DE4303462C2

DE4303462C2 - Mehrkammerbeschichtungsanlage

Info

Publication number: DE4303462C2
Application number: DE4303462A
Authority: DE
Inventors: Klaus Dr Hartig; Joachim Dr Szczyrbowski
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Oerlikon Deutschland Holding GmbH
Priority date: 1992-03-30
Filing date: 1993-02-06
Publication date: 1994-03-31
Anticipated expiration: 2013-02-07
Also published as: JPH0826459B2; JPH0641746A; DE4303462A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Mehrkammerbeschichtungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Substraten, Glas, Flachglas und/oder geformtem Glas mit einer Transportvorrichtung, die aus einem nach oben hin offenen, über Gleitelemente abstützbaren Transportwagen besteht, auf den das Substrat aufbringbar ist, das von einer Beschichtungskammer zu mindestens einer weiteren Beschichtungskammer bewegbar ist, die durch eine quer zur Bewegungsrichtung des Transportwagens verlaufende Schleuse von der anderen Beschichtungskammer abtrennbar ist, wobei die Schleuse aus einem Schleusenoberteil und einem mit Abstand dazu angeordneten, einen Schlitz bildenden Schleusenunterteil gebildet ist.

Es ist bereits eine Mehrkammerbeschichtungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Flachglas mit einer Transportvorrichtung bekannt (GB-OS 2 171 119, GB-PS 1 604 056, US-PS 4 274 936, US-PS 4 009 090), die aus einem nach oben hin offenen, über Gleitelemente abstützbaren flachen Transportwagen besteht, auf den das Substrat aufbringbar ist, welches von einer Beschichtungskammer zu weiteren nachgeordneten Beschichtungskammern bewegbar ist. Da bei Flachglas der Querschnitt sehr klein ist, konnte bisher der auftretende Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern weitgehend vernachlässigt werden. Liegen die einzelnen Beschichtungskammern jedoch dicht nebeneinander und soll in einer jeden nachfolgenden Beschichtungskammer eine andere Beschichtung stattfinden, so ist ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern ungeeignet, da bei einem Gastransfer eine Qualitätsminderung in der Schichtbildung bzw. den unterschiedlichen Schichten auftritt.

Demgemäß besteht die Erfindungsaufgabe darin, eine Gastrennung zwischen zwei Räumen zu schaffen.

Gelöst wird die Aufgabe erfindungsgemäß dadurch, daß die Querschnittsöffnung einer zwischen zwei Beschichtungskammern vorgesehenen Schleuse an den Querschnitt einer Transportvorrichtung und/oder an das zu bewegende Substrat oder die Transporteinrichtung mit ihrem Querschnitt an die Querschnittsöffnung der Schleuse anpaßbar ist. Auf diese Weise läßt sich sehr sperriges, insbesondere gewölbtes Flachglas in einer Mehrkammerbeschichtungsanlage ohne weiteres beschichten und von einer Beschichtungskammer in eine andere benachbarte bringen, ohne daß ein größerer Gastransfer zwischen den einzelnen Kammern eintritt. Hierdurch läßt sich die Taktzeit des Substrats in den einzelnen Kammern wesentlich reduzieren und ferner eine einwandfreie Sichtbildung erreichen.

Hierzu ist es vorteilhaft, daß die Schleuse zwischen zwei Beschichtungskammern aus einem Schleusenoberteil und einem Schleusenunterteil besteht, wobei zumindest ein Schleusenteil beweglich angeordnet ist. Hierdurch ist eine sehr schnelle Anpassung der Querschnittsöffnung an unterschiedlich große Transportvorrichtungen möglich.

Vorteilhaft ist es auch, daß zumindest ein Schleusenteil höhen- und/oder seitenbeweglich angeordnet ist.

Ferner ist es vorteilhaft, daß beide Schleusenteile hö hen- und/oder seitenbeweglich angeordnet sind. Damit wird eine Anpassung der Schleusenöffnung in kürzester Zeit an unterschiedlichste Querschnitte sichergestellt.

Eine zusätzliche Möglichkeit ist gemäß einer Weiterbildung der erfindungsgemäßen Anlage, daß zumindest Teile der Schleuse seitlich weggeschwenkt oder nach unten geklappt werden können.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteil haft, daß die durch die beiden Schleusenteile gebildete Querschnittsöffnung durch den Querschnitt der Trans portvorrichtung und/oder des Substrats verschließbar ist.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung ist schließlich vorgesehen, daß die mit Bezug auf die Bewegungsrichtung quer verlaufenden Wände des Transportwagens einen Abstand untereinander aufweisen, der in etwa der Länge der Abdeckplatte entspricht. Hierdurch wird auch bei Einsatz mehrerer Transportwagen in jeder Position sichergestellt, daß die Schleusenöffnung verschlossen bleibt, auch dann, wenn sich der Transportwagen auf seiner Beschichtungsstation befindet.

