DE19916666C2

DE19916666C2 - Vakuumkammer für flache Substrate

Info

Publication number: DE19916666C2
Application number: DE19916666A
Authority: DE
Inventors: Thomas Gebele; Gert Roedling
Original assignee: Leybold Systems GmbH
Current assignee: Applied Materials GmbH and Co KG
Priority date: 1999-04-14
Filing date: 1999-04-14
Publication date: 2001-06-21
Anticipated expiration: 2019-04-15
Also published as: JP2000327131A; CN1229513C; CN1275634A; DE19916666A1; US6332525B1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer für flache Substrate, in welcher zum Transport der Substrate an ih ren beiden Enden von jeweils einem Lager gehaltene, ober halb eines Bodens der Vakuumkammer angeordnete Transport rollen vorgesehen sind.

Vakuumkammern der vorstehenden Art werden insbesondere als Schleusenkammern für Flachglas-Beschichtungsanlagen eingesetzt und sind allgemein bekannt. Um bei solchen An lagen eine möglichst hohe Prozessgeschwindigkeit zu er reichen, ist es erforderlich, die Vakuumkammer möglichst rasch zu evakuieren. Das erreicht man durch ein möglichst geringes Volumen der Vakuumkammer und durch möglichst hohe Leistungen des Pumpstandes, mit dem die Vakuumkammer evakuiert wird.

Als Mittel zur Reduzierung des Kammervolumens sind zur Zeit eingezogene Kammerdeckel, Verdrängerkörper zwischen den Transportrollen und vakuumdichte Transportrollen be kannt. Hierdurch lässt sich das Kammervolumen erheblich vermindern. Eine weitere, deutliche Reduzierung des Kam mervolumens wäre möglich, wenn Transportrollen mit klei nerem Durchmesser eingesetzt werden könnten. Dem steht jedoch entgegen, dass die Transportrollen nur an ihren Enden gelagert werden können und oftmals eine Länge von mehreren Metern haben müssen. Da sie sich zum sicheren und richtungsstabilen Transport des flachen Substrates nur sehr begrenzt durchbiegen dürfen, erfordert die große freie Länge zwangsläufig einen relativ großen Transport rollendurchmesser, der bei heutigen Anlagen oftmals über 10 cm liegt. Eine zusätzliche Lagerung der Transportrol len in der Mitte der Vakuumkammer ist mit den derzeit be kannten Mitteln nicht möglich, weil der Kammerboden wie eine Membran wirkt und sich beim Evakuieren und Belüften um mehr als 1 mm bewegt.

Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Vakuumkam mer der eingangs genannten Art so auszubilden, dass sie bei einer vorgegebenen Substratgröße ein möglichst gerin ges Kammervolumen hat.

Dieses Problem wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Transportrollen zusätzlich zwischen den äußeren La gern durch zumindest ein mittleres Lager abgestützt sind, welches jeweils auf einem Stempel angeordnet ist, der dichtend durch eine Durchbrechung des Bodens der Vakuum kammer hindurchgeführt ist und sich auf einer Auflage un terhalb des Bodens abstützt.

Durch diese erfindungsgemäße, zusätzliche Abstützung der Transportrollen zwischen ihren äußeren Lagern kann man den Durchmesser der Transportrollen auf etwa die Hälfte reduzieren, ohne unerwünscht starke Durchbiegungen ent stehen zu lassen. Da das mittlere Lager durch den es tra genden Stempel nicht auf dem Boden der Vakuumkammer, son dern außerhalb der Vakuumkammer, beispielsweise auf dem Fundament abgestützt ist, führen Bewegungen des Bodens der Kammer nicht zu einer Verschiebung des mittleren La gers, so dass man den Boden wie bisher ausbilden und auf teure Verstärkungen im Boden verzichten kann.

Die Abdichtung des Stempels des mittleren Lagers gegen über dem Boden der Vakuumkammer könnte durch übliche Dichtungen erfolgen. Die Abdichtung ist völlig ver schleißfrei und kostengünstig zu verwirklichen, wenn ge mäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung der Stempel über einen Faltenbalg mit dem Boden der Vakuum kammer verbunden ist.

