WO2014181715A1 - 支持用エアプレートおよびその気体流抵抗器 - Google Patents

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WO2014181715A1
WO2014181715A1 PCT/JP2014/061730 JP2014061730W WO2014181715A1 WO 2014181715 A1 WO2014181715 A1 WO 2014181715A1 JP 2014061730 W JP2014061730 W JP 2014061730W WO 2014181715 A1 WO2014181715 A1 WO 2014181715A1
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gas flow
plate
gas
resistance
resistor
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PCT/JP2014/061730
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角田　耕一
貴裕 安田
伊藤　彰彦
秀夫 小澤
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オイレス工業株式会社
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    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Definitions

  • the present invention relates to a support air plate that supports a target object in a non-contact manner by a compressed gas layer, and particularly relates to a support air plate that supports a glass substrate or the like used in a flat panel display, a solar panel, or the like in a non-contact state.
  • a non-contact conveying device that floats and conveys a glass plate with a gas layer is used. For example, it is required to float a glass plate having a long side of 2400 mm with a height and accuracy of 30 ⁇ 5 ⁇ m.
  • Patent Document 1 discloses a technique for generating a gas swirl to support a glass plate.
  • a swirl flow forming body is accommodated in a recess formed on the conveying surface of the apparatus base, and the outer peripheral surface of the swirl flow forming body is caulked and joined by a raised portion protruding around the recess. With this configuration, a swirl flow of gas is generated on the transport surface, and the glass substrate is supported in a non-contact state.
  • Patent Document 2 discloses a technology for supporting a glass substrate by generating an upward flow of gas.
  • the upward flow forming body is configured such that the annular flange portion is press-fitted into a cylindrical wall surface portion of the accommodation hole portion formed on the upper plate of the transport substrate, and the engagement projection portion of the engagement hanging portion is fitted to the annular shoulder of the accommodation hole portion. By being engaged with the portion, it is mounted in the accommodation hole. With this configuration, an upward flow of gas is generated on the upper plate, and the glass substrate is supported in a non-contact state.
  • the swirl flow forming body of Patent Document 1 is mounted on the transport surface of the substrate facing the glass substrate.
  • the gas passing through the swirling flow forming body strikes the glass substrate while swirling, and a gas flow is generated inside the swirling flow in a direction that draws the glass substrate toward the substrate.
  • Patent Document 2 is also mounted on the transport surface of the substrate facing the glass substrate.
  • the gas ejected from the ascending flow body hits the glass substrate directly, after the gases collide with each other, or after colliding with the inner peripheral side wall of the ascending flow forming body.
  • An object of the present invention is to provide a technique for alleviating stress on a support object due to a gas flow.
  • An air plate for support has a support surface, a compressed gas layer is formed between the support surface and a support object, and the support object is in a non-contact state with the support surface.
  • a supporting air plate for supporting a gas flow resistor having a plurality of jets that squeeze out a gas flow to be supplied, and a plurality of first gas supply holes in which the plurality of gas flow resistors are mounted And a part of the first gas supply hole at a position adjacent to the support surface side of the first holed plate part and corresponding to the first gas supply hole.
  • the second perforated plate-like portion having a second gas supply hole that overlaps and communicates with the first gas supply hole and jets the gas flow toward the compressed gas layer, and the gas flow is squeezed and jetted. Faces the gas flow resistor outlet and collides with the gas flow emitted from the gas flow resistor outlet And a, a gas flow facing surface located at the boundary portion between the second perforated plate portion and the first perforated plate-like portion to diffuse so.
  • the gas flow resistor is configured to support a support in a non-contact state in which a compressed gas layer is formed between a support surface and a support object and the support object is levitated from the support surface.
  • a jet port that is mounted on the mounting portion of the support air plate and that can squeeze the supplied gas flow and indirectly eject the gas flow toward the support surface. It is characterized by having.
  • FIG. 3 is a diagram showing the shape of the surface of a gas path plate 12. It is a figure which shows the shape of the back surface of the body path
  • 1 is a schematic exploded sectional view of a flying air plate according to a first embodiment. It is a figure which shows the top view (A) and side sectional view (B) of the ejection pellet 14. It is a figure which shows the gas flow in the inside of the ejection hole 17 of the top plate 11 to which the ejection pellet 14 was attached.
  • FIG. It is a figure which shows the gas flow in the inside of the ejection hole 17 of the gas path
  • FIG. It is a schematic sectional drawing of the air plate for levitation
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a flying air plate (supporting air plate) according to the first embodiment.
  • the levitation air plate 10 has a support surface 11a, and forms a compressed gas layer between a glass substrate (not shown), which is an object to be supported (support object), and the support surface 11a, thereby supporting the glass substrate. It is a plate which is supported in a non-contact state levitated from the surface 11a.
  • a floating air plate 10 includes a top plate 11, a gas path plate 12 (flat plate), a bottom plate 13, an ejection pellet 14 (gas flow resistor), and a suction pellet 15 (suction gas flow resistor). )have.
  • the top plate 11, the gas path plate 12, and the bottom plate 13 are all plate-shaped members made of a metal material such as aluminum. In order to prevent warping due to temperature change due to the bimetal effect, it is preferable to align the top plate 11, the gas path plate 12, and the bottom plate 13 with the same material. Each is manufactured by surface grinding with high precision and providing holes and grooves.
  • the top plate 11, the gas path plate 12, and the bottom plate 13 are provided with an assembly hole and a tapping process (not shown), and are assembled to each other by bolts. Further, the ascending air plate 10 is provided with bolt mounting holes for assembling to a counterpart frame such as a transport device (not shown) for transporting the glass substrate.
  • the ejection pellet 14 and the suction pellet 15 are injection-molded products made of a resin material or the like, and are inserted into holes provided in the top plate 11 or the gas path plate 12.
  • the top plate 11 is a perforated plate member in which a plurality of ejection holes 17 and a plurality of suction holes 18 penetrating in the thickness direction are alternately arranged.
  • the ejection hole 17 is a hole for ejecting a compressed gas between the support surface 11a and the glass substrate to form a compressed gas layer, and the glass substrate is floated, and the suction hole 18 is a gas from the compressed gas layer. It is a hole for sucking and stabilizing the flying height of the glass substrate.
  • the pitch at which the ejection holes 17 and the suction holes 18 are arranged is set according to the thickness of the glass substrate that is the object to be supported. It is preferable to use a dense pitch for the thin glass substrate and a sparse pitch for the thick glass substrate from the viewpoint of suppressing deformation.
  • One surface of the top plate 11 constitutes a support surface 11a for supporting the glass substrate in a non-contact state where the glass substrate is levitated.
  • the other surface of the support surface 11a which is one surface that supports the glass substrate in the top plate 11 is referred to as a back surface 11b.
  • the ejection hole 17 is a through hole having a different inner diameter size on the support surface 11a side and the back surface 11b side, and a small diameter hole portion 17b (second second diameter) having a smaller inner diameter than the hole installed on the back surface 11b side on the support surface 11a side.
  • a stepped hole structure including a gas supply hole) and a large-diameter hole 17a (first gas supply hole) connected to the small-diameter hole 17b on the back surface 11b side and having a larger inner diameter than the small-diameter hole 17b.
  • the ejection pellets 14 are inserted into the large-diameter hole portion 17 a of the ejection hole 17.
  • the large-diameter hole 17a has an inner diameter of ⁇ 8 mm
  • the small-diameter hole 17b has an inner diameter of ⁇ 2.5 mm.
  • the suction hole 18 is stepped by connecting a small-diameter hole portion 18 b having a smaller inner diameter on the support surface 11 a side than the back surface 11 b side and a large-diameter hole portion 18 a having a larger inner diameter on the back surface 11 b side than the small-diameter hole 18 b.
  • It has a hole structure.
  • the large-diameter hole 18a has an inner diameter of ⁇ 8 mm
  • the small-diameter hole 18b has an inner diameter of ⁇ 4 mm.
  • the stepped structure may not be provided.
  • the gas path plate 12 has a surface 12a which is a surface installed in close contact with the back surface 11b of the top plate 11, and a back surface 12b which is a surface opposite to the surface 12a.
  • An air supply groove 21 (gas supply path) that connects the plurality of ejection holes 17 of the top plate 11 to each other is formed on the surface 12a of the gas path plate 12. Further, the gas path plate 12 is provided with an air supply hole 19 which communicates with the air supply groove 21 and penetrates to the back surface 12b at a predetermined position.
  • the gas path plate 12 is provided with a plurality of suction holes 20 penetrating from the front surface 12a to the back surface 12b at positions communicating with the suction holes 18 of the top plate 11. Further, a suction groove 22 that allows the plurality of suction holes 20 to communicate with each other is formed on the back surface 12 b of the gas path plate 12.
  • the suction hole 20 is a through hole having a different inner diameter size on the back surface 12b side and the front surface 12a side, is on the back surface 12b side, and has a small diameter hole portion 20b having a smaller inner diameter size than a hole installed on the front surface 12a side,
  • a stepped hole shape is formed of a large-diameter hole 20a having a larger inner diameter than the small-diameter hole 20a and connected to the small-diameter hole 20b on the surface 12a side, and the suction hole 20 is sucked into the large-diameter hole 20a.
  • a pellet 15 is inserted.
  • the air supply groove 21 on the front surface 12a of the gas path plate 12 and the suction groove 22 on the back surface 12b have a depth that does not interfere with each other in the plate thickness direction.
  • the air supply groove 21 and the suction groove 22 are both 8 mm wide and 3.5 mm deep, and the thickness of the gas path plate 12 is greater than 7 mm.
  • FIG. 2 is a diagram showing the shape of the gas path plate 12 on the surface 12a side.
  • an air supply groove 21 is formed in a mesh shape on the surface 12 a of the gas path plate 12, and an air supply hole 19 penetrating to the back surface 12 b is communicated with a predetermined portion of the air supply groove 21.
  • the opening surface 21 a is closed by the back surface 11 b of the top plate 11, communicates with the respective ejection holes 17 of the top plate 11, and gas supplied from the air supply holes 19 is supplied to the ejection holes 17 of the top plate 11.
  • a supply path is formed (see FIG. 1).
  • the front surface 12a of the gas path plate 12 has a suction hole 20 penetrating to the back surface 12b at a position communicating with the suction hole 18 of the top plate 11.
  • FIG. 3 is a diagram showing the shape of the gas path plate 12 on the back surface 12b side.
  • suction grooves 22 that allow the plurality of suction holes 20 to communicate with each other are provided in a mesh shape.
  • the suction groove 22 has an opening surface 22a closed by the surface 13a of the bottom plate 13, and forms a path for gas to be sucked through each suction hole 20 (see FIG. 1).
  • the suction groove 22 is divided into three systems.
  • When transporting the glass substrate in a floated state there is a glass substrate above all the suction holes 18 communicating with the suction groove 22, and there is a glass substrate only above some of the suction holes 18,
  • the force applied to the glass substrate differs depending on the compressed gas layer in the state where the upper portion of the remaining suction holes 18 is open.
  • all the suction holes 18 communicated by each system are covered early by the glass substrate being transported and added to the glass substrate being transported. The power is stabilized.
  • the systems of the suction grooves 22 in the gas path plate 12 may be completely separated as shown in FIG. 3 and may not be communicated at all, or may be communicated only at a limited portion.
  • an air supply hole 19 which is a through hole communicating with the air supply groove 21 on the front surface 12a portion is provided on the back surface 12b portion of the gas path plate 12.
  • FIG. 4 is a view of the bottom plate 13 as viewed from the front surface 13a side.
  • the bottom plate 13 has a surface 13a which is a surface installed in close contact with the back surface 12b of the gas path plate 12, and a back surface 13b which is the opposite surface facing the surface 13a (see FIG. 1).
  • an air supply port 23 for supplying compressed gas to the air supply hole 19 of the gas path plate 12 is formed in a state penetrating in a plate thickness direction at a predetermined position communicating with the air supply hole 19.
  • a suction port 24 for sucking gas from the suction groove 22 of each system is formed in the bottom plate 13 in a state of penetrating in a plate thickness direction at a predetermined position communicating with the suction groove 22 of each system. Since the surface 13a of the bottom plate 13 is placed in close contact with the back surface 12b of the gas path plate 12, it plays the role of a lid that closes the opening surface 22a of the suction groove 22, and from the suction port 24, The suction of the gas in the suction groove 22 is enabled.
  • a pump (not shown) is connected to the air supply port 23, and compressed gas is supplied from the pump to the air supply port 23.