Von besonderer Bedeutung ist für die vorliegende Erfindung, daß zumindest eines der verstellbaren Schleusenteile über eine Stellvorrichtung in seiner Lage veränderbar ist.

Im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Ausbildung und Anordnung ist es von Vorteil, daß zumindest eines der verstellbaren Schleusenteile über eine Stellvorrichtung in Abhängigkeit von der Bewegung des Transportfahrzeugs in seiner Lage veränderbar ist, wobei die Stellvorrichtung über einen Geber bzw. Sensor ansteuerbar ist. Hierdurch läßt sich in Abhängigkeit der Transportgeschwindigkeit die Schleusenöffnung im Querschnitt verändern.

Vorteilhaft ist es auch, daß die Gesamtfläche der Ab deckplatte in etwa der Gesamtfläche der Querschnitts öffnung des Transportwagens entspricht.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteil haft, daß die Schleuse zwischen zwei Kammern aus einem Schleusenoberteil und einem Schleusenunterteil besteht, die mit vertikalem Abstand zueinander angeordnet sind und für den Transportwagen eine in ihrem Querschnitt veränderbare Durchlaßöffnung bilden.

Durch die zweiteilige Ausbildung der Schleuse wird auf einfache Weise für den Transportwagen eine Durchlaßöffnung geschaffen, die genau an die Höhe des Transportwagens angepaßt werden kann.

Hierzu ist es besonders vorteilhaft, daß das Schleusenoberteil aus zwei mit Abstand zueinander angeordneten Seitenwänden besteht, in dem eine weitere Wand über die Stellvorrichtung bzw. einen Hydraulikzylinder verschiebbar aufgenommen ist. Durch die Verwendung einer Stellvorrichtung, die beispielsweise auch als Hydraulikzylinder ausgebildet sein kann, läßt sich zumindest das Schleusenoberteil in seiner Höhe derart verstellen, daß es unterschiedlichen Höhen einer Transportvorrichtung in kürzester Zeit angepaßt werden kann. Auf diese Weise können nacheinander auch unterschiedlich hohe Transportwagen durch die einzelnen Beschichtungskammern geleitet werden, ohne daß ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern stattfindet, da durch die genaue Anpassung des Transportwagens an die Durchlaßöffnung ein Gastransfer weitgehend ausgeschaltet wird. Dies wird auch noch dadurch unterstützt, daß die Abdeckvorrichtung am Schleusenoberteil genau der Gesamtoberfläche des Transportwagens angepaßt ist, bzw. die gleiche Länge und Breite aufweist wie der Transportwagen.

In vorteilhafter Weise stützt sich der Transportwagen auf Rollen ab, die in Seitenwänden der Beschichtungs kammer angeordnet sind.

Hierzu ist es ferner vorteilhaft, daß der Boden unter halb des Transportwagens ferner über eine Stellvorrich tung hoch und runter fahrbar ausgebildet ist, so daß er der jeweiligen Höhe der Transportvorrichtung angepaßt werden kann. Die Rollen können in vorteilhafter Weise entweder mit dem Boden verstellt werden oder die die Rollen aufnehmende Stellvorrichtung ist derart ausgebildet, daß die Rollen in ihrer Höhe mit Bezug auf den Boden veränderbar sind, so daß sie an die unterschiedlichen Höhen der Transportwagen angepaßt werden können. Ferner ist es auch möglich, die Rollen in den Seitenwänden der Beschichtungskammer höhenbeweglich zu lagern, um diese unabhängig vom Boden in der Beschichtungskammer in ihrer Höhe zu verstellen.

Hierzu ist es gemäß der Erfindung vorteilhaft, daß die Rollen in Seitenwänden der Beschichtungskammer aufgenommen sind.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteil haft, daß die Stellvorrichtung als Hydraulikzylinder bzw. als Zahnradgetriebe mit einer Zahnstange und einem antreibbaren Zahnrad ausgebildet ist. Anstelle des Hydraulikzylinders läßt sich auch ein Zahnradgetriebe oder auch eine anders ausgebildete Stellvorrichtung zur Verstellung der einzelnen Teile des Bodens der Be schichtungskammer einsetzen.

Um eine einwandfreie Beschichtung des Substrats in den unterschiedlichen Beschichtungsstationen mit unterschiedlichen Materialien zu gewährleisten, ist es vor teilhaft, daß jeweils an eine Beschichtungskammer min destens eine eine Absaugvorrichtung aufweisende Kammer bzw. Zwischenkammer angeordnet ist, die mindestens eine eine Öffnung aufweisende Wand aufweist, so daß Gas aus der Beschichtungskammer abgesaugt bzw. ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern verhindert werden kann.

