JPS63123722A

JPS63123722A - 気体浮上式搬送設備における搬送方法

Info

Publication number: JPS63123722A
Application number: JP61271470A
Authority: JP
Inventors: Katsuto Katagiri; 片桐　勝人; Toshitsugu Okitsu; 興津　利継; Isao Shirai; 白井　功; Yasubumi Kobachi; 小鉢　泰文
Original assignee: Takenaka Komuten Co Ltd; Nippon Shooter Ltd
Current assignee: Takenaka Komuten Co Ltd; Nippon Shooter Ltd
Priority date: 1986-11-13
Filing date: 1986-11-13
Publication date: 1988-05-27
Anticipated expiration: 2011-08-07
Also published as: JP2521445B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産呈上立程■且亘本発明は、粉塵の発生をきらう半導体等を搬送するのに
適した搬送設備における搬送方法に関し、特に、搬送路
からエアー等の気体を噴射して非搬送物を載置した搬送
体を浮上させるとともに、この図送体をリニアモータａ
構による推進力で搬送する気体浮上式搬送設備において
、確実な搬送動作を保障する搬送方法に関する。

旦米優狭止従来の一般的な気体浮上式搬送設備では、搬送体の位置
に関係なく、その搬送路たるエアーダクトに設けたすべ
ての気体噴射孔からエアーを噴射していたので、極めて
不経済であった。

従来においても、この改良を図るものとして、例えば、
特開昭６０−１９６１３号で開示されているように、エ
アーダクトを適宜長さの閉塞区間に区画し、各閉塞区間
毎にエアーを供給すべく、別途に高圧ダクトを分岐して
設けたうえ、この分岐した高圧ダクトの枝管にそれぞれ
制御弁を設け、搬送体が移動に応じて位置する閉塞区間
にのみエアーを供給するよう各制御弁を開閉制御するこ
とが提案されている。

き■がＶ　しようとする間　占しかしながらこの改良案によると、確かにエアーの供給
についての不経済性は解消されるが、余りにも経済性の
みを追求した結果、搬送動作の確実性という点で新たな
問題を生ずるものである。

すなわち、各閉塞区間に対応する制御弁を開閉制御する
ための制御機構に故障が生じた場合、例えば搬送体を検
出する検出手段が故障して、搬送体が通過したにもかか
わらず検出信号を発しなかった場合には、次に搬送体が
進行する閉塞区間の制御バルブは開かず、この区間には
エアーが供給されないので、搬送体は高圧ダクトから浮
上できずその進行に支障をきたしてしまう。

本発明は、このような欠点を解、消するとともに、経済
性をも兼ね備えた気体浮上式搬送設備における搬送方法
を提供することを目的とする。

１、照点をｔンするための　− 被条送物を搬送するための搬送体に対して搬送路の気体
噴射孔からエアー等の気体を噴射して前記搬送体を浮上
させる一方、前記搬送体に対してリニアモータ機構によ
って推進力を与えることにより、前記被搬送物を前記搬
送路に沿って搬送する気体浮上式搬送設備において、前
記搬送路を長手方向に複数の互いに非連通状態にある閉
塞区間に区画し、これら各閉塞区間毎に、気体の供給及
び停止を制御する弁機構と搬送体を検出する検出機構と
を設け、検出機構で搬送体の進入もしくは通過を検出す
ると、これと同時もしくは異なるタイミングで搬送体の
進行方向前方に位置する複数、好ましくは２つの閉塞区
間の弁機構を開放してこれら各閉塞区間に気体を供給す
る一方、搬送体の進行方向後方に位置する少なくとも１
つの閉塞区間の弁機構は閉鎖してこの閉塞区間に対する
気体の供給を停止するものである。

北−一■ ある閉塞区間で搬送体を検出すると、その進行方向前方
に位置する複数の閉塞区間の弁機構を開放させるので、
連続する複数の閉塞区間の双方の検出機構をはじめとす
る制御ｊ機構が故障しない限り、搬送体の進行する閉塞
区間にエアー等の気体が供給されることになり、搬送動
作が確実となる一方、搬送路全体に気体を供給するもの
ではないから、経済性の面でも劣ることはない。

去−川−■ 以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細
に説明するが、まず、本方法を適用する搬送設備につい
て説明する。

