JPS624866A - 真空処理装置のシ−ル装置 - Google Patents
真空処理装置のシ−ル装置Info
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- JPS624866A JPS624866A JP14150685A JP14150685A JPS624866A JP S624866 A JPS624866 A JP S624866A JP 14150685 A JP14150685 A JP 14150685A JP 14150685 A JP14150685 A JP 14150685A JP S624866 A JPS624866 A JP S624866A
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- sealing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
本発明は新規な真空処理装置のシール装置に係り、特に
真空処理装置に帯鋼等の被処理物を大気圧下から搬入乃
至導入あるいは処理後大気圧下に被処理物を搬出するに
際して、真空処理装置のシールを確実になし得るシール
装置に関するものである。 ［従来の技術］ 一般に、真空処理装置には被処理物を搬入あるいは搬出
の際に装置内をシールするためのシール装置が設けられ
ている。第４図は帯鋼に亜鉛を連続真空蒸着させる真空
処理装置１を示すものであり、この真空処理装置１の搬
入側と搬出側とにはシール装置２が設けられている。従
って、大気中のアンコイラ３より繰り出される帯鋼等の
被処理物４はシール装置２を通過して真空処理室６３内
に搬入されて、真空処理室６３内で被処理物４は蒸発源
５より蒸発した亜鉛を蒸着される等の真空処理が施され
る。真空処理された被処理物４は搬出口側からシール装
置２を通過して大気中に搬出され、コイラ６に巻き取ら
れる。 従来、この種シール装置２は第４図及び第５図に示ずよ
うに、真空処理ｖ６３の搬入側ｉと搬出側０とにそれぞ
れ設けられ、被処理物４を通過させるケーシング７と、
このケーシング７内に設けられ、被処理物４の上下面を
その巾方向に沿って挾持する上部ローラ８及び下部ロー
ラ９とから主に構成されていた。 これら上部ローラ８と下部ロー５９とは対をなして上記
ケーシング７の長手方向に沿って所定の間隔を隔てて複
数個設けられ、ケーシング７内はその長手方向に沿って
図示例にあっては５つのシール室１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄ、１０ｅに仕切られている。また、下部ロー
ラ９は固定フレーム１１に軸受１２を介してケーシング
７内に取り付けられ、被処理物４の下面を支承して搬送
するためのローラコンベアを形成することになる。 一方、上部ローラ８は昇降フレーム１３に軸受１４を介
して回転自在に支持されている。昇降フレーム１３は第
５図に示すようにケーシング７の上部から昇降移動する
ロッド１４に支持され、門型を呈しており、ケーシング
７の凹部６０に摺動自在に嵌め込まれている。この門型
状の昇降フレーム１３には両端部が軸受１４に支持され
て、下部ローラ９上に上部ローラ８が回転自在に支持さ
れている。 ケーシング７はその長手方向に沿って所定の間隔を隔て
て上部ローラ８と下部ローラ９とに仕切られて、複数に
分割されたシール室１０ａ、、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ
、１０ｅが形成され、これらシール室にはそれぞれバル
ブ６１．真空ポンプ６２からなる真空ポンプ系１５が接
続されている。 ６５は被処理物４のガイドロールである。 従って、アンコイラ３から繰り出される帯鋼等の被処理
物４は先ず搬入側ｉに設けられたシール装置２内に案内
されて真空処理室６３内に導入される。シール装置２内
に導入された被処理物４は上部ローラ８と下部ローラ９
とによって上下面が挟まれてこの接触部分でシールされ
ることになる。 被処理物４はシール装置２のケーシング７に多段に設け
られた上部ローラ８と下部ローラ９とによって挾持され
つつ、各シール室１０ａ、１０ｂ。 １０ｃ、１０ｄ、１０ｅが真空ポンプ系１５により大気
圧（７６０Ｔｏｒｒ）から１Ｏ−２Ｔｏｒｒまで順次減
圧されて排気され（差動排気）、真空処理室６３内への
大気の侵入が防止されている。６４は亜鉛の蒸発中も真
空処理室６３内の圧力を１０’ Ｔｏｒｒに保持するた
めの真空ポンプである。 一方、真空処理された被処理物４は真空処理室６３の搬
出側０に設けられたシール装置２により同様にシールさ
れて外部に搬出されることになる。 ［発明が解決しようとする問題点］ 前述した通り、従来の真空処理装置のシール装置にあっ
ては第５図に示すように、ケーシング７内にその長手方
向に沿って且つ被処理物４の巾方向に沿って昇降移動自
在に設けられ被処理物４の上面に接触する上部ローラ８
と、この上部ローラ８に対峙して設けられ上記被処理物
４の下面に接触する下部ローラ９とから構成されており
、かつそのローラの長さは被処理物４の最大中に合せて
いるため、被処理物４の巾が小さい場合には上部ロー５
８と下部ローラ９の側部に隙間Ｓ１が生じる（帯鋼の巾
は９姻〜１６００ＩｌｌＩｌｌ、厚さは０．１５履〜１
２．７ｍ）。また、ローラ８，９の胴部とフレーム１１
．１３及びローラ８，９の端部とフレーム１１．１３及
びケーシング７とフレーム１３の側部間に隙間８１．８
２．８３．８４が必要であり、これらの隙間Ｓからシー
ル室１０内に大気が侵入することになり、各シール室１
０内を必要以上に排気する必要がある。このために、ケ
