JP2010120747A - 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置 - Google Patents
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- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
Abstract
【解決手段】浮上搬送装置10により搬送される薄板Wに貼付したマーカ9を、搬送面Sの上方に配置した2台のカメラ3L,3Rでそれぞれ撮影したエリアAの画像データから抽出し、その3次元位置座標値から薄板Wの3次元位置座標値(座標値群)を検出して、3次元位置座標値(座標値群)が既知である搬送面Sに対する接触の有無や接触箇所を、画像処理によって検出する構成とした。
【選択図】図1
Description
3L,3R カメラ
5 コントローラ
5a CPU(薄板位置検出手段、接触検出手段、実搬送速度検出手段、蛇行検出手段)
5b RAM
5c ROM
7 フレーム
9 マーカ(ポイント)
10 浮上搬送装置
11 搬送ユニット
13 搬送ローラ
15 動力伝達機構
17 ウォームホイール
19 駆動軸
21 ウォーム
23 搬送モータ
25 チャンバ
27 取入口
29 貫通孔
31 ファン
33 ブラケット
35 開口
37 浮上ユニット
39 浮上ユニット本体
41 スリット
43 浮上ユニット脚
A エリア
B 支持台
S 搬送面
W 薄板
X 搬送方向
Y 幅方向
Z 高さ方向
Claims (8)
- 搬送面から浮上させて搬送方向に搬送される薄板の搬送状態を検出する方法であって、
前記薄板の搬送経路の少なくとも一部のエリアを、互いに所定間隔離して固定配置された複数のカメラでそれぞれ撮影し、
前記各カメラにより同時にそれぞれ撮影された前記エリアの各画像データにおける、該エリアを通過する前記薄板の少なくとも一部に設定された複数のポイントの画素位置と、前記各カメラの位置とから、搬送中の前記薄板の前記エリアにおける、前記搬送面に対する3次元相対位置を検出する、
ことを特徴とする薄板の浮上搬送状態検出方法。 - 前記搬送中の薄板の前記解析した3次元相対位置に基づいて、前記エリアにおける前記搬送中の薄板の前記搬送面に対する接触の有無又は接触箇所を検出することを特徴とする請求項1記載の薄板の浮上搬送状態検出方法。
- 前記搬送中の薄板の前記解析した3次元相対位置の経時変化に基づいて、前記エリアにおける前記搬送中の薄板の前記搬送方向における実搬送速度を検出することを特徴とする請求項1又は2記載の薄板の浮上搬送状態検出方法。
- 前記搬送中の薄板の前記解析した3次元相対位置の経時変化に基づいて、前記エリアにおける前記搬送中の薄板の理想的な搬送軌跡に対する蛇行の有無又は蛇行量を検出することを特徴とする請求項1、2又は3記載の薄板の浮上搬送状態検出方法。
- 搬送面から浮上させて搬送方向に搬送される薄板の搬送状態を検出する装置であって、
互いに所定間隔離して固定配置され、前記薄板の搬送経路の少なくとも一部のエリアをそれぞれ撮影する複数のカメラと、
前記各カメラにより同時にそれぞれ撮影された前記エリアの各画像データにおける、該エリアを通過する前記薄板の少なくとも一部に設定された複数のポイントの画素位置と、前記各カメラの位置とから、搬送中の前記薄板の前記エリアにおける、前記搬送面に対する3次元相対位置を検出する薄板位置検出手段と、
を備えることを特徴とする薄板の浮上搬送状態検出装置。 - 前記薄板位置解析手段により解析された前記搬送中の薄板の3次元相対位置に基づいて、前記エリアにおける前記搬送中の薄板の前記搬送面に対する接触の有無又は接触箇所を検出する接触検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項5記載の薄板の浮上搬送状態検出装置。
- 前記薄板位置解析手段により解析された前記搬送中の薄板の3次元相対位置の経時変化に基づいて、前記エリアにおける前記搬送中の薄板の前記搬送方向における実搬送速度を検出する実搬送速度検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項5又は6記載の薄板の浮上搬送状態検出装置。
- 前記薄板位置解析手段により解析された前記搬送中の薄板の3次元相対位置の経時変化に基づいて、前記エリアにおける前記搬送中の薄板の理想的な搬送軌跡に対する蛇行の有無又は蛇行量を検出する蛇行検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項5、6又は7記載の薄板の浮上搬送状態検出装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008296345A JP5223615B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置 |
TW098137606A TWI421487B (zh) | 2008-11-20 | 2009-11-05 | And a method of detecting the state of the object to be conveyed |
KR1020090110839A KR101187220B1 (ko) | 2008-11-20 | 2009-11-17 | 부상 반송되는 대상물의 상태를 검출하는 방법 및 그 장치 |
CN2009102247953A CN101738162B (zh) | 2008-11-20 | 2009-11-20 | 对被悬浮搬送的对象物的状态进行检测的方法和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008296345A JP5223615B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010120747A true JP2010120747A (ja) | 2010-06-03 |
JP5223615B2 JP5223615B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=42280893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008296345A Active JP5223615B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5223615B2 (ja) |
KR (1) | KR101187220B1 (ja) |
CN (1) | CN101738162B (ja) |
TW (1) | TWI421487B (ja) |
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- 2008-11-20 JP JP2008296345A patent/JP5223615B2/ja active Active
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- 2009-11-05 TW TW098137606A patent/TWI421487B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-11-17 KR KR1020090110839A patent/KR101187220B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-11-20 CN CN2009102247953A patent/CN101738162B/zh not_active Expired - Fee Related
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JP5223615B2 (ja) | 2013-06-26 |
TWI421487B (zh) | 2014-01-01 |
KR20100056972A (ko) | 2010-05-28 |
KR101187220B1 (ko) | 2012-10-02 |
CN101738162B (zh) | 2012-10-10 |
TW201022661A (en) | 2010-06-16 |
CN101738162A (zh) | 2010-06-16 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120806 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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