第１図は本方法を適用したエアー浮上式搬送設備の一部
を概略的に示す側面図、第２図は搬送体と搬送路たるエ
アーダクトとの関係を示す拡大断面図であり、断面四角
形状のエアーダクト１は、長手方向に互いに非連通状態
にある複数の閉塞区間１ａ、ｌｂ、ｌｃ、ｌｄ、１ｅ・
・−に区画されている。前記各閉塞区間１ａ、ｌｂ、Ｉ
ｃ、１ｄ、ｌｅ・・・には、ターボブロア２によってエ
アー供給管３に設けた各分岐管４ａ、４ｂ、４ｃ。

４ｄ、４ｅ・・・から、清浄化されたエアーが供給され
る。そして、前記各分岐管４ａ＋　　４ｂ、４ｃ、４ｄ
、４ｅ・・・のそれぞれには、エアーの流通を制御する
ための弁機構たる制御弁５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ
・・・が設けられている。

また、各閉塞区間１ａ、ｌｂ、ｌｃ、ｌｄ、Ｉｓ・・・
のそれぞれに対応して、搬送体６を検出するための検出
ａ措たるセンサー７ａ、７ｂ、７ｃ。

７ｄ、７ｅ・・・が設けられている。

第２図で明らかなように、エアーダクト１の上面には幅
方向中央部を除いて左右対称的にそれぞれ２列ずつ浮上
用のエアー噴射孔８が開口されている。また、前記エア
ーダクト１の両側面上部には横振れ防止用のエアー噴射
孔９が、同じく左右対称的にそれぞれ１列ずつ開口され
ている。

前記エアーダクトｌに載置される搬送体６は、断面コ状
のプラスチック板からなり、その水平部分上面に半導体
等の被搬送物（図示せず）をＲ置するものである。この
搬送体６に推進力を付与するりニアモータａｔＮは、エ
アーダクトｌ内において所定の閉塞区間１ａ、ｌｂ、ｌ
ｃ、ｌｄ、ｌｅ・・・のＩＩ力方向び長手方向の中央部
にそれぞれ固定された固定子ＩＯと、これら固定子１０
に対応位置すべく搬送体６の下面に幅方向中央部に長手
方向全長に及ぶよう設けられた板状の磁性体からなる可
動子１１とから構成される。

上述したセンサー７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、？ｅ・・・
が搬送体６を掻出すると、搬送体６の進行方向前方に位
置する２つの閉塞区間１ａ、ｌｂ。

ｌｃ、、１ｄ、ｌｅ・・・にエアーを供給すべく対応す
る分岐管４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ・・・に設けた
制御弁５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ・・・に開放信号
を送る一方、搬送体６の進行方向後方に位置する２つの
閉塞区間１ａ、ｌｂ、１ｃ、ｌｄ、ｌｅ・・・へのエア
ーの供給を停止すぺ（対応する分岐管４ａ＋　　４ｂ、
４ｃ＋　　４ｄ、４ｅ・・・に設けた制御弁５ａ、５ｂ
、５ｃ、５ｄ。

５ｅ・・・に閉鎖信号を送るよう構成されている。

続いて、上述の如く構成した搬送設備における搬送方法
について説明する。

いま、搬送体６が第１図上、左方向から右方向に進行し
、閉塞区間１ｂに至ってセンサー７ｂによって検出され
ると、この検出信号により前方に位置する２つの閉塞区
間１ｃ、ｌｄに対応する分岐管４ｃ、４ｄの制御弁５ｃ
、５ｄに開放信号が送られ、前記各制御弁５ｃ、５ｄが
開放されて前記各閉塞区間１ｃ、ｌｄにターボブロア２
により清浄なエアーが供給される。また同時に、前述の
検出１３号により後方に位置する２つの閉塞区間１ａ（
１つについては図示せず）に対応する分岐管４ａの制御
弁５ａに閉鎖信号が送られて、制御弁５ａが閉鎖され、
前記各閉塞区間１ａに対するターボブロア２による清浄
なエアーの供給が停止される。さらに搬送体６が進行し
て、閉塞区間ＩＣに至りセンサー７Ｃに検出されると、
前述と同様にして各制御弁５ｄ、５ｅに開放信号が送ら
れる一方、制御弁５ａ、５ｂには閉鎖信号が送られて、
新たに閉塞区間１ｅにエアーが供給される一方、閉塞区
間１ｂに対するエアーの供給が停止される。

