송 대상의 반송 방향을 따라서 연결하여 더하는 것이 행해지고 있다. 특허 문헌 1에 기재된 부상 반송 장치에 있어서는, 2개의 반송용 레일을 반송 방향을 따라서 나열한 상태에서 부상 반송 라인이 구축되어 있기 때문에, 반송 방향에 있어서 서로 이웃하는 반송용 레일이 밀착하지 않고, 이들의 사이(이른바 반송용 레일의 이음매)에, 반송면의 불연속부, 즉 간극이 형성된다. 또한, 부상 반송 장치의 용도에 따라서는, 반송 방향에 있어서 서로 이웃하는 반송용 레일간에, 예를 들면 레이저 스크라이브 유닛 등을 배치하기 위한 간극이 마련되기도 한다.
이러한 반송용 레일간의 간극에 있어서는, 반송 대상으로 기체를 분출시키는 것이 곤란하기 때문에, 기체막압(氣體膜壓)이 발생하기 어렵다. 따라서, 반송 중의 반송 대상은, 반송 방향을 따라서 나열한 서로 이웃하는 2개의 반송용 레일 중, 한쪽으로부터 다른 한쪽으로, 반송용 레일간의 간극을 통하여 이동할 때, 반송 대상의 단부가 이 간극에 위치했을 때에 자중에 의해 휨을 일으키고, 이 반송 대상의 단부가 다른 한쪽의 반송용 레일의 단부와 접촉할 가능성이 있다. 특히, 액정 디스플레이 패널, 플라스마 디스플레이 패널 등의 플랫 디스플레이 패널에 이용되는 대형 유리 기판 등은, 매우 얇아서 휘기 쉽기 때문에, 반송 중에, 유리 기판의 단부가 반송용 레일들 사이의 간극을 통과할 때에 후속의 반송용 레일의 단부와 접촉할 가능성이 높다.
본 발명은 상기 사정에 비추어 이루어진 것으로, 그 목적은, 반송면으로부터 기체를 분출하는 기구를 가진 반송용 레일을 복수개, 반송 방향으로 나열하여 구축된 부상 반송 라인에 있어서, 반송 대상과 반송용 레일과의 충돌을 방지할 수 있고, 이에 의해 안정적으로 반송 대상을 비접촉으로 반송하는 것이 가능하고, 또한 저비용의 부상 반송 기술을 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 부상 반송 장치는, 반송 대상으로 기체를 분출하는 기체 분출구가 복수 마련된 반송면을 구비하는 반송용 레일에 있어서, 반송 대상의 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부가, 반송면의 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부를 통과했을 때에, 반송 대상의 반송 방향에 있어서의 다른 한쪽의 단부에 대응하는 반송면의 위치에, 기체를 분출하여 선회류를 생성함에 의해 부압을 발생시키는 선회류 생성 수단을 적어도 하나 마련했다.
예를 들면, 본 발명은, 반송 대상을 반송용 레일의 반송면으로부터 부상시켜서, 반송 방향으로 비접촉으로 반송하는 부상 반송 장치로서,
상기 반송면에 복수 형성되고, 상기 반송 대상을 향하여 기체를 분출하는 기체 분출구와,
상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부가, 상기 반송면의 상기 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부를 통과했을 때에, 상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 다른 한쪽의 단부가 대응하는 상기 반송면의 위치에 적어도 하나 마련되고, 기체를 분출하여 선회류를 생성함에 의해 부압을 발생시키는 선회류 생성 수단을 갖는다.
