JPH0641746A

JPH0641746A - 多室形被覆装置

Info

Publication number: JPH0641746A
Application number: JP4807893A
Authority: JP
Inventors: Klaus Hartig; クラウス、ハルティヒ; Joachim Szczyrbowski; ヨアヒム、スチルボウスキー
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1992-03-30
Filing date: 1993-03-09
Publication date: 1994-02-15
Anticipated expiration: 2011-03-13
Also published as: DE4303462C2; JPH0826459B2; DE4303462A1

Abstract

(57)【要約】【目的】多室形被覆装置において２つの室の間でガス
を確実に分離する。【構成】ガラス、平面ガラス又は成形ガラスなどの基
礎材２を搬送する搬送装置３を有し、この搬送装置３が
上向きに開き滑り要素４の上に支持されている搬送台車
５から成り、この搬送台車５の上に基礎材２が載せられ
る。この基礎材２がある被覆室６から別の被覆室６に移
動され、被覆室６が搬送台車５の運動方向に対して直角
に延びるゲート７によって他の被覆室６に対して分離で
き、ゲート７がゲート上側部分８とこれに対して間隔を
隔ててスリット開口１０を形成するゲート下側部分９と
から形成されている。２つの被覆室６の間に設けられて
いるゲート７の横断面開口１０が、搬送装置３の横断面
積におよび又は移動すべき基礎材２の横断面積に合わさ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラス、平面ガラス又
は成形ガラスなどの基礎材を搬送する搬送装置を有し、
この搬送装置が上向きに開き滑り要素の上に支持されて
いる搬送台車から成り、この搬送台車の上に基礎材が載
せられ、この基礎材がある被覆室から少なくとも１つの
他の被覆室に移動され、被覆室が搬送台車の運動方向に
対して直角に延びるゲートによって他の被覆室に対して
分離でき、ゲートがゲート上側部分とこれに対して間隔
を隔ててスリット開口を形成するゲート下側部分とから
形成されているような多室形被覆装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】平面ガラスを搬送する搬送装置を有する
多室形被覆装置は既に公知である（英国特許出願公開第
２１７１１１９号公報、英国特許第１６０４０５６号明
細書、米国特許第４２７４９３６号明細書、同第４００
９０９０号明細書参照）。その搬送装置は上向きに開き
滑り要素の上に支持されている搬送台車から成り、この
搬送台車の上に基礎材が載せられ、この基礎材がある被
覆室から少なくとも１つの他の被覆室に移動される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】平面ガラスの場合に横
断面積は非常に小さいので、今までは各被覆室の間で生
ずるガス移動はほとんど無視できる。しかし各被覆室は
密に並んで位置し次の被覆室において他の被覆処理を行
おうとする場合、各被覆室の間におけるガス移動は、こ
れが生じた際に被覆層の形成および種々の被覆層におけ
る品質を低下するので、好ましくなく避けねばならな
い。

【０００４】従って本発明の目的は、２つの室の間でガ
スを分離することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、この目
的は、冒頭に述べた形式の多室形被覆室において、２つ
の被覆室の間に設けられているゲートの横断面開口が搬
送装置の横断面積におよび移動すべき基礎材の横断面積
に合わされるか、あるいは搬送装置がその横断面積をゲ
ートの横断面開口に合わされることによって達成され
る。

【０００６】このようにして非常にかさばった特に湾曲
した平面ガラスも多室形被覆室において容易に被覆処理
させられ、各被覆室の間で大きなガス移動が生ずること
なしにある被覆室から隣接する他の被覆室に移動させら
れる。これによって各被覆室における基礎材のサイクル
時間が著しく短縮され、更に申し分のない品質が達成さ
れる。

【０００７】このために、２つの被覆室の間のゲートが
ゲート上側部分とゲート下側部分とから成り、その少な
くとも一方のゲート部分が移動可能に配置されているこ
とが有利である。これによって横断面開口を種々の大き
さの搬送装置に非常に迅速に適合することができる。

【０００８】少なくとも一方のゲート部分が高さ調整可
能に配置されていることも有利である。

【０００９】更に、両方のゲート部分が高さ方向および
横方向に移動可能に配置されていると有利である。これ
によってゲート開口の種々の横断面開口への最短時間で
の適合が保証される。

