JPH10181870A - 密閉容器内搬送装置 - Google Patents
密閉容器内搬送装置Info
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- JPH10181870A JPH10181870A JP34078096A JP34078096A JPH10181870A JP H10181870 A JPH10181870 A JP H10181870A JP 34078096 A JP34078096 A JP 34078096A JP 34078096 A JP34078096 A JP 34078096A JP H10181870 A JPH10181870 A JP H10181870A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】駆動機構から発生される塵等の汚染物質によっ
て被搬送物が汚染されることがなく、配線等に真空対応
処理等を施す必要がなく、高価なシール部材等の使用を
減らすことが可能な密閉容器内搬送装置を提供する。 【解決手段】密閉容器１内に収容された被搬送物支持具
１２と該被搬送物支持具１２を駆動する駆動機構とを含
んでなる密閉容器内搬送装置において、被搬送物搬送空
間と駆動機構収容空間とをべローズ２１、２２によって
密封分離し、駆動機構収容空間内に電気配線３２等を設
け、被搬送物搬送空間内の圧力と駆動機構収容空間内の
圧力とを個別に制御する。
て被搬送物が汚染されることがなく、配線等に真空対応
処理等を施す必要がなく、高価なシール部材等の使用を
減らすことが可能な密閉容器内搬送装置を提供する。 【解決手段】密閉容器１内に収容された被搬送物支持具
１２と該被搬送物支持具１２を駆動する駆動機構とを含
んでなる密閉容器内搬送装置において、被搬送物搬送空
間と駆動機構収容空間とをべローズ２１、２２によって
密封分離し、駆動機構収容空間内に電気配線３２等を設
け、被搬送物搬送空間内の圧力と駆動機構収容空間内の
圧力とを個別に制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は密閉容器内において
被搬送物を搬送する密閉容器内搬送装置に関するもので
ある。
被搬送物を搬送する密閉容器内搬送装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図９は従来の密閉容器内搬送装置の第１
の例の概略を示す図である。図に示す従来の密閉容器内
搬送装置は、密閉容器１内に収容された被搬送物支持具
１２と該被搬送物支持具１２を駆動する駆動機構とを含
んでなる。
の例の概略を示す図である。図に示す従来の密閉容器内
搬送装置は、密閉容器１内に収容された被搬送物支持具
１２と該被搬送物支持具１２を駆動する駆動機構とを含
んでなる。
【０００３】被搬送物支持具１２は、被搬送物１３を積
載し、駆動機構によって駆動されて被搬送物１３を図中
の矢印方向に搬送する。
載し、駆動機構によって駆動されて被搬送物１３を図中
の矢印方向に搬送する。
【０００４】駆動機構は、密閉容器１の上側の内面に取
り付けられた取り付けベース２と下側の内面に取り付け
られた取り付けベース３とを介してそれぞれ密閉容器１
に両端を固定されたガイドシャフト４と、該ガイドシャ
フト４と平行であって、１端は取り付けベース３にベア
リング１０を介して回転可能に取り付けられ、他端は取
り付けベース２と密閉容器１の壁とを突出し、密閉容器
１の内部と外部とに設けられた２つのカップリング６を
介して駆動用モータ８に連結されたボールねじ５とを含
んで構成されている。取り付けベース２のボールねじ５
が突出する部分にはベアリング１１が設けられており、
ボールねじ５を回転可能に支持する。更に、密閉容器１
の壁のボールねじ５が突出する部分の外面にはシールユ
ニット７とＯリング１４とが設けられており、密閉容器
１内の気密が保たれる構造になっている。
り付けられた取り付けベース２と下側の内面に取り付け
られた取り付けベース３とを介してそれぞれ密閉容器１
に両端を固定されたガイドシャフト４と、該ガイドシャ
フト４と平行であって、１端は取り付けベース３にベア
リング１０を介して回転可能に取り付けられ、他端は取
り付けベース２と密閉容器１の壁とを突出し、密閉容器
１の内部と外部とに設けられた２つのカップリング６を
介して駆動用モータ８に連結されたボールねじ５とを含
んで構成されている。取り付けベース２のボールねじ５
が突出する部分にはベアリング１１が設けられており、
ボールねじ５を回転可能に支持する。更に、密閉容器１
の壁のボールねじ５が突出する部分の外面にはシールユ
ニット７とＯリング１４とが設けられており、密閉容器
１内の気密が保たれる構造になっている。
【０００５】ボールねじ５には、ボールねじ５の回転に
よって図中の矢印の方向に移動する移動ブロック９が取
り付けられており、移動ブロック９の一方の側はガイド