본 발명에 있어서, 반송 방향을 따라서 나열된 2개의 반송용 레일의 한쪽으로부터 다른 한쪽으로, 반송 대상이 반송용 레일들 사이의 간극을 통하여 이동할 때에, 반송 대상의 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부가 이 간극에 위치했을 때에, 반송 대상이 자중에 의해 휘어서, 반송 대상의 반송 방향에 있어서의 다른 한쪽의 단부가 반송면으로부터 멀어지는 방향(부상하는 방향)으로 이동하려고 하는 힘이 발생한다. 그러나, 이 힘은 반송 대상의 다른 한쪽의 단부에 대응하는 반송면의 위치에 있어서, 선회류 생성 수단에 의해서 생성된 선회류에 의한 부압에 의해서 없어지고, 반송 대상의 반송 방향에 있어서의 다른 한쪽의 단부가 반송면에 끌어당겨진다. 이에 의해, 반송 대상의 자중에 의해 발생하는 휨을 방지할 수 있고, 반송 대상의 반송 방향에 있어서의 단부가 반송용 레일의 반송 방향에 있어서의 단부에 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 기체를 분출하여 선회류를 생성하고, 부압을 발생시켜서 반송 대상을 반송용 레일의 반송면에 끌어당기므로, 반송 대상을 반송면으로부터 부상시키기 위한 기체를 분출시키기 위한 압축 기체 분출구와 반송물의 단부를 반송면에 끌어당기기 위해서 기체를 분출시키기 위한 선회류 생성 수단으로 기체를 공급하는 통기로 및 펌프를 공용(共用)할 수 있다. 이 때문에, 본 발명에 의하면, 반송용 레일을 반송 방향을 따라서 복수개 나열하여 부상 반송 라인을 구축하는 경우에서도, 반송 대상과 반송용 레일과의 충돌을 방지할 수 있고, 이에 의해 안정적으로 기판 등의 반송 대상을 비접촉으로 반송하는 것이 가능하고, 또한 저비용의 부상 반송 기술을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 의한 기판 반송 장치(1)의 개략 구성도이다.
도 2(A)는 레일(2)의 반송면(20) 상에 있어서의 선회류 생성부(23)의 형성 부분의 확대도이며, 도 2(B)는 도 2(A)에 나타내는 선회류 생성부(23)의 A-A선 단면도이다.
도 3은 기판 반송 장치(1)의 레일(2)을 기판 반송 방향(A)을 따라서 복수개 나열하여 구축된 기판 반송 라인(6)의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 4의 (A), (B)는, 반송면(20)으로부터 부상하여 비접촉으로 기판 반송 라인(6)상에서 반송되는 기판(5)의 모습을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 실시 형태에 의한 기판 반송 장치(1)의 개략 구성도이다.
도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 의한 기판 반송 장치(1)는, 액정 디스플레이 패널, 플라스마 디스플레이 패널 등의 플랫 디스플레이 패널에 이용되는 대형 유리 기판 등의 기판(5)(도 3 참조)을 비접촉으로 반송하기 위한 반송면(20)을 구비한 레일(2)과, 압축 기체를 공급하는 펌프(3)와, 펌프(3)의 압축 기체 분출구(미도시)와 레일(2)의 급기구(給氣口)(미도시)에 연결된 튜브(4)를 가지고 있다.
여기서, 레일(2)의 내부에는, 급기구로 연결되는 통기로(미도시)가 형성되어 있고, 레일(2)의 반송면(20)에는, 이 통기로로 연결되는 압축 기체 분출구(22)와, 이 통기로로 연결되는 후술의 선회류 분출구(26)(도 2 참조)를 포함하는 선회류 생성부(23)가 복수개씩 형성되어 있다. 아울러, 도 1 및 후술의 도 3에 있어서는, 도면의 간략화를 위해, 일부의 압축 기체 분출구(22)와 일부의 선회류 생성부(23)에만 부호를 부여한다.
