JP2521445B2 - 気体浮上式搬送設備における搬送方法 - Google Patents
気体浮上式搬送設備における搬送方法Info
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- JP2521445B2 JP2521445B2 JP61271470A JP27147086A JP2521445B2 JP 2521445 B2 JP2521445 B2 JP 2521445B2 JP 61271470 A JP61271470 A JP 61271470A JP 27147086 A JP27147086 A JP 27147086A JP 2521445 B2 JP2521445 B2 JP 2521445B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、粉塵の発生をきらう半導体等を搬送するの
に適した搬送設備における搬送方法に関し、特に、搬送
路からエアー等の気体を噴射して非搬送物を載置した搬
送体を浮上させるとともに、この搬送体をリニアモータ
構成による推進力で搬送する気体浮上式搬送設備におい
て、確実な搬送動作を保障する搬送方法に関する。
に適した搬送設備における搬送方法に関し、特に、搬送
路からエアー等の気体を噴射して非搬送物を載置した搬
送体を浮上させるとともに、この搬送体をリニアモータ
構成による推進力で搬送する気体浮上式搬送設備におい
て、確実な搬送動作を保障する搬送方法に関する。
従来の技術 従来の一般的な気体浮上式搬送設備では、搬送体の位
置に関係なく、その搬送路たるエアーダクトに設けたす
べての気体噴射孔からエアーを噴射していたので、極め
て不経済であった。
置に関係なく、その搬送路たるエアーダクトに設けたす
べての気体噴射孔からエアーを噴射していたので、極め
て不経済であった。
従来においても、この改良を図るものとして、例え
ば、特開昭60−19613号で開示されているように、エア
ーダクトを適宣長さの閉塞区間に区画し、各閉塞区間毎
にエアーを供給すべく、別途に高圧ダクトを分岐して設
けたうえ、この分岐した高圧ダクトの枝管にそれぞれ制
御弁を設け、搬送体が移動に応じて位置する閉塞区間に
のみエアーを供給するよう各制御弁を開閉制御すること
が提案されている。
ば、特開昭60−19613号で開示されているように、エア
ーダクトを適宣長さの閉塞区間に区画し、各閉塞区間毎
にエアーを供給すべく、別途に高圧ダクトを分岐して設
けたうえ、この分岐した高圧ダクトの枝管にそれぞれ制
御弁を設け、搬送体が移動に応じて位置する閉塞区間に
のみエアーを供給するよう各制御弁を開閉制御すること
が提案されている。
発明が解決しようとする問題点 しかしながらこの改良案によると、確かにエアーの供
給についての不経済は解消されるが、余りにも経済性の
みを追求した結果、搬送動作の確実性という点で新たな
問題を生ずるものである。すなわち、各閉塞区間に対応
する制御弁を開閉制御するための制御機構に故障が生じ
た場合、例えば搬送体を検出する検出手段が故障して、
搬送体が通過したにもかかわらず検出信号を発しなかっ
た場合はには、次に搬送体が進行する閉塞区間の制御バ
ルブは開かず、この区間にはエアーが供給されないの
で、搬送体は高圧ダクトから浮上できずその進行に支障
をきたしてしまう。
給についての不経済は解消されるが、余りにも経済性の
みを追求した結果、搬送動作の確実性という点で新たな
問題を生ずるものである。すなわち、各閉塞区間に対応
する制御弁を開閉制御するための制御機構に故障が生じ
た場合、例えば搬送体を検出する検出手段が故障して、
搬送体が通過したにもかかわらず検出信号を発しなかっ
た場合はには、次に搬送体が進行する閉塞区間の制御バ
ルブは開かず、この区間にはエアーが供給されないの
で、搬送体は高圧ダクトから浮上できずその進行に支障
をきたしてしまう。
本発明は、このような欠点を解消するとともに、経済
性をも兼ね備えた気体浮上式搬送設備における搬送方法
を提供することを目的とする。
性をも兼ね備えた気体浮上式搬送設備における搬送方法
を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段 被搬送物を搬送するための搬送体に対して搬送路の気
体噴射孔からエアー等の気体を噴射して前記搬送体を浮
上させる一方、前記搬送体に対してリニアモータ機構に
よって推進力を与えることにより、前記被搬送物を前記
搬送路に沿って搬送する気体浮上式搬送設備において、
前記搬送路を長手方向に複数の互いに非連通状態にある
閉塞区間に区画し、これら各閉塞区間毎に、気体の供給
及び停止を制御する弁機構と搬送体を検出する検出機構
とを設け、検出機構で搬送体の進入もしくは通過を検出
すると、これと同時もしくは異なるタイミングで搬送体
の進行方向前方に位置する複数、好ましくは２つの閉塞
区間の弁機構を開放してこれら各閉塞区間に気体を供給
する一方、搬送体の進行方向後方に位置する少なくとも
１つの閉塞区間の弁機構は閉鎖してこの閉塞区間に対す
る気体の供給を停止するものである。