シャフト４に矢印方向の滑動可能に連結され、移動ブロ
ック９の他の側には被搬送物支持具１２が取り付けられ
ている。
よって図中の矢印の方向に移動する移動ブロック９が取
り付けられており、移動ブロック９の一方の側はガイド
シャフト４に矢印方向の滑動可能に連結され、移動ブロ
ック９の他の側には被搬送物支持具１２が取り付けられ
ている。
【０００６】この密閉容器内搬送装置においては、被搬
送物１３を被搬送物支持具１２に積載して、被搬送物支
持具１２を駆動機構を介して駆動用モータ８によって駆
動することにより、被搬送物１３を矢印の方向に搬送す
る。
送物１３を被搬送物支持具１２に積載して、被搬送物支
持具１２を駆動機構を介して駆動用モータ８によって駆
動することにより、被搬送物１３を矢印の方向に搬送す
る。
【０００７】図１０は従来の密閉容器内搬送装置の第２
の例の概略を示す図である。図に示す従来の密閉容器内
搬送装置においては、被搬送物１３を図中の矢印の方向
に移動させる第２の駆動機構（図示は省略）が被搬送物
支持具１２に装着されている。この場合、第２の駆動機
構を駆動するための配線３２等が必要であり、また配線
３２等が密閉容器１の壁や取り付けベース３を貫通する
箇所にはシール部材３３が設けられる。
の例の概略を示す図である。図に示す従来の密閉容器内
搬送装置においては、被搬送物１３を図中の矢印の方向
に移動させる第２の駆動機構（図示は省略）が被搬送物
支持具１２に装着されている。この場合、第２の駆動機
構を駆動するための配線３２等が必要であり、また配線
３２等が密閉容器１の壁や取り付けベース３を貫通する
箇所にはシール部材３３が設けられる。
【０００８】図１１は従来の密閉容器内搬送装置の第３
の例の概略を示す図である。図に示す従来の密閉容器内
搬送装置においては、密閉容器１内を真空引きしたりＮ
2パージするための流出入口４０が密閉容器１の壁に設
けられている。
の例の概略を示す図である。図に示す従来の密閉容器内
搬送装置においては、密閉容器１内を真空引きしたりＮ
2パージするための流出入口４０が密閉容器１の壁に設
けられている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このような上記従来の
密閉容器内搬送装置においては、駆動機構から発生され
る塵等の汚染物質によって被搬送物１３が汚染される可
能性があるという問題があった。
密閉容器内搬送装置においては、駆動機構から発生され
る塵等の汚染物質によって被搬送物１３が汚染される可
能性があるという問題があった。
【００１０】また、配線３２等を設ける場合には、配線
３２等に真空に対応可能な処理等を施す必要があり、ま
た配線３２等の貫通箇所にシール部材３３を設ける必要
があり、更に、密閉容器１の壁のボールねじ５が突出す
る部分の外面にはシールユニット７とＯリング１４とが
必要であるので、装置全体が高価になるという問題があ
った。
３２等に真空に対応可能な処理等を施す必要があり、ま
た配線３２等の貫通箇所にシール部材３３を設ける必要
があり、更に、密閉容器１の壁のボールねじ５が突出す
る部分の外面にはシールユニット７とＯリング１４とが
必要であるので、装置全体が高価になるという問題があ
った。
【００１１】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたもので、被搬送物が駆動機構から発生される塵等の
汚染物質によって汚染されることがなく、配線等に真空
対応処理等を施す必要がなく、高価なシール部材等の使
用を減らすことが可能な密閉容器内搬送装置を提供する
ことを目的とする。
れたもので、被搬送物が駆動機構から発生される塵等の
汚染物質によって汚染されることがなく、配線等に真空
対応処理等を施す必要がなく、高価なシール部材等の使
用を減らすことが可能な密閉容器内搬送装置を提供する
ことを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明においては、密閉容器内に収容された被搬送
物支持具と該被搬送物支持具を駆動する駆動機構とを含
んでなる密閉容器内搬送装置において、被搬送物搬送空
間と上記駆動機構収容空間とを密封分離する。
め、本発明においては、密閉容器内に収容された被搬送
物支持具と該被搬送物支持具を駆動する駆動機構とを含
んでなる密閉容器内搬送装置において、被搬送物搬送空
間と上記駆動機構収容空間とを密封分離する。
【００１３】この場合、上記駆動機構収容空間内に電気
配線等を設ける。
配線等を設ける。
【００１４】またこの場合、上記被搬送物搬送空間内の
圧力と上記駆動機構収容空間内の圧力とを個別に制御す
る。
圧力と上記駆動機構収容空間内の圧力とを個別に制御す
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る密閉容器内搬
送装置の第１の実施の形態の概略を示す図である。この
密閉容器内搬送装置は、密閉容器１内に収容された被搬