【００１０】本発明の別の実施態様において本発明の目
的の解決方式は、ゲートの少なくとも一部が横に揺動で
きるか、下向きにぱたんと開けられることにある。

【００１１】本発明の他の実施態様において、両ゲート
部分によって形成された横断面開口が、搬送装置および
又は基礎材の横断面積によって閉鎖されることが有利で
ある。

【００１２】本発明の有利な実施態様において、搬送台
車の運動方向に関して横に延びる壁が相互に、蓋板の長
さにほぼ相応している間隔を有していることが有利であ
る。これによって複数の搬送台車を採用した場合に各位
置において、搬送台車がその被覆処理場所に存在してい
るときもゲート開口が閉鎖されたままになることが保証
される。

【００１３】本発明において、調整可能な少なくとも１
つのゲート部分が調整装置を介してその位置を変更でき
ることが有利である。

【００１４】本発明に基づく形成および配置に関連し
て、調整可能な少なくとも１つのゲート部分が調整装置
を介して搬送台車の運動に関係してその位置を変更で
き、その調整装置が発信器ないしセンサを介して制御で
きることが有利である。これによって搬送速度に関係し
てゲート開口の横断面積を変更できる。

【００１５】蓋板の総面積が搬送台車の横断面開口の総
面積にほぼ相応していることも有利がある。

【００１６】本発明の他の実施態様において、２つの被
覆室の間のゲートがゲート上側部分とゲート下側部分と
から成り、これらの両ゲート部分が相互に垂直間隔を隔
てて配置され、搬送台車に対してその横断面積を変更で
きる貫通開口を形成することが有利である。

【００１７】ゲートを２分割構造に形成することによっ
て、搬送台車に対してその高さに正確に合わされる貫通
開口が簡単に作れる。

【００１８】このために、特に、ゲート上側部分が相対
間隔を隔てて配置された２つの側壁を有し、これらの側
壁の間に他の壁が調整装置ないし液圧シリンダを介して
移動可能に収容されていることが有利である。例えば液
圧シリンダとしても形成できる調整装置を利用すること
によって、少なくともゲート上側部分はその高さを、そ
れが搬送装置の種々の高さに短時間に合わされるように
調整できる。このようにして、搬送台車の貫通開口への
正確な適合によってガス移動が十分に排除されるので、
各被覆室の間でガス移動が生ずることなしに、種々の高
さの搬送台車も順々に各被覆室を通して導ける。これ
は、ゲート上側部分における覆い装置が搬送台車の総面
積に合わされるか、ないしは搬送台車と同じ長さと幅を
有することによっても支援される。

【００１９】搬送台車が被覆室の側壁に配置されている
ローラに支持されていることが有利である。

【００２０】このために、更に搬送台車の下側における
底および又は蓋板が調整装置を介して上下に移動可能に
形成されて、底が搬送装置のその都度の高さに合わされ
ることが有利である。ローラは有利に底と共に調整され
るか、ローラを収容する調整装置が、ローラがその底に
関する高さを変更して、搬送台車の異なった高さに合わ
されるように形成される。更に、ローラを被覆室におけ
る底に無関係にその高さを調整するために、ローラを被
覆室の側壁に高さ調整可能に支持することもできる。

【００２１】このために本発明に基づいて、ローラが被
覆室の側壁に収容されていることが有利である。

【００２２】本発明の有利な実施態様において、調整装
置が液圧シリンダとして、ないしはラックと駆動可能な
ピニオンとを持った歯車機構として形成されていること
が有利である。液圧シリンダの代わりに被覆室の底の各
部品を調整するために、歯車伝動装置あるいは異なって
形成された調整装置を採用することもできる。

【００２３】種々の被覆処理場所において異なった材料
で基礎材を支障なしに被覆することを保証するために、
それぞれ被覆室に吸引装置付きの少なくとも１つの室な
いし中間室が配置され、この室が開口を持った少なくと
も１つの壁を有し、ガスが被覆室から吸い出されるか、
個々の被覆室間のガス移動が阻止されることが有利であ
る。

【００２４】このために、更に被覆室並びに中間室がそ
れぞれ吸引装置を備えていることが有利である。

【００２５】更に、ガスを吸い出すための開口が被覆室
および中間室の底に設けられており、それぞれ吸引装置
を有する２つあるいはそれ以上の室が被覆室の両側に設
けられ、例えばその開口が被覆室あるいは吸引装置に接
続されている室の底に設けられていることが有利であ
る。このようにして搬送装置の脱気ないし浄化が有利に
行われ、搬送装置をある被覆室から他の被覆室に移動す
る際に汚れ粒子ないしガス成分が一緒に運ばれることは
ない。従って物質は問題なしに各被覆室において種々の
材料で被覆処理でき、その場合、個々の被覆層は高い純
度を有する。