このように、エアーが供給される閉塞区間は、搬送体６
が位置している閉塞区間、例えば閉塞区間１ｂと、その
前方に位置する２つの閉塞区間、例えば閉塞区間１ｃ、
ｌｄの３区間となり、他の閉塞区間にはエアーは供給さ
れない、また、各閉塞区間１ａ、ｌｂ、ｌｃ、ｌｄ、　
　１ｅ−−−に対応する各制御弁５ａ、５ｂ、５ｃ、５
ｄ、５ｅ・・・への各センサー７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ
、７ｅ・・・からの開閉制御信号は、搬送体６の進行に
したがって２度送られるものであり、そのいずれか一方
の開閉制御信号が正常に送られれば、搬送体６の進行す
る前方の２つの閉塞区間１ａ、１ｂ、ｌｃ、ｌｄ、ｌｅ
・・・にはエアーが供給され、搬送体６の進行に支障を
きたすことはないものである。

なお、本発明は上述した実施例に限定されず、例えば、
搬送体６の検出によりエアーの供給を停止すべく閉鎖信
号を送る閉塞区間１ａ、ｌｂ、１ｃ、ｌｄ、ｌｅ−の制
御弁５ａ、５ｂ、５ｃ。

５ｄ、５ｅ・・・は、搬送体６の進行方向後方の２つに
限らず、１つのみでもよいものである。この場合、閉鎖
信号は各制御弁５ａ、５ｂ、５ｃ。

５ｄ、５ｅ・・・に１度しか送られず、故障に対する保
障性は低下するが、搬送体６の通過後にエアーの供給が
停止されない場合には、経済性の面では若干劣るものの
、搬送体６の進行には何等支障はきたさないものであり
、本発明の目的は十分に達成できるものである。また、
搬送体６の検出によりエアーを供給すべく開放信号を送
る閉塞区間１ａ、ｌｂ、ｌｃ、ｌｄ、　　１ｅ・・・の
制御弁５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ−・・は、搬送体
６の進行方向前方の２つに限らず、３つ以上でもよいも
のである。さらに、本発明を適用する搬送設備が上述し
たものに限定されないことは勿論である。

層−−−果以上説明したところで明らかなように、本発明によれば
、搬送路の全区間に気体を供給するものではないから、
経済性の面でも勝れるとともに、搬送体を検出する１つ
の検出機構あるいはこれに関係する制御機構に故障が生
じても、それに隣接する検出ａｉ　ｔ＋１をはじめとす
る制御機構が正常である限り、搬送体の進行には何等支
障をきたすことがないので、確実な搬送動作を保障でき
るという効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明を適用する気体浮上式搬送設備の一例を示し
、第１図は設備の一部を示す概略的な側面図、第２図は
搬送体とエアーダクトの関係を示す拡大断面図である。 ■・・・エアーダクト１　ａ、　　ｌ　ｂ、　　ｌ　ｃ、　　ｌ　ｄ、　　ｌ
　ｅ　−・・閉塞区間２・・・ターボブロア　　３・・
・エアー供給管４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ・−・分
岐管５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ・・・制御弁６・・
・搬送体７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、１ｅ・・−センサー１０・・
・固定子　　　１１・・・可動子特許出願人　株式会社
竹中工務店第１図第２図

Claims

【特許請求の範囲】

被搬送物を搬送するための搬送体に対して搬送路の気体
噴射孔から気体を噴射して前記搬送体を浮上させる一方
、前記搬送体に対してリニアモータ機構によって推進力
を与えることにより、前記被搬送物を搬送する気体浮上
式搬送設備において、前記搬送路を長手方向に複数の互
いに非連通状態にある閉塞区間に区画し、これら各閉塞
区間毎に、気体の供給及び停止を制御する弁機構と搬送
体を検出する検出機構とを設け、検出機構で搬送体を検
出すると、搬送体の進行方向前方に位置する複数の閉塞
区間に気体を供給する一方、搬送体の進行方向後方に位
置する少なくとも１つの閉塞区間に対する気体の供給を
停止することを特徴とする気体浮上式搬送設備における
搬送方法。