Hierzu ist es ferner vorteilhaft, daß die Beschich tungskammer sowie die Zwischenkammer mit je einer Absaugvorrichtung ausgerüstet sind.

Vorteilhaft ist es außerdem, daß die Öffnung zum Absaugen von Gas im Boden der Beschichtungskammer und/oder der Zwischenkammer vorgesehen ist und zwei oder mehrere, je eine Absaugvorrichtung aufweisende Kammern beiderseits der Beschichtungskammern vorgesehen sind, beispielsweise im Boden der Beschichtungskammern oder der Kammer, die mit einer Absaugvorrichtung verbunden ist. So läßt sich in vorteilhafter Weise auch eine Entgasung bzw. Reinigung der Transportvorrichtung vornehmen, so daß bei Verschieben der Transportvorrichtung von der einen in die andere Beschichtungskammer keine Schmutzpartikel bzw. keine Gasbestandteile mehr mitgeschleppt werden. Auf diese Weise läßt sich das Substrat problemlos in den einzelnen Beschichtungsstationen mit verschiedenen Materialien beschichten, wobei die einzelnen Schichten eine hohe Reinheit aufweisen.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sind in den Patentansprüchen und in der Beschreibung erläutert und in den Figuren dargestellt, wobei bemerkt wird, daß alle Einzelmerkmale und alle Kombinationen von Einzelmerkmalen erfindungswesentlich sind. Es zeigt

Fig. 1 eine Mehrkammerbeschichtungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Substraten, Glas, Flachglas und/oder geformtem Glas mit einer Transportvorrichtung,

Fig. 2 eine Schnittdarstellung der Schleuse mit einem Transportwagen zur Aufnahme von Flachglas,

Fig. 3 eine Schnittdarstellung der Schleuse mit einem Transportwagen zur Aufnahme von gewölbtem Glas,

Fig. 4 eine schematische Darstellung der Schleuse mit einer horizontal verlaufenden Platte,

Fig. 5 eine perspektivische Darstellung des Transportwagens, kurz bevor er in die Querschnittsöffnung der Schleuse eingeführt wird.

Fig. 6a bis 6e mehrere Ausführungsbeispiele von Beschichtungskammern und Zwischenkammern einer Mehrkammerbeschichtungsanlage.

In der Zeichnung ist mit 1 eine Mehrkammerbeschichtungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Substraten, Glas 2, Flachglas, insbesondere von geformtem bzw. gewölbtem Glas mit einer Transportvorrichtung 3 dargestellt, die aus einem nach oben hin offe nen, über Gleitelemente bzw. Rollen 4 abstützbaren Transportwagen 5 mit einem Boden 28 besteht, auf den das gewölbte Glas 2 aufgebracht ist, welches von einer in der Zeichnung schematisch angedeuteten Vorkammer 12 zu einer ersten Beschichtungskammer 6 und zu mindestens einer weiteren Beschichtungskammer 6 bewegt wird.

Es können gemäß Fig. 6a bis 6e auch mehrere Be schichtungskammern 6 hintereinander geschaltet werden, so daß verschiedene Schichten auf das Substrat 2 oder die Glasoberfläche aufgebracht werden können. Über die letzte Beschichtungskammer 6 gelangt das Substrat 2 über eine Schleuse 7′′ in die Belüftungskammer 13, die auch zur Nachbehandlung der Schichten eingesetzt werden kann. In Fig. 1 ist lediglich das Prinzip einer automatisierten Zerstäubungsanlage dargestellt. Es können Einkammer-Produktionsanlagen oder auch Mehrkammer-Produktionsanlagen nach diesem Prinzip ausgestattet werden.

Die Vorkammer 12 hat die Aufgabe, die Sauberkeit des Beschichtungsraums zu verbessern und dadurch die Chargenzeit zu verkürzen. Hierzu ist die Substratvorbehandlung von großem Vorteil.

Gemäß Fig. 1 und 5 bzw. auch 6a bis 6e gelangt das gewölbte Glas 2 über die Vorkammer 12 und eine erste Schleuse 7′ in eine erste Beschichtungskammer 6 und von dort über eine weitere bzw. zweite Schleuse 7 min destens zu einer dritten Beschichtungskammer 6 gemäß Fig. 6a bis 6e zu weiteren Beschichtungskammern 6 und über eine weitere bzw. dritten Schleuse 7′′ schließlich zu der Belüftungskammer 13, die auch zur Nachbehandlung der Schichten eingesetzt werden kann. Die erste und die letzte Schleuse 7′ und 7′′ können die Vorkammer 12 bzw. die Belüftungskammer 13 vollständig von den Beschichtungskammern 6 abschließen, während die mittlere Schleuse 7 dagegen eine Schlitzöffnung 10 aufweist.