【００２６】本発明の他の利点および詳細は特許請求の
範囲および発明の詳細な説明の項にそれぞれ記載され、
図面に示されている。なお本発明の発明性は特許請求の
範囲のすべての請求項の特徴事項およびそれらの組み合
わせに存在する。

【００２７】

【実施例】図において１は多室形被覆装置であり、これ
はガラス、平形ガラス特に成形済みあるいは湾曲済みガ
ラスなどの基礎材２を搬送するための装置３を持ってい
る。この搬送装置３は滑り要素ないしローラ４を介して
支持され上が開いた搬送台車５を有している。この搬送
台車５の底２８の上に湾曲ガラス２が置かれる。この湾
曲ガラス２は図面に概略的に示されている前室１２から
第１の被覆室６および少なくとも１つの他の被覆室６に
移動される。

【００２８】図６〜図１０に基づいて複数の被覆室６を
直列接続し、基礎材２あるいはガラス表面の上に種々の
被覆層を設けることもできる。基礎材２は最後の被覆室
６を通過しゲート７″を通って通風室１３に到達する。
この通風室１３は被覆層を再処理するためにも採用でき
る。図１には自動スパッタリング装置の原理だけが示さ
れている。単室・製造装置あるいは多室・製造装置をこ
の原理で作ることもできる。

【００２９】前室１２は、被覆室の清潔さを向上し、こ
れによって装填時間を短縮する目的を有している。この
ために基礎材を前処理することが特に有利である。

【００３０】図１、図５ないし図６〜図１０において湾
曲ガラス２は前室１２および最初のゲート７′を介して
第１の被覆室６の中に到達し、そこから他のないしは第
２のゲート７を介して図６〜図１０における少なくとも
第３の被覆室６に到達し、最後に他のないしは第３のゲ
ート７″を介して通風室３に到達する。この通風室３は
被覆層を再処理するためにも採用できる。最初のゲート
７′および最後のゲート７″は前室１２ないし通風室１
３を被覆室６から完全に遮断し、これに対して中間ゲー
ト７はスリット開口１０を有している。

【００３１】被覆室６の前室１２は図面において円で示
されている１台あるいは数台のポンプ２５および１つあ
るいは複数の出口開口１４を介して排気される。図６お
よび図７においてポンプ２５ないしポンプ入口開口は対
応した被覆室６あるいは中間室２６にも設けられる。

【００３２】図６〜図１０には、図１における実施例と
同じ原理で作動する種々の実施例が示されている。

【００３３】多室・スパッタリング装置は直流・ダイオ
ード装置あるいは高周波・ダイオード装置を装備され
る。図１において前室１２の中には加熱装置１５および
搬送装置３しか概略的に示されておらず、被覆室６の中
にはターゲット１６、プラズマ１７、基礎材２を持った
搬送装置３および高周波供給装置のアダプタ１８が概略
的に示されている。

【００３４】中間ゲート７は図１〜図４において、個々
の被覆室６の間に搬送台車５の移動方向に対して直角に
配置され、ある被覆室６を他の被覆室６から分離してい
る。

【００３５】図１において最初のゲート７′、最後のゲ
ート７″および２つの被覆室６の間に設けられているゲ
ート７は、ゲート上側部分８およびこれに対して間隔を
隔てて配置され横断面開口ないしスリット開口１０を形
成するゲート下側部分９から成っている。ゲート７′，
７″は図示していない調整装置を介して開放され、搬送
装置３が基礎材２と共にある室から次の室に移動される
とき、上向きに変位される。このためにゲート７′，
７″は垂直に移動できるゲートドア４５を有している。
ゲートドア４５は別の方式で調整でき、例えばゲート
７，７′，７″の横断面開口１０を開けるために、ゲー
トドア４５を下向き、上向きあるいは横向きにぱたんと
開くことができる。

【００３６】２つの被覆室６の間に設けられたゲート７
は、その下縁２７（図１参照）に水平に延びる蓋板１９
が接続されているゲート上側部分８を有している。その
蓋板１９は搬送台車５をある被覆室６から他の被覆室６
に移動する際に搬送台車５の上向きに開いた収容部分の
上に位置し、このようにしてスリット開口１０をできる
だけ小さくし、隣り合う２つの被覆室６の間におけるガ
スの交換が阻止されるようにする。