압축 기체 분출구(22)는, 레일(2)의 반송면(20)상의, 레일(2)의 길이 방향의 양단(21a, 21b)측의 영역(압축 기체 분출 영역)(29)내에 복수개씩 형성되어 있다. 이들 압축 기체 분출구(22)는, 각각, 반송면(20)의 수선(垂線) 방향으로 향하여 개구되어 있고, 통기로에 공급되는 압축 기체(a)를, 반송면(20)상을 반송 중의 기판(5)을 향하여 분출한다(도 4의 (A), (B) 참조). 후술하는 도 4에 나타낸 바와 같이, 소정의 간극(d)을 두고 2개의 레일(2(2A, 2B))을 기판 반송 방향(A)을 따라서 나열한 경우에, 반송 중의 기판(5)이 레일(2A)상의 선회류 생성 영역(28)상을 통과하는 동안에, 기판(5)의 선단부(51a) 또는 후단부(51b)가 간극(d)을 넘어가도록, 기판 반송 방향(A)(레일(2)의 길이 방향)에 있어서, 각 압축 기체 분출 영역(29)의 폭은, 기판(5)의 폭(H)과 간극(d)의 폭의 차이보다 좁은 치수로 되어 있다.
한편, 선회류 생성부(23)는, 레일(2)의 반송면(20)상의, 양단부(21a, 21b)측에 위치하는 압축 기체 분출구 영역(29)의 사이에 끼워진 영역(선회류 생성 영역)(28) 내에 복수 형성되어 있다. 이들 선회류 생성부(23)는, 각각, 통기로에 공급되는 압축 기체(E)를 선회시킴에 의해 선회류(b)를 생성한다(도 2(A), 도 4(A), 도 4(B) 참조).
도 2(A)는, 레일(2)의 반송면(20)상에 있어서의 선회류 생성부(23)의 형성 부분의 확대도이며, 도 2(B)는, 도 2(A)에 나타내는 선회류 생성부(23)의 A-A선 단면도이다.
도시하는 바와 같이, 선회류 생성부(23)는, 레일(2)의 반송면(20)에 형성된 원통 형상의 오목부(24)와, 오목부(24)의 내주면(25)에 형성되고, 오목부(24)의 내주면(25)의 접선 방향으로 압축 기체(E)를 분출하는 선회류용 분출구(26)를 가지고 있다.
선회류용 분출구(26)는 통기로로 연결되어 있고, 펌프(3)로부터 통기로를 통하여 공급되는 압축 기체(E)는, 선회류용 분출구(26)로부터 오목부(24)의 내부에, 그 오목부(24)의 내주면(25)의 접선 방향으로 분출하여, 오목부(24)의 내주면(25)을 따라서 선회한다. 이에 의해, 선회류(b)가 형성된다. 그리고, 이 선회류에 말려 들어간 기체가, 오목부(24)로부터 레일(2)의 반송면(20)과 반송 중의 기판(5)의 사이로 분출하기 쉽도록, 오목부(24)의 내주면(25)에는, 개구 측에 테이퍼(27)가 마련되어 있다.
또한, 레일(2)의 반송면(20)상의 영역(28)에는, 오른쪽 회전의 선회류를 발생시키는 선회류 생성부(23)와 왼쪽 회전의 선회류를 발생시키는 선회류 생성부(23)가 분산 배치되어 있다. 이와 같이 함으로써, 레일(2)의 반송면(20)상을 비접촉으로 반송되는 기판(5)에 작용하는 선회류에 의한 모멘트를 상쇄시킨다.
아울러, 본 실시 형태에 있어서는, 선회류 생성부(23)의 오목부(24) 및 선회류용 분출구(26)를 레일(2)의 반송면(20)에 직접 형성하고 있지만, 원통실과 원통실의 내주 방향의 접선 방향으로 기체를 분출할 수 있도록 형성된 노즐을 가지는 팁(tip)을 레일(2)의 반송면(20)에 매설함에 의해 선회류 생성부(23)를 형성해도 좋다.
도 3은, 기판 반송 장치(1)의 레일(2)을 기판 반송 방향(A)을 따라서 복수개 나열하여 구축한 기판 반송 라인(6)의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도시하는 바와 같이, 일반적으로, 기판 반송 라인(6)은, 기판 반송 라인(6)의 라인 길이에 대응하는 개수의 레일(2)을 기판 반송 방향(A)을 따라서 일렬로 나열하고, 이를, 복수열로, 기판(5)의 폭(h)에 대응하여 배열함에 의해 구축된다. 예를 들면, 레이아웃 상의 형편 등으로 인해, 기판 반송 방향(A)에서 인접하는 레일(2)의 단부(2a, 21b) 사이에 간극(d)이 마련되어 있다. 이 때문에, 기판 반송 라인(6) 상에 레일(2)의 반송면(20)의 불연속부가 생겨 있고, 이 위치에서는, 기판(5)에 압축 기체를 분출할 수 없다.