Die Vorkammer 12 der Beschichtungskammer 6 wird über eine oder mehrere in der Zeichnung durch einen Kreis dargestellte Pumpen 25 und über eine oder mehrere Auslaßöffnungen 14 evakuiert. Gemäß Fig. 6a und 6b können die Pumpen 25 bzw. die Pumpeneinlaßöffnungen auch in den entsprechenden Beschichtungskammern 6 oder den Zwischenkammern 26 vorgesehen sein.

In den Fig. 6a bis 6e sind verschiedene Ausführungs beispiele dargestellt, die nach dem gleichen Prinzip arbeiten wie die Ausführungsform gemäß Fig. 1.

Das Mehrkammer-Zerstäubungssystem kann mit einer Gleichstrom- oder einer Hochfrequenz-Diodenanordnung ausgestattet sein. In Fig. 1 sind in der Vorkammer 12 lediglich eine Heizvorrichtung 15 sowie die Transportvorrichtung 3 schematisch angedeutet, während in der Beschichtungskammer 6 ein Target 16, ein Plasma 17, die Transportvorrichtung 3 mit dem Substrat 2 sowie ein Anpaßglied 18 einer Hochfrequenzversorgung schematisch angedeutet sind.

Die mittlere Schleuse 7 ist gemäß den Fig. 1 bis 4 zwischen den einzelnen Beschichtungskammern 6 quer zur Bewegungsrichtung des Transportwagens 5 angeordnet und trennt die eine Beschichtungskammer 6 von der anderen Beschichtungskammer 6.

Die erste und letzte Schleuse 7′, 7′′ sowie die zwischen zwei Beschichtungskammern 6 vorgesehene Schleuse 7 gemäß Fig. 1 besteht aus einem Schleusenoberteil 8 und einem mit Abstand dazu angeordneten, eine Querschnittsöffnung bzw. eine Schlitzöffnung 10 bildenden Schleusenunterteil 9. Die Schleusen 7′, 7′′ werden über eine in der Zeichnung nicht dargestellte Stellvorrichtung geöffnet und hierzu nach oben verstellt, wenn die Transportvorrichtung 3 mit dem Substrat 2 von der einen Kammer in die nachfolgende Kammer verschoben wird. Die Schleusen 7′, 7′′ weisen hierzu vertikal verstellbare Schleusentüren 45 auf. Die Schleusentüren 45 können auch auf andere Weise verstellt werden, es ist beispielsweise möglich, die Schleusentüren 45 nach unten oder nach oben oder seitlich wegzuklappen, um die Querschnittsöffnung 10 der Schleusen 7, 7′, 7′′ freizugeben.

Die zwischen den beiden Beschichtungskammern 6 vorgesehene Schleuse 7 besteht aus einem Schleusenoberteil 8, an deren untere Kante 27 (Fig. 1) eine horizontal verlaufende Abdeckplatte 19 angeschlossen ist, die beim Wechsel des Transportwagens 5 von der einen Beschichtungskammer 6 zur anderen Beschichtungskammer 6 über dem nach oben offenen Aufnahmeteil des Transportwagens 5 liegt und auf diese Weise dazu beiträgt, daß die Schlitzöffnung 10 möglichst klein bleibt und ein wesentlicher Gasaustausch zwischen zwei benachbarten Beschichtungskammern 6 verhindert wird.

Unterhalb der Abdeckplatte 19 ist eine zweite Abdeckplatte 47 (Fig. 4, 5) mit Abstand zu der Abdeckplatte 19 vorgesehen, die eine derart große Schlitzöffnung 10 bildet, daß gemäß Fig. 5 die Rollen 4 sowie der Flansch 29 genügend Platz haben. Auf diese Weise kann der Transportwagen 5 ohne großen Gastransfer von der einen Station zu der nächsten Station bewegt werden.

Die Abdeckplatte 19 kann gemäß Fig. 1, 4 und 5 dabei der nach oben gerichteten Querschnittsöffnung 24 des Transportwagens 5 entsprechen, so daß beim Wechsel des Transportwagens 5 von der einen Beschichtungskammer 6 zur anderen Beschichtungskammer 6 die Schlitzöffnung 10 nicht vergrößert wird. Lediglich ein minimaler Spalt S ist zwischen der Unterseite der Abdeckplatte 19 und der Oberkante des Transportwagens 5 vorgesehen, der aber so klein ist, daß kein wesentlicher Gasaustausch zwischen den benachbarten Beschichtungskammern 6 stattfinden kann; auf jeden Fall ist er so minimal, daß er keinen nachteiligen Einfluß auf die Zerstäubungsstationen in den einzelnen Beschichtungskammern 6 ausüben kann. Die Schlitzöffnung 10 kann je nach Größe des Transportwagens 5 gemäß Fig. 4 an den Querschnitt des Transportwagens 5 entsprechend angepaßt werden. Sie wird durch vorteilhafte Ausgestaltung der Schleuse 7 mit den beweglich angeordneten Schleusenteilen 8, 9 im Zusammenhang mit dem Querschnitt der Vorderwand 22 des Transportwagens 5 beim Einfahren des Transportwagens 5 in die Schlitzöffnung 10 auf wenige Millimeter, d. h. auf ca. 1 bis 2 mm, verkleinert.

