-
Die
Erfindung betrifft einen Pumpkanal einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage, durch
welche in einer Substratebene ein zu beschichtendes Substrat in
einer Transportrichtung bewegbar ist und welche in zumindest einer
ihrer Gehäuseaußenwände zumindest
eine mit einem Deckel verschließbare Öffnung(en)
aufweist. Der Pumpkanal ist gebildet aus den seitlichen Gehäuseaußenwänden der
Vakuumbeschichtungsanlage und zumindest zwei parallel und beidseitig
zur Substratebene angeordneten, tunnelbildenden Elementen.
-
Die
betreffenden Vakuumbeschichtungsanlagen dienen der ein- oder beidseitigen
Beschichtung flacher Substrate. Mittels Zwischenwände, welche ein-
oder beidseitig des Substrats bis nahezu an das Substrat in den
Innenraum der Anlage hineinragen, ist die Vakuumbeschichtungsanlage
in zumindest zwei in Transportrichtung aufeinander folgende Kompartments
unterteilt. Während
ein Beschichtungskompartment bei einseitiger Beschichtung auf einer Seite
des Substrats oder bei gleichzeitig realisierter beidseitiger Beschichtung
auf beiden Seiten des Substrats Magnetrons einschließlich deren
Magnetronumgebung als Beschichtungsquellen aufweist. Die Beschichtungskompartments
lassen sich entweder direkt über
einen am vorhandenen Vakuumpumpenanschluss oder indirekt über eine
Saugöffnung
in der Zwischenwand evakuieren. Bei indirekter Evakuierung werden
in einem benachbarten Pumpkompartment ein oder mehrere Saugräume abgeteilt,
indem mittels einer horizontalen Trennwand der Transportraum, in
welchem das Substrat durch die Anlage bewegt wird, von dem Saugraum,
welcher zumindest einen Vakuumpumpenanschluss aufweist, getrennt. Üblicherweise
evakuiert ein Pumpkompartment ein in Transportrichtung vorgelagertes
und ein nachfolgendes Beschichtungskompartment und ist dafür in zwei separate,
in Transportrichtung aufeinander folgende Saugräume unterteilt.
-
Die
Anzahl und die Aufeinanderfolge der verschiedenen Kompartments innerhalb
der Vakuumbeschichtungsanlage variiert entsprechend der herzustellenden
Schicht oder Schichtsysteme. Bei einem komplexen Schichtsystem,
dessen Einzelschichten unter deutlich voneinander abweichenden Beschichtungsparametern
und Beschichtungsatmosphären aufzutragen
sind, ist die vollständige
Trennung der verschiedenen Beschichtungsatmosphären mittels der so genannten
Gasseparation Voraussetzung für die
Gewährleistung
der Schichteigenschaften.
-
Dafür wird im
Pumpkompartment der Transportraum, in welchem das Substrat durch
die Anlage bewegt wird, von dem Saugraum durch zwei in der nahen
Umgebung des Substrats und ungefähr
parallel zum Substrat angeordnete Trennwände abgeteilt. Bei einseitigen
Beschichtungsanlagen kann eine der Trennwände auch durch eine Gehäuseaußenwand ersetzt
sein. Im Bereich des Substrates ist auf diese Weise ein tunnelartiger
Raum, der Pumpkanal, gebildet, der aufgrund seines Querschnitts
sowie des geringen und insbesondere des vergleichbaren Gasdruckes
der beiderseitig an den Pumpkanal angrenzenden Kompartments einen
Strömungswiderstand darstellt.
Durch entsprechende Bemessung des Strömungswiderstandes kann eine
maximale passive Gasseparation zwischen diesen beiden angrenzenden
Kompartments gewährleistet
werden.