【００３７】蓋板１９の下側にこれに対して間隔を隔て
て第２の蓋板４７（図４、図５参照）が設けられてい
る。この蓋板４７は、図５においてローラ４およびフラ
ンジ２９が十分に場所を占めるような大きなスリット開
口１０を形成している。このようにして搬送台車５は大
きなガス移動なしにある作業場所から次の作業場所に移
動できる。

【００３８】蓋板１９は図１、図４および図５において
搬送台車５の上向きの横断面開口２４に相応しているの
で、搬送台車５をある被覆室６から他の被覆室６に移送
する際にスリット開口１０は増大しない。蓋板１９の下
側面と搬送台車５の上縁との間に最小の隙間Ｓだけが存
在している。しかしこの隙間Ｓは、隣り合う被覆室６の
間でガス交換が行われないほど小さい。これはいずれの
場合も、各被覆室６におけるスパッタリング作業場所に
不利な影響を与えないほど極めて小さい。スリット開口
１０は図４において搬送台車５の大きさに応じて搬送台
車５の横断面積に合わされる。このスリット開口１０
は、ゲート部分８，９が移動可能に配置されているゲー
ト７の有利な実施態様によれば、搬送台車５をスリット
開口１０に入れる場合に搬送台車５の前面壁２２の横断
面積と関連して数ｍｍ、即ち約１〜２ｍｍに縮小され
る。

【００３９】平面ガラスの代わりに図５における湾曲ガ
ラスが搬送台車５上で搬送されるとき、このために搬送
台車５は、湾曲基礎材ないしガラス２の上縁２３（図
３、図５参照）とほぼ同じ高さで終えている４つの側壁
２２を有する。このようにしてスリット開口１０は大形
化した搬送台車５を介して閉じられ、ガスの移動が阻止
される。それにも拘わらず多少のガス移動が行われたと
き、これはポンプ２５および出口開口１４を介して搬出
される。即ちこのようにしてある室において反応ガスを
利用した状態で効果的にスパッタリングされ、これに続
く他の室６において別のガスで作業される。

【００４０】図２〜図５において、搬送台車５の側壁２
２に水平に延びるフランジ２９が設けられている。これ
らのフランジ２９にローラ４が接触支持される（図２、
図３参照）。

【００４１】ローラ４は図３ないし図４において被覆室
６の側壁３０に固定して配置されている。図３において
湾曲ガラス２を搬送しようとする場合、深い搬送台車５
が採用される。このために蓋板１９と蓋板４７との間あ
るいはターゲット１６と後述されているような底３１
（図２参照）との間の中間室は変更できねばならない。

【００４２】この中間室を変更することによって種々の
高さの搬送台車５が採用できる。

【００４３】更に底３１は図２において調整装置３２を
介して上下に移動され、これにより底３１は搬送装置３
のその都度の高さに合わされる。調整装置３２は底３１
に配置されたラック３３とピニオン３４とから成ってい
る。調整装置３２は液圧シリンダでも構成できる。ロー
ラ４は被覆室６の側壁３０に支持され調整不能である。
しかしローラ４は被覆室６の側壁３０に垂直に調整可能
に支持することもでき、このためにローラ４はこれを搬
送台車５に合わせるためにスリットガイド（図示せず）
の中に収容される。

【００４４】更に図４に基づいて蓋板１９はその高さを
調整することもできる。そのために蓋板１９は図４にお
いて調整装置に結合されている。この調整装置は図面に
一部しか示されていない液圧シリンダ４９から成ってい
るか、図２において底３１を調整するための調整装置３
２のような駆動ピニオンを持ったラックから構成される
ので、このようにしてゲート上側部分８は搬送装置３の
相応した高さに合わせるために調整できる。底３１を調
整するとき、蓋板４７も調整装置３２のような図示して
いない調整装置を介して一緒に調整される。このように
してスリット開口ないしゲート開口１０は、ゲート７〜
７″の変更を行う必要なしに、短時間で搬送台車５の種
々の高さに合わされる。ターゲット１６の位置は、必要
な場合に図４の実施例のような図示していない装置を介
して一緒に調整される。