Wird anstelle von Flachglas gewölbtes Glas 2 gemäß Fig. 5 auf dem Transportwagen 5 befördert, so weist der Transportwagen 5 hierzu vier Seitenwände 22 auf, die in etwa auf der gleichen Höhe enden wie eine Oberkante 23 (Fig. 3, 5) des gewölbten Substrats bzw. Glases 2. Auf diese Weise wird über den vergrößerten Transportwa gen 5 der Schlitzöffnung 10 geschlossen und der Gastransfer verhindert. Findet dennoch ein ganz geringer Gastransfer statt, so wird er über die Pumpen 25 und Auslaßöffnungen 14 abgepumpt. Auf diese Weise kann also in der einen Kammer unter Verwendung eines Reaktivgases reaktiv aufgestäubt werden und in einer sich daran anschließenden Kammer 6 mit einem anderen Gas gearbeitet werden.

Gemäß den Fig. 2 bis 5 sind an der Seitenwand 22 des Transportwagens 5 horizontal verlaufende Flansche 29 vorgesehen, auf die sich die Rollen 4 abstützen können (Fig. 2, 3).

Die Rollen 4 sind gemäß Fig. 3 oder 4 in den Seiten wänden 30 der Beschichtungskammer 6 fest angeordnet. Soll gemäß Fig. 3 gewölbtes Glas 2 transportiert wer den, so wird hierzu ein eine größere Tiefe aufweisender Transportwagen 5 eingesetzt. Hierzu muß der Zwischenraum zwischen der Abdeckplatte 19 und der Abdeckplatte 47 bzw. zwischen dem Target 16 und dem Boden 31 (Fig. 2) wie nachstehend noch ausgeführt wird, verändert werden.

Durch Veränderung des erwähnten Zwischenraumes können die unterschiedlich hohe Transportwagen 5 eingesetzt werden.

Der Boden 31 kann ferner gemäß Fig. 2 über eine Stellvorrichtung 32 hoch und runter gefahren werden, so daß er der jeweiligen Höhe der Transportvorrichtung 3 angepaßt werden kann. Die Stellvorrichtung 32 besteht aus einer am Boden 31 angeordneten Zahnstange 33 und einem Zahnrad 34. Die Stellvorrichtung 32 kann auch aus Hydraulikzylindern bestehen. Die Rollen 4 sind in den Seitenwänden 30 der Beschichtungskammer 6 gelagert und nicht verstellbar. Die Rollen 4 können aber auch in den Seitenwänden 30 der Beschichtungskammer 6 vertikal verstellbar gelagert sein und hierzu in nicht dargestellten Schlitzführungen aufgenommen sein, um sie an den Transportwagen 5 anzupassen.

Ferner ist es gemäß Fig. 4 auch möglich, die Abdeck platte 19 in ihrer Höhe zu verstellen. Die Abdeckplatte 19 ist gemäß Fig. 4 hierzu mit einer Stellvorrichtung verbunden, die ebenfalls aus einem in der Zeichnung nur teilweise dargestellten Hydraulikzylinder 49 bestehen kann oder gemäß Fig. 2 ebenfalls aus einer Zahnstange mit einem antreibbaren Zahnrad ähnlich der Verstellvorrichtung 32 zur Verstellung des Bodens 31, so daß auf diese Weise das Schleusenoberteil 8 zur Anpassung an die entsprechende Höhe der Transportvorrichtung 3 verstellt werden kann. Wird der Boden 31 verstellt, dann wird auch Abdeckplatte 47 über eine in der Zeichnung nicht dargestellte Verstellvorrichtung ähnlich der Verstellvorrichtung 32 entsprechend mitverstellt. Auf diese Weise kann die Schlitzöffnung bzw. Schleusenöffnung 10 in kürzester Zeit auf die unterschiedlichen Höhen der Transportwagen 3 angepaßt werden, ohne daß an den Schleusen 7 bis 7′′ wesentliche Veränderungen vorgenommen werden müssen. Die Lage des Targets 16 wird dann, falls erforderlich, über eine in der Zeichnung nicht dargestellte Vorrichtung, ähnlich wie im Beispiel gemäß Fig. 4, mitverstellt.