-
Zur
Abtrennung des Pumpkanals werden in den derzeit bekannten Vakuumbeschichtungsanlagen
die Trennwände
beispielsweise auf fest in der Anlage montierten Rahmen oder auf
Haltevorrichtungen aufgelegt und befestigt, welche an den stationären Zwischenwänden montiert
sind. In der Vakuumbeschichtungsanlage, welche in der
deutschen Patenschrift 197 33 940
C2 beschrieben ist, sind die horizontalen Trennwände (Zwischenböden) fest
mit den stationären,
als Zwischenwände
dienenden Querschotts verbunden.
-
Im
Falle der Wartung des gesamten Beschichtungsbereiches oder bei Störungen des
Substrattransportes und bei Glasbruch ist es jedoch erforderlich,
die von der Störung
betroffenen Anlagenbereiche möglichst
kurzfristig und vollständig
zu öffnen. Um
einen Pumpkanal zu öffnen,
sind dann stets zuerst die Vakuumpumpenanschlüsse oder auch die Vakuumpumpen
selbst zu entfernen und anschließend soweit wie möglich die
Tunnelkonstruktion manuell zu demontieren oder, sofern die Tunnelkonstruktion
in weiteren Einbauten kompakt ausgeführt ist, mit einem Hebezeug
insgesamt aus der Anlage zu entfernen. In jedem Fall ist der Zugang
zum Pumpkanal mit einem erheblichen, lange Ausfallzeiten und Kosten
verursachendem Montageaufwand verbunden, insbesondere da jeder Arbeitsgang
im Inneren der Anlage zeitaufwendig ist und Verunreinigungen der
Beschichtungsatmosphäre
mit sich bringt, die sich in einer Verlängerung der Anlaufphase bis
zur Einstellung stabiler Beschichtungsparameter widerspiegeln.
-
Gleichzeitig
besteht in zunehmendem Maße die
Anforderung der Betreiber von Vakuumbeschichtungsanlagen, bestehende
Anlagen entsprechend den verschiedenen damit herzustellenden Schichtsystemen
und deren fortlaufender Weiterentwicklung vor Ort umrüstbar zu
gestalten. Dazu müssen
die Einbauten in der Vakuumbeschichtungsanlage und hierbei insbesondere
die Zwischen- und Trennwände einerseits
sehr flexibel und mit geringem Aufwand montierbar sein sowie kurze
Umrüstzeiten
gestatten und andererseits stabile Beschichtungsatmosphären bei
kurzen Anlaufphasen gewährleisten.
-
Der
Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Pumpkanal für längserstreckte
Vakuumbeschichtungsanlagen anzugeben, der mit minimalem Aufwand
variabel in der Anlage auszubilden ist und dabei einen vollständigen und
kurzfristigen Zugang zur Substratebene gewährleistet.
-
Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
dass bei der anfangs erwähnten
Vorrichtung ein erstes der beiden tunnelbildenden Elemente an einem
Deckel und mit einem Abstand zu diesem Deckel montiert und durch
die Öffnung,
welche der Deckel verschließt,
aus dem Anlagengehäuse
entnehmbar ist.
-
Durch
die Verbindung des tunnelbildenden Elements mit dem Deckel es ist
möglich,
einen vollständig
ausgerüsteten
Deckel vorzumontieren, die Aufbauten an dem Deckel durch die Öffnungen
in der Gehäuseaußenwand
in Beschichtungsanlage zu versenken und anschließend die Öffnung mit dem Deckel dicht
zu verschließen.
Damit werden die Montagearbeiten für die Ausbildung des Pumpkanals
vollständig
außerhalb
der Anlage möglich
und ebenso die vorbereitende Arbeiten, um die Öffnungszeiten der Anlage bei
Umrüstung
zu minimieren.
-
Die
Ausdehnung der tunnelbildenden Elemente in Transportrichtung, die
eventuell auch bis an jene, die Vakuumbeschichtungsanlage in Kompartments
unterteilende, stationäre
oder entfernbare Zwischenwände
reichen kann, und der Abstand der beiden tunnelbildenden Elemente
zueinander und zum Substrat bestimmen dabei den Strömungswiderstand.