Eine besonders hohe Gasdichtigkeit erreicht man, wenn der Faltenbalg aus Federstahl besteht.

Konstruktiv besonders einfach ist das mittlere Lager ge staltet, wenn es zwei gegen die Unterseite der jeweiligen Transportrolle anliegende Stützrollen hat.

Aus Fertigungsgründen kann es vorteilhafter sein, statt über die gesamte Breite der Vakuumkammer reichende Trans portrollen jeweils zwei zueinander fluchtende Transport rollen anzuordnen. Das lässt sich dank der Erfindung ver wirklichen, wenn man die Transportrollen zwischen den äu ßeren Lagern im Bereich des mittleren Lagers teilt. Das mittlere Lager kann hierzu auf dem Stempel nebeneinander zwei Lagerringe haben, in welchem jeweils ein Zapfen ei ner Transportrolle hineinragt.

Die Erfindung lässt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist in der Zeichnung ein Schnitt durch einen Teilbereich einer Vakuumkammer dargestellt und wird nachfolgend beschrie ben.

Die Zeichnung zeigt einen Boden 1 einer Vakuumkammer 2. In dieser Vakuumkammer 2 erkennt man ein äußeres Lager 3, welches eine Transportrolle 4 an einem Ende lagert. Am nicht zu sehenden, gegenüberliegenden Ende der Transport rolle 4 wird diese mit einem gleichen Lager gelagert. Un terhalb der Transportrolle 4 ist ein als Stützlager aus gebildetes, mittleres Lager 5 angeordnet, welches mit zwei Stützrollen 6, 7 die Transportrolle 4 zwischen den äußeren Lagern 3 abstützt.

Wichtig für die Erfindung ist ein Stempel 8, der auf ei ner Auflage 9, bei der es sich um das Fundament handelt, abgestützt ist. Dieser Stempel 8 führt durch eine Durch brechung 10 des Bodens 1 der Vakuumkammer 2 hindurch und trägt auf seinem oberen Ende das mittlere Lager 5. Um zu verhindern, dass durch die Durchbrechung 10 Luft in das Innere der Vakuumkammer 2 gelangen kann, ist ein den Stempel 8 umgebender Faltenbalg 11 aus Stahl zwischen dem Boden 1 und der Auflage 9 angeordnet.

Nicht dargestellt ist, dass im mittleren Bereich auf dem Stempel 8 auch zwei Lager angeordnet sein können, die je weils ein Ende einer geteilten Transportrolle lagern.

Bezugszeichenliste

1

Boden

2

Vakuumkammer

3

Lager

4

Transportrolle

5

Lager

6

Stützrolle

7

Stützrolle

8

Stempel

9

Auflage

10

Durchbrechung

11

Faltenbalg

Claims

1. Vakuumkammer für flache Substrate, in welcher zum Transport der Substrate an ihren beiden Enden von jeweils einem Lager gehaltene, oberhalb eines Bodens der Vakuum kammer angeordnete Transportrollen vorgesehen sind, da durch gekennzeichnet, dass die Transportrollen (4) zu sätzlich zwischen den äußeren Lagern (3) durch zumindest ein mittleres Lager (5) abgestützt sind, welches jeweils auf einem Stempel (8) angeordnet ist, der dichtend durch eine Durchbrechung (10) des Bodens (1) der Vakuumkammer (2) hindurchgeführt ist und sich auf einer Auflage (9) unterhalb des Bodens (1) abstützt.

2. Vakuumkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stempel (8) über einen Faltenbalg (11) mit dem Boden (1) der Vakuumkammer (2) verbunden ist.

3. Vakuumkammer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Faltenbalg (11) aus Federstahl besteht.

4. Vakuumkammer nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mittlere La ger (5) als Stützlager ausgebildet ist und zwei gegen die Unterseite der jeweiligen Transportrolle (4) anliegende Stützrollen (6, 7) hat.

5. Vakuumkammer nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportrol len (4) zwischen den äußeren Lagern (3) im Bereich des mittleren Lagers (5) geteilt sind.