JPS6223982A - 連続式真空処理設備のシ−ル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業−ｌユの利用分野］ この発明は、真空室とその外部との間を連続的に移動す
る帯状体の移動路中に備えられて、帯状体の連続的な移
動を許容しつつその移動路をノールする連続式真空処理
設備のシール装置に関４−るものである。

「従来の技術］ この種のシール装置は、例えば、真空中において薄鋼板
等の長尺材料を連続的に表面処理ずろ表面処理設備の付
帯装置として備えられている。その場合の表面処理設備
として（」、Ｚｎ、Ａｒ、、Ｓｎ。

Ｃｒ等の金属、もしくはＴｉＮ、’Ｉ’ｉＣ，５ｉｆ７
等の金属化合物を連続的に真空蒸着またはイオンブレー
ティングするもの、Ｎ、Ａｒ等をイオン注入４−るもの
、または金属とＡｒ等のイオンミキシングをするものが
ある。このような設備において、薄鋼板等を大気中から
真空処理室内に連続的に搬入するための人［］、および
それを真空処理室内から大気中に搬出するための出口に
、この発明の対象となるシール装置が備えられている。

従来、このような表面処理設備に備えられるン−小装置
として（」、第４図ないし第１０図に表すようなものが
ある。

第４図および第５図のものは、薄鋼板Ｗを１．−Ｆ−・
対の［ｌ−ル１．２に、Ｌって挾んだま土連続的に通過
ざ１１−るシールロール方式のものであり、薄鋼板Ｗと
「７−ル１．２の隙間を微少とする３１、うに、ロール
１．２の配備位置をロールカバー３によって被包してい
る。そして、ロール１．２の間にて薄鋼板Ｗの移動を許
容１．っつ、通気抵抗を大きくして移動路Ｉ７をシール
する。

第６図は、このようなシール装置を薄鋼板Ｗの移動方向
、つまりその移動路Ｉ７に沿って多段に配備した場合の
例を表し、移動路Ｉ７にお（する複数組のロールＩ、２
の相互間の（１γ置に中間排気室Ｒが形成されている。

この中間排気室Ｒには、その内部を真空排気する排気機
構（図示せ「）が接続されている。そして、この例の場
合にもロール１，２の間にて薄鋼板Ｗの移動を許容しつ
つ、通気抵抗を大きくして移動路Ｉ、をシールする。

第７図および第８図のものはスリットロール方式と称さ
れるものであり、薄鋼板〜Ｖの移動路■７に沿って配備
した複数のロール４に薄鋼板Ｗを波状にガイドしている
。そして、薄鋼板ＷとＩ−ノール４の隙間を微少どセる
３Ｌうに、【Ｊ−ル■）の配備（７１置をロールカバー
５によって被包している。移動路Ｉ７に４’；　ｉＪる
；夏数組の［１−ル４の相７ｊ間の位置に（」中間排気
室Ｒが形成され、この中間ＪＪ＋気室１１には、その内
部を真空排気する排気機構（図示せず）が接続されてい
る。そして、この例の場合にも移動路り中のロール４の
配備位置において、通気抵抗を大きくしてその移動路Ｉ
２をシール４〜ろ。

第９図および第１０図のむのは、第４図および第５図の
ものと同様のシール装置に対して、そのロール１．２と
薄鋼板Ｗとの間の隙間を最小なものとする機構を備えた
ものである。この例のものは、先端が二股に分かれたシ
ール板６を薄鋼板Ｗの移動方向に対して斜めに配して、
そのシール板６の一股部分の間にロール１．２間の薄鋼
板Ｗを位置きり−でいろ。そして、薄鋼板Ｗの板厚と板
幅の変更に応じてシール板６を図中の矢印Ａ、１３方向
にスライ１ζさせることによって、薄鋼板〜Ｖとロール
１．２との間に生じる隙間をシール板６の二股部分にて
塞ぐようにる上うになっている。

このように従来のものは、いずれも薄鋼板〜■の移動路
Ｉ７中にお（するロール１．２、またはロール４の配備
位置にてその移動路Ｉ７を狭めることにより、通気抵抗
を太きくして所定のシール作用を果たすものであった。

し発明が解決しようとする問題点］ −Ｉユ述した従来のものにあっては、いずれも通気抵抗
を充分に大きくすることができず、優れたシール作用を
果たすことが難しかった。