送物支持具１２と該被搬送物支持具１２を駆動する駆動
機構とを含んでなる。
送装置の第１の実施の形態の概略を示す図である。この
密閉容器内搬送装置は、密閉容器１内に収容された被搬
送物支持具１２と該被搬送物支持具１２を駆動する駆動
機構とを含んでなる。
【００１６】被搬送物支持具１２は、被搬送物１３を積
載し、駆動機構によって駆動されて被搬送物１３を搬送
する。
載し、駆動機構によって駆動されて被搬送物１３を搬送
する。
【００１７】駆動機構は、密閉容器１の上側の内面に取
り付けられた取り付けベース２と下側の内面に取り付け
られた取り付けベース３とを介してそれぞれ密閉容器１
に両端を固定されたガイドシャフト４と、該ガイドシャ
フト４と平行であって、１端は取り付けベース３にベア
リング１０を介して回転可能に取り付けられ、他端は取
り付けベース２と密閉容器１の壁とを突出し、密閉容器
１の内部に設けられたカップリング６を介して駆動用モ
ータ８に連結されたボールねじ５とを含んで構成されて
いる。取り付けベース２のボールねじ５が突出する部分
にはベアリング１１が設けられており、ボールねじ５を
回転可能に支持する。
り付けられた取り付けベース２と下側の内面に取り付け
られた取り付けベース３とを介してそれぞれ密閉容器１
に両端を固定されたガイドシャフト４と、該ガイドシャ
フト４と平行であって、１端は取り付けベース３にベア
リング１０を介して回転可能に取り付けられ、他端は取
り付けベース２と密閉容器１の壁とを突出し、密閉容器
１の内部に設けられたカップリング６を介して駆動用モ
ータ８に連結されたボールねじ５とを含んで構成されて
いる。取り付けベース２のボールねじ５が突出する部分
にはベアリング１１が設けられており、ボールねじ５を
回転可能に支持する。
【００１８】ボールねじ５には、ボールねじ５の回転に
よって図中の矢印の方向に移動する移動ブロック９が取
り付けられており、移動ブロック９の一方の側はガイド
シャフト４に矢印方向の滑動可能に連結され、移動ブロ
ック９の他の側には被搬送物支持具１２が取り付けられ
ている。
よって図中の矢印の方向に移動する移動ブロック９が取
り付けられており、移動ブロック９の一方の側はガイド
シャフト４に矢印方向の滑動可能に連結され、移動ブロ
ック９の他の側には被搬送物支持具１２が取り付けられ
ている。
【００１９】この密閉容器内搬送装置においては、被搬
送物支持具１２及び被搬送物１３の移動空間（以下被搬
送物搬送空間と呼ぶ）と駆動機構収容空間とを、図中の
矢印で示す移動ブロック９の移動に対応して伸縮可能な
べローズ２１、２２によってを密封分離する。更に、取
り付けベース２と密閉容器１の壁の内面との間と、取り
付けベース３と密閉容器１の壁の内面との間とに、それ
ぞれＯリング２３とＯリング２４とを設けて被搬送物搬
送空間内の気密を保つ。
送物支持具１２及び被搬送物１３の移動空間（以下被搬
送物搬送空間と呼ぶ）と駆動機構収容空間とを、図中の
矢印で示す移動ブロック９の移動に対応して伸縮可能な
べローズ２１、２２によってを密封分離する。更に、取
り付けベース２と密閉容器１の壁の内面との間と、取り
付けベース３と密閉容器１の壁の内面との間とに、それ
ぞれＯリング２３とＯリング２４とを設けて被搬送物搬
送空間内の気密を保つ。
【００２０】このため、駆動機構から発生される塵等の
汚染物質によって被搬送物１３が汚染されるということ
はない。
汚染物質によって被搬送物１３が汚染されるということ
はない。
【００２１】また、取り付けベース２と密閉容器１の壁
の内面との間と、取り付けベース３と密閉容器１の壁の
内面との間とに、それぞれＯリング２３とＯリング２４
とを設けるので、従来技術におけるように密閉容器１の
壁のボールねじ５が突出する部分の外面に高価なシール
ユニットやＯリング等を設ける必要はなく、駆動用モー
タ８を密閉容器１の上に直接取り付けることも可能とな
る。
の内面との間と、取り付けベース３と密閉容器１の壁の
内面との間とに、それぞれＯリング２３とＯリング２４
とを設けるので、従来技術におけるように密閉容器１の
壁のボールねじ５が突出する部分の外面に高価なシール
ユニットやＯリング等を設ける必要はなく、駆動用モー
タ８を密閉容器１の上に直接取り付けることも可能とな
る。
【００２２】図２は本発明に係る密閉容器内搬送装置の
第２の実施の形態の概略を示す図である。第２の実施の
形態においては、被搬送物１３を図中の矢印の方向に移
動させる第２の駆動機構（図示は省略）が被搬送物支持
具１２に装着されている。この場合、第２の駆動機構へ
動力等を供給するための配線３２等が必要であるが、配
線３２等を、べローズ２１、２２によって被搬送物被搬
送空間と密封分離されている駆動機構収容空間を経由し
て、取り付けベース３と密閉容器１の壁とを貫通させる
ことにより、配線３２等に真空等に対応可能な処理等を
施す必要はなく、また配線３２等の貫通箇所に高価なシ
ール部材を設ける必要もない。
第２の実施の形態の概略を示す図である。第２の実施の
