JP2012176822A - 非接触搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一の搬送方向(X方向)に沿って配された非接触搬送装置3と、一の搬送方向に対して直交する搬送方向(Y方向)に配された非接触搬送装置4とのコーナー部に配される非接触搬送装置2であって、平面視直角三角形を呈すると共に、平面視直角三角形の斜辺2bを相対向させた一対の搬送用基板2a、2a’が直角三角形の一方の辺2cを一の搬送方向に向けると共に、他方の辺2dを搬送方向に直交する搬送方向に向けて配され、搬送用基板には、平面視直角三角形の搬送面に複数個の上昇流形成体8と複数個の吸引孔5nが設けられている非接触搬送装置1。
【選択図】図1
Description
2 非接触搬送装置(コーナー部)
3、4 非接触搬送装置(一の搬送方向と一の搬送方向と直交する搬送方向)
2a、2a’ 搬送用基板
2b 斜辺
2c、2d 辺
5 上板
5a 上面(搬送面)
5l 収容孔部
5m 狭窄孔
5n 空気吸引孔
6 中板
6e 空気供給凹溝
6i 貫通孔
7 上板
7f 空気供給口
7g 空気吸引凹溝
7h 真空吸引口
8 上昇流形成体
8j 空気噴出孔
Claims (8)
- 一の搬送方向に沿って配された非接触搬送装置と、該一の搬送方向に対して直交する搬送方向に配された非接触搬送装置とのコーナー部に配される非接触搬送装置であって、平面視直角三角形を呈すると共に、該平面視直角三角形の斜辺を相対向させた一対の搬送用基板が該直角三角形の一方の辺を前記一の搬送方向に向けると共に、他方の辺を該搬送方向に直交する搬送方向に向けて配され、該搬送用基板には、平面視直角三角形の搬送面に複数個の上昇流形成体と、複数個の吸引孔とが設けられていることを特徴とする非接触搬送装置。
- 前記一対の搬送用基板において、前記平面視直角三角形の斜辺間には該斜辺に沿う幅方向に隙間が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の非接触搬送装置。
- 前記平面視直角三角形を呈する搬送用基板は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に、下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔とを備えた中板と、該中板の連通孔に結合された空気供給口と、上面に開口すると共に、前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口とを備えた下板とからなり、前記上板の収容孔部には上昇流形成体が装着されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の非接触搬送装置。
- 前記平面視直角三角形を呈する搬送用基板は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に、下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の収容孔部に連通する1つの連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する1つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔とを備えた中板と、該中板の連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口とを備えた下板とからなり、前記上板の収容孔部には上昇流形成体が装着されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の非接触搬送装置。
- 前記上昇流形成体は、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも1つの流体噴出孔とを備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の非接触搬送装置。
- 前記上昇流形成体は、前記流体噴出孔を1つ備え、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体部の前記円筒内壁面に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項5に記載の非接触搬送装置。
- 前記上昇流形成体は、前記円筒状基体部の外周面から前記円筒状内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向するように2つ設けられた流体噴出孔を備え、該2つの流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項5に記載の非接触搬送装置。
- 前記上昇流形成体は、前記環状鍔部の外周面を前記搬送用基板の前記上板に形成された前記収容孔部の前記円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の前記係合突起部を前記収容孔部の前記環状肩部に係合させて該収容孔部に装着されることを特徴とする請求項6又は7に記載の非接触搬送装置。
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