  • the compressed gas supplied to the air supply port 23 is sent to the ejection holes 17 of the top plate 11 through the air supply holes 19 and the air supply grooves 21 of the gas path plate 12, and passes through the ejection pellets 14 to the compressed gas layer. Supplied.
  • a vacuum pump (not shown) is connected to the suction port 24, and by suction of the vacuum pump, gas passes from the compressed gas layer through the suction hole 18 of the top plate 11 to the gas path plate 12 to which the suction pellet 15 is attached. The vacuum is sucked from the suction port 24 of the bottom plate 13 to the vacuum pump.
  • FIG. 5 is a schematic exploded sectional view of the flying air plate according to the first embodiment.
  • the ejection pellet 14 is inserted into the ejection hole 17 of the top plate 11 from the back surface 11 b side and attached inside the large-diameter hole portion 17 a of the ejection hole 17.
  • the outer diameter 14 e of the ejection pellet 14 and the inner diameter 17 c of the large-diameter hole portion 17 a of the ejection hole 17 are the same size, or the outer diameter 14 e of the ejection pellet 14 is larger than the inner diameter 17 c of the large-diameter hole portion 17 a of the ejection hole 17.
  • FIG. 6 is a plan view (A) and a side sectional view (B) of the ejection pellet 14.
  • the ejection pellet 14 has a resistance plate 14 a disposed in the horizontal direction, a tube shape that is in contact with the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the resistance plate 14 a, and is integrally formed with the resistance plate 14 a. Specifically, it has a cylindrical tubular portion 14c. A plurality of annular orifice channels 14b (through holes) are installed in the resistance plate 14a in a state of penetrating in the plate thickness direction.
  • the ejection pellet 14 is a glass substrate (not shown) by squeezing and ejecting a gas flow supplied from the back surface 14aa side of the resistance plate 14a through an orifice channel 14b serving as a resistance channel having a desired channel resistance. It is possible to give a desired rigidity to the compressed gas layer between the top plate 11 and the support surface 11a of the top plate 11.
  • the opening on the support surface 11a side of the orifice passage 14b of the ejection pellet 14, that is, the ejection outlet 14ba for ejecting gas is provided at a position separated from the central axis 14d of the ejection pellet 14 by a predetermined distance or more.
  • the spout 14ba has a pitch diameter (PCD) of 6 mm from the central axis 14d, and the number thereof is six.
  • the ejection hole 17 has a stepped hole structure composed of two portions (large diameter hole portion 17a and small diameter hole portion 17b) having different inner diameters.
  • the top plate 11 has a large-diameter hole portion 17a having an inner diameter that is the same as or slightly smaller than the outer diameter of the ejection pellet 14, and is provided with a perforated plate-like portion 11c (first perforated plate-like portion) on the back surface 11b side.
  • the large diameter facing the ejection port 14ba of the ejection pellet 14 provided at a position more than a predetermined distance from the central axis 14d.
  • a gas flow facing surface 11e is formed at the boundary between the hole 17a and the small diameter hole 17b. That is, the jet outlet 14ba of the jet pellet 14 is located on the outer peripheral side of the inner peripheral surface of the small diameter hole portion 17b of the jet hole 17. The gas flow ejected from the ejection port 14ba of the ejection pellet 14 is diffused by the gas flow facing surface 11e and supplied to the compressed gas layer from the small diameter hole portion 17b of the ejection hole 17.
  • the suction pellet 15 is inserted into the suction hole 20 of the gas path plate 12 from the surface 12 a side and attached inside the large-diameter hole portion 20 a of the suction hole 20.
  • the suction pellet 15 has the same shape as the ejection pellet 14 having the resistance plate 14a and the tubular portion 14c.
  • the dimensions of each part such as the outer diameter and length of the suction pellet 15, the position of the resistance plate, the number, position and inner diameter of the orifice channel may be different from the dimensions of the ejection pellet 14.
  • FIG. 7 is a view showing a gas flow inside the ejection holes 17 of the top plate 11 to which the ejection pellets 14 are attached.
  • the compressed gas is supplied from the back surface 11 b (the lower surface in the drawing) of the top plate 11 to the large-diameter hole portion 17 a of the ejection hole 17.
  • This compressed gas is throttled by the orifice channel 14b of the ejection pellet 14, and is ejected from the ejection port 14ba of the orifice channel 14b. Since the gas flow facing surface 11e is above the jet port 14ba of the orifice channel 14b, the gas flow is diffused by the gas flow facing surface 11e.
  • the diffused gas flow is jetted above the support surface 11a through the small-diameter hole portion 17b of the jet hole 17.
  • the gas flow narrowed by the orifice channel 14b hits the gas flow facing surface 11e.
  • the gas flow is diffused on the gas flow facing surface 11e, is reduced in speed, concentrated in the small diameter hole portion 17b of the ejection hole 17, and ejected toward the glass substrate.
  • the gas flow having a desired flow path resistance provided by the orifice flow path 14b is diffused by the gas flow facing surface 11e and then supplied to the compressed gas layer above the support surface 11a. Therefore, it is possible to give a desired rigidity, that is, uniform speed and pressure to the compressed gas layer by the channel resistance, and to relieve the stress applied to the glass substrate by the gas flow facing surface 11e.
  • the resistance plate 14a is located on the lower side of the tubular portion 14c by a predetermined distance from the upper end surface 14ca of the tubular portion 14c in the axial direction of the tubular portion 14c. It is connected to the tubular portion 14c at a position entering the end face 14cb direction. It is preferable to dispose the resistance plate 14a at a position entering the direction of the lower side end face 14cb by 0.1 to 0.2 mm in the axial direction from the upper side end face 14ca of the tubular portion 14c. With this configuration, as shown in FIG.
  • the ejection pellet 14 is attached so as to abut on the step of the stepped portion of the ejection hole 17, that is, the step of the boundary portion between the large diameter hole portion 17a and the small diameter hole portion 17b. It is possible to secure a space for relaxing the gas flow ejected from the orifice channel 14b.
  • the perforated plate-like portion 11d of the top plate 11 is preferably 5 mm or less.
  • FIG. 8 is a view showing a gas flow inside the suction holes 20 and 18 of the gas path plate 12 and the top plate 11 to which the suction pellets 15 are attached.
  • the gas sucked from the support surface 11 a of the top plate 11 toward the suction hole 18 reaches the gas path plate 12 through the suction hole 18.
  • the gas that has reached the gas path plate 12 is throttled through the orifice flow path 15a of the suction pellet 15, is added with a desired flow path resistance, passes through the flow path formed by the suction groove 22, and then the back surface 12b of the gas path plate. Sucked from.
  • the orifice channel 15a of the suction pellet 15 is designed so that, for example, a suction amount of gas that cancels out the gas ejection amount from the orifice channel 14b of the ejection pellet 14 can be sucked.
  • the design is performed in consideration of the pressure balance inside and outside the orifice channel 14b. Since the gas that has passed through the orifice channel 14b and is ejected from the ejection hole 17 to the compressed gas layer is expanded more than the gas in the ejection hole 17 before ejection, the disconnection of the orifice channel 15a of the suction pellet 15 is interrupted.
  • the area is set larger than the cross-sectional area of the orifice channel 14b of the ejection pellet 14.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the vicinity of the orifice channel 14b of the ejection pellet 14.
  • An orifice channel 14b is disposed in the resistance plate 14a of the ejection pellet 14 in a state of penetrating in the thickness direction of the resistance plate 14a.
  • the orifice channel 14b is a resistance unit that adds a channel resistance of a desired value to the gas flow.
  • the first resistor unit 14bR1, the second resistor unit 14bR2, and the resistor unit coupling unit 14bb are further provided. It is divided into.
  • the channel resistance represents the ratio between the pressure difference between the input side and the output side of the channel and the gas flow rate.
  • a1 and a2 are predetermined coefficients.
  • the flow resistance r1 of the first resistance portion 14bR1 is designed to be sufficiently smaller than the flow resistance r2 of the second resistance portion 14bR2.
  • the inner diameter R1 of the first resistance portion 14bR1 is ⁇ 1.0 to 6.0 mm
  • the length d1 is 1.0 to 6.0 mm
  • the inner diameter R2 of the second resistance portion 14bR2 is ⁇ 0.05 to 0.4 mm.
  • the length d2 is preferably set to 0.2 to 3.0 mm.
  • n 6 as described above.
  • the desired flow path resistance R can be obtained by appropriately selecting the number n of the orifice flow paths 14b in the ejection pellet 14 and the cross-sectional areas S1 and S2 and the lengths d1 and d2 of the resistance portions of the orifice flow paths 14b.
  • the resistance portion connection portion 14bb has an effect of connecting the first resistance portion 14bR1 and the second resistance portion 14bR2 and increasing the resistance stepwise from the flow path resistance r1 to the flow path resistance r2.
  • the resistance portion has two stages, but may be designed in three stages or more.
  • the resistance portion connecting portion 14bb of the orifice flow path 14b has a tapered shape, but has an effect of gradually increasing the resistance from the flow path resistance r1 to the flow path resistance r2. If it is a shape, it may not be a taper shape.
  • the second resistance portion 14bR2 having a larger resistance is disposed on the ejection port 14ba side (support surface 11a side) of the resistance plate 14a. is doing.
  • the levitation air plate 10 of the present embodiment includes the ejection pellets 14 and the suction pellets 15 and is supported by ejecting gas from the support surface 11a to the compressed gas layer and sucking the gas from the compressed gas layer.
  • the height of the target object is stabilized, and the resistance to vibration due to control noise or conveyance is increased.
  • the suction pellets 15 that give flow path resistance to the suction holes 16 as well, an effect of suppressing a change in suction force is obtained.
  • the present invention is not limited to this configuration.
  • the present invention can be applied to a floating air plate that only ejects gas from the support surface 11a.
  • the suction groove 22 of the gas path plate 12 is divided into three parts, but the embodiment is not limited to this.
  • the air supply groove 21 may be divided into a plurality of parts in the same manner as the suction groove 22, or only the air supply groove 21 may be divided into a plurality of parts.
  • the large-diameter hole portion 17a and the small-diameter hole portion 17b of the ejection hole 17 are concentric circles, but the present invention is not limited to this.
  • the shaft center of the small diameter hole portion 17b and the shaft center of the large diameter hole portion 17a may be shifted to communicate with each other, and any configuration may be adopted as long as the gas flow facing surface 11e is formed.
  • the ejection pellets 14 and the suction pellets 15 in the present embodiment may be removable after once attached to the top plate 11 or the gas path plate 12. In that case, it may be possible to reattach the ejected pellets 14 or suction pellets 15 that have been removed. Thereby, for example, at the time of design or installation, it is possible to sequentially try a plurality of ejected pellets 14 or suction pellets 15 having different gas flow rates and shapes, and select those that can obtain good performance. Further, for example, as maintenance, when the orifice flow path 14b of the ejection pellet 14 or the orifice flow path 15a of the suction pellet 15 is clogged, the ejection pellet 14 or the suction pellet 15 can be removed, cleaned, and attached again.
  • the support air plate is A support air plate having a support surface, forming a compressed gas layer between the support surface and the support object, and supporting the support object in a non-contact state with the support surface;
  • a gas flow resistor having a plurality of jets that squeeze and jet the supplied gas flow;
  • a first perforated plate-like portion having a plurality of first gas supply holes to which the plurality of gas flow resistors are mounted; The first gas supply hole is adjacent to the support surface side of the first perforated plate-like portion and overlaps a part of the first gas supply hole in a plan view at a position corresponding to the first gas supply hole.
  • a second perforated plate-like portion having a second gas supply hole that communicates with the gas flow toward the compressed gas layer;
  • the first perforated plate-shaped portion facing the jet port of the gas flow resistor that squeezes out the gas flow and collides and diffuses the gas flow jetted from the jet port of the gas flow resistor, and the first A gas flow facing surface located at a boundary portion between the two perforated plate-like portions; It has become.
  • the gas flow resistor of this embodiment is In a gas flow resistor used in a support air plate that forms a compressed gas layer between a support surface and a support object and supports the support object in a non-contact state from the support surface. It is mounted on the mounting portion of the support air plate, and has a jet port that can squeeze the supplied gas flow and indirectly eject it toward the support surface.
  • the gas flow resistor is A through hole serving as a resistance flow path through which gas passes in the thickness direction, and a resistance plate having a resistance section having a predetermined cross-sectional area and a predetermined length in at least a part of the axial direction of the resistance flow path;
  • a tubular portion that is formed integrally with the resistor plate so as to surround the resistor plate, and has an outer peripheral surface having a shape and a dimension that matches the inner peripheral surface of the first gas supply hole;
  • the resistance portion has the largest resistance on the jet outlet side in the axial direction of the resistance flow path.