Dabei ist es für
die Gewährleistung
einer stabilen und differenzierbaren Beschichtungsatmosphäre ausreichend,
wenn das tunnelbildende Element an die Begrenzungsflächen anstößt, da auch
an diesen Berührungskanten
das Prinzip des Strömungswiderstandes
nutzbar ist oder ein geringer zusätzlicher Zustrom in einen Saugraum
nicht störend
ist.
-
In
welcher Weise die Befestigung des tunnelbildenden Elements am Deckel
erfolgt, ist abhängig davon,
an welche Öffnung
in der Gehäuseaußenwand
der Anlage das tunnelbildende Element gekoppelt ist. Bei der Einführung des
Elements durch eine obere Öffnung
ist eine flexible Abhängung
vom Deckel ebenso möglich,
wie eine starre Verbindung. Voraussetzung ist in jedem Fall, dass
der den Strömungswiderstand
einstellende Querschnitt des Tunnels und damit der Abstand der beiden
tunnelbildenden Elemente während
des laufenden Beschichtungsprozesses konstant bleibt.
-
Für die Montage
des Elements an einem Deckel für
eine Öffnung
in einer seitlichen oder unteren Gehäusewand kommt jedoch nur eine
starre Verbindung in Frage.
-
Während bei
Anlagen, die nur eine einseitige Beschichtung des Substrats gestatten,
der Pumpkanal in der Regel durch die untere Gehäuseaußenwand oder eine stationäre horizontale
Trennwand unterhalb des Transportsystems und nur ein tunnelbildendes
Element gebildet ist, indem dieses Element durch eine seitliche
oder obere Öffnung
in die Beschichtungsanlage versenkt wird, sind bei gleichzeitiger
ober- und unterseitiger Beschichtung des Substrats zwei, ober- und
unterseitig des Substrats anzuordnende erfindungsgemäße tunnelbildende
Elemente erforderlich.
-
Der
Aufgabenstellung hinsichtlich der variablen Anlagenkonditionierung
vor Ort wird der erfindungsgemäße Pumpenkanal
dadurch gerecht, dass die Befestigung eines tunnelbildenden Elements
am Deckel unabhängig
von den weiteren Aufbauten am Deckel ausführbar ist. So ist es auch möglich, einen universellen
Deckel den Anforderungen entsprechend umzurüsten oder spezielle, auch vorgefertigte Deckel
für spezielle
Anlagenkonfigurationen vorzusehen. In jedem Fall erweist es sich
aber als günstig, wenn
das tunnelbildende Element am Deckel lösbar montiert ist.
-
Als
besonders dienlich erweist es sich, wenn der Abstand zwischen dem
tunnelbildenden Element und dem Deckel einstellbar ist, da auf diese
Weise der Querschnitt des Pumpkanals und somit der Strömungswiderstand
einstellbar ist. Diese Ausgestaltung gewährleistet die Anpassung des
Pumpkanals an die verschiedensten Anforderungen hinsichtlich der
Beschichtungsatmosphären.
-
Sofern
einer weiteren, besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
entsprechend der Deckel, an welchem das tunnelbildende Element montiert
ist, auch einen oder gegebenenfalls mehrere Vakuumpumpenanschlüsse aufweist,
ist ein vollständiges
Pumpkompartment mit der bekannten und eingangs beschriebenen Unterteilung
in einen Saugraum und einen Pumpkanal nur durch die Montage eines
außerhalb
der Anlage vormontierten Deckels ausführbar. Mit diesem Pumpkompartment
können das
vorangehende und das nachfolgende Beschichtungskompartment evakuiert
sowie deren Gasseparation realisiert werden.
-
Soll
der Saugraum weiter unterteilt werden, so dass jedes Beschichtungskompartment über einen
separaten Saugraum evakuiert werden kann, sieht eine weitere erfindungsgemäße Ausführung vor,
dass an dem Deckel senkrecht zur Substratebene eine Zwischenwand
montiert ist, welche sich von dem Deckel bis zu dem tunnelbildenden
Element erstreckt.