Das Schleusenoberteil 8 (Fig. 4) kann aus zwei mit Abstand zueinander angeordneten Seitenwänden 43 bestehen, in denen eine weitere Wand 44 über die Stellvorrichtung bzw. über den Hydraulikzylinder 49 verschiebbar ist.

Durch die zwischen den einzelnen Beschichtungskammern 6 vorgesehenen Schleusen 7 wird auf vorteilhafte Weise eine optimale Gastrennung zwischen den einzelnen Beschichtungskammern 6 erzielt.

Wie aus den in Fig. 6a bis 6e nur schematisch darge stellten Ausführungsbeispielen ersichtlich, können zwi schen den einzelnen Schleusen 7 bis 7′′ mehrere Zwi schenkammern 26 vorgesehen sein. In diesen Beispielen sind der Einfachheit halber die zuvor gezeigten Teile weggelassen.

Gemäß Fig. 6a ist jeweils zwischen zwei Schleusen 7 eine Zwischenkammer 26 vorgesehen, in der eine Pumpe 25 vorgesehen bzw. dieser zugeordnet ist, die das noch teilweise überströmende Gas bzw. Verunreinigungen absaugt und verhindert, daß zwischen dem Gas der einen Beschichtungskammer 6 mit dem Gas der nachfolgenden Beschichtungskammer 6 ein Gastransfer stattfindet.

Zweck dieser Erfindung ist es auch, eine wirtschaftli che Lösung für eine Flachglasbeschichtung mit dynami scher Gastrennung zu erreichen.

Das zu beschichtende Glas 2 wird auf den Rollen 4 oder nicht dargestellten Gleitelementen transportiert und ohne Stop mit konstanter Geschwindigkeit durch die Beschichtungskammern 6 transportiert, die in der Reihenfolge gemäß Fig. 6a bis 6e angeordnet sind, in der die Schichten nacheinander aufgebracht werden.

Die Gastrennung erfolgt in diesen Anlagen durch Schleusen 7, wobei die Kammern 6 unabhängig voneinander abgepumpt werden.

Wie aus Fig. 6a ferner hervorgeht, ist zwischen der ersten Beschichtungskammer 6 und der zweiten Beschichtungskammer 6 eine Wand 37 mit einer Öffnung 36 vorgesehen, so daß auf einfache Weise Gas aus den das Target 16 aufweisenden Beschichtungskammern 6 abgesaugt werden kann bzw. sichergestellt wird, daß von der das Target 16 aufweisenden Beschichtungskammer 6 zu der das zweite Target 16 aufweisenden Beschichtungskammer 6 kein Gastransfer stattfindet. Ferner ist die eine Pumpe 25 aufweisende Zwischenkammer 26 nach unten durch einen Boden 38 verschlossen.

Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6b grenzt jeweils beiderseits an eine Beschichtungskammer 6 eine eine Pumpe 25 aufweisende Zwischenkammer 26 an, die beiderseits über die in der Wand 37 vorgesehene Öffnung 26 mit der Beschichtungskammer 6 verbunden ist.

Gemäß Fig. 6c, 6d weist die Beschichtungskammer 6 sowie die sich daran jeweils anschließende Zwischenkammer 26 je eine Pumpe 25 auf. Ebenfalls sind hier auch gemäß Fig. 2 die Rollen 4 in den Seitenwänden gelagert.

In Fig. 6d sind vier Module für zwei Stationen mit Gastrennung vorgesehen, während in Fig. 6e acht Module für zwei Stationen mit Gastrennung vorgesehen sind. Gemäß Fig. 6e sind lediglich 4 Module dargestellt.

Wie aus Fig. 6e ferner hervorgeht, sind beiderseits einer Beschichtungskammer 6 zwei Kammern 26 mit je einer Pumpe 25 vorgesehen, wobei die jeweils außen liegenden Kammern 26 einen unteren Boden 39 mit einer Öffnung 40 aufweisen, während die beiden innenliegenden Kammern 26 je eine an die Beschichtungskammer 6 angrenzende Wand 41 mit je einer Öffnung 42 aufweisen. Hierdurch läßt sich eine weitere Verbesserung der Gastrennung erreichen, so daß bei jeder Beschichtungsstation eine saubere Oberflächenbeschichtung erreicht wird. Über die Öffnung 40 läßt sich das Gas im Bereich der Transportvorrichtung auf vorteilhafte Weise abpumpen, während über die Öffnung 42 in der seitlichen Wand 37 der Beschichtungsraum 6 abgepumpt wird.

Ferner ist es auch möglich, an einen Beschichtungs raum 6 zwei Kathoden bzw. Targets 16 anzuordnen.