  • the support air plate of this embodiment is It has a plurality of gas flow resistors for suction attached to the first perforated plate-like portion and narrows the gas flow sucked from the compressed gas layer.
  • the gas flow resistor of this embodiment is A resistance plate comprising a through-hole, having a resistance channel having an action of restricting the gas flow, and having the jet port at the end of the resistance channel on the support surface side; A tubular portion that is in contact with the outer peripheral surface of the resistor plate at the inner peripheral surface and is formed integrally with the resistor plate; It has become.
  • the gas flow resistor of this embodiment is A resistance portion having a predetermined cross-sectional area and a predetermined length is provided in at least a part of the resistance channel in the axial direction.
  • the gas flow resistor of this embodiment is The resistance portion has the largest resistance on the jet outlet side in the axial direction of the resistance flow path.
  • the resistance plate is connected to the tubular portion at a position that is a predetermined distance from one end face of the tubular portion.
  • FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of a levitation air plate according to the second embodiment.
  • the levitation air plate 30 according to the second embodiment has a support surface 31a as in the first embodiment, and forms a compressed gas layer between the glass substrate 99 and the support surface 31a. It is a plate that supports the substrate 99 in a non-contact state in which the substrate 99 is levitated from the support surface 31a.
  • both the ejection pellet 34 and the suction pellet 35 have the same structure as the ejection pellet 14 and the suction pellet 15 of the first embodiment.
  • the levitating air plate 30 according to the second embodiment differs from that of the first embodiment in that both the ejection pellet 34 and the suction pellet 35 are inserted into the top plate 31 that forms the support surface 31a. Is different.
  • the levitation air plate 30 includes a top plate 31, a gas path plate 32, a bottom plate 33, an ejection pellet 34, and a suction pellet 35.
  • the top plate 31 is a perforated plate-like member in which a plurality of ejection holes 37 and a plurality of suction holes 38 are alternately arranged, similarly to the top plate 11 of the first embodiment.
  • the open side surface of the top plate 31 constitutes a support surface 31a.
  • the ejection holes 37 are through-holes having different inner diameters on the support surface 31a side and the back surface 31b side, similarly to the ejection holes 17 of the first embodiment, and are holes installed on the back surface 31b side on the support surface 31a side. It has a stepped hole structure comprising a small diameter hole portion 37b having a smaller inner diameter size and a large diameter hole portion 37a connected to the small diameter hole portion 37b on the back surface 31b side and having a larger inner diameter size than the small diameter hole portion 37b.
  • the ejection pellet 34 is inserted into the large large-diameter hole portion 37a.
  • the top plate 31 has a large-diameter hole portion 37a having an inner diameter that is the same as or slightly smaller than the outer diameter of the ejection pellet 34, and a perforated plate-like portion 31c on the back surface 31b side, and an outer diameter of the ejection pellet 34. It consists of a perforated plate-like portion 31d on the support surface 31a side having a small-diameter hole portion 37b with a small inner diameter.
  • the space between the inner peripheral surface 37 a 1 of the large-diameter hole portion 37 a of the ejection hole 37 and the outer peripheral surface 34 c 1 of the ejection pellet 34 is sealed. Further, the length in the axial direction from the upper end face 34 ca side to the lower end face 34 cb side of the ejection pellet 34 is equal to the length of the large-diameter hole portion 37 a of the top plate 31.
  • the suction hole 38 in the top plate 31 of the present embodiment is a stepped hole in which the inner diameter on the support surface 31a side is smaller than the inner diameter on the back surface 31b side, similar to the ejection hole 37 described above.
  • the suction pellet 35 is inserted into the large-diameter hole 38 a of the suction hole 38 of the top plate 31.
  • the suction pellet 35 is press-fitted into the large-diameter hole portion 38 a of the suction hole 38, the space between the inner peripheral surface 38 a 1 of the large-diameter hole portion 38 a of the suction hole 38 and the outer peripheral surface 35 c 1 of the suction pellet 35 is sealed.
  • the gas path plate 32 of the second embodiment is installed such that the front surface 32a is in close contact with the back surface 31b of the top plate 31 in the same manner as the gas path plate 12 of the first embodiment.
  • air supply grooves 39 that connect the plurality of ejection holes 37 of the top plate 31 to each other are formed in a mesh shape. Further, the gas path plate 32 is provided with an air supply hole (not shown) that communicates with the air supply groove 39 and penetrates to the back surface 32b at a predetermined position.
  • the gas path plate 32 is provided with a plurality of suction holes 41 penetrating from the front surface 32a to the back surface 32b at positions communicating with the suction holes 38 of the top plate 31. Further, suction grooves 40 that allow the plurality of suction holes 41 to communicate with each other are formed in a mesh shape on the back surface 32 b of the gas path plate 32.
  • either one or both of the air supply groove 39 and the suction groove 40 may be divided into a plurality of parts in the same manner as the suction groove 22 of the first embodiment.
  • the bottom plate 33 is installed with the front surface 33a in close contact with the back surface 32b of the gas path plate 32.
  • an air supply port (not shown) for supplying gas to the air supply groove 39 of the gas path plate 32 is installed in a state of passing through a predetermined position communicating with the air supply groove 39.
  • a suction port (not shown) for sucking gas from the suction groove 40 is installed in the bottom plate 33 in a state of penetrating through a predetermined position communicating with the suction groove 40.
  • a pump is connected to the air supply port, and a vacuum pump is connected to the suction port.
  • ejection pellet 34 of the present embodiment is assumed to have the same shape, structure, and size as those of the first embodiment shown in FIG.
  • the shape, structure, and size of the orifice channel of the ejection pellet 34 of the present embodiment are the same as those of the first embodiment shown in FIG. That is, a part of the orifice channel is a resistance portion that defines the channel resistance by a predetermined cross-sectional area and length.
  • FIG. 11 is a diagram showing a gas flow inside the ejection hole 37 of the top plate 31 to which the ejection pellet 34 is attached.
  • the top plate 31 is composed of two perforated plate-like portions 31d and 31c each having a large-diameter hole portion 37a and a small-diameter hole portion 37b of the ejection holes 37 having different inner diameter dimensions. Therefore, the ejection hole 37 of the top plate 31 is a stepped hole, and by the stepped configuration, a position facing the ejection outlet 34ba of the ejection pellet 34 provided at a position separated by a predetermined distance or more from the central axis 34d. A gas flow facing surface 31e is formed.
  • the gas When gas is supplied from the back surface 31 b side of the top plate 31 to the ejection hole 37, the gas is throttled by passing through the orifice channel 34 b penetrating the resistance plate 34 a of the ejection pellet 34. Since the gas flow facing surface 31e is located above and opposed to the jet port 34ba of the orifice channel 34b, the gas flow is diffused by the gas flow facing surface 31e. The diffused gas flow is ejected above the support surface 31 a through the small diameter hole portion 37 b of the ejection hole 37.
  • a gas flow having a desired flow path resistance provided by the orifice flow path 34b is diffused by the gas flow facing surface 31e and then supplied to the compressed gas layer. Therefore, it is possible to give a desired rigidity, that is, uniform speed and pressure to the compressed gas layer by the channel resistance, and to relieve the stress applied to the glass substrate 99 by the gas flow facing surface 31e.
  • FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of a levitation air plate according to the third embodiment.
  • the levitation air plate 50 according to the third embodiment has a support surface 51a as in the second embodiment, and forms a compressed gas layer between the glass substrate 99 and the support surface 51a. It is a plate that supports the substrate 99 in a non-contact state in which the substrate 99 is levitated from the support surface 51a. The point that the ejection pellet 34 and the suction pellet 35 are inserted into the same plate is also common to the second embodiment.
  • the floating air plate 50 according to the third embodiment differs from the second embodiment in that the portion corresponding to the top plate 31 in the second embodiment has two parts, a top plate 51 and a pellet mounting plate 52. It is composed of members. That is, the perforated plate-like portion 31c on the back surface 31b side having the ejection hole 37 having an inner diameter that is the same as or slightly smaller than the outer diameter of the ejection pellet 34 in the top plate 31 of the second embodiment, and the ejection pellet 34
  • the perforated plate-like portion 31d on the support surface 31a side having the ejection hole 37 having an inner diameter smaller than the outer diameter is composed of a top plate 51 and a mounting plate 52, which are separate members. ing.
  • the small diameter hole portion 53 of the top plate 51 and the large diameter hole portion 54 of the pellet mounting plate 52 communicate with each other.
  • a stepped hole corresponding to the ejection hole 37 is formed.
  • the ejected pellet 34 is mounted in the large-diameter hole portion 54 of the pellet mounting plate 52.
  • the thickness of the pellet mounting plate 52, the thickness of the ejection pellet 34, and the thickness of the suction pellet 35 all match. Therefore, when the ejection pellet 34 and the suction pellet 35 are mounted on the pellet mounting plate 52, and the top plate 51, the pellet mounting plate 52, and the gas path plate 32 are fixed to each other, the ejection pellet in which the pressure applied by the gas flow is reversed It is possible to regulate and stabilize the movement in the thickness direction, which is the axial direction, of both 34 and the suction pellet 35 at the same time.
  • FIG. 13 is a view showing a gas flow inside the pellet mounting plate 52 and the top plate 51 to which the ejection pellets 34 are attached.
  • An ejected pellet provided at a predetermined distance from the central axis 34d by a step boundary portion of a stepped hole formed by a small diameter hole portion 53 of the top plate 51 and a large diameter hole portion 54 of the pellet mounting plate 52.
  • the gas flow opposing surface 51c which opposes the jet nozzle 34ba of 34 is formed.
  • the compressed gas When compressed gas is supplied from the back surface 52 b side of the pellet mounting plate 52 to the large-diameter hole portion 54, the compressed gas is throttled by the orifice channel 34 b of the ejection pellet 34. Since the gas flow facing surface 51c is above the jet port 34ba of the orifice flow path 34b, the gas flow constricted in the orifice flow path 34b is diffused by the gas flow facing surface 51c. The diffused gas flow is ejected above the support surface 51a through the small-diameter hole 53.
  • FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the ejection pellet of the flying air plate according to the fourth embodiment.
  • the levitating air plate according to the present embodiment differs from the levitating air plate 50 of the third embodiment only in the pellet shape.
  • the pellet of the present embodiment realizes sealing by providing a protrusion that goes around the outer peripheral surface of the pellet.
  • both the ejection pellet and the suction pellet are different from those of the third embodiment, since both are the same sealing structure, only the ejection pellet 61 will be described here.
  • the ejection pellet 61 has a resistance plate 61a, a tubular portion 61c, and a sealing portion 61d.
  • the resistance plate 61a is formed with a plurality of orifice channels 61b penetrating in the plate thickness direction.
  • the position, shape, size, and number of the orifice channel 61b are the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 6 and 9 as an example.
  • the diameter of the outer peripheral surface 61 ca of the tubular portion 61 c of the ejection pellet 61 is smaller than the inner diameter of the large-diameter hole portion 54 of the pellet mounting plate 52.
  • the outer peripheral surface 61ca of the tubular portion 61c is integrally provided with a sealing portion 61d that is a circumferential protrusion that goes around the ejection pellet 61.
  • the outer diameter at the apex of the sealing portion 61 d is slightly larger than the inner diameter of the large-diameter hole 54 of the pellet mounting plate 52, and the ejected pellet 61 is inserted into the large-diameter hole 54 of the pellet mounting plate 52.
  • the sealing portion 61 d comes into contact with the inner peripheral surface of the large diameter hole portion 54 and seals between the outer peripheral surface 61 ca of the tubular portion 61 c of the ejection pellet 61 and the inner peripheral surface 54 a of the large diameter hole portion 54.
  • the outer diameter size of the tubular portion 61c itself is smaller than the inner diameter size of the large-diameter hole portion 54, so that the ejection pellet 61 is pressed into the large-diameter hole portion 54 with a weak force as compared with the first embodiment. Is possible. For this reason, the force which pushes and expands the large diameter hole part 54 when inserting the ejection pellet 61 which may cause the curvature of the pellet mounting plate 52 is reduced.
  • the sealing portion 61d can achieve the purpose regardless of the position of the outer peripheral surface 61ca of the tubular portion 61c.
  • the axial center of the ejection pellet 61 is provided.
  • the support air plate is It has a sealing part for preventing a gas flow from leaking into the compressed gas layer without passing through the jet port in the gas flow resistor.
  • the sealing portion is a circumferential protrusion provided on the outer peripheral surface facing the inner peripheral surface of the first gas supply hole of the gas flow resistor, When the gas flow resistor is attached to the first gas supply hole, the circumferential protrusion comes into contact with the inner peripheral surface of the first gas supply hole.