-
Ebenso
ist auch die Anordnung von mehreren Zwischenwänden möglich, insbesondere wenn in der
Beschichtungsanlage für
eine große
Variabilität der
Anlagenkonfiguration keine stationären Zwischenwände zur
Unterteilung in die verschiedenen Kompartments vorgesehen sind.
In diesem Fall könnten
beispielsweise eine, in Transportrichtung betrachtet, vordere und
eine hintere Zwischenwand gemeinsam mit dem an beide Zwischenwände angrenzenden
tunnelbildenden Element den Pumpkanal und oberhalb des tunnelbildenden
Elements einen Saugraum abteilen. Zur Evakuierung eines oder beider
benachbarter Beschichtungskompartments weist in diesem Fall eine
Zwischenwand eine oder mehrere Saugöffnungen auf. Darüber hinaus
ist, entsprechend einer weiteren Ausgestaltung, dieser Saugraum
mittels einer weiteren, günstiger
Weise mittigen Zwischenwand in zwei separate Saugräume aufteilbar.
-
Indem
die eine oder gegebenenfalls auch die weiteren Zwischenwände am Deckel
lösbar
sind, wird wiederum die Variabilität der Ausgestaltung der Vakuumbeschichtungsanlage
durch den Betreiber der Anlage vor Ort verbessert.
-
Mittels
einer weiteren erfindungsgemäßen Ausgestaltung,
welche vorsieht, dass das erste tunnelbildende Element eine Saugöffnung aufweist,
ist auch eine aktive Gasseparation realisierbar.
-
Zu
diesem Zweck wird der Pumpkanal durch die Saugöffnung oder Saugöffnungen
in dem tunnelbildenden Element und einen sich daran anschließenden Saugraum
evakuiert, anstelle die benachbarten Atmosphären lediglich durch einen Strömungswiderstand
innerhalb des Pumpkanals zu trennen.
-
Erfindungsgemäß weisen
der Pumpkanal und auch die Saugräume
keine dauerhafte Ausführung
für einzelne
Gasführungen
zur Evakuierung auf. Vielmehr wird durch Verschließbarkeit
einzelner oder auch aller Saugöffnungen
in den tunnelbildenden Elementen und den Zwischenwänden die
Gasführung
variabel innerhalb einer bestehenden Anlage, ohne kosten- und zeitaufwendigen
Umbau ermöglicht.
-
In
besonderen Anwendungsfällen
ist es auch dienlich, dass die Breite des ersten tunnelbildenden Elements
und/oder die Breite der Zwischenwand einstellbar sind. Damit können tunnelbildende
Elemente und Zwischenwände
auch durch kleinere Öffnungen in
der Außenwandung
der Vakuumbeschichtungsanlage eingeführt und anschließend auf
die erforderliche Breite und/oder Länge erweitert werden. Diese Erweiterung
und deren Fixierung sind mittels verschiedener, geeigneter Konstruktionen
möglich,
beispielsweise durch teleskopartig zusammengefügte Einzelteile oder durch
deren Verbindung mittels Gelenken, wodurch ein Auseinanderklappen
innerhalb der Anlage erfolgen kann.
-
Die
Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden.
Die zugehörige
Zeichnung zeigt in
-
1 die
schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Pumpkanals in einem Pumpkompartment
und
-
2 die
schematische Darstellung eines Abschnittes einer Vakuumbeschichtungsanlage
mit Pumpkanal.
-
Der
erfindungsgemäße Pumpkanal 1 einer längserstreckten
Vakuumbeschichtungsanlage ist in 1 dargestellt.
Der Pumpkanal 1 ist in einem Pumpkompartment 2 einer
beidseitig beschichtenden Vakuumbeschichtungsanlage durch ein erstes 3 und
ein zweites tunnelbildendes Element 4 innerhalb des Pumpkompartments 2 abgeteilt.