또한, 도시하는 바와 같이, 선회류 생성부(23)는, 적어도, 반송 중의 기판(5)의 선단부(51a)가, 후속 레일(2B)의 반송면(20)의 기판 반송 방향(A) 후방에 있어서의 단부(후단부)(21b)에 도달할 때에, 기판(5)의 후단부(51b)에 대응하는 레일(2A)의 반송면(20)상의 위치(도 4(A)), 및, 반송 중의 기판(5)의 후단부(51b)가, 레일(2A)의 반송면(20)의 기판 반송 방향(A) 전방에 있어서의 단부(선단부)(21a)에 도달했을 때에, 기판(5)의 선단부(51a)에 대응하는 레일(2B)의 반송면(20)상의 위치(도 4(B))에 복수 형성되어 있다. 또한, 압축 기체 분출구(22)는, 선회류 생성부(23)의 형성 영역(28)을 제외한, 반송면(20)상의 영역(29)의 전체면에 복수 형성되어 있다.
도 4(A), 도 4(B)는, 반송면(20)으로부터 부상하여 비접촉으로 기판 반송 라인(6)상에서 반송되는 기판(5)의 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도 4(A)에 나타낸 바와 같이, 기판(5)은, 레일(2A)의 반송면(20)에 형성된 복수의 압축 기체 분출구(22)로부터 분출하는 압축 기체(a)에 의해 레일(2A)의 반송면(20)으로부터 부상하면서 비접촉으로 기판 반송 방향(A)으로 반송된다. 그리고, 기판(5)의 선단부(51a)는, 레일(2A)의 선단부(21a)를 통과하여, 이 레일(2A)의 선단부(21a)와 후속의 레일(2B)의 후단부(21b)와의 간극(d)에 도달하면, 기판(5)의 자중에 의해 기판(5)의 선단부(51a)에 휨이 발생하고, 이 간극(d)에 낙하하여 레일(2B)에 충돌하려고 한다. 이에 의해, 기판(5)의 후단부(51b)는, 레일(2A)의 반송면(20)으로부터 멀어지는 방향(부상하는 방향)으로 이동하려고 한다. 이때, 기판(5)의 후단부(51b)에 대향하는 레일(2A)의 반송면(20)상의 위치에 형성되어 있는 복수의 선회류 생성부(23)에 의해서 생성된 선회류(b)의 중심부의 부압(P)에 의해, 기판(5)의 후단부(51b)측이 레일(2A)의 반송면(20)에 끌어당겨진다. 이에 의해, 기판(5)의 선단부(51a)측이 부상하기 때문에, 기판(5)의 선단부(51a)의, 자중에 의한 낙하를 방지하여, 기판(5)이 레일(2B)에 충돌하는 것을 회피할 수 있다.
그 후, 도 4(B)에 나타낸 바와 같이, 기판(5)의 후단부(51b)가, 레일(2A)의 선단부(21a)를 통과하여, 이 레일(2A)의 선단부(21a)와 후속의 레일(2B)의 후단부(21b)와의 간극(d)에 도달하면, 기판(5)의 자중에 의해 기판(5)의 후단부(51b)측에 휨이 발생하고, 이 간극(d)에 낙하하려고 한다. 이에 의해, 기판(5)의 선단부(51a)는, 후속의 레일(2B)의 반송면(20)으로부터 멀어지는 방향으로 이동하려고 한다. 이때, 기판(5)의 선단부(51a)에 대향하는 레일(2B)의 반송면(20)상의 위치에 형성되어 있는 복수의 선회류 생성부(23)에 의해서 생성된 선회류(b)의 중심부의 부압(P)에 의해, 기판(5)의 선단부(51a)가 후속의 레일(2B)의 반송면(20)에 끌어당겨진다. 이에 의해, 기판(5)의 후단부(51b)측이 부상하기 때문에, 기판(5)의 후단부(51b)의 자중에 의한 낙하를 방지하여, 기판(5)이 레일(2B)에 충돌하는 것을 회피할 수 있다.