  • the circumferential protrusion is in contact with the inner circumferential surface of the first gas supply hole in the vicinity of the center in the thickness direction of the first perforated plate-like portion.
  • the gas flow resistor of this embodiment is It has a sealing part for preventing a gas flow from leaking to the compressed gas layer without passing through the jet port in the gas flow resistor.
  • the sealing portion is a circumferential protrusion that continuously goes around the outer peripheral surface of the tubular portion.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the ejection pellet of the flying air plate according to the fifth embodiment.
  • the floating air plate of this embodiment is different from the third embodiment only in pellets.
  • the pellet of this embodiment is provided with a structure for sealing similarly to the pellet of the fourth embodiment. However, the structure is different from that of the third embodiment.
  • the pellet of the present embodiment realizes sealing with annular protrusions provided on the upper end surface 71ca and the lower end surface 71cb that form both end surfaces of the tubular portion 71c.
  • the ejection pellet and suction pellet of this embodiment have the same sealing structure, only the ejection pellet will be described here.
  • the ejection pellet 71 has a resistance plate 71a, a tubular portion 71c, and sealing portions 71d1 and 71d2.
  • a plurality of orifice channels 71b penetrating in the plate thickness direction are formed in the resistance plate 71a.
  • the position, shape, size, and number of the orifice channel 71b are the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 6 and 9 as an example.
  • the outer diameter of the tubular portion 71 c of the ejected pellet 71 is smaller than the inner diameter of the large-diameter hole portion 54 of the pellet mounting plate 52.
  • the axial thickness 71 cc of the tubular portion 71 c is equal to or slightly smaller than the thickness 52 c of the pellet mounting plate 52.
  • the sealing portion 71d1 is an annular protrusion (annular protrusion) provided integrally on the upper end surface 71ca (support surface side end surface) of the tubular portion 71c.
  • the sealing portion 71d2 is an annular protrusion provided integrally on the lower end surface 71cb (reverse end surface) of the tubular portion 71c.
  • the total of the axial thickness 71cc of the tubular portion 71c, the height 71d1a of the sealing portion 71d1, and the height 71d2a of the sealing portion 71d2 is slightly larger than the thickness 52c of the pellet mounting plate 52. Yes.
  • the ejected pellet 71 is inserted into the pellet mounting plate 52, the back surface 51b of the top plate 51 and the surface 52a of the pellet mounting plate 52 are brought into close contact, and the back surface 52b of the pellet mounting plate 52 and the surface 32a of the gas path plate 32 (flat plate).
  • the sealing portion 71d1 contacts the back surface 51b of the top plate 51, and the sealing portion 71d2 contacts the front surface 32a of the gas path plate 32.
  • sealing part 71d1 and 71d2 in both the upper side end surface 71ca and lower side end surface 71cb of the ejection pellet 71 was shown, this invention is not limited to this. You may decide to provide a sealing part only in any one end surface of the upper side end surface 71ca and the lower side end surface 71cb of the ejection pellet 71. FIG. If only one of them is sealed, it is possible to prevent gas from leaking into the compressed gas layer without passing through the orifice channel 71b.
  • the support air plate is The gas flow resistor installed adjacent to a surface on the opposite side of the support surface side of the first perforated plate-like portion and attached to the first gas supply hole of the first perforated plate-like portion Having a flat plate forming a gas supply path for supplying gas to
  • the sealing portion is an annular protrusion provided on at least one of the end surface on the support surface side and the end surface on the opposite side of the support surface of the gas flow resistor, and the gas flow resistor is configured to supply the first gas.
  • the sealing portion is an annular protrusion provided in an annular shape on one or both end surfaces of the tubular portion.
  • FIG. 16 is a schematic cross-sectional view of a levitation air plate according to the sixth embodiment.
  • the levitating air plate 80 according to the sixth embodiment is common to the second embodiment in that the portion on which the pellet is mounted is integral with a member that provides a support surface.
  • the floating air plate 80 according to the present embodiment is provided with an annular protrusion 71d1 and an annular protrusion 71d2 for sealing on the upper end face 71ca and the lower end face 71cb of the ejection pellet 71, respectively.
  • an annular projection 72d1 and an annular projection 72d2 for sealing are provided on the end surface 72ca and the lower end surface 72cb, respectively.
  • the second and fifth embodiments are different in that sealing by an O-ring (annular sealing member) is further added.
  • the levitating air plate 80 includes a top plate 81, a gas path plate 32, a bottom plate 33, an ejection pellet 71, a suction pellet 72, and an O-ring 82.
  • the ejected pellet 71 is the same as that described in the fifth embodiment.
  • the suction pellet 72 is basically the same as the ejection pellet 71. However, the position, shape, size, number, and the like of the orifice channel may be appropriately selected.
  • the top plate 81 that provides the support surface 81a of the present embodiment is similar to the top plate 31 of the second embodiment, but the edge portion surrounding the ejection hole 83 on the back surface 81b side (the back surface end or the reverse) It differs from that of the second embodiment in that a counterbore 81c is formed at the side end). That is, the edge on the back surface 83b side of the ejection hole 83 of the top plate 81 is stepped.
  • a space surrounded by the top plate 81, the ejection pellet 71, and the gas path plate 32 is formed by the spot facing portion 81c.
  • a rubber O-ring 82 is disposed in the space. The O-ring 82 deforms in contact with all of the top plate 81, the ejection pellet 71, and the gas path plate 32, and realizes a seal that prevents gas leakage.
  • a spot facing portion 84a is also formed in the suction hole 84 of the top plate 81 at the end on the back surface 81b side. That is, the edge on the back surface 81b side of the suction hole 84 of the top plate 81 is also stepped.
  • an O-ring 82 is also disposed in the space surrounded by the top plate 81, the suction pellet 72, and the gas path plate 32 formed by the spot facing portion 84a.
  • the annular protrusions provided on the upper side end surface 71ca and the lower side end surface 71cb of the tubular portion 71c of the ejection pellet 71 and the upper side end surface 72ca and the lower side end surface 72cb of the tubular portion 72c of the suction pellet 72, respectively.
  • an example in which sealing by the O-ring 82 is additionally provided is shown, but the present invention is not limited to this.