Das Pumpkompartment 2 wird gebildet aus einer horizontalen
unteren 5 und einer sich parallel dazu erstreckenden oberen
Außenwandung 6,
zwei, in der 1 nicht dargestellten, parallel
und lotrecht zueinander angeordneten, seitlichen Außenwandungen
sowie zwei in Richtung des durch die Vakuumbeschichtungsanlage bewegten
Substrats 7 (Transportrichtung 8) nacheinander
und zueinander beabstandet angeordneten Zwischenwänden 9.
Die Zwischenwände 9 weisen
im Bereich des Substrats 7 Durchlässe 10 auf, die dem Substrattransport
durch die Anlage dienen. Durch diese Durchlässe 10 wird ein Substrat 7 auf
einem Transportsystem 11 in Transportrichtung 8 durch
die Vakuumbeschichtungsanlage hindurch bewegt.
-
Sowohl
in der unteren Außenwandung 5,
als auch der oberen Außenwandung 6 sind Öffnungen 12 vorhanden,
die im Ausführungsbeispiel
gleichgroß und
in gleichmäßigen Abständen ausgeführt sind. Jede
dieser Öffnungen 12 ist
durch einen unteren 14 oder oberen Deckel 13 dicht
verschlossen.
-
Die
oberen Deckel 13, welche die Öffnungen 12 in der
oberen Außenwand 6 im
dargestellten Ausschnitt der Vakuumbeschichtungsanlage verschließen, sind
abwechselnd mit einer Magnetronkathode 15, einschließlich der
nicht näher
dargestellten Magnetronumgebung, und mit zwei Vakuumpumpen 16 oder
je nach zur Verfügung
stehendem Platz zwei Vakuumpumpenanschlüssen ausgeführt, so dass sich Pump- und
Beschichtungskompartments 2, 17 abwechseln. Sofern
im Folgenden auf Vakuumpumpen 16 verwiesen wird, ist stets
auch die Möglichkeit
eingeschlossen, dass aus Platz- oder analgentechnischen Gründen anstelle
der Vakuumpumpen auch lediglich die Anschlüsse für Vakuumpumpen vorhanden sein
können.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel
sind die Magnetronkathoden 15 stets oberhalb des Substrats 7 angeordnet.
Es sind jedoch ebenso auch solche Aufbauten der oberen 13 oder
unteren Deckel 14 möglich,
mit welchen die Magnetronkathoden 15 der Unterseite des
Substrats 7 gegenüberliegend
angeordnet sein können.
-
An
dem oberen Deckel 13 des in 1 dargestellten
Pumpkompartments 2 ist des Weiteren ein Blech als erfindungsgemäßes, erstes
tunnelbildendes Element 3 derart abgehängt, dass es sich mit einem
geringen Abstand parallel zum Substrat 7 von einer Zwischenwand 9 bis
zur nächsten
erstreckt. Die abschnittsweise flexible Abhängung 18 ermöglicht es,
das erste tunnelbildende Element 3, welches breiter ist
als die Öffnung 12,
durch entsprechendes Schwenken durch die Öffnung 12 in die Anlage
einzuführen.
Ebenso ist mit solch einer Abhängung 18 eine
teleskopartige Verbindung des in zwei Teile untergliederten ersten
tunnelbildenden Elements 3 ausführbar, so dass das dessen Einführen in
die Anlage im zusammen geschobenen Zustand und innerhalb der Anlage
das Auseinanderschieben bis an die jeweiligen Begrenzungswände des
Kompartments erfolgen kann.
-
Die
unteren Deckel 14, welche die Öffnungen 12 in der
unteren Außenwandung 5 verschließen, weisen
nur im Pumpkompartment 2 Aufbauten auf, im dargestellten
Ausführungsbeispiel
zwei Vakuumpumpen 16. Die unteren Deckel 14 der
benachbarten Beschichtungskompartments 15 dienen lediglich
dem Verschluss der Öffnungen 12.