Das Schleusenoberteil 8 ist gemäß Fig. 2 und 3 fest mit einer oberen Wand 11 der Beschichtungskammer 6 verbunden oder kann mit Abstand dazu angeordnet sein. Hierzu sind einerseits an der Wand 11 und andererseits an dem Schleusenoberteil 8 Abstandhalter 20 vorgesehen.

Das Schleusenunterteil 9 (Fig. 5) ist ähnlich wie das Schleusenoberteil 8 ausgebildet und verläuft in der gleichen vertikalen Querebene wie das Schleusenoberteil 8. Damit die Spaltbreite des Schlitzes 10 zwischen Schleusenober- und -unterteil 8, 9 genau an die Transportvorrichtung 3 und an das zugehörige Substrat 2 angepaßt werden kann, ist in vorteilhafter Weise das Schleusenunterteil 9 mit der Abdeckplatte 47 über die in der Zeichnung dargestellte Stellvorrichtung ähnlich wie in Fig. 2 oder 4 vertikal verstellbar. Auf diese Weise ist es möglich, das Schleusenunterteil 9 vertikal zu verstellen. Ferner können über in der Zeichnung nicht dargestellte Vorrichtungen die Schleusenteile auch horizontal verschoben werden.

Die quer verlaufenden Wände 22 (Fig. 4) weisen einen Abstand auf, der in etwa der Länge der Abdeckplatte 19 entspricht, so daß die Schlitzöffnung 10 immer vollständig bzw. fast verschlossen ist, auch dann, wenn sich der Transportwagen 5 nicht genau unterhalb des Schleusenoberteils 8 befindet, sondern beispielsweise unterhalb des Targets in der Stellung gemäß Fig. 1. Hierdurch wird also in jeder Stellung des Transportwa gens 5 ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern 6 weitgehend verhindert.

Ferner ist es möglich, gemäß einem weiteren in der Zeichnung nicht dargestellen Beispiel, den Gesamtquer schnitt der Transportvorrichtung 3 in Bewegungsrichtung gesehen an unterschiedlich große Schlitzöffnungen 10 in den einzelnen Schleusen 7, 7′, 7′′ anzupassen.

Hierzu können die Seitenwände des Transportwagens 5 längenveränderlich bzw. teleskopartig ausgebildet und dadurch in ihrer Höhe veränderbar sein, so daß auch unterschiedlich hohe Substrate 2 (vergleiche Fig. 3) aufgenommen werden können. Dabei ist es besonders vorteilhaft und erfindungswesentlich, daß bei einer Mehrkammerbeschichtungsanlage 1 ein schneller Durchlauf des Substrats 2 gewährleistet wird, ohne daß ein Gastransfer zwischen den Kammern 6 stattfindet.

Bezugszeichenliste

1 Mehrkammerbeschichtungsanlage
2 Glas = Substrat
3 Transportvorrichtung
4 Gleitelement, Rolle
5 Transportwagen
6 Beschichtungskammer
7 mittlere Schleuse
7′ 1. Schleuse
7′′ 3. bzw. letzte Schleuse
8 Schleusenoberteil
9 Schleusenunterteil
10 Schlitzöffnung, Querschnittsöffnung = Schleusenöffnung der Schleuse (7, 7′, 7′′)
11 Wand
12 Vorkammer
13 Belüftungskammer
14 Auslaßöffnung
15 Heizvorrichtung
16 Target
17 Plasma
18 Anpaßglied
19 Abdeckplatte
20 Abstandhalter
22 Seitenwand, Vorderwand des Transportwagens 5
23 Oberkante des gewölbten Substrats bzw. Glases 2
24 Querschnittsöffnung des Transportwagens 5
S Spalt
25 Pumpe
26 Kammer bzw. Zwischenkammer
27 Kante
28 Boden des Transportwagens 5
29 Flansch
30 Seitenwand
31 Boden
32 Stellvorrichtung
33 Zahnstange
34 Zahnrad
36 Öffnung
37 Wand
38 Boden
39 Boden
40 Öffnung
41 Wand
42 Öffnung
43 Wand
44 Wand
45 Schleusentüre
47 Abdeckplatte
49 Hydraulikzylinder