そこで、まずその理由を明らかにするために、シール装
置にお（子る通気抵抗について説明する。

１０　””Ｔｏｒｒ以下の高真空領域においては、スリ
ット部を流れる空気は分子流となる。この分子流による
コンダクタンスＣは、円管、角管に対してそれぞれ次式
で表される。

円管　：Ｃ４父ｒ３／Ｌ 角管　：　Ｃ２”　（ａ”　・ｂ”）／　（ａ＋ｂ）Ｉ
。

こごで、ｒ；円管の半径、 Ｌ；円管、角管の長ざ、 ａ、ｂ　：角管の縦、横の長ざ。

上式から明らかなように、円管におけるコンダクタンス
Ｃ１は半径ｒの３乗、断面積の１５乗に比例し、長さＬ
に反比例する。

一方、角管の場合は、ａ＝ｂと４−るとＦ式で表されろ
。

Ｃ２ｃｘ：　Ｂ３／　ｌ。

したがって、角管の場合のコンダクタンスＣ７はスリッ
トの厚さ　ａの３乗、断面積の１．５乗に比例し、長さ
Ｉ７に反比例する。

以」−のことから、コンダクタンスＣを小さくするたぬ
、つまり通気抵抗を大きくして優れたシール作用を果た
すためには、スリットの断面積を小さくし、かつその長
さを大きくすることが有効であることが分かる。

このような観点から、上述した従来例のものを考察する
と、それらのものはいずれも構造」−の問題からコンダ
クタンスＣを小さくすることに限界がある。

すなわち、第４図ないし第６図のものにあっては、１−
１ぐのロール１，２間の隙間Ｓ１と、ロール１．２の側
面の隙間Ｓ、が存在し、それらがロールｌ、２の前後に
通じるスリットとじての通気抵抗を小さくずろ。特に、
隙間Ｓ１と、その近傍部分の隙間Ｓ２は、長さが「０」
のスリットとじて存在し、通気抵抗を小さくしてシール
作用を阻害する。一方、第７図および第８図のものにあ
っては、ロール４の周面とロールカバー５との間の隙間
Ｓ３がロール４の前後に通じるスリットとして存在する
ものの、そのスリットの長さはロール４の径を大きくす
ることによって確保できろ。しかし、実際には、そのス
リットの長さは［１−ル４の径によって制約され、充分
な長さを確保することが難しい。

このように、第４図ないし第８図のものにあっては、い
ずれらスリットとして存在する隙間を充分に長く設定す
ることが難しい。そのため、これらのものは１０−”Ｔ
　ｏｒｒ程度の真空度には対応できろものの、Ｉ　Ｏ−
’Ｔｏｒｒ程度の高真空のノール用としては漏れが多す
ぎて適用が難しかった。

また、第９図および第１０図のものは、薄鋼板Ｗの板厚
や板幅の変更に対応して隙間Ｓ　＋’、　Ｓ　−の断面
積を最小にすることができる（第５図参照）。

しかし、ロール１．２と薄鋼板Ｗとの接点Ｐ１と、ロー
ル１１２とシール板６との接点Ｐ２がずれているため、
それらの接点Ｐ、、Ｐ、を避けるような通気路が形成さ
れることになり、通気抵抗を・充分に大きくすることが
できない。したがって、大きなシール効果を期待するこ
とができなかった。しかち、薄鋼板Ｗの板厚や板幅に応
じてスリットの断面積を小さくする機構を備えるために
構造が複雑化するという問題があった。

この発明は、このような従来の問題を一挙に解決するも
のである。

１問題点を解決するための手段］ この発明の連続式真空処理設備のシール装置は、帯状体
を連続式に真空処理する連続式真空処理設備の真空室と
、その真空室の外部との間を連続的に移動する帯状体の
移動路中に備えられ、その移動路に沿って並んで帯状体
をガイドする複数のロールを有して、帯状体の連続的な
移動を許容しつつその移動路をシールする連続式真空処
理設備のシール装置において、帯状体の移動路中におけ
るロールの配備位置に中間排気室を形成して、この中間
排気室にその内部を真空排気する排気機構を接続し、か
つ帯状体の移動路中におけるロールの相互間の位置に、
その移動路に沿って延在して移動路を狭めるスリットを
設けてなることを特徴としている。