【００４５】ゲート上側部分８は互いに間隔を隔てて配
置された２つの側壁４３を有し（図４参照）、これらの
側壁４３の間において他の壁４４は調整装置ないし液圧
シリンダ４９を介して移動できる。

【００４６】被覆室６間に設けられたゲート７によって
個々の被覆室６間においてガスの最良の分離が有利に達
成される。

【００４７】図６〜図１０に概略的に示されている各実
施例から分かるように、各ゲート７〜７″間に複数の中
間室２６が設けられている。これらの実施例において単
純化のために先に示した部品は省かれている。

【００４８】図６において２つのゲート７の間にそれぞ
れ１つの中間室２６が設けられている。これらの中間室
２６にはポンプ２５が設けられているか付属されてお
り、このポンプ２５は部分的に溢流するガスないし不純
物も吸い出し、ある被覆室６のガスと次の被覆室６のガ
スとの間でガス移動が行われることを阻止する。

【００４９】本発明の目的は、平面ガラス被覆処理に対
して動的なガス分離作用を有する経済的な方式を得るこ
とにもある。

【００５０】被覆すべきガラス２はローラ４あるいは図
示していない滑り要素の上を搬送され、停止せずに一定
速度で複数の被覆室６を通って搬送される。これらの被
覆室６は図６〜図１０において直列に配置され、この中
で順々に各被覆層が設けられる。

【００５１】この装置においてガスの分離はゲート７に
よって行われ、被覆室６は互いに無関係に排気される。

【００５２】更に図６から分かるように、第１の被覆室
６と第２の被覆室６との間に開口３６付きの壁３７が設
けられているので、簡単な方法でガスはターゲット１６
を有する被覆室６から吸いだされるか、あるいは第１の
ターゲット１６を有する被覆室６から第２のターゲット
１６を有する被覆室６にガスの移動が行われないことを
保証できる。更にポンプ２５を有する中間室２６は下向
きに底３８によって閉鎖されている。

【００５３】図７における実施例の場合、被覆室６の両
側にそれぞれポンプ２５を有する中間室２６が続き、両
側の中間室２６は壁３７に設けられた開口３６を介して
被覆室６に接続されている。

【００５４】図８および図９において被覆室６並びにそ
れに続いている中間室２６はポンプ２５を有している。
同様にここでも図２に基づいてローラ４が側壁に支持さ
れている。

【００５５】図９においてはガス分離部付きの２つの作
業場所に対して４つのモジュールが設けられ、図１０に
おいてはガス分離部付きの２つの作業場所に対して８つ
のモジュールが設けられている。図１０には４つのモジ
ュールしか示されていない。

【００５６】図１０から分かるように、被覆室６の両側
にそれぞれポンプ２５を持った２つの室２６が設けられ
ており、その外側に位置する室２６は開口４０付きの下
側底３９を有し、内側に位置する室２６は被覆室６に隣
接する開口４２付きの壁４１を有している。これによっ
てガス分離作用の一層の向上が図れるので、各被覆作業
場所においてきれいな表面被覆が達成される。ガスは一
方では開口４０を通して搬送装置の範囲において有利に
排出され、他方では被覆室６の側壁３７における開口４
２を介して排出される。

【００５７】更に、被覆室６に２個の陰極ないしターゲ
ット１６を配置することもできる。

【００５８】ゲート上側部分８は図２および図３におい
て被覆室６の上側壁１１に固く結合されるか、これに対
して間隔を隔てて配置される。このために一方では壁１
１に他方ではゲート上側部分８にスペーサ２０が設けら
れる。

【００５９】ゲート下側部分９（図５参照）はゲート下
側部分８と同じように形成され、ゲート上側部分８と同
じ垂直の横平面内を延びている。ゲート上側部分８とゲ
ート下側部分９との間のスリット１０の隙間幅が搬送装
置３およびその基礎材２に正確に合わせられるようにす
るために、ゲート下側部分９は蓋板４７と共に図２およ
び図４に図示したような調整装置を介して垂直に有利に
調整できる。このようにしてゲート下側部分９を垂直に
調整することができる。更にゲート部分を図示していな
い装置を介して水平に調整することもできる。

【００６０】横に延びる壁２２は蓋板１９の長さにほぼ
相応した間隔を有しているので（図４参照）、搬送台車
５がゲート上側部分８の真下に位置せず例えば図１にお
ける状態でターゲットの下側に位置するときも、スリッ
ト開口１０は常に完全にあるいはほぼ完全に閉じられ
る。即ち、これによって搬送台車５の各位置において各
被覆室６間のガス移動は十分に避けられる。