  • the same pellets as the ejection pellets 34 and the suction pellets 35 of the second embodiment may be adopted, and sealing may be realized by the O-ring of this embodiment.
  • the O-ring 82 is disposed in the spot facing portion 81c provided at the end portion on the back surface 81b side of the ejection hole 83 of the top plate 81 is shown.
  • This configuration is advantageous in that a space for arranging the O-ring 82 can be formed by a simple process on the top plate 81, but the present invention is not necessarily limited to this. Any other configuration may be adopted to secure a space for placing the O-ring 82.
  • the first perforated plate-like portion has a counterbore at the opposite end of the support surface of the first gas supply hole,
  • the sealing portion is an annular sealing member;
  • the annular sealing member is disposed on the counterbore.
  • the present invention can be applied to a support air plate that supports a glass at a predetermined angle while supporting the glass vertically.
  • Floating air plate 81 ... Top plate, 81a ... Support surface, 81b ... Back surface, 81c ... Counterbore part, 82 ... O-ring, 83 ... ejecting hole, 83b ... back surface, 84 ... suction hole, 84a ... spot facing, 99 ... glass substrate

Landscapes

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Abstract

　気体流による対象物へのストレスを緩和する技術を提供する。　支持用エアプレートは、支持面を有し、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、支持対象物を支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、複数の気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、第１有孔板状部の支持面側に隣接し、第１気体供給孔に対応する位置に、第１気体供給孔の一部と重なって第１気体供給孔と連通し、気体流を圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、気体流抵抗器の気体流を絞って噴出する気体流抵抗器の噴出口に対面し、気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる第１有孔板状部と第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対抗面と、を有している。

Description

支持用エアプレートおよびその気体流抵抗器
　本発明は、圧縮気体層により非接触で対象物を支持する支持用エアプレートに関し、特に、フラットパネルディスプレイやソーラーパネル等に用いられるガラス基板等を非接触状態で支持する支持用エアプレートに関する。
　フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）やソーラーパネルの製造においては、パネル用ガラス板の薄肉化および大型化、搬送の高速化および高精度化、ガラス基板に対するストレスフリー化が求められる。そのような要求を満たすために、ガラス板を気体層によって浮上させ、搬送する非接触搬送装置が用いられる。例えば、長辺が２４００ｍｍもあるようなガラス板を３０±５μｍの高さおよび精度で浮上させるといったことが要求される。
　特許文献１には、気体の旋回流を発生させてガラス板を支持する技術が開示されている。特許文献１の技術では、装置基体の搬送面に形成した凹部に旋回流形成体を収容し、その旋回流形成体の外周面を凹部の周囲に突設した盛上部によってかしめ接合している。本構成により搬送面上に気体の旋回流を発生させ、ガラス基板を非接触状態で支持する。
　特許文献２には、気体の上昇流を発生させてガラス基板を支持する技術が開示されている。上昇流形成体は、環状鍔部を、搬送用基板の上板に形成された収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合し、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させることで、収容孔部に装着されている。本構成により、上板上に気体の上昇流を発生させ、ガラス基板を非接触状態で支持する。
国際公開第２００９／１１９３７７号パンフレット 特開２０１２－１７６８２２号公報
　特許文献１の旋回流形成体はガラス基板に対向する基体の搬送面に装着される。旋回流形成体を通った気体が旋回しながらガラス基板に当たるとともに、旋回流の内側にガラス基板を基体に引き寄せる方向の気体の流れを生じるようになっている。
　また、特許文献２の上昇流形成体もガラス基板に対向する基板の搬送面に装着される。上昇流形成体から噴出した気体は直接に、あるいは気体同士が衝突した後に、あるいは上昇流形成体の内周の側壁に衝突した後に、ガラス基板に当たるようになっている。
　しかしながら、近年では、ＦＰＤやソーラーパネルは益々大型化、薄型化し、それに伴って搬送装置が支持すべきガラス板も大型化、薄型化している。そのため、気体流によりガラス基板に加わるストレスの緩和や、それにより圧力の均一化が従来よりも一層求められるようになっている。
　本発明の目的は、気体流による支持対象物へのストレスを緩和する技術を提供することである。
　本発明の一態様による支持用エアプレートは、支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、複数の前記気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、前記気体流を絞って噴出する前記気体流抵抗器の噴出口に対面し、前記気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、を有している。
　また、本発明の一態様による気体流抵抗器は、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面から浮上させた非接触状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、前記支持用エアプレートの装着部に装着され、供給される気体流を絞って、前記支持面に向かって間接的に噴出すことができる噴出口を有することを特徴とするものである。
　本発明によれば、支持用エアプレートから噴出された圧縮気体流の与える支持対象物へのストレスを緩和することができる。
第１の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。 気体経路プレート１２の表面の形状を示す図である。 体経路プレート１２の裏面の形状を示す図である。 ボトムプレート１３を表面側から見た図である。 第１の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な分解断面図である。 噴出ペレット１４の平面図（Ａ）と側断面図（Ｂ）とを示す図である。 噴出ペレット１４が取り付けられたトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。 吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２およびトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。 噴出ペレット１４のオリフィス流路近傍の断面図である。 第２の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。 噴出ペレット３４が取り付けられたトッププレート３１の気体供給孔３７の内部における気体の流れを示す図である。 第３の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。 噴出ペレット３４が取り付けられたペレット装着プレート５２とトッププレート５１の内部における気体の流れを示す図である。 第４の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。 第５の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。 第６の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。
　本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の説明においては同一の部材や部分に対して同一の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する場合がある。
　（第１の実施形態）
　図１は、第１の実施形態による浮上用エアプレート（支持用エアプレート）の概略的な断面図である。浮上用エアプレート１０は、支持面１１ａを有し、支持する対象物（支持対象物）であるガラス基板（不図示）と支持面１１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板を支持面１１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。
　図１を参照すると、浮上用エアプレート１０は、トッププレート１１、気体経路プレート１２（平板）、ボトムプレート１３、噴出ペレット１４（気体流抵抗器）、および吸引ペレット１５（吸込用気体流抵抗器）を有している。
　トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３は、共に、アルミニウム等の金属材料で製作されている板形状の部材である。バイメタル効果により温度変化で反りが生じるのを防ぐため、トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３を同じ材質に揃えるのが好ましい。それぞれ高精度に平面研削加工し、孔や溝を設けることにより、製作される。トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３には不図示の組み付け用孔とタップ加工が施されており、ボルトによって互いに組み付けられる。更に、ガラス基板を搬送する不図示の搬送装置など相手フレームに組み付けるため、浮上用エアプレート１０にはボルト取り付け用孔が設けられている。
　一方、噴出ペレット１４および吸引ペレット１５は樹脂材料等からなる射出成型品であり、トッププレート１１や気体経路プレート１２に設けられた孔に挿入される。
　以下、それぞれについて詳細に説明する。
　トッププレート１１は、板厚方向に貫通する複数の噴出孔１７と複数の吸引孔１８が交互に配置された有孔板状部材である。噴出孔１７は、支持面１１ａとガラス基板との間に圧縮気体を噴出して圧縮気体層を形成させてガラス基板を浮上させるための孔であり、吸引孔１８は、圧縮気体層から気体を吸引してガラス基板の浮上高さを安定させるための孔である。
　噴出孔１７および吸引孔１８を配置するピッチは、支持する対象物であるガラス基板の厚さに合わせて設定される。薄いガラス基板には密なピッチ、厚いガラス基板には疎なピッチを採用するのが経済的にも変形を抑える上でも好ましい。トッププレート１１の一方の面が、ガラス基板を浮上させた非接触状態で支持するための支持面１１ａを構成する。以下、トッププレート１１における、ガラス基板を支持する一方の面である支持面１１ａの他方の面を裏面１１ｂということにする。
　噴出孔１７は、支持面１１ａ側と裏面１１ｂ側とで内径寸法が異なる貫通穴であり、支持面１１ａ側にある裏面１１ｂ側に設置された孔より内径寸法の小さな小径孔部１７ｂ（第２気体供給孔）と、裏面１１ｂ側にある小径孔部１７ｂに連接して小径孔部１７ｂより内径寸法の大きな大径孔部１７ａ（第１気体供給孔）とからなる段付き孔構造となっており、噴出孔１７の大径孔部１７ａに噴出ペレット１４が挿入される。一例として、大径孔部１７ａは内径φ８ｍｍであり、小径孔部１７ｂは内径φ２．５ｍｍである。
　吸引孔１８も噴出孔１７と同様に、支持面１１ａ側が裏面１１ｂ側より内径の小さな小径孔部１８ｂと裏面１１ｂ側が小径孔１８ｂより内径の大きな大径孔部１８ａとが連接してなる段付き孔構造となっている。一例として、大径孔部１８ａは内径φ８ｍｍであり、小径孔部１８ｂは内径φ４ｍｍである。ただし、吸引孔１８にはペレットは挿入されないので段付き構造でなくてもよい。
　気体経路プレート１２は、トッププレート１１の裏面１１ｂに密着させて設置される面である表面１２ａと、表面１２ａに対面する逆側の面である裏面１２ｂとを有する。
　気体経路プレート１２の表面１２ａ部にはトッププレート１１の複数の噴出孔１７を互いに接続する給気溝２１（気体供給路）が形成されている。更に、気体経路プレート１２には、所定の位置で、給気溝２１と連通し、裏面１２ｂまで貫通する給気孔１９が設けられている。
　また、気体経路プレート１２には、トッププレート１１の各吸引孔１８と連通する位置で表面１２ａから裏面１２ｂまで貫通する複数の吸引孔２０が設けられている。更に、気体経路プレート１２の裏面１２ｂには、複数の吸引孔２０を互いに連通させる吸引溝２２が形成されている。吸引孔２０は、裏面１２ｂ側と表面１２ａ側とで内径寸法が異なる貫通穴であり、裏面１２ｂ側にあり、表面１２ａ側に設置された孔より内径寸法の小さくなった小径孔部２０ｂと、表面１２ａ側にあり小径孔部２０ｂに連接して小径孔部２０ａより内径寸法の大きな大径孔部２０ａからなる段付き孔形状となっており、その吸引孔２０の大径孔部２０ａに吸引ペレット１５が挿入されている。
　気体経路プレート１２の表面１２ａ部にある給気溝２１と裏面１２ｂ部にある吸引溝２２とは板厚方向において互いに干渉しない深さとなっている。一例として、給気溝２１および吸引溝２２がいずれも幅８ｍｍで、深さ３．５ｍｍであり、気体経路プレート１２の板厚は７ｍｍより大きい厚さである。
　図２は、気体経路プレート１２の表面１２ａ側の形状を示す図である。
　図２を参照すると、気体経路プレート１２の表面１２ａに、給気溝２１が網目状に形成されており、その給気溝２１の所定部位において裏面１２ｂまで貫通する給気孔１９が連通している。給気溝２１は、開口面２１ａがトッププレート１１の裏面１１ｂで塞がれ、トッププレート１１の各噴出孔１７と連通し、給気孔１９から供給される気体をトッププレート１１の噴出孔１７へ供給する経路をなす（図１参照）。
　また、気体経路プレート１２の表面１２ａ部には、トッププレート１１の吸引孔１８と連通する位置に、裏面１２ｂまで貫通する吸引孔２０がある。
　図３は、気体経路プレート１２の裏面１２ｂ側の形状を示す図である。
　気体経路プレート１２の裏面１２ｂ部には、複数の吸引孔２０を互いに連通させる吸引溝２２が網目状に設けられている。吸引溝２２は、開口面２２ａがボトムプレート１３の表面１３ａで塞がれ、各吸引孔２０を通して吸引する気体の経路をなす（図１参照）。