Claims

1. Mehrkammerbeschichtungsanlage (1) mit einer Vorrichtung zum Transport von Substraten, Glas (2), Flachglas und/oder geformtem Glas mit einer Transportvorrichtung (3), die aus einem nach oben hin offenen, über Gleitelemente (4) abstützbaren Transportwagen (5) besteht, auf den das Substrat (2) aufbringbar ist, welches von einer Beschichtungskammer (6) zu mindestens einer weiteren Beschichtungskammer (6) bewegbar ist, die durch eine quer zur Bewegungsrichtung des Transportwagens (5) verlaufende Schleuse (7) von der anderen Beschichtungskammer abtrennbar ist, wobei die Schleuse (7) aus einem Schleusenoberteil (8) und einem mit Abstand dazu angeordneten, eine Schlitzöffnung (10) bildenden Schleusenunterteil (9) gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine Querschnittsöffnung (10) einer zwischen zwei Beschichtungskammern (6) vorgesehenen Schleuse (7) an den Querschnitt einer Transportvorrichtung (3) mit Bezug auf die Bewegungsrichtung der Transportvorrichtung und/oder an den Querschnitt des zu bewegenden Substrats (2) oder die Transportvorrichtung (3) mit ihrem Querschnitt an die Querschnittsöffnung (10) der Schleuse (7, 7′, 7′′) anpaßbar ist.

2. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleuse (7) zwischen zwei Beschichtungskammern (6) aus einem Schleusenoberteil (8) und einem Schleusenunterteil (9) besteht, wobei zumindest ein Schleusenteil (8, 9) beweglich angeordnet ist.

3. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Schleusenteil (8, 9) höhenbeweglich angeordnet ist.

4. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Schleusenteil (8, 9) höhen- und/oder seitenbeweglich angeordnet ist.

5. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß beide Schleusenteile (8, 9) höhen- und/oder seitenbeweglich angeordnet sind.

6. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest Teile der Schleuse (7) und/oder die Schleusentür (45) seitlich weggeschwenkt oder nach oben oder unten ge klappt werden können.

7. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch Verstellung der Transportvorrichtung (3) oder Teilen davon oder durch Verstellung eines der Schleusenteile (8, 9) die durch die beiden Schleusenteile (8, 9) gebildete Querschnittsöffnung (10) an den Querschnitt der Transportvorrichtung (3) und/oder an das Substrat (2) anpaßbar ist.

8. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Bezug auf die Bewegungsrichtung quer verlaufenden Wände (22) des Transportwagens (5) untereinander einen Abstand aufweisen, der in etwa der Länge der Abdeckplatte (19) entspricht.

9. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eines der verstellbaren Schleusenteile (8, 9) über eine Stellvorrichtung in seiner Lage veränderbar ist.

10. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eines der verstellbaren Schleusenteile (8, 9) über eine Stellvorrichtung in Abhängigkeit der Bewegung des Transportfahrzeugs (5) in seiner Lage veränderbar ist, wobei die Stellvorrichtung über einen Geber bzw. Sensor ansteuerbar ist.

11. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtfläche der Abdeckplatte (19) in etwa der Gesamtfläche der Querschnittsöffnung (24) des Transportwagens (5) entspricht.

12. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, die Schleuse (7) zwischen zwei Kammern (6, 26) aus einem Schleusenoberteil (8) und einem Schleusenunterteil (9) besteht, die mit vertikalem Abstand zueinander angeordnet sind und für den Transportwagen (3) eine in ihrem Querschnitt veränderbare Durchlaßöffnung bilden.

13. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Schleusenoberteil (8) aus zwei mit Abstand zueinander angeordneten Seitenwänden (43) besteht in der eine weitere Wand (44) über die Stellvorrichtung bzw. einen Hydraulikzylinder (49) verschiebbar aufgenommen ist.

14. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Transportwagen (3) sich auf Rollen (4) abstützt, die in Seitenwänden (30) der Beschichtungskammer (6) angeordnet sind.

15. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden (31) und/ oder eine Abdeckplatte (47) unterhalb des Transportwagens (5) ferner über eine Stellvorrichtung (32) hoch und runter fahrbar ausgebildet ist, so daß er der jeweiligen Höhe der Transportvorrichtung (3) angepaßt werden kann.

16. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Rollen (4) in Seitenwänden (30) der Beschichtungskammer (6) aufgenommen sind.

17. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung (32) als Hydraulikzylinder bzw. als Zahnradgetriebe mit einer Zahnstange (33) und einem antreibbaren Zahnrad (34) ausgebildet ist.

18. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils an eine Beschichtungskammer (6) mindestens eine eine Absaugvorrichtung aufweisende Kammer bzw. Zwischenkammer (26) angeordnet ist, die mindestens eine eine Öffnung (36) aufweisende Wand (37) aufweist, so daß Gas aus der Beschichtungskammer (6) abgesaugt bzw. ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern (6) verhindert werden kann.

19. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (6) sowie die Zwischenkammer (26) mit je einer Absaugvorrichtung ausgerüstet sind.

20. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung zum Absaugen von Gas im Boden (39) der Beschichtungskammer (6) und/oder der Zwischenkammer (26) vorgesehen ist.

21. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere, je eine Absaugvorrichtung aufweisende Kammern (26) beiderseits der Beschichtungskammern (6) vorgesehen sind.