【００６１】更に図示していない他の実施例において、
搬送装置３の運動方向に見た総断面積を各ゲート７，
７′，７″における種々の大きさのスリット開口１０に
適合することができる。

【００６２】このために搬送台車５の側壁を長さ変更可
能にないしは望遠鏡式に形成し、これによってその高さ
を変更して、種々の高さの基礎材２（図３参照）も収容
できるようにすることができる。この場合、多室形被覆
装置１において被覆室６間におけるガスの移動が行われ
ることなしに、基礎材２の迅速な通過が保証されること
に特に大きな利点と進歩性がある。

【００６３】

【発明の効果】本発明によれば多室形被覆装置におい
て、各被覆室の間におけるガスの移動が確実に避けら
れ、非常に迅速に且つ高い品質で被覆処理を行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ガラス、平面ガラスおよび又は成形ガラスなど
の基礎材を搬送するための装置を持った多室形被覆装置
の概略断面図。

【図２】平面ガラスを収容するための搬送台車を持った
ゲートの断面図。

【図３】湾曲ガラスを収容するための搬送台車を持った
ゲートの断面図。

【図４】水平に延びる板を持ったゲートの概略図。

【図５】ゲートの横断面開口の中に挿入される直前の搬
送台車の斜視図。

【図６】多室形被覆装置の被覆室および中間室の第１の
実施例の概略図。

【図７】同じく第２実施例の概略図。

【図８】同じく第３実施例の概略図。

【図９】同じく第４実施例の概略図。

【図１０】同じく第５実施例の概略図。

【符号の説明】

１多室形被覆装置２ガラス＝基礎材３搬送装置４滑り要素、ローラ５搬送台車６被覆室７中間ゲート７′ 第１のゲート７″ 第３ないし最終ゲート８ゲート上側部分９ゲート下側部分１０スリット開口、横断面開口＝ゲート（７，７′，
７″）のゲート開口１１壁１２前室１３通風室１４出口開口１５加熱装置１６ターゲット１７プラズマ１８アダプタ１９蓋板２０スペーサ２２側壁、搬送台車５の前面壁２３湾曲基礎材ないしガラス２の上縁２４搬送台車５の横断面開口Ｓ隙間２５ポンプ２６室ないし中間室２７縁２８搬送台車５の底２９フランジ３０側壁３１底３２調整装置３３ラック３４ピニオン３６開口３７壁３８底３９底４０開口４１壁４２開口４３壁４４壁４５ゲートドア４７蓋板４９液圧シリンダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラス、平面ガラス又は成形ガラスなどの
基礎材（２）を搬送する搬送装置（３）を有し、この搬
送装置（３）が上向きに開き滑り要素（４）の上に支持
されている搬送台車（５）から成り、この搬送台車
（５）の上に基礎材（２）が載せられ、この基礎材
（２）がある被覆室（６）から少なくとも１つの他の被
覆室（６）に移動され、この被覆室（６）が搬送台車
（５）の運動方向に対して直角に延びるゲート（７）に
よって他の被覆室（６）に対して分離でき、ゲート
（７）がゲート上側部分（８）とこれに対して間隔を隔
ててスリット開口（１０）を形成するゲート下側部分
（９）とから形成されているような多室形被覆装置にお
いて、２つの被覆室（６）の間に設けられているゲート（７）
の横断面開口（１０）が搬送装置（３）の運動方向に関
する搬送装置（３）の横断面積におよび移動すべき基礎
材（２）の横断面積に合わされるか、あるいは搬送装置
（３）がその横断面積をゲート（７，７′，７″）の横
断面開口（１０）に合わされることを特徴とする多室形
被覆装置。
【請求項２】２つの被覆室（６）の間のゲート（７）が
ゲート上側部分（８）とゲート下側部分（９）とから成
り、その少なくとも一方のゲート部分（８，９）が移動
可能に配置されていることを特徴とする請求項１記載の
多室形被覆装置。
【請求項３】少なくとも一方のゲート部分（８，９）が
高さ調整可能に配置されていることを特徴とする請求項
１又は２記載の多室形被覆装置。
【請求項４】少なくとも一方のゲート部分（８，９）が
高さ方向および横方向に移動可能に配置されていること
を特徴とする請求項１記載の多室形被覆装置。
【請求項５】両方のゲート部分（８，９）が高さ方向お
よび横方向に移動可能に配置されていることを特徴とす
る請求項１ないし４のいずれか１項に記載の多室形被覆
装置。
【請求項６】ゲート（７）の少なくとも一部およびゲー
トドア（４５）が横に揺動できるか、上向きあるいは下
向きにぱたんと開けることを特徴とする請求項１ないし