形態においては、被搬送物１３を図中の矢印の方向に移
動させる第２の駆動機構（図示は省略）が被搬送物支持
具１２に装着されている。この場合、第２の駆動機構へ
動力等を供給するための配線３２等が必要であるが、配
線３２等を、べローズ２１、２２によって被搬送物被搬
送空間と密封分離されている駆動機構収容空間を経由し
て、取り付けベース３と密閉容器１の壁とを貫通させる
ことにより、配線３２等に真空等に対応可能な処理等を
施す必要はなく、また配線３２等の貫通箇所に高価なシ
ール部材を設ける必要もない。
【００２３】図３は本発明に係る密閉容器内搬送装置の
第３の実施の形態の概略を示す図であり、図の（Ｂ）
は、図の（Ａ）のＡ−Ａ面での平断面図である。第３の
実施の形態においては、被搬送物搬送空間を真空にした
場合にべローズ２１、２２が内外の圧力差によって大き
く変形したり破損したりすることを防止するために、両
端が取り付けベース２、３に固定されたガイドシャフト
４１に取り付けた複数のガイドリング４２をべローズ２
１、２２の周囲に配置してべローズ２１、２２を支持す
る。このようにすることによって、本発明の密閉容器内
搬送装置は真空中（流出入口４０から排気する）での被
搬送物１３の搬送にも使用可能とすることが出来る。
第３の実施の形態の概略を示す図であり、図の（Ｂ）
は、図の（Ａ）のＡ−Ａ面での平断面図である。第３の
実施の形態においては、被搬送物搬送空間を真空にした
場合にべローズ２１、２２が内外の圧力差によって大き
く変形したり破損したりすることを防止するために、両
端が取り付けベース２、３に固定されたガイドシャフト
４１に取り付けた複数のガイドリング４２をべローズ２
１、２２の周囲に配置してべローズ２１、２２を支持す
る。このようにすることによって、本発明の密閉容器内
搬送装置は真空中（流出入口４０から排気する）での被
搬送物１３の搬送にも使用可能とすることが出来る。
【００２４】図４〜８は本発明に係る密閉容器内搬送装
置の第４の実施の形態の概略を示す図である。第４の実
施の形態においては、被搬送物搬送空間内の圧力と駆動
機構収容空間内の圧力、すなわち、べローズ２１、２２
の内側の圧力とべローズ２１、２２の外側の圧力とを、
個別に制御する。これらのうち、図４に示す例は被搬送
物搬送空間（べローズ２１、２２の外側）内を真空にす
る場合であって、この場合には駆動機構収容空間（べロ
ーズ２１、２２の内側）内の圧力も真空引きする。この
ようにすれば、べローズ２１、２２が内外の圧力差によ
って大きく変形したり破損したりすることを防止するこ
とが出来るので、図３に示したようなべローズ２１、２
２を支持するガイドシャフト４１、ガイドリング４２は
不要となる。また、駆動機構収容空間内の発塵等の汚染
物質の被搬送物搬送空間への漏洩を更に防止出来る。
置の第４の実施の形態の概略を示す図である。第４の実
施の形態においては、被搬送物搬送空間内の圧力と駆動
機構収容空間内の圧力、すなわち、べローズ２１、２２
の内側の圧力とべローズ２１、２２の外側の圧力とを、
個別に制御する。これらのうち、図４に示す例は被搬送
物搬送空間（べローズ２１、２２の外側）内を真空にす
る場合であって、この場合には駆動機構収容空間（べロ
ーズ２１、２２の内側）内の圧力も真空引きする。この
ようにすれば、べローズ２１、２２が内外の圧力差によ
って大きく変形したり破損したりすることを防止するこ
とが出来るので、図３に示したようなべローズ２１、２
２を支持するガイドシャフト４１、ガイドリング４２は
不要となる。また、駆動機構収容空間内の発塵等の汚染
物質の被搬送物搬送空間への漏洩を更に防止出来る。
【００２５】図５に示す例は、被搬送物搬送空間（べロ
ーズ２１、２２の外側）にＮ2パージを施す場合であっ
て、この場合には駆動機構収容空間（べローズ２１、２
２の内側）内の圧力が被搬送物支持具１２及び被搬送物
１３の移動空間内の圧力よりも低圧になるように制御す
る。このようにすれば、べローズ２１、２２が大きく変
形したり破損したりすることを防止することが出来、ま
た、駆動機構収容空間内の発塵等の被搬送物搬送空間へ
の汚染物質の漏洩を防止出来る。
ーズ２１、２２の外側）にＮ2パージを施す場合であっ
て、この場合には駆動機構収容空間（べローズ２１、２
２の内側）内の圧力が被搬送物支持具１２及び被搬送物
１３の移動空間内の圧力よりも低圧になるように制御す
る。このようにすれば、べローズ２１、２２が大きく変
形したり破損したりすることを防止することが出来、ま
た、駆動機構収容空間内の発塵等の被搬送物搬送空間へ
の汚染物質の漏洩を防止出来る。
【００２６】図６〜８に示す例は、被搬送物搬送空間内
の圧力と駆動機構収容空間内の圧力とを個別に制御し
て、搬送用の動力を低減したり、搬送動作を安定化した
りする場合を示す。このうち、図６に示す例は、被搬送
物を図の下方に搬送する場合であって、べローズ２１内
にエアーを供給して高圧にし、べローズ２２内から排気