Der untere Deckel 14 des Pumpkompartments 2 weist
neben den Vakuumpumpen 16 ein zweites tunnelbildendes Element 4 auf,
welches sich ebenfalls parallel zum Substrat 7 und mit
einem bezüglich
des Transportsystems 11 minimal möglichen Abstand zum Substrat 7 von
der einen, das Pumpkompartment 2 begrenzenden Zwischenwand 9 zur
anderen erstreckt. Auch das zweite tunnelbildende Element 4 ist
in Form eines Bleches ausgeführt.
Zur Einstellung des Abstandes zum Substrat 7 ist das zweite
tunnelbildende Element 4 an starren Abstandshaltern 19 am
unteren Deckel 14 montiert.
-
Somit
wird der Pumpkanal 1, welcher die Beschichtungsatmosphären des
in Transportrichtung 8 betrachteten vorherigen Beschichtungskompartments 17 vom
nachfolgenden passiv separiert, parallel zum Substrat 7 durch
das erste 3 und das zweite tun nelbildende Element 4 und
in Transportrichtung 8 durch die beiden Zwischenwände 9 begrenzt.
Der in dem Pumpkanal 1 bestehende Strömungswiderstand ist über den
Abstand der beiden tunnelbildenden Elemente 3, 4 bestimmt.
-
Um
das Einführen
des zweiten tunnelbildenden Elements 4 durch eine kleinere Öffnung 12 in
die Vakuumbeschichtungsanlage zu ermöglichen, ist es in drei Abschnitte
unterteilt, welche mit Gelenken 20 derart verbunden sind,
dass die seitlichen Abschnitte 90° in
Richtung der Abstandshalter 19 schwenkbar sind.
-
Die
Räume des
Pumkompartments 2, welche oberhalb des ersten tunnelbildenden
Elements 3 und unterhalb des zweiten tunnelbildenden Elements 4 abgeteilt
sind, dienen jeweils als Saugraum 21, indem mittels der
Vakuumpumpen 16, welche an dem oberen 13 und dem
unteren Deckel 14 angeschlossenen sind, die Saugräume 21 und
mittelbar das jeweils benachbarte Beschichtungskompartment 17 durch
die in den Zwischenwänden 9 vorhandenen Saugöffnungen 22 evakuierbar
sind.
-
Der
Abschnitt einer Vakuumbeschichtungsanlage, welcher in 2 dargestellt
ist, weist im Unterschied zu dem Abschnitt in 1 keine
fest installierten Zwischenwände 9 auf.
Die Unterteilung der Vakuumbeschichtungsanlage in ihrer Längserstreckung
erfolgt vielmehr ausschließlich
durch Aufbauten, welche an den einzelnen unteren 14 und
oberen Deckeln 13 montiert sind.
-
Auch
in dieser Vakuumbeschichtungsanlage wechseln Pump- und Beschichtungskompartments 2, 17 einander
ab, da an den aufeinander folgenden oberen Deckeln 13 abwechselnd
eine Magnetronkathode 15 einschließlich der nicht näher dargestellten Magnetronumgebung
und zwei Vakuumpumpen 16 montiert sind.
-
An
dem oberen Deckel 13 des dargestellten Pumpkompartments 2,
welcher auch die Vakuumpumpen 16 aufweist, sind jeweils
drei gleich lange und gleichmäßig beabstandete,
senkrecht zur oberen Außenwandung 6 und
zur Transportrichtung 8 in das Anlagengehäu se ragende
Zwischenwände 9 montiert,
welche sich bis nahezu an das Substrat 7 erstrecken. Die
letzte Zwischenwand 9 des vor der Magnetronkathode 15 liegenden
oberen Deckels 13 und die erste Zwischenwand 9 dahinter
grenzen auf diese Weise das vorhergehende und das nachfolgende Beschichtungskompartment 17 zum
Pumpkompartment 2 hin ab.