体噴射孔からエアー等の気体を噴射して前記搬送体を浮
上させる一方、前記搬送体に対してリニアモータ機構に
よって推進力を与えることにより、前記被搬送物を前記
搬送路に沿って搬送する気体浮上式搬送設備において、
前記搬送路を長手方向に複数の互いに非連通状態にある
閉塞区間に区画し、これら各閉塞区間毎に、気体の供給
及び停止を制御する弁機構と搬送体を検出する検出機構
とを設け、検出機構で搬送体の進入もしくは通過を検出
すると、これと同時もしくは異なるタイミングで搬送体
の進行方向前方に位置する複数、好ましくは２つの閉塞
区間の弁機構を開放してこれら各閉塞区間に気体を供給
する一方、搬送体の進行方向後方に位置する少なくとも
１つの閉塞区間の弁機構は閉鎖してこの閉塞区間に対す
る気体の供給を停止するものである。
作用 ある閉塞区間で搬送体を検出すると、その進行方向前
方に位置する複数の閉塞区間の弁機構を開放させるの
で、連続する複数の閉塞区間の双方の検出機構をはじめ
とする制御機構が故障しない限り、搬送体の進行する閉
塞区間にエアー等の気体が供給されることになり、搬送
動作が確実となる一方、搬送路全体に気体を供給するも
のではないから、経済性の面でも劣ることはない。
方に位置する複数の閉塞区間の弁機構を開放させるの
で、連続する複数の閉塞区間の双方の検出機構をはじめ
とする制御機構が故障しない限り、搬送体の進行する閉
塞区間にエアー等の気体が供給されることになり、搬送
動作が確実となる一方、搬送路全体に気体を供給するも
のではないから、経済性の面でも劣ることはない。
実 施 例 以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳
細に説明するが、まず、本方法を適用する搬送設備につ
いて説明する。
細に説明するが、まず、本方法を適用する搬送設備につ
いて説明する。
第１図は本方法を適用したエアー浮上式搬送設備の一
部を概略的に示す側面図、第２図は搬送体と搬送路たる
エアーダクトとの関係を示す拡大断面図であり、断面四
角形状のエアーダクト１は、長手方向に互いに非連通状
態にある複数の閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……に区画され
ている。前記各閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……には、ター
ボブロア２によってエアー供給管３に設けた各分岐管4
a,4b,4c,4d,4e……から、清浄化されたエアーが供給さ
れる。そして、前記各分岐管4a,4b,4c,4d,4e……のそれ
ぞれには、エアーの流通を制御するための弁機構たる制
御弁5a,5b,5c,5d,5e……が設けられている。また、各閉
塞区間1a,1b,1c,1d,1e……のそれぞれに対応して、搬送
体６を検出するための検出機構たるセンサー7a,7b,7c,7
d,7e……が設けられている。
部を概略的に示す側面図、第２図は搬送体と搬送路たる
エアーダクトとの関係を示す拡大断面図であり、断面四
角形状のエアーダクト１は、長手方向に互いに非連通状
態にある複数の閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……に区画され
ている。前記各閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……には、ター
ボブロア２によってエアー供給管３に設けた各分岐管4
a,4b,4c,4d,4e……から、清浄化されたエアーが供給さ
れる。そして、前記各分岐管4a,4b,4c,4d,4e……のそれ
ぞれには、エアーの流通を制御するための弁機構たる制
御弁5a,5b,5c,5d,5e……が設けられている。また、各閉
塞区間1a,1b,1c,1d,1e……のそれぞれに対応して、搬送
体６を検出するための検出機構たるセンサー7a,7b,7c,7
d,7e……が設けられている。
第２図で明らかなように、エアーダクト１の上面には
幅方向中央部を除いて左右対称的にそれぞれ２列ずつ浮
上用のエアー噴射孔８が開口されている。また、前記エ
アーダクト１の両側面上部には横振れ防止用のエアー噴
射孔９が、同じく左右対称的にそれぞれ１列ずつ開口さ
れている。
幅方向中央部を除いて左右対称的にそれぞれ２列ずつ浮
上用のエアー噴射孔８が開口されている。また、前記エ
アーダクト１の両側面上部には横振れ防止用のエアー噴
射孔９が、同じく左右対称的にそれぞれ１列ずつ開口さ
れている。
前記エアーダクト１に載置される搬送体６は、断面コ
状のプラスチック板からなり、その水平部分上面に半導
体等の被搬送物（図示せず）を載置するものである。こ
の搬送体６に推進力を付与するリニアモータ機構は、エ
アーダクト１内において所定の閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e
……の幅方向及び長手方向の中央部にそれぞれ固定され
た固定子10と、これら固定子10に対応位置すべく搬送体
６の下面に幅方向中央部に長手方向全長に及ぶよう設け
られた板状の磁性体からなる可動子11とから構成され