［作用］ この発明による連続式真空処理設備のシール装置は、帯
状体の移動路中においてその帯状体をガイドするロール
の配備箇所を真空排気し、そしてそのロールの相互間に
長く延在するように設けたスリットによって、通気抵抗
を大きくして優れたシール作用を果たす。

［実施例］ 以下、この発明の実施例を第１図ない１．第３図に基づ
いて説明する。図示する例は、いずれも前述した従来例
のものと同様に薄鋼板Ｗの表面処理設備の付帯装置とし
ての適応例である。

第１図はこの発明の第１の実施例を表す。

本例においては、薄鋼板Ｗの移動路Ｉ７中に、上下一対
のロール７．８をその移動路りに沿って複数組配備し１
、これら各組のロール７．８間にて薄鋼板Ｗを挾みつつ
ガイドするようになっている。

薄鋼板Ｗの移動路■７中において、ロール７．８の配備
位置には中間排気室Ｒが形成されている。本例の場合は
、下方のロール８側の配備位置に中間排気室Ｒを形成し
、−に方のロール７側の配備位置をロールカバー９によ
って被包している。中間排気室Ｒには、その内部を真空
排気する排気機構（図示せず）か接続されている。

また、薄鋼板Ｗの移動路■７中において、各組のロール
７．８の相互間の位置にはスリットｌＯが設けられてい
る。このスリット１０は、薄鋼板Ｗの移動路１７に沿っ
て長く延在してその移動路Ｉ、を狭めるものである。

次に、作用について説明する。

薄鋼板Ｗは、各組のロール７．８間にガイドされて、移
動路■７中を図の左側から右側へと移動する。中間排気
室Ｒ内は排気機構によって真空排気される。それぞれの
中間排気室Ｉえ内におけろ真空排気の程度は、大気側か
ら真空室側に位置するらのの順にしたがって次第に高真
空度となるように設定されている。スリット１０は、移
動路１７中の通気抵抗を大きなものとする。それは、ス
リット１０が移動路Ｉ７に沿って長く存在し、かつその
断面積が小さいからである。このことは、前述したシー
ル装置における通気抵抗についての考察結果から当然に
帰結される。

ちなみに、このような本例と前述した従来例とでは、移
動路Ｉ７中のロールの配備位置における作用と、移動路
Ｉ７中のロールの相互間位置における作用とが全く逆で
ある。まず、前者のロールの配備位置に関して本例の場
合は、その位置に積極的に空間、つまり中間排気室Ｒを
形成してその部分を真空排気しており、これに対して従
来例の場合は、その位置を狭めて通気抵抗を大きくする
。一方、後者の［フールの相互間位置に関して本例の場
合は、その位置に長いスリット１０を設けて通気抵抗を
大きくしており、これに対して従来例の場合は、その位
置に空間を設けてその部分を真空排気する。

第２図はこの発明の第２の実施例を表す。

本例においては、−に下に備えた複数のロール１１の間
に薄鋼板Ｗを掛は渡すようにして通ｊ７ている。そして
、その薄鋼板Ｗの移動路■、中にわけるロール１１の配
備位置に中間排気室Ｒを形成すると共に、その移動路Ｉ
７中にお＋Ｊるロール１１の相互間の位置にスリットＩ
Ｏを設けていて、前述した第１図の実施例のものと同様
のノール作用を果たす。ところで、本例の場合は薄鋼板
Ｗをに下に通しながらシールするから、シール装置自体
を水平方向に関して短くずろことができ、しかも移動中
の薄鋼板Ｗがスリット１０の部分にて撓むおそれがない
。

第３図はこの発明の第３の実施例を表す。

１１一 本例においては、」１下の千鳥状に備えた複数のロール
１２の間に薄鋼板Ｗを掛（Ｊ渡すようにして通している
。そして、その薄鋼板Ｗの移動路Ｉ７中におけるロール
１２の配備位置に中間排気室Ｒを形成すると共に、その
移動路１７中におけるｃ＋−ル１２の相互間の位置にス
リット１０を設けていて、前述した第１図の実施例のも
のと同様のシール作用を果たす。ところで、本例におい
て移動路Ｉ７を形成する」−下のロールスリットカバー
１３ａ、１３１）は、その−１−下に対向する対のもの
の内の少なくとも一方が１−下方向に移動調整可能に備
わっている。そして、その移動調整によって、薄鋼板Ｗ
の板厚の変更に対応してスリブ）１０内の隙間を最小に
設定できるようになっている。したがって、薄鋼板Ｗの
板厚の変更に拘わりなく、常に大きな通気抵抗を確保す
ることができる。図において、下方のロールスリットカ
バー＋３ｂの左側のものを下方に移動させた状態を２点
鎖線で表す。