して低圧にして、駆動機構に下向きの空気圧を作用させ
ることにより搬送に要する動力を低減する。
の圧力と駆動機構収容空間内の圧力とを個別に制御し
て、搬送用の動力を低減したり、搬送動作を安定化した
りする場合を示す。このうち、図６に示す例は、被搬送
物を図の下方に搬送する場合であって、べローズ２１内
にエアーを供給して高圧にし、べローズ２２内から排気
して低圧にして、駆動機構に下向きの空気圧を作用させ
ることにより搬送に要する動力を低減する。
【００２７】また、図７に示す例は、被搬送物を図の上
方に搬送する場合であって、べローズ２１内から排気し
て低圧にし、べローズ２２内にエアーを供給して高圧に
して、駆動機構に上向きの空気圧を作用させることによ
り搬送に要する動力を低減する。
方に搬送する場合であって、べローズ２１内から排気し
て低圧にし、べローズ２２内にエアーを供給して高圧に
して、駆動機構に上向きの空気圧を作用させることによ
り搬送に要する動力を低減する。
【００２８】さらに、図８に示す例は、被搬送物搬送空
間内が陽圧となりべローズ２１、２２の耐圧以上となる
場合に駆動機構収容空間内も加圧する場合であって、こ
のようにすれば安定な搬送動作が可能となる。
間内が陽圧となりべローズ２１、２２の耐圧以上となる
場合に駆動機構収容空間内も加圧する場合であって、こ
のようにすれば安定な搬送動作が可能となる。
【００２９】なお、上述実施の形態においては、被搬送
物の主搬送方向が上下方向の場合について記述したが、
本発明の密閉容器内搬送装置は、主搬送方向を上下方向
に限定するものではない。
物の主搬送方向が上下方向の場合について記述したが、
本発明の密閉容器内搬送装置は、主搬送方向を上下方向
に限定するものではない。
【００３０】また、上述実施の形態においては、被搬送
物搬送空間と駆動機構収容空間とをべローズを用いて密
閉分離したが、べローズ以外の適当な材料、例えば柔軟
で適当な強度を有する膜材等、を使用して密閉分離して
もよい。
物搬送空間と駆動機構収容空間とをべローズを用いて密
閉分離したが、べローズ以外の適当な材料、例えば柔軟
で適当な強度を有する膜材等、を使用して密閉分離して
もよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る密閉
容器内搬送装置においては、被搬送物搬送空間と駆動機
構収容空間とを密閉分離するので、搬送能力を損なうこ
となく、駆動機構からの発塵等の汚染物質による被搬送
物の汚染を防止出来るという効果がある。
容器内搬送装置においては、被搬送物搬送空間と駆動機
構収容空間とを密閉分離するので、搬送能力を損なうこ
となく、駆動機構からの発塵等の汚染物質による被搬送
物の汚染を防止出来るという効果がある。
【００３２】また、配線等を、被搬送物搬送空間と密封
分離されている駆動機構収容空間内に設けるので、配線
等に真空等に対応可能な特殊な処理等を施す必要はな
く、また高価なシール部材を設ける必要もなくなるとい
う効果がある。
分離されている駆動機構収容空間内に設けるので、配線
等に真空等に対応可能な特殊な処理等を施す必要はな
く、また高価なシール部材を設ける必要もなくなるとい
う効果がある。
【００３３】更に、被搬送物搬送空間内の圧力と駆動機
構収容空間内の圧力とを個別に制御するので、駆動機構
からの発塵等の汚染物質による被搬送物の汚染の可能性
を更に低減し、被搬送物搬送空間と駆動機構収容空間と
を分離するべローズの補強を不要とし、搬送用の動力低
減を可能とし、搬送動作を安定化することが可能となる
等の効果がある。
構収容空間内の圧力とを個別に制御するので、駆動機構
からの発塵等の汚染物質による被搬送物の汚染の可能性
を更に低減し、被搬送物搬送空間と駆動機構収容空間と
を分離するべローズの補強を不要とし、搬送用の動力低
減を可能とし、搬送動作を安定化することが可能となる
等の効果がある。
【図１】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第１の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図２】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第２の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図３】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第３の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図４】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第４の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図５】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第４の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図６】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第４の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図７】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第４の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図８】本発明に係る密閉容器内搬送装置の第４の実施