る。
状のプラスチック板からなり、その水平部分上面に半導
体等の被搬送物（図示せず）を載置するものである。こ
の搬送体６に推進力を付与するリニアモータ機構は、エ
アーダクト１内において所定の閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e
……の幅方向及び長手方向の中央部にそれぞれ固定され
た固定子10と、これら固定子10に対応位置すべく搬送体
６の下面に幅方向中央部に長手方向全長に及ぶよう設け
られた板状の磁性体からなる可動子11とから構成され
る。
上述したセンサー7a,7b,7c,7d,7e……が搬送体６を検
出すると、搬送体６の進行方向前方に位置する２つの閉
塞区間1a,1b,1c,1d,1e……にエアーを供給すべく対応す
る分岐管4a,4b,4c,4d,4e……に設けた制御弁5a,5b,5c,5
d,5e……に開放信号を送る一方、搬送体６の進行方向後
方に位置する２つの閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……へのエ
アーの供給を停止すべく対応する分岐管4a,4b,4c,4d,4e
……に設けた制御弁5a,5b,5c,5d,5e……に閉鎖信号を送
るよう構成されている。
出すると、搬送体６の進行方向前方に位置する２つの閉
塞区間1a,1b,1c,1d,1e……にエアーを供給すべく対応す
る分岐管4a,4b,4c,4d,4e……に設けた制御弁5a,5b,5c,5
d,5e……に開放信号を送る一方、搬送体６の進行方向後
方に位置する２つの閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……へのエ
アーの供給を停止すべく対応する分岐管4a,4b,4c,4d,4e
……に設けた制御弁5a,5b,5c,5d,5e……に閉鎖信号を送
るよう構成されている。
続いて、上述の如く構成した搬送設備における搬送方
法について説明する。
法について説明する。
いま、搬送体６が第１図上、左方向から右方向に進行
し、閉塞区間1bに至ってセンサー7bによって検出される
と、この検出信号により前方に位置する２つの閉塞区間
1c,1dに対応する分岐管4c,4dの制御弁5c,5dに開放信号
が送られ、前記各制御弁5c,5dが開放されて前記閉塞区
間1c,1dにターボブロア２により清浄なエアーが供給さ
れる。また同時に、前述の検出信号により後方に位置す
る２つの閉塞区間1a（１つについては図示せず）に対応
する分岐管4aの制御弁5aに閉鎖信号が送られて、制御弁
5aが閉鎖され、前記各閉塞区間1aに対するターボブロア
２による清浄なエアーの供給が停止される。さらに搬送
体６が進行して、閉塞区間1cに至りセンサー7cに検出さ
れると、前述と同様にして各制御弁5d,5eに開放信号が
送られる一方、制御弁5a,5bには閉鎖信号が送られて、
新たに閉塞区間1eにエアーが供給される一方、閉塞区間
1bに対するエアーの供給が停止される。
し、閉塞区間1bに至ってセンサー7bによって検出される
と、この検出信号により前方に位置する２つの閉塞区間
1c,1dに対応する分岐管4c,4dの制御弁5c,5dに開放信号
が送られ、前記各制御弁5c,5dが開放されて前記閉塞区
間1c,1dにターボブロア２により清浄なエアーが供給さ
れる。また同時に、前述の検出信号により後方に位置す
る２つの閉塞区間1a（１つについては図示せず）に対応
する分岐管4aの制御弁5aに閉鎖信号が送られて、制御弁
5aが閉鎖され、前記各閉塞区間1aに対するターボブロア
２による清浄なエアーの供給が停止される。さらに搬送
体６が進行して、閉塞区間1cに至りセンサー7cに検出さ
れると、前述と同様にして各制御弁5d,5eに開放信号が
送られる一方、制御弁5a,5bには閉鎖信号が送られて、
新たに閉塞区間1eにエアーが供給される一方、閉塞区間
1bに対するエアーの供給が停止される。
このように、エアーが供給される閉塞区間は、搬送体
６が位置している閉塞区間、例えば閉塞区間1bと、その
前方に位置する２つの閉塞区間、例えば閉塞区間1c,1b
の３区間となり、他の閉塞区間にはエアーは供給されな
い。また、各閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……に対応する各
制御弁5a,5b,5c,5d,5e……への各センサー7a,7b,7c,7d,
7e……からの開閉制御信号は、搬送体６の進行にしたが
って２度送られるものであり、そのいずれか一方の開閉
制御信号が正常に送られれば、搬送体６の進行する前方
の２つの閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……にはエアーが供給
され、搬送体６の進行に支障をきたすことはないもので
ある。
６が位置している閉塞区間、例えば閉塞区間1bと、その
前方に位置する２つの閉塞区間、例えば閉塞区間1c,1b
の３区間となり、他の閉塞区間にはエアーは供給されな
い。また、各閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……に対応する各