-
An
ihrem dem Substrat 7 zugewandten Ende sind jeweils die
drei, an einem oberen Deckel 13 angeordneten Zwischenwände 9 durch
ein erstes tunnelbildendes Element 3 miteinander verbunden,
welches infolge dessen parallel zum oberen Deckel 13 und
zum Substrat 7 angeordnet ist. Die drei Zwischenwände 9,
der obere Deckel 13, das erste tunnelbildende Element 3 und
die seitlichen Außenwandungen
des Anlagengehäuses
bilden somit zwei separate Saugräume 21, über welche
mittels der in den beiden äußeren Zwischenwänden 9 vorhandenen Saugöffnungen 22 das
vorhergehende und das nachfolgende Beschichtungskompartment 17 mittelbar evakuierbar
sind.
-
Im
Pumpkompartment 2 ist unterhalb des Substrats 7 eine
aktive Gasseparation 23 ausgebildet, indem an dem unteren
Deckel 14 zwei weitere Zwischenwände 9 senkrecht zur
unteren 5 und seitlichen Außenwandung sowie senkrecht
zur Transportrichtung 8 mit maximalem Abstand zueinander
montiert sind, welche sich ebenfalls bis nahezu an das Substrat 7 erstrecken.
Parallel zum Substrat 7 und mit einem solchen Abstand zum
Substrat 7 angeordnet, dass die ungehinderte Funktion des
Transportsystems 11 gewährleistet
ist, verbindet ein zweites tunnelbildendes Element 4 beide
Zwischenwände 9. Sowohl
diese beiden Zwischenwände 9 als
auch das zweite tunnelbildende Element 4 weisen Saugöffnungen 22 auf,
wobei die Saugöffnungen 22 der
Zwischenwände 9 verschlossen
und jene des zweiten tunnelbildenden Elements 4 offen sind.
-
Mittels
einer Vakuumpumpe 16, welche ebenfalls an diesem unteren
Deckel 14 jedoch außerhalb
des Anlagengehäuses
montiert ist, kann der durch die beiden Zwischenwände 9,
das zweite tun nelbildende Element 4 und die seitlichen
Außenwandungen
gebildete Saugraum 21 und mittelbar der Pumpkanal 1,
den auch in diesem Ausführungsbeispiel
das erste 3 und das zweite tunnelbildende Element 4 abteilen,
evakuiert und somit eine aktive Gasseparation 23 zwischen
den beiden angrenzenden Beschichtungskompartments 16 realisiert
werden.
-
Die
Zwischenwände 9 und
die tunnelbildenden Elemente 3, 4, die jeweils
an dem oberen 13 und dem unteren Deckel 14 montiert
sind, bilden in diesem Ausführungsbeispiel
kompakte Begrenzungen der Saugräume 21,
deren Grundflächen
geringfügig kleiner
sind als die Öffnungen 12,
durch welche diese außerhalb
der Vakuumbeschichtungsanlage vollständig vormontierten Gebilde
in die Anlage einzuführen
sind.
-
- 1
- Pumpkanal
- 2
- Pumpkompartment
- 3
- erstes
tunnelbildendes Element
- 4
- zweites
tunnelbildendes Element
- 5
- untere
Außenwandung
- 6
- obere
Außenwandung
- 7
- Substrat
- 8
- Transportrichtung
- 9
- Zwischenwand
- 10
- Durchlass
- 11
- Transportsystem
- 12
- Öffnung
- 13
- oberer
Deckel
- 14
- unterer
Deckel
- 15
- Beschichtungsquelle,
Magnetronkathode
- 16
- Vakuumpumpe
oder Vakuumpumpenanschluss
- 17
- Beschichtungskompartment
- 18
- Abhängung
- 19
- Abstandshalter
- 20
- Gelenk
- 21
- Saugraum
- 22
- Saugöffnung
- 23
- Gasseparation