５のいずれか１項に記載の多室形被覆装置。
【請求項７】搬送装置（３）あるいはその一部の調整に
よって又は一方のゲート部分（８，９）の調整によっ
て、両ゲート部分（８，９）によって形成された横断面
開口（１０）が搬送装置（３）の横断面積および基礎材
（２）に合わされることを特徴とする請求項１ないし６
のいずれか１項に記載の多室形被覆装置。
【請求項８】搬送台車（５）の運動方向に関して横に延
びる壁（２２）が相互に、蓋板（１９）の長さにほぼ相
応している間隔を有していることを特徴とする請求項１
ないし７のいずれか１項に記載の多室形被覆装置。
【請求項９】調整可能な少なくとも１つのゲート部分
（８，９）が調整装置を介してその位置を変更できるこ
とを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載
の多室形被覆装置。
【請求項１０】調整可能な少なくとも１つのゲート部分
（８，９）が調整装置を介して搬送台車（５）の運動に
関係してその位置を変更でき、その調整装置が発信器な
いしセンサを介して制御できることを特徴とする請求項
１ないし９のいずれか１項に記載の多室形被覆装置。
【請求項１１】蓋板（１９）の総面積が搬送台車（５）
の横断面開口（２４）の総面積にほぼ相応していること
を特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載
の多室形被覆装置。
【請求項１２】２つの被覆室（６，２６）の間のゲート
（７）がゲート上側部分（８）とゲート下側部分（９）
とから成り、これらの両ゲート部分（８，９）が相互に
垂直間隔を隔てて配置され、搬送台車（５）に対してそ
の横断面積を変更できる貫通開口を形成することを特徴
とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の多室
形被覆装置。
【請求項１３】ゲート上側部分（８）が相対間隔を隔て
て配置された２つの側壁（４３）を有し、これらの側壁
（４３）の間に他の壁（４４）が調整装置ないし液圧シ
リンダ（４９）を介して移動可能に収容されていること
を特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１項に記載
の多室形被覆装置。
【請求項１４】搬送台車（５）が被覆室（６）の側壁
（３０）に配置されているローラ（４）に支持されてい
ることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１項
に記載の多室形被覆装置。
【請求項１５】搬送台車（５）の下側における底（３
１）および蓋板（４７）が調整装置（３２）を介して上
下に移動可能に形成されて、搬送台車（５）が搬送装置
（３）のその都度の高さに合わされることを特徴とする
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の多室形被覆
装置。
【請求項１６】ローラ（４）が被覆室（６）の側壁（３
０）に収容されていることを特徴とする請求項１ないし
１５のいずれか１項に記載の多室形被覆装置。
【請求項１７】調整装置（３２）が液圧シリンダとし
て、ないしはラック（３３）と駆動可能なピニオン（３
４）とを持った歯車機構として形成されていることを特
徴とする請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の多
室形被覆装置。
【請求項１８】それぞれ被覆室（６）に吸引装置付きの
少なくとも１つの室ないし中間室（２６）が配置され、
この室が開口（３６）を持った少なくとも１つの壁（３
７）を有し、ガスが被覆室（６）から吸い出されるか、
個々の被覆室（６）間のガス移動が阻止されることを特
徴とする請求項１ないし１７のいずれか１項に記載の多
室形被覆装置。
【請求項１９】被覆室（６）及びに中間室（２６）がそ
れぞれ吸引装置を備えていることを特徴とする請求項１
ないし１８のいずれか１項に記載の多室形被覆装置。
【請求項２０】ガスを吸い出すための開口が被覆室
（６）又は中間室（２６）の底（３９）に設けられてい
ることを特徴とする請求項１ないし１９のいずれか１項
に記載の多室形被覆装置。
【請求項２１】それぞれ吸引装置を有する２つあるいは
それ以上の室（２６）が被覆室（６）の両側に設けられ
ていることを特徴とする請求項１ないし２０のいずれか
１項に記載の多室形被覆装置。