制御弁5a,5b,5c,5d,5e……への各センサー7a,7b,7c,7d,
7e……からの開閉制御信号は、搬送体６の進行にしたが
って２度送られるものであり、そのいずれか一方の開閉
制御信号が正常に送られれば、搬送体６の進行する前方
の２つの閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……にはエアーが供給
され、搬送体６の進行に支障をきたすことはないもので
ある。
なお、本発明は上述した実施例に限定されず、例え
ば、搬送体６の検出によりエアーの供給を停止すべく閉
鎖信号を送る閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……の制御弁5a,5
b,5c,5d,5e……は、搬送体６の進行方向後方の２つに限
らず、１つのみでもよいものである。この場合、閉鎖信
号は各制御弁5a,5b,5c,5d,5e……に１度しか送られず、
故障に対する保障性は低下するが、搬送体６の通過後に
エアーの供給が停止されない場合には、経済性の面では
若干劣るものの、搬送体６の進行には何等支障はきたさ
ないものであり、本発明の目的は十分に達成できるもの
であり。また、搬送体６の検出によりエアーを供給すべ
く開放信号を送る閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……の制御弁
5a,5b,5c,5d,5e……は、搬送体６の進行方向前方の２つ
に限らず、３つ以上でもよいものである。さらに、本発
明を適用する搬送設備が上述したものに限定されないこ
とは勿論である。
ば、搬送体６の検出によりエアーの供給を停止すべく閉
鎖信号を送る閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……の制御弁5a,5
b,5c,5d,5e……は、搬送体６の進行方向後方の２つに限
らず、１つのみでもよいものである。この場合、閉鎖信
号は各制御弁5a,5b,5c,5d,5e……に１度しか送られず、
故障に対する保障性は低下するが、搬送体６の通過後に
エアーの供給が停止されない場合には、経済性の面では
若干劣るものの、搬送体６の進行には何等支障はきたさ
ないものであり、本発明の目的は十分に達成できるもの
であり。また、搬送体６の検出によりエアーを供給すべ
く開放信号を送る閉塞区間1a,1b,1c,1d,1e……の制御弁
5a,5b,5c,5d,5e……は、搬送体６の進行方向前方の２つ
に限らず、３つ以上でもよいものである。さらに、本発
明を適用する搬送設備が上述したものに限定されないこ
とは勿論である。
効果 以上説明したところで明らかなように、本発明によれ
ば、搬送路の全区間に気体を供給するものではないか
ら、経済性の面でも勝れるとともに、搬送体を検出する
１つの検出機構あるいはこれに関係する制御機構に故障
が生じても、それに隣接する検出機構をはじめとする制
御機構が正常である限り、搬送体の進行には何等支障を
きたすことがないので、確実な搬送動作を保障できると
いう効果を奏することができる。
ば、搬送路の全区間に気体を供給するものではないか
ら、経済性の面でも勝れるとともに、搬送体を検出する
１つの検出機構あるいはこれに関係する制御機構に故障
が生じても、それに隣接する検出機構をはじめとする制
御機構が正常である限り、搬送体の進行には何等支障を
きたすことがないので、確実な搬送動作を保障できると
いう効果を奏することができる。
図は、本発明を適用する気体浮上式搬送設備の一例を示
し、第１図は設備の一部を示す概略的な側面図、第２図
は搬送体とエアーダクトの関係を示す拡大断面図であ
る。 １……エアーダクト、1a,1b,1c,1d,1e……閉塞区間、２
……ターボブロア、３……エアー供給管、4a,4b,4c,4d,
4e……分岐管、5a,5b,5c,5d,5e……制御弁、６……搬送
体、7a,7b,7c,7d,7e……センサー、10……固定子、11…
…可動子、
し、第１図は設備の一部を示す概略的な側面図、第２図
は搬送体とエアーダクトの関係を示す拡大断面図であ
る。 １……エアーダクト、1a,1b,1c,1d,1e……閉塞区間、２
……ターボブロア、３……エアー供給管、4a,4b,4c,4d,
4e……分岐管、5a,5b,5c,5d,5e……制御弁、６……搬送
体、7a,7b,7c,7d,7e……センサー、10……固定子、11…