　ここでは一例として吸引溝２２は３つの系統に分割されている。ガラス基板を浮上させた状態で搬送する際、吸引溝２２で連通している全ての吸引孔１８の上方にガラス基板がある状態と、一部の吸引孔１８の上方だけにガラス基板があり、残りの吸引孔１８の上方が開放されている状態とでは、圧縮気体層によりガラス基板に加わる力が異なる。本実施形態では、吸引溝２２を３つの系統に分割することで、各系統によって連通されている全ての吸引孔１８が搬送されていくガラス基板によって早期に覆われ、搬送中のガラス基板に加わる力を安定させるようにしている。気体経路プレート１２における吸引溝２２の系統間は、図３のように完全に分離されて全く連通していなくてもよく、限られた部分だけで連通していてもよい。
　また、気体経路プレート１２の裏面１２ｂ部には、表面１２ａ部の給気溝２１と連通する貫通孔である給気孔１９がある。
　図４は、ボトムプレート１３を表面１３ａ側から見た図である。
　ボトムプレート１３は、気体経路プレート１２の裏面１２ｂに密接させて設置される面である表面１３ａと、表面１３ａに対面する逆側の面である裏面１３ｂを有する（図１参照）。
　ボトムプレート１３には、気体経路プレート１２の給気孔１９に圧縮気体を供給するための給気口２３が、給気孔１９と連通する所定位置に板厚方向に貫通した状態で形成されている。また、ボトムプレート１３には、各系統の吸引溝２２から気体を吸引するための吸引口２４が各系統の吸引溝２２と連通する所定位置に板厚方向に貫通した状態で形成されている。ボトムプレート１３の表面１３ａは気体経路プレート１２の裏面１２ｂに密接させた状態で設置しているため、吸引溝２２の開口面２２ａを塞ぐ蓋の役割を果たし、吸引口２４から各系統の全ての吸引溝２２の気体の吸引を可能にする。
　給気口２３には不図示のポンプが接続され、ポンプから給気口２３に圧縮気体が供給される。給気口２３に供給された圧縮気体は、気体経路プレート１２の給気孔１９および給気溝２１を介してトッププレート１１の各噴出孔１７に送られ、噴出ペレット１４を通って圧縮気体層に供給される。
　また、吸引口２４には不図示の真空ポンプが接続され、真空ポンプの吸気により、気体が圧縮気体層からトッププレート１１の吸引孔１８を通って吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２に吸引され、更にボトムプレート１３の吸引口２４から真空ポンプに吸引される。
　図５は、第１の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な分解断面図である。
　噴出ペレット１４は、図５の矢印に示されるように、トッププレート１１の噴出孔１７に裏面１１ｂ側から挿入され、噴出孔１７の大径孔部１７ａ内部に取り付けられる。噴出ペレット１４の外径１４ｅと噴出孔１７の大径孔部１７ａの内径１７ｃは同一の寸法であるか、あるいは噴出ペレット１４の外径１４ｅが噴出孔１７の大径孔部１７ａの内径１７ｃよりも僅かに大きくなっており、噴出ペレット１４を噴出孔１７の大径孔部１７ａに挿入すると圧入状態となり、気体が漏れないように噴出ペレット１４の外周面１４ｆと噴出孔１７の大径孔部１７ａの内周面１７ａａの間が封止される。
　図６は、噴出ペレット１４の平面図（Ａ）と側断面図（Ｂ）である。
　図６を参照すると、噴出ペレット１４は、水平方向に配置された抵抗板１４ａと、抵抗板１４ａの外周面と内周面で当接し、抵抗板１４ａと一体的に形成された管形状、より具体的には円筒形状の管状部１４ｃとを有している。抵抗板１４ａには、複数の円環状のオリフィス流路１４ｂ（貫通孔）が板厚方向に貫通した状態で設置されている。
　噴出ペレット１４は、抵抗板１４ａの裏面１４ａａ側から供給される気体流を、所望の流路抵抗を有する抵抗流路となるオリフィス流路１４ｂで絞って噴出すことにより、ガラス基板（不図示）とトッププレート１１の支持面１１ａとの間の圧縮気体層に所望の剛性を与えることを可能にする。噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂの支持面１１ａ側の開口部、すなわち気体を噴出す噴出口１４ｂａは、噴出ペレット１４の中心軸１４ｄから所定距離以上離れた位置に設けてある。噴出口１４ｂａの噴出ペレット１４の中心軸１４ｄからの距離や噴出口１４ｂａの設置数は、オリフィス流路１４ｂの構成やガラス基板が許容するストレスなどに基づいて適宜選択すればよい。本実施形態では一例として、噴出口１４ｂａは、中心軸１４ｄからのピッチ直径（ＰＣＤ）が６ｍｍであり、個数は６個である。
　トッププレート１１の噴出孔１７の近傍に着目すると、上述したように、噴出孔１７は内径の異なる２つの部分（大径孔部１７ａ、小径孔部１７ｂ）からなる段付き孔構造となっている。すなわち、トッププレート１１は、噴出ペレット１４の外径と一致するかまたは僅かに小さい内径の大径孔部１７ａを具備した裏面１１ｂ側の有孔板状部１１ｃ（第１有孔板状部）と、噴出ペレット１４の外径１４ｅよりも小さい内径の小径孔部１７ｂを具備した支持面１１ａ側の有孔板状部１１ｄ（第２有孔板状部）とからなっている。
　噴出孔１７の段付き構成による大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの内径の相違により、中心軸１４ｄから所定距離以上離れた位置に設けられた噴出ペレット１４の噴出口１４ｂａに対向する大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの境界部に気体流対向面１１ｅが形成されている。すなわち、噴出ペレット１４の噴出口１４ｂａは、噴出孔１７の小径孔部１７ｂの内周面より外周側に位置している。噴出ペレット１４の噴出口１４ｂａから噴出した気体流は、気体流対向面１１ｅによって拡散され、噴出孔１７の小径孔部１７ｂから圧縮気体層に供給される。
　図５に戻り、吸引ペレット１５は、気体経路プレート１２の吸引孔２０に表面１２ａ側から挿入され、吸引孔２０の大径孔部２０ａの内部に取り付けられる。吸引ペレット１５は、抵抗板１４ａと管状部１４ｃを有する噴出ペレット１４と同様の形状を有している。ただし、吸引ペレット１５の外径、長さ、抵抗板の位置、オリフィス流路の個数、位置、内径など各部の寸法は噴出ペレット１４の各寸法と異なっていてもよい。
　図７は、噴出ペレット１４が取り付けられたトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。図７を参照すると、トッププレート１１の裏面１１ｂ（図中の下側の面）から噴出孔１７の大径孔部１７ａに圧縮気体が供給される。この圧縮気体は、噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂで絞られ、オリフィス流路１４ｂの噴出口１４ｂａから噴出する。オリフィス流路１４ｂの噴出口１４ｂａの上方には気体流対向面１１ｅがあるので、気体流はその気体流対向面１１ｅによって拡散される。拡散された気体流は噴出孔１７の小径孔部１７ｂを通って支持面１１ａの上方に噴出する。
　具体的には、オリフィス流路１４ｂで細く絞られた気体流が気体流対向面１１ｅに突き当たる。気体流対向面１１ｅで気体流が拡散され、速度を落として噴出孔１７の小径孔部１７ｂに集約され、ガラス基板に向けて噴出する。
　本実施形態によれば、オリフィスとなる多数の微細径の孔加工が必要な部分をオリフィスを具備した複数の樹脂射出成型品を用いることで、大きなプレートの全面に直接多数の微細な孔を加工する必要が無いため、製造が極めて容易であり、加工時間も短縮されている。
　また、本実施形態によれば、オリフィス流路１４ｂによって所望値の流路抵抗が与えられた気体流が気体流対向面１１ｅによって拡散された後に支持面１１ａの上方の圧縮気体層に供給されるので、流路抵抗によって圧縮気体層に所望の剛性、すなわち均一な速度と圧力を与えるとともに、気体流対向面１１ｅでガラス基板へ与えるストレスを緩和することが可能となっている。
　また、本実施形態では、図６に示したように、噴出ペレット１４において、抵抗板１４ａは、管状部１４ｃの上部側端面１４ｃａから管状部１４ｃの軸方向に所定距離だけ管状部１４ｃの下部側端面１４ｃｂ方向に入った位置にて、管状部１４ｃと接続されている。管状部１４ｃの上部側端面１４ｃａから軸方向に０．１～０．２ｍｍだけ下部側端面１４ｃｂの方向に入った位置にて抵抗板１４ａを配置するのが好ましい。本構成により、図７に示したように、噴出ペレット１４を、噴出孔１７の段付き部分の段、すなわち大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの境界部分の段に突き当たるように取り付けることでオリフィス流路１４ｂから噴出した気体流を緩和するための空間を確保することが可能となっている。
　なお、噴出ペレット１４およびオリフィス流路１４ｂの位置をできるだけ支持面１１ａの近くにすることで、気体流を絞って流路抵抗を加える効果を維持し、自励振動が起こるのを抑制することができる。一例として、トッププレート１１の有孔板状部１１ｄは５ｍｍ以下が好ましい。
　図８は、吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２およびトッププレート１１のそれぞれの吸引孔２０、吸引孔１８の内部における気体の流れを示す図である。トッププレート１１の支持面１１ａから吸引孔１８に向けて吸引された気体は、吸引孔１８を通って気体経路プレート１２に達する。気体経路プレート１２に達した気体は吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａを通って絞られ、所望の流路抵抗が加えられ、吸引溝２２で形成された流路を経て、気体経路プレートの裏面１２ｂから吸引される。
　吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａは、例えば噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂからの気体の噴出量を相殺する吸引量の気体を吸引できるように設計されている。このときオリフィス流路１４ｂの内外の圧力バランスを考慮した設計が行われる。オリフィス流路１４ｂを通過して噴出孔１７から圧縮気体層に噴出された気体は噴出する前の噴出孔１７内にある気体よりも膨張しているので、吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａの断面積は噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂの断面積よりも大きく設定される。
　図９は、噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂ近傍の断面図である。
　噴出ペレット１４の抵抗板１４ａにはオリフィス流路１４ｂが抵抗板１４ａの板厚方向に貫通した状態で配置されている。オリフィス流路１４ｂは、所望値の流路抵抗を気体流に対して加える抵抗部となっており、本実施形態の例ではさらに第１抵抗部１４ｂＲ１と第２抵抗部１４ｂＲ２と抵抗部連結部１４ｂｂに分かれている。流路抵抗は、流路の入力側と出力側の圧力差と、気体の流量との比を表す。
　第１抵抗部１４ｂＲ１は一例として円柱形であり、その流路抵抗ｒ１は第１抵抗部１４ｂＲ１の断面積Ｓ１および長さｄ１によって、ｒ１＝ａ１（ｄ１／Ｓ１）と表すことができる。また、同様に第２抵抗部１４ｂＲ２も円柱形の場合、その流路抵抗ｒ２は第２抵抗部１４ｂＲ２の断面積Ｓ２および長さｄ２によって、ｒ２＝ａ２（ｄ２／Ｓ２）と表すことができる。ａ１、ａ２は所定の係数である。なお、抵抗を段階的に大きくするためにここでは一例として、第１抵抗部１４ｂＲ１の流路抵抗ｒ１が第２抵抗部１４ｂＲ２の流路抵抗ｒ２よりも十分に小さくなるように設計する。例えば、第１抵抗部１４ｂＲ１の内径Ｒ１がφ１．０～６．０ｍｍで、長さｄ１が１．０～６．０ｍｍで、第２抵抗部１４ｂＲ２の内径Ｒ２がφ０．０５～０．４ｍｍで、長さｄ２が０．２～３．０ｍｍにて設定するのが好ましい。
　また例えば同一形状のオリフィス流路１４ｂがｎ個ある場合、噴出ペレット１４所望の流路抵抗Ｒは、Ｒ＝ｒ２／ｎと表すことができる。本実施形態の例では、上述のようにｎ＝６個である。噴出ペレット１４におけるオリフィス流路１４ｂの個数ｎ、オリフィス流路１４ｂの抵抗部の断面積Ｓ１、Ｓ２および長さｄ１、ｄ２を適切に選択することにより、所望の流路抵抗Ｒを得ることができる。また、抵抗部連結部１４ｂｂは、第１抵抗部１４ｂＲ１と第２抵抗部１４ｂＲ２を連結させると共に、抵抗を流路抵抗ｒ１から流路抵抗ｒ２へ段階的に大きくする効果を有する。オリフィス流路１４ｂの抵抗を段階的に大きくすることで、所望の流路抵抗Ｒを得つつ、抵抗板１４ａを所望の厚みとして十分な強度を確保することができる。すなわち本実施形態の例では抵抗部を２段階としたが、３段階以上に設計してもよい。
　また、図９の例では、オリフィス流路１４ｂの抵抗部連結部１４ｂｂがテーパ形状となっているが、抵抗を流路抵抗ｒ１から流路抵抗ｒ２へ段階的に大きくする効果を有している形状であれば、テーパ形状でなくてもよい。
　また、上述した、絞り効果を維持して自励振動を抑制する効果をできるだけ高めるために、より抵抗の大きな第２抵抗部１４ｂＲ２を抵抗板１４ａの噴出口１４ｂａ側（支持面１１ａ側）に配置している。
　なお、本実施形態の浮上用エアプレート１０は、噴出ペレット１４および吸引ペレット１５を備え、支持面１１ａから圧縮気体層に気体を噴出すとともに、圧縮気体層から気体を吸引することにより、支持された対象物の高さを安定させ、また制御ノイズや搬送等による振動に対する耐性を高めている。さらに、吸引孔１６にも流路抵抗を与える吸引ペレット１５を設けることで、吸引力の変化を抑える効果も得ている。しかしながら、本発明がこの構成に限定されることはない。他の例として、支持面１１ａから気体を噴出すのみの浮上用エアプレートにも本発明は適用することができる。
　また、本実施形態では、気体経路プレート１２の吸引溝２２だけが三分割されているが、実施形態がこれに限定されることはない。例えば、給気溝２１も吸引溝２２と同様に複数に分割されていてもよく、あるいは給気溝２１だけが複数に分割されていてもよい。また、三分割ではなく、二分割あるいは四分割、またはそれ以上に分割してもよい。
　また、本実施形態では、噴出孔１７の大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂとが同心円である例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。小径孔部１７ｂの軸心と大径孔部１７ａの軸心をずらして連通させてもよく、気体流対向面１１ｅが形成されていれば、どのような構成を採用してもよい。
　また、本実施形態における噴出ペレット１４および吸引ペレット１５はトッププレート１１あるいは気体経路プレート１２に一旦取り付けた後に取り外すことが可能であってもよい。その場合、更に、取り外した噴出ペレット１４あるいは吸引ペレット１５を再び取り付けることが可能であってもよい。これにより、例えば設計時あるいは設置時に、気体流量や形状の異なる複数の噴出ペレット１４あるいは吸引ペレット１５を順次試し、良好な性能が得られるものを選択することが可能となる。また、例えばメンテナンスとして、噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂあるいは吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａが目詰まりした場合に噴出ペレット１４あるいは吸引ペレット１５を取り外して清掃し、再び取り付けることが可能となる。
　以上説明したように、本実施形態では、支持用エアプレートは、
　支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、
　供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、
　複数の前記気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、
　前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と平面視において重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、
　前記気体流を絞って噴出する前記気体流抵抗器の噴出口に対面し、前記気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、