이상, 본 발명의 일 실시 형태를 설명했다.
본 실시 형태에서는, 도 4(A), 도 4(B)에 나타낸 바와 같이, 기판(5)의 한쪽의 단부(선단부(51a) 혹은 후단부(51b))측이 레일(2)의 반송면(20)에 끌어당겨짐으로써 기판(5)의 다른 한쪽의 단부(후단부(51b) 혹은 선단부(51a))가 부상하기 때문에, 기판 반송 라인(6)상을 반송 중의 기판(5)의 선단부(51a) 혹은 후단부(51b)가, 기판 반송 라인(6)상의 레일(2)의 반송면(20)에 있어서의 불연속부(기판 반송 방향(A)에 있어서 인접하는 레일(2)간에 형성되는 간극(d))에 자중에 의해 낙하하는 것을 방지함에 의해 레일(2B)에 충돌하는 것을 회피할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 펌프(3)로부터 레일(2)내의 통기로에 공급되는 압축 기체가, 레일(2)의 반송면(20)의 압축 기체 분출구(22)로부터 레일(2)의 반송면(20)상의 기판(5)을 향하여 분출됨과 아울러, 선회류 생성부(23)의 선회류용 분출구(26)로부터도 분출하여 선회류(b)를 형성하고, 이 선회류(b)의 중앙부에 생기는 부압(P)으로 기판(5)을 레일(2)의 반송면(20)에 끌어당기므로, 압축 기체 분출구(22)와 선회류 생성부(23)에 있어서, 레일(2)내의 통기로(미도시) 및 펌프(3)를 공용할 수 있다. 이 때문에, 본 실시 형태에 의하면, 기판 반송 라인(6)에 레일(2)의 반송면(20)의 불연속부가 존재해도, 기판(5)과 반송용 레일(2)의 충돌을 방지할 수 있고, 이에 의해 안정적으로 기판(5)을 비접촉으로 반송할 수 있어, 기판 반송 장치(1)의 제조 비용을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 레일(2)의 반송면(20)에 원통 형상의 오목부(24)를 마련하고, 이 오목부(24)의 내주면(25)의 접선 방향으로 압축 기체(E)를 분출하는 선회류용 분출구(26)를, 이 오목부(25)의 내주면(25)에 마련함에 의해, 선회류 생성부(23)를 형성하고 있다. 이 때문에, 간단한 구성으로, 레일(2)의 반송면(20)에 기판(5)을 끌어당기는 부압(P)을 발생시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 오른쪽 회전의 선회류를 생성하는 선회류 생성부(23)와, 왼쪽 회전의 선회류를 생성하는 선회류 생성부(23)를 레일(2)의 반송면(20)상에 혼재시키고 있으므로, 레일(2)의 반송면(20)상을 비접촉으로 반송되는 기판(5)에 작용하는 선회류에 의한 모멘트를 없앨 수 있다. 이 때문에, 보다 안정적으로 기판(5)을 비접촉으로 반송하는 것이 가능해진다.