なお、第１図の例のものにおいて、移動路Ｉ７を形成す
るロールカバー９をその移動路Ｉ７を挾んで上下のもの
に分割し、そしてその上下のものの内の少なくとも一方
を−［−下方向に位置調整可能に備えることにより、第
３図のものの場合と同様にスリット１０の大きさを薄鋼
板Ｗの板厚に応じて変更することが可能である。また、
第２図の例のものにおいて、スリット１０を形成するロ
ールカバー９の壁部を部分的に図の左右方向に位置調整
可能に設けることにより、第３図のものの場合と同様に
スリット１０の大きさを薄鋼板Ｗの板厚に応じて変更す
ることが可能である。要は、スリブ］・１０を形成する
部分を位置調整可能とすることによって、そのスリブｌ
−１０の大きさを薄鋼板Ｗの板厚に応じて変更すること
ができる訳である。

また、この発明によるシール装置には、前述したような
従来のシールロール方式やスリットロール方式等のもの
を部分的に組み込むことが可能である。例えば、ＩＴｏ
ｒｒ程度の粘性流領域までは従来の方式のものを採用し
、それ以１−の高真空領域においてこの発明の方式のも
のを採用するように組み合わせることが可能である。

［発明の効果］ 以ト説明したように、この発明による連続式真空処理設
置１ｔｉのシール装置は、帯状体の移動路中においてそ
の帯状体をガイＩＳするロールの配備箇所を真空排気し
、そしてそのロールの相互間に設けたスリットによって
通気抵抗を大きくずろ構成であるから、スリットを帯状
体の移動路に沿って長く延在するように設けることがで
き、この結果、通気抵抗を充分に大きくして優れたシー
ル作用を果たすことができる。したがって、ｌ　Ｏ−６
Ｔｏｒｒ程度の高真空のシール用として適用することが
できる。

また、ロールの配備位置において積極的に空間を形成オ
ろ構成であるから、従来のようにそのロールの配備位置
の構造としてロールと帯状体との間の隙間を最小とする
構造を採る必要がなく、その分、ロールの配備位置にお
ける構造を単純化することができる。しかも、その構造
の単純化により、点検、保守が容易なものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図はそれぞれこの発明の異なる実施例
の概略構成図、第４図ないし第１０図はそれぞれ従来例
を表し、第４図はノールロール方式の従来例の概略構成
図、第５図は第４図の■−■線に沿う断面図、第６図は
ノールロール方式の他の従来例の概略構成図、第７図は
スリットロール方式の従来例の概略構成図、第８図は第
７図の■−■線に沿う断面図、第９図はノールロール方
式の更に他の従来例の縦断面図、第１Ｏ図は第９図のＸ
−Ｘ線に沿う断面図である。 ７．８・・・・・ロール、　　１０・・・・・スリット
、１１．１２　・・・ロール、　Ｒ・・中間排気室、Ｗ
・・・・・・薄銅板（帯状体）。 出願人　石川島播磨重工業株式会社 蝕４図　　　　　　第５図 第７図　　　　　第８図 第９図 第１０図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 帯状体を連続式に真空処理する連続式真空処理設備の真
   空室と、その真空室の外部との間を連続的に移動する帯
   状体の移動路中に備えられ、その移動路に沿って並んで
   帯状体をガイドする複数のロールを有して、帯状体の連
   続的な移動を許容しつつその移動路をシールする連続式
   真空処理設備のシール装置において、帯状体の移動路中
   におけるロールの配備位置に中間排気室を形成して、こ
   の中間排気室にその内部を真空排気する排気機構を接続
   し、かつ帯状体の移動路中におけるロールの相互間の位
   置に、その移動路に沿って延在して移動路を狭めるスリ
   ットを設けてなることを特徴とする連続式真空処理設備
   のシール装置。