を有するものとなっている。
　また、本実施形態の気体流抵抗器は、
　支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面から非接触の状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、
　前記支持用エアプレートの装着部に装着され、供給される気体流を絞って、前記支持面に向かって間接的に噴出すことができる噴出口を有することを特徴とするものとなっている。
　また、本実施形態の支持用エアプレートでは、前記気体流抵抗器は、
　厚さ方向に気体の通る抵抗流路となる貫通孔と、前記抵抗流路の前記軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部がある抵抗板と、
　前記抵抗板を囲んで前記抵抗板と一体的に形成され、前記第１気体供給孔の内周面と一致する形状および寸法の外周面を有する管状部と、
を有する。
　また、本実施形態の支持用エアプレートでは、前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな抵抗を有するものとなっている。
　また、本実施形態の支持用エアプレートは、
　前記第１有孔板状部に取り付けられ、前記圧縮気体層から吸い込む気体流を細める複数の吸込用気体流抵抗器を更に有する、ものとなっている。
　また、本実施形態の気体流抵抗器は、
　貫通した孔からなり、気体流を絞る作用を有する抵抗流路を有し、当該抵抗流路の前記支持面側端部に前記噴出口を有する抵抗板と、
　内周面で前記抵抗板の外周面と当接し、前記抵抗板と一体的に形成された管状部と、
を有する、ものとなっている。
　また、本実施形態の気体流抵抗器は、
　前記抵抗流路の軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部を有する。
　また、本実施形態の気体流抵抗器は、
　前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな抵抗を有するものとなっている。
　また、本実施形態の気体流抵抗器では、
　前記抵抗板は前記管状部の一方の端面から所定距離にある位置で前記管状部と接続されている。
　（第２の実施形態）
　図１０は、第２の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。第２の実施形態による浮上用エアプレート３０は、第１の実施形態のものと同様に、支持面３１ａを有し、ガラス基板９９と支持面３１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板９９を支持面３１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。
　また、噴出ペレット３４と吸引ペレット３５共に、第１の実施形態の噴出ペレット１４、吸引ペレット１５とそれぞれ同様の構造を有している。
　ただし、第２の実施形態による浮上用エアプレート３０は、噴出ペレット３４と吸引ペレット３５の双方ともに、支持面３１ａを形成するトッププレート３１に挿入される点で、第１の実施形態のものと異なっている。
　図１０を参照すると、浮上用エアプレート３０は、トッププレート３１、気体経路プレート３２、ボトムプレート３３、噴出ペレット３４、および吸引ペレット３５を有している。
　トッププレート３１は、第１の実施形態のトッププレート１１と同様に、複数の噴出孔３７と複数の吸引孔３８が交互に配置された有孔板状部材である。トッププレート３１の開放側表面が支持面３１ａを構成する。
　噴出孔３７は、第１の実施形態の噴出孔１７と同様に、支持面３１ａ側と裏面３１ｂ側とで内径寸法の異なる貫通穴であり、支持面３１ａ側に裏面３１ｂ側に設置された孔より内径寸法の小さい小径孔部３７ｂと裏面３１ｂ側に小径孔部３７ｂに連接し小径孔部３７ｂより内径寸法の大きな大径孔部３７ａとからなる段付き孔構造となっており、その内径の大きな大径孔部３７ａに噴出ペレット３４が挿入されている。
　すなわち、トッププレート３１は、噴出ペレット３４の外径と一致するかまたは僅かに小さい内径の大径孔部３７ａを有する裏面３１ｂ側の有孔板状部３１ｃと、噴出ペレット３４の外径よりも小さい内径の小径孔部３７ｂを有する支持面３１ａ側の有孔板状部３１ｄとからなっている。
　噴出孔３７の大径孔部３７ａに噴出ペレット３４が圧入されることで、噴出孔３７の大径孔部３７ａの内周面３７ａ１と噴出ペレット３４の外周面３４ｃ１間は封止される。また、噴出ペレット３４の上部側端面３４ｃａ側から下部側端面３４ｃｂ側までの軸心方向の長さとトッププレート３１の大径孔部３７ａの長さとは一致している。そのため、トッププレート３１に噴出ペレット３４を挿入し、トッププレート３１の裏面３１ｂに気体経路プレート３２の表面３２ａを密接させると、噴出ペレット３４の軸心方向である厚さ方向の動きが規制され、安定する。
　また、本実施形態のトッププレート３１にある吸引孔３８は、上述した噴出孔３７と同様に、支持面３１ａ側の内径が裏面３１ｂ側の内径よりも小さい段付き孔となっている。そして第１の実施形態とは異なり、トッププレート３１の吸引孔３８の大径孔部３８ａに吸引ペレット３５が挿入されている。吸引孔３８の大径孔部３８ａに吸引ペレット３５が圧入されることで、吸引孔３８の大径孔部３８ａの内周面３８ａ１と吸引ペレット３５の外周面３５ｃ１の間が封止される。
　本第２の実施形態の気体経路プレート３２は、第１の実施形態の気体経路プレート１２と同様に、表面３２ａをトッププレート３１の裏面３１ｂに密接させて設置される。
　気体経路プレート３２の表面３２ａには、トッププレート３１の複数の噴出孔３７を互いに接続する給気溝３９が網目状に形成されている。更に、気体経路プレート３２には、所定の位置で、給気溝３９と連通し、裏面３２ｂまで貫通する給気孔（不図示）が設けられている。
　また、気体経路プレート３２には、トッププレート３１の各吸引孔３８と連通する位置で表面３２ａから裏面３２ｂまで貫通する複数の吸引孔４１が設けられている。更に、気体経路プレート３２の裏面３２ｂには、複数の吸引孔４１を互いに連通させる吸引溝４０が網目状に形成されている。
　なお、給気溝３９または吸引溝４０のいずれか一方または両方は、第１の実施形態の吸引溝２２と同様に、複数に分割されていてもよい。
　ボトムプレート３３は、表面３３ａを気体経路プレート３２の裏面３２ｂに密接させて設置される。ボトムプレート３３には、気体経路プレート３２の給気溝３９に気体を供給するための給気口（不図示）が給気溝３９と連通する所定位置に貫通した状態で設置されている。また、ボトムプレート３３には、吸引溝４０から気体を吸引するための吸引口（不図示）が吸引溝４０と連通する所定位置に貫通した状態で設置されている。給気口にはポンプが接続され、吸引口には真空ポンプが接続される。
　なお、本実施形態の噴出ペレット３４は、図６に示した第１の実施形態のものと、形状、構造、および大きさが同じであるとする。
　また、本実施形態の噴出ペレット３４のオリフィス流路の形状、構造、および大きさも、図９に示した第１の実施形態のものと同じであるとする。すなわち、オリフィス流路の一部が、所定の断面積および長さにより流路抵抗を規定する抵抗部となっている。
　図１１は、噴出ペレット３４が取り付けられたトッププレート３１の噴出孔３７の内部における気体の流れを示す図である。
　第１の実施形態と同じように、トッププレート３１が内径寸法が異なる噴出孔３７の大径孔部３７ａと小径孔部３７ｂをそれぞれ有する２つの有孔板状部３１ｄ、３１ｃで構成されているため、トッププレート３１の噴出孔３７は段付き孔となっており、その段付き構成により、中心軸３４ｄから所定距離以上離れた位置に設けられた、噴出ペレット３４の噴出口３４ｂａに対向する位置に気体流対向面３１ｅが構成されている。
　トッププレート３１の裏面３１ｂ側から噴出孔３７に気体が供給されると、気体は、噴出ペレット３４の抵抗板３４ａを貫通しているオリフィス流路３４ｂを通過することにより絞られる。オリフィス流路３４ｂの噴出口３４ｂａの対向対抗する上方に気体流対向面３１ｅがあるので、気体流はその気体流対向面３１ｅによって拡散される。拡散された気体流は噴出孔３７の小径孔部３７ｂを通って支持面３１ａの上方に噴出する。
　本第２の実施形態によっても、第１の実施形態と同様、オリフィス流路３４ｂによって所望値の流路抵抗が与えられた気体流が気体流対向面３１ｅによって拡散された後に圧縮気体層に供給されるので、流路抵抗によって圧縮気体層に所望の剛性、すなわち均一な速度と圧力を与えるとともに、気体流対向面３１ｅでガラス基板９９へ与えるストレスを緩和することが可能となっている。
　（第３の実施形態）
　図１２は、第３の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。第３の実施形態による浮上用エアプレート５０は、第２の実施形態のものと同様に、支持面５１ａを有し、ガラス基板９９と支持面５１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板９９を支持面５１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。噴出ペレット３４および吸引ペレット３５が同一のプレートに挿入される点も第２の実施形態と共通している。
　ただし、第３の実施形態による浮上用エアプレート５０は、第２の実施形態におけるトッププレート３１に相当する部分が、第２の実施形態とは異なり、トッププレート５１とペレット装着プレート５２という２つの部材で構成されている。つまり、第２の実施形態のトッププレート３１における噴出ペレット３４の外径と一致するかまたは僅かに小さい内径の噴出孔３７を具備した裏面３１ｂ側の有孔板状部３１ｃと、噴出ペレット３４の外径よりも小さい内径の噴出孔３７を具備した支持面３１ａ側の有孔板状部３１ｄとが、第３の実施形態では、それぞれ別個の部材であるトッププレート５１と装着プレート５２とからなっている。
　トッププレート５１の裏面５１ｂとペレット装着プレート５２の表面５２ａとを密接させると、トッププレート５１の小径孔部５３とペレット装着プレート５２の大径孔部５４とが連通し、第２の実施形態の噴出孔３７に相当する段付き孔が構成される。噴出ペレット３４は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４に装着される。
　吸引孔としても、トッププレート５１とペレット装着プレート５２が密接されると、第２の実施形態における吸引孔３８と同じ構成の段付き孔が形成され、そこに吸引ペレット３５が装着される。
　なお、本実施形態では、一例として、ペレット装着プレート５２の厚さと、噴出ペレット３４の厚さと、吸引ペレット３５の厚さが全て一致する。そのため、ペレット装着プレート５２に噴出ペレット３４および吸引ペレット３５を装着し、トッププレート５１、ペレット装着プレート５２、および気体経路プレート３２を互いに固定すると、気体流による圧力が加わる方向が逆である噴出ペレット３４と吸引ペレット３５の両方を同時に軸心方向である厚さ方向の動きを規制でき、安定させることができる。
　図１３は、噴出ペレット３４が取り付けられたペレット装着プレート５２とトッププレート５１の内部における気体の流れを示す図である。
　トッププレート５１の小径孔部５３およびペレット装着プレート５２の大径孔部５４で構成された段付き孔の段部境界部により、中心軸３４ｄから所定距離だけ離れた位置に設けられた、噴出ペレット３４の噴出口３４ｂａに対向する気体流対向面５１ｃが形成されている。
　ペレット装着プレート５２の裏面５２ｂ側から大径孔部５４に圧縮気体が供給されると、この圧縮気体は、噴出ペレット３４のオリフィス流路３４ｂで絞られる。オリフィス流路３４ｂの噴出口３４ｂａの上方に気体流対向面５１ｃがあるので、オリフィス流路３４ｂで絞られた気体流はその気体流対向面５１ｃによって拡散される。拡散された気体流は小径孔部５３を通って支持面５１ａの上方に噴出する。
　（第４の実施形態）
　図１４は、第４の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。本実施形態による浮上用エアプレートは、第３の実施形態の浮上用エアプレート５０とはペレット形状だけが異なっている。本実施形態のペレットはペレットの外周面を一周する突起を設けることで封止を実現する。噴出ペレットおよび吸引ペレットの両方とも第３の実施形態のものとは異なるが、どちらも同じ封止構造なので、ここでは噴出ペレット６１のみについて説明することにする。
　図１４を参照すると、噴出ペレット６１は、抵抗板６１ａ、管状部６１ｃ、および封止部６１ｄを有している。抵抗板６１ａには板厚方向に貫通した複数のオリフィス流路６１ｂが形成されている。
　オリフィス流路６１ｂの位置、形状、大きさ、個数は、一例として、図６および図９に示した第１の実施形態のものと同じである。
　噴出ペレット６１の管状部６１ｃの外周面６１ｃａの径は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４の内径よりも小さくなっている。管状部６１ｃの外周面６１ｃａには、噴出ペレット６１を一周する周状突起である封止部６１ｄが一体的に設けられている。封止部６１ｄの頂点での外径寸法は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４内径寸法よりも僅かに大きくなっており、噴出ペレット６１をペレット装着プレート５２の大径孔部５４に挿入すると、封止部６１ｄが大径孔部５４の内周面に当接し、噴出ペレット６１の管状部６１ｃの外周面６１ｃａと大径孔部５４の内周面５４ａとの間を封止する。
　そのため、気体流が噴出ペレット６１のオリフィス流路６１ｂを通らずに、支持面５１ａ上の圧縮気体層に漏れるのを防止することができる。それとともに、管状部６１ｃの外径寸法自体が大径孔部５４の内径寸法よりも小さいので、第１の実施形態と比べると、噴出ペレット６１を大径孔部５４に弱い力で圧入することが可能となる。このため、ペレット装着プレート５２の反りの原因となりうる、噴出ペレット６１を挿入するときに大径孔部５４を押し広げようとする力が低減されている。
　また、封止部６１ｄは、管状部６１ｃの外周面６１ｃａのどの位置に設置しても、目的を達成することは可能であるが、特に、本実施形態のように、噴出ペレット６１の軸心方向である高さ方向の中央近傍すなわちペレット装着プレート５２の厚さ方向の中央近傍で大径孔部５４の内周面に当接させると、ペレット装着プレート５２の表面５２ａ側と裏５２ｂ側とで大径孔部５４を広げようとする力の片寄りが小さく、ペレット装着プレート５２の反りの原因を低減させることができる。
　また、本実施形態では、封止部６１ｄを１個設置しているが、複数個設置することも可能である。
　以上説明したように、本実施形態によれば、支持用エアプレートは、
　気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を有するものとなっている。
　また、本実施形態の支持用エアプレートでは、
　前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記第１気体供給孔の内周面と対面する外周面に設けられた周状突起であり、
　前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に取り付けられると、前記周状突起が前記第１気体供給孔の内周面に当接する、ものである。
　また、本実施形態の支持用エアプレートでは、
前記周状突起は、前記第１有孔板状部の厚さ方向の中央近傍で前記第１気体供給孔の前記内周面に当接する、ものである。
　また、本実施形態の気体流抵抗器は、
　気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を有する、ものとなっている。
　また、本実施形態の気体流抵抗器では、
　前記封止部は、前記管状部の外周面を連続して一周する周状突起である。
　（第５の実施形態）
　図１５は、第５の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。本実施形態の浮上用エアプレートは、第３の実施形態とはペレットだけが異なっている。本実施形態のペレットは、第４の実施形態のペレットと同様に封止のための構造を備えている。しかし、その構造は第３の実施形態のものとは異なっている。