…可動子、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小鉢 泰文 千葉市高浜４−10−18−301 (56)参考文献 特開 昭51−129087（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−19613（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−107682（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−150926（ＪＰ，Ａ) 実開 昭50−104389（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−178725（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−5810（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭50−7836（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭50−21747（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (1)
- 【請求項１】被搬送物を搬送するための搬送体に対して
搬送路の気体噴射孔から気体を噴射して前記搬送体を浮
上させる一方、前記搬送体に対してリニアモータ機構に
よって推進力を与えることにより、前記被搬送物を搬送
する気体浮上式搬送設備において、前記搬送路を長手方
向に複数の互いに非連通状態にある閉塞区間に区画し、
これら各閉塞区間毎に、気体の供給及び停止を制御する
弁機構と搬送体を検出する検出機構とを設け、検出機構
で搬送体を検出すると、搬送体の進行方向前方に位置す
る複数の閉塞区間に気体を供給する一方、搬送体の進行
方向後方に位置する少なくとも１つの閉塞区間に対する
気体の供給を停止することを特徴とする気体浮上式搬送
設備における搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61271470A JP2521445B2 (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 気体浮上式搬送設備における搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61271470A JP2521445B2 (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 気体浮上式搬送設備における搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63123722A JPS63123722A (ja) | 1988-05-27 |
| JP2521445B2 true JP2521445B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=17500483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61271470A Expired - Fee Related JP2521445B2 (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 気体浮上式搬送設備における搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2521445B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH053211U (ja) * | 1991-07-01 | 1993-01-19 | 富士通株式会社 | ローラ搬送装置 |
| KR100706534B1 (ko) | 2006-02-14 | 2007-04-13 | (주)넥스트인스트루먼트 | 디스플레이 패널용 반송장치 |
| JP2007283428A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Yokogawa Electric Corp | ワーク加工装置およびワーク移送システム |
| CN101890913B (zh) * | 2010-07-09 | 2012-08-22 | 鲁国庆 | 空中轨道悬浮车 |
| JP6090013B2 (ja) * | 2013-07-02 | 2017-03-08 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送システム |
| DE102017208948A1 (de) * | 2017-05-29 | 2018-11-29 | Krones Ag | Statormodul für einen Linearantrieb einer Behälterbehandlungsmaschine |
| CN110304079B (zh) * | 2019-07-12 | 2020-05-19 | 龚水明 | 一种利用空压动力的管道式空悬浮高速行驶列车装置 |
-
1986
- 1986-11-13 JP JP61271470A patent/JP2521445B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63123722A (ja) | 1988-05-27 |
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