아울러, 본 실시 형태에 있어서, 기판(5)의 선단부(51a)가 선회류 생성부(23)상에 도달했을 때에 기판(5)의 후단부(51b)가 압축 기체 분출구(22)상에 위치하도록, 선회류 생성부(23)를 배치한 경우, 선회류(b)의 중심부의 부압(P)에 의해서 기판(5)의 선단부(51a)가 반송면(20)에 끌어당겨짐과 아울러, 분출구(22)로부터 분출된 압축 기체(a)에 의해, 기판(5)의 후단부(51b)가 반송면(20)으로부터 멀어지는 방향으로 이동하려고 한다. 그러나, 이 경우에서도, 선회류 생성부(23)에 있어서, 선회류에 말려 들어간 기체(e)(도 4 참조)가, 오목부(24)의 주위로부터, 기판(5)과 레일(2)의 반송면(20)의 사이에 유출하기 때문에, 기판(5)의 선단부(51a)가 반송면(20)에 접촉할 때까지 끌어당겨지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 액정 디스플레이 패널, 플라스마 디스플레이 패널 등의 플랫 디스플레이 패널에 이용되는 대형 유리 기판 등의 기판(5)을 반송 대상으로 하는 경우를 예로 들었지만, 기판에 한정하지 않고, 휘기 쉬운 시트 형상의 반송물을 양호하게 반송할 수 있다.
산업상의 이용가능성
본 발명은, 반송물을 부상시켜서 비접촉으로 반송하는 다양한 부상 반송 장치에 널리 적용 가능하다.
1: 기판 반송 장치, 2: 레일,
3: 펌프, 4: 튜브,
5: 기판, 6: 기판 반송 라인,
20: 반송면,
21a: 반송면의 선단부, 21b: 반송면의 후단부,
22: 압축 기체 분출구, 23: 선회류 생성부,
24: 오목부, 25: 오목부의 내주면,
26: 선회류용 분출구, 27: 테이퍼,
28: 압축 기체 분출 영역, 29: 선회류 생성 영역,
51a: 기판의 선단부, 51b: 기판의 후단부

Claims (6)

  1. 반송 대상을 반송용 레일의 반송면으로부터 부상시켜서, 반송 방향으로 비접촉으로 반송하는 부상 반송 장치로서,
    상기 반송면에 복수 형성되고, 상기 반송 대상을 향하여 기체를 분출하는 기체 분출구와,
    상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부가, 상기 반송면의 상기 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부를 통과했을 때에, 상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 다른 한쪽의 단부가 대응하는 상기 반송면의 위치에 적어도 하나 마련되고, 기체를 분출하여 선회류를 생성함에 의해 부압을 발생시키는 선회류 생성 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 선회류 생성 수단은,
    상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 선단부가, 상기 반송면의 상기 반송 방향에 있어서의 선단부를 통과했을 때에, 상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 후단부에 대응하는 상기 반송면의 위치에도 적어도 하나 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 선회류 생성 수단은,
    상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 후단부가, 상기 반송면의 상기 반송 방향에 있어서의 후단부에 도달했을 때에, 상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 선단부에 대응하는 상기 반송면의 위치에도 적어도 하나 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선회류 생성 수단은,
    상기 반송면에 형성된 원통 형상의 오목부와,
    상기 오목부의 내주면에 형성되고, 상기 오목부의 내주면의 접선 방향을 향하여 기체를 분출하는 선회류용 분출구를 갖는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선회류 생성 수단은,
    일방향으로 회전하는 선회류를 생성하는 일방향 선회류 생성 수단과, 상기 일방향과 역방향으로 회전하는 선회류를 생성하는 역방향 선회류 생성 수단이 혼재하도록 복수 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  6. 반송 대상을 반송용 레일의 반송면으로부터 부상시켜서, 반송 방향으로 비접촉으로 반송하는 부상 반송 방법으로서,
    상기 반송면에 복수 형성된 기체 분출구로부터 기체를 분출시켜서 상기 반송 대상에 분출하여, 상기 반송 대상을 상기 반송면으로부터 부상시킴과 아울러,
    상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부가 상기 반송면의 상기 반송 방향에 있어서의 한쪽의 단부를 통과했을 때에, 상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 다른 한쪽의 단부에 대응하는 상기 반송면의 위치에서 기체의 선회류를 발생시켜, 상기 선회류에 의해서 생기는 부압에 의해, 상기 반송 대상의 상기 반송 방향에 있어서의 후단부를 상기 반송면에 끌어당기는 것을 특징으로 하는 부상 반송 방법.
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