の形態の概略を示す図である。
の形態の概略を示す図である。
【図９】従来の密閉容器内搬送装置の第１の例の概略を
示す図である。
示す図である。
【図１０】従来の密閉容器内搬送装置の第２の例の概略
を示す図である。
を示す図である。
【図１１】従来の密閉容器内搬送装置の第３の例の概略
を示す図である。
を示す図である。
１…密閉容器 ２、３…取り付けベース ４、４１…ガイドシャフト ５…ボールねじ ６…カップリング ７…シールユニット ８…駆動用モータ ９…移動ブロック １０、１１…ベアリング １２…被搬送物支持具 １３…被搬送物 １４、２３、２４…Ｏリング ２１、２２…べローズ ３２…配線 ３３…シール部材 ４０…流出入口 ４２…ガイドリング
Claims (3)
- 【請求項１】密閉容器内に収容された被搬送物支持具と
該被搬送物支持具を駆動する駆動機構とを含んでなる密
閉容器内搬送装置において、被搬送物搬送空間と駆動機
構収容空間とを密封分離したことを特徴とする密閉容器
内搬送装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の密閉容器内搬送装置にお
いて、上記駆動機構収容空間内に電気配線等を設けたこ
とを特徴とする密閉容器内搬送装置。 - 【請求項３】請求項１または請求項２に記載の密閉容器
内搬送装置において、上記被搬送物搬送空間内の圧力と
上記駆動機構収容空間内の圧力とを個別に制御すること
を特徴とする密閉容器内搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34078096A JPH10181870A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 密閉容器内搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34078096A JPH10181870A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 密閉容器内搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10181870A true JPH10181870A (ja) | 1998-07-07 |
Family
ID=18340234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34078096A Pending JPH10181870A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 密閉容器内搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10181870A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003017543A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および搬送装置 |
| JPWO2014102887A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2017-01-12 | 平田機工株式会社 | 密閉構造及びこれを備えた搬送ロボット |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34078096A patent/JPH10181870A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003017543A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および搬送装置 |
| JPWO2014102887A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2017-01-12 | 平田機工株式会社 | 密閉構造及びこれを備えた搬送ロボット |
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