　本実施形態のペレットは、管状部７１ｃの両端面をなす上部側端面７１ｃａおよび下部側端面７１ｃｂに設けた環状の突起で封止を実現するものである。なお、本実施形態の噴出ペレットと吸引ペレットは封止の構造が同じであるため、ここでは噴出ペレットのみについて説明することにする。
　図１５を参照すると、噴出ペレット７１は、抵抗板７１ａ、管状部７１ｃ、および封止部７１ｄ１、７１ｄ２を有している。抵抗板７１ａには、板厚方向に貫通している複数のオリフィス流路７１ｂが形成されている。
　オリフィス流路７１ｂの位置、形状、大きさ、個数は、一例として、図６および図９に示した第１の実施形態のものと同じである。
　噴出ペレット７１の管状部７１ｃの外径寸法は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４の内径寸法よりも小さくなっている。管状部７１ｃの軸心方向の厚さ７１ｃｃは、ペレット装着プレート５２の厚さ５２ｃと一致、あるいは僅かに小さくなっている。
　封止部７１ｄ１は、管状部７１ｃの上部側端面７１ｃａ（支持面側端面）に一体的に設けられた環状の突起（環状突起）である。封止部７１ｄ２は、管状部７１ｃの下部側端面７１ｃｂ（逆側端面）に一体的に設けられた環状の突起である。管状部７１ｃの軸心方向の厚さ７１ｃｃと、封止部７１ｄ１の高さ７１ｄ１ａと、封止部７１ｄ２の高さ７１ｄ２ａとの合計は、ペレット装着プレート５２の厚さ５２ｃより僅かに大きくなっている。そのため、噴出ペレット７１をペレット装着プレート５２に挿入し、トッププレート５１の裏面５１ｂとペレット装着プレート５２の表面５２ａを密接させ、ペレット装着プレート５２の裏面５２ｂと気体経路プレート３２（平板）の表面３２ａを密接させて固定すると、封止部７１ｄ１がトッププレート５１の裏面５１ｂに当接し、封止部７１ｄ２が気体経路プレート３２の表面３２ａと当接する。これにより、噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａおよび下部側端面７１ｃｂでの気体の漏れを防止する封止が実現される。
　なお、本実施形態では、噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａと下部側端面７１ｃｂの両方に封止部７１ｄ１、７１ｄ２を設ける例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａと下部側端面７１ｃｂのいずれか一方の端面のみに封止部を設けることにしてもよい。いずれか一方だけを封止すれば、オリフィス流路７１ｂを通らずに圧縮気体層に気体が漏れるのを防止することは可能である。
　以上説明したように、本実施形態によれば、支持用エアプレートは、
　前記第１有孔板状部の前記支持面側の逆側にある面に隣接して設置され、前記第１有孔板状部の前記第１気体供給孔に取り付けられた前記気体流抵抗器に気体を供給する気体供給路を形成する平板を有し、
　前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記支持面側端面および前記支持面の逆側端面の少なくともいずれか一方に設けられた環状突起であり、前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に挿入され、前記平板が前記第１有孔板状部に密接して設置されると、少なくとも前記支持面側端面の環状突起が前記気体流対向面に当接する、または少なくとも前記支持面の逆側端面の環状突起が前記平板に当接する、ものとなっている。
　また、本実施形態の気体流抵抗器では、
　前記封止部は、前記管状部のいずれか一方または両方の端面に環状に設けられた環状突起である。
　（第６の実施形態）
　図１６は、第６の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。第６の実施形態による浮上用エアプレート８０は、ペレットを装着する部分が支持面を提供する部材と一体である点では第２の実施形態と共通する。また、本実施形態による浮上用エアプレート８０は、噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａと下部側端面７１ｃｂにそれぞれ封止用の環状突起７１ｄ１と環状突起７１ｄ２が設けてあり、吸引ペレット７２の上部側端面７２ｃａと下部側端面７２ｃｂにそれぞれ封止用の環状突起７２ｄ１と環状突起７２ｄ２が設けてある点では第５の実施形態と共通する。ただし、更にＯリング（環状封止部材）による封止が追加されている点において、第２、５の実施形態のいずれとも異なる。
　図１６を参照すると、浮上用エアプレート８０は、トッププレート８１、気体経路プレート３２、ボトムプレート３３、噴出ペレット７１、吸引ペレット７２、およびＯリング８２を有している。
　噴出ペレット７１は、第５の実施形態において説明したものと同じものである。また、吸引ペレット７２は、基本的には噴出ペレット７１と同様のものである。ただし、オリフィス流路の位置、形状、寸法、個数などは、適宜異なるものを選択してもよい。
　本実施形態の支持面８１ａを提供するトッププレート８１は、第２の実施形態のトッププレート３１と類似しているが、裏面８１ｂ側にある噴出孔８３を囲む縁の部分（裏面端部あるいは逆側端部）に座ぐり部８１ｃが形成されている点で第２の実施形態のものと異なっている。すなわち、トッププレート８１の噴出孔８３の裏面８３ｂ側の縁が階段状になっている。
　そして、この座ぐり部８１ｃによって、トッププレート８１と噴出ペレット７１と気体経路プレート３２とで囲まれる空間が形成される。その空間に、ゴム製のＯリング８２が配置されている。Ｏリング８２は、トッププレート８１、噴出ペレット７１、および気体経路プレート３２の全てに当接して変形し、気体の漏れを防止する封止を実現する。
　また、トッププレート８１の吸引孔８４にも裏面８１ｂ側端部に座ぐり部８４ａが形成されている。すなわち、トッププレート８１の吸引孔８４の裏面８１ｂ側の縁も階段状になっている。そして、この座ぐり部８４ａによって形成されるトッププレート８１と吸引ペレット７２と気体経路プレート３２とで囲まれる空間には、やはり、Ｏリング８２が配置されている。
　なお、本実施形態では、噴出ペレット７１の管状部７１ｃの上部側端面７１ｃａおよび下部側端面７１ｃｂならびに吸引ペレット７２の管状部７２ｃの上部側端面７２ｃａおよび下部側端面７２ｃｂに設けられたそれぞれの環状突起による封止部７１ｄ１、７１ｄ２、および７２ｄ１、７２ｄによる封止に加えて、Ｏリング８２による封止を追加的に備える例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。他の例として、第２の実施形態の噴出ペレット３４および吸引ペレット３５と同様のペレットを採用し、本実施形態のＯリングによって封止を実現することにしてもよい。
　また、本実施形態では、トッププレート８１の噴出孔８３の裏面８１ｂ側端部に設けた座ぐり部８１ｃにＯリング８２を配置する例を示した。この構成は、トッププレート８１に対する簡単な加工でＯリング８２を配置する空間を形成できる点でメリットがあるが、必ずしも本発明がこれに限定されることを意味するものではない。他のいかなる構成を採用してＯリング８２を配置する空間を確保することにしてもよい。
　以上説明したように、本実施形態の支持用エアプレートでは、
　前記第１有孔板状部は、前記第１気体供給孔の前記支持面の逆側端部に座ぐり部を有し、
　前記封止部は環状封止部材であり、
　前記環状封止部材が前記座ぐり部に配置される。
　上述した各実施形態では、ガラスを水平に浮上させて支持する浮上用エアプレートを例に説明を行ったが、本発明がこれらに限定されることはない。他の例として、ガラスを垂直に支持する支持用エアプレートは、所定の角度に保って支持する支持用エアプレートにも本発明を適用することができる。
　また、上述した本発明の各実施形態は、本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲をそれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。当業者は、本発明の要旨を逸脱することなしに、他の様々な態様で本発明を実施することができる。
１０…浮上用エアプレート、１１…トッププレート、１１ａ…支持面、１１ｂ…裏面、１１ｃ…有孔板状部、１１ｄ…有孔板状部、１１ｅ…気体流対向面、１２…気体経路プレート、１２ａ…表面、１２ｂ…裏面、１３…ボトムプレート、１３ａ…表面、１３ｂ…裏面、１４…噴出ペレット、１４ａ…抵抗板、１４ａａ…裏面、１４ａｂ…表面、１４ｂ…オリフィス流路、１４ｂａ…噴出口、１４ｂｂ…抵抗部連結部、１４ｂｃ…表面側端面部、１４ｂＲ１…第１抵抗部、１４ｂＲ２…第２抵抗部、１４ｃ…管状部、１４ｃａ…上部側端面、１４ｃｂ…下部側端面、１４ｄ…中心軸、１４ｅ…外径、１４ｆ…外周面、１５…吸引ペレット、１５ａ…オリフィス流路、１７…噴出孔、１７ａ…大径孔部、１７ａａ…内周面、１７ｂ…小径孔部、１７ｃ…内径、１８…吸引孔、１８ａ…大径孔部、１８ｂ…小径孔部、１９…給気孔、２０…吸引孔、２０ａ…大径孔部、２０ｂ…小径孔部、２１…給気溝、２１ａ…開口面、２２…吸引溝、２２ａ…開口面、２３…給気口、２４…吸引口、３０…浮上用エアプレート、３１…トッププレート、３１ａ…支持面、３１ｂ…裏面、３１ｃ…有孔板状部、３１ｄ…有孔板状部、３１ｅ…気体流対向面、３２…気体経路プレート、３２ａ…表面、３２ｂ…裏面、３３…ボトムプレート、３３ａ…表面、３４…噴出ペレット、３４ａ…抵抗板、３４ｂ…オリフィス流路、３４ｂａ…噴出口、３４ｃ１…外周面、３４ｃａ…上部側端面、３４ｃｂ…下部側端面、３４ｄ…中心軸、３５…吸引ペレット、３５ｃ１…外周面、３７…噴出孔、３７ａ…大径孔部、３７ａ１…内周面、３７ｂ…小径孔部、３８…吸引孔、３８ａ…大径孔部、３８ａ１…外周面、３９…給気溝、４０…吸引溝、４１…吸引孔、５０…浮上用エアプレート、５１…トッププレート、５１ａ…支持面、５１ｂ…裏面、５１ｃ…気体流対向面、５２…ペレット装着プレート、５２ａ…表面、５２ｂ…裏面、５２ｃ…厚さ、５３…小径孔部、５４…大径孔部、５４ａ…内周面、６１…噴出ペレット、６１ａ…抵抗板、６１ｂ…オリフィス流路、６１ｃ…管状部、６１ｃａ…外周面、６１ｄ…封止部、７１…噴出ペレット、７１ｄ１…封止部、７１ｄ１ａ…高さ、７１ｄ２…封止部、７１ｄ２ａ…高さ、７１ａ…抵抗板、７１ｂ…オリフィス流路、７１ｃ…管状部、７１ｃａ…上部側端面、７１ｃｂ…下部側端面、７１ｃｃ…厚さ、７２…吸引ペレット、７２ｃａ…上部側端面、７２ｃｂ…下部側端面、８０…浮上用エアプレート、８１…トッププレート、８１ａ…支持面、８１ｂ…裏面、８１ｃ…座ぐり部、８２…Ｏリング、８３…噴出孔、８３ｂ…裏面、８４…吸引孔、８４ａ…座ぐり部、９９…ガラス基板
 

Claims (17)

  1. 　支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、
    　供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、
    　複数の前記気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、
    　前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、
    　前記気体流を絞って噴出する前記気体流抵抗器の噴出口に対面し、前記気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、
    を有する支持用エアプレート。
  2. 　気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を更に有する、請求項１に記載の支持用エアプレート。
  3. 　前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記第１気体供給孔の内周面と対面する外周面に設けられた周状突起であり、
    　前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に取り付けられると、前記周状突起が前記第１気体供給孔の内周面に当接する、
    請求項２に記載の支持用エアプレート。
  4. 　前記周状突起は、前記第１有孔板状部の厚さ方向の中央近傍で前記第１気体供給孔の前記内周面に当接する、
    請求項３に記載の支持用エアプレート。
  5. 　前記第１有孔板状部の前記支持面の逆側にある面に隣接して設置され、前記第１有孔板状部の前記第１気体供給孔に取り付けられた前記気体流抵抗器に気体を供給する気体供給路を形成する平板を更に有し、
    　前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記支持面側端面および前記支持面の逆側端面の少なくともいずれか一方に設けられた環状突起であり、前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に挿入され、前記平板が前記第１有孔板状部に密接して設置されると、少なくとも前記支持面側端面の環状突起が前記気体流対向面に当接する、または少なくとも前記支持面の逆側端面の環状突起が前記平板に当接する、
    請求項２に記載の支持用エアプレート。
  6. 　前記第１有孔板状部は、前記第１気体供給孔の前記支持面の逆側端部に座ぐり部を有し、
    　前記封止部は環状封止部材であり、
    　前記環状封止部材が前記座ぐり部に配置される、請求項２に記載の支持用エアプレート。
  7. 　前記気体流抵抗器は、
    　厚さ方向に気体の通る抵抗流路となる貫通孔と、前記抵抗流路の前記軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部がある抵抗板と、
    　前記抵抗板を囲んで前記抵抗板と一体的に形成され、前記第１気体供給孔の内周面と一致する形状および寸法の外周面を有する管状部と、
    を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載の支持用エアプレート。
  8. 　前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな流路抵抗を有する、請求項７に記載の支持用エアプレート。
  9. 　前記第１有孔板状部に取り付けられ、前記圧縮気体層から吸い込む気体流を細める複数の吸込用気体流抵抗器を更に有する、請求項１から８のいずれか一項に記載の支持用エアプレート。
  10. 　支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面から非接触の状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、
    　前記支持用エアプレートの装着部に装着され、供給される気体流を絞って、前記支持面に向かって間接的に噴出すことができる噴出口を有することを特徴とする気体流抵抗器。
  11. 　貫通した孔からなる気体流を絞る作用を有する抵抗流路と当該抵抗流路の前記支持面側端部に前記噴出口とを有する抵抗板と、
    　内周面で前記抵抗板の外周面と当接し、前記抵抗板と一体的に形成された管状部と、
    を有する、請求項１０に記載の気体流抵抗器。
  12. 　前記抵抗流路の軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部を有する、請求項１１に記載の気体流抵抗器。
  13. 　前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな流路抵抗を有する、請求項１２に記載の気体流抵抗器。
  14. 　気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を更に有する、請求項１１から１３のいずれか一項に記載の気体流抵抗器。
  15. 　前記封止部は、前記管状部の外周面を一周する周状突起である、請求項１４に記載の気体流抵抗器。
  16. 　前記封止部は、前記管状部の少なくともいずれか一方の端面に環状に設けられた環状突起である、
    請求項１４に記載の気体流抵抗器。
  17. 　前記抵抗板は、前記管状部の一方の端面から所定距離にある位置で前記管状部と接続されている、請求項１１から１６のいずれか一項に記載の気体流抵抗器。
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