ーシング７内に多段にロールを配設して複数のシール室
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅを形成し、こ
れらシール室を排気するために真空ポンプ系１５により
減圧しなければならず、真空ポンプの容ωを大きくしな
ければならない問題があった。 また、このように、大容量の真空ポンプを採用すること
によりそのランニングコストが大ぎくなる問題も併せて
生じていた。 ［発明の目的］ 本発明は従来の真空処理装置のシール装置における問題
点を有効に解決すべく創案されたものである。 本発明の目的はシール性能を可及的に向上させることが
できると共にランニングコストを低減することができる
真空処理装置のシール装置を提供するものである。 ［発明の概要］ 上記目的を達成するために、本発明は真空処理装置の搬
入出側に設けられ被処理物の通過口を右するシールボッ
クスと、このシールボックスの通過口に設けられ上記被
処理物の巾に対応して適宜分割されて通過口を開閉する
ためのシール板と、このシール板を開閉させるための開
Ｎ１駆動手段と、上記シールボックス内を排気する排気
手段とから構成され、上記シール板により上記案内通過
口をその中方向に沿って分割して被処理物の外周部を包
み込むように囲繞して開閉さけるようにしたものである
。 ［実施例］ 次に、本発明の一実施例を添付図面に従って詳述する。 第１図及び第２図に示す如く、真空処理装置６６の搬入
側１及び搬出側Ｏには本発明に係るシール装置２０がそ
れぞれ設
真空処理装置に帯鋼等の被処理物を大気圧下から搬入乃
至導入あるいは処理後大気圧下に被処理物を搬出するに
際して、真空処理装置のシールを確実になし得るシール
装置に関するものである。 ［従来の技術］ 一般に、真空処理装置には被処理物を搬入あるいは搬出
の際に装置内をシールするためのシール装置が設けられ
ている。第４図は帯鋼に亜鉛を連続真空蒸着させる真空
処理装置１を示すものであり、この真空処理装置１の搬
入側と搬出側とにはシール装置２が設けられている。従
って、大気中のアンコイラ３より繰り出される帯鋼等の
被処理物４はシール装置２を通過して真空処理室６３内
に搬入されて、真空処理室６３内で被処理物４は蒸発源
５より蒸発した亜鉛を蒸着される等の真空処理が施され
る。真空処理された被処理物４は搬出口側からシール装
置２を通過して大気中に搬出され、コイラ６に巻き取ら
れる。 従来、この種シール装置２は第４図及び第５図に示ずよ
うに、真空処理ｖ６３の搬入側ｉと搬出側０とにそれぞ
れ設けられ、被処理物４を通過させるケーシング７と、
このケーシング７内に設けられ、被処理物４の上下面を
その巾方向に沿って挾持する上部ローラ８及び下部ロー
ラ９とから主に構成されていた。 これら上部ローラ８と下部ロー５９とは対をなして上記
ケーシング７の長手方向に沿って所定の間隔を隔てて複
数個設けられ、ケーシング７内はその長手方向に沿って
図示例にあっては５つのシール室１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄ、１０ｅに仕切られている。また、下部ロー
ラ９は固定フレーム１１に軸受１２を介してケーシング
７内に取り付けられ、被処理物４の下面を支承して搬送
するためのローラコンベアを形成することになる。 一方、上部ローラ８は昇降フレーム１３に軸受１４を介
して回転自在に支持されている。昇降フレーム１３は第
５図に示すようにケーシング７の上部から昇降移動する
ロッド１４に支持され、門型を呈しており、ケーシング
７の凹部６０に摺動自在に嵌め込まれている。この門型
状の昇降フレーム１３には両端部が軸受１４に支持され
て、下部ローラ９上に上部ローラ８が回転自在に支持さ
れている。 ケーシング７はその長手方向に沿って所定の間隔を隔て
て上部ローラ８と下部ローラ９とに仕切られて、複数に
分割されたシール室１０ａ、、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ
、１０ｅが形成され、これらシール室にはそれぞれバル
ブ６１．真空ポンプ６２からなる真空ポンプ系１５が接
続されている。 ６５は被処理物４のガイドロールである。 従って、アンコイラ３から繰り出される帯鋼等の被処理
物４は先ず搬入側ｉに設けられたシール装置２内に案内
されて真空処理室６３内に導入される。シール装置２内
に導入された被処理物４は上部ローラ８と下部ローラ９
とによって上下面が挟まれてこの接触部分でシールされ
ることになる。 被処理物４はシール装置２のケーシング７に多段に設け
られた上部ローラ８と下部ローラ９とによって挾持され
つつ、各シール室１０ａ、１０ｂ。 １０ｃ、１０ｄ、１０ｅが真空ポンプ系１５により大気
圧（７６０Ｔｏｒｒ）から１Ｏ−２Ｔｏｒｒまで順次減
圧されて排気され（差動排気）、真空処理室６３内への
大気の侵入が防止されている。６４は亜鉛の蒸発中も真
空処理室６３内の圧力を１０’ Ｔｏｒｒに保持するた
めの真空ポンプである。 一方、真空処理された被処理物４は真空処理室６３の搬
出側０に設けられたシール装置２により同様にシールさ
れて外部に搬出されることになる。 ［発明が解決しようとする問題点］ 前述した通り、従来の真空処理装置のシール装置にあっ
ては第５図に示すように、ケーシング７内にその長手方
向に沿って且つ被処理物４の巾方向に沿って昇降移動自
在に設けられ被処理物４の上面に接触する上部ローラ８
と、この上部ローラ８に対峙して設けられ上記被処理物
４の下面に接触する下部ローラ９とから構成されており
、かつそのローラの長さは被処理物４の最大中に合せて
いるため、被処理物４の巾が小さい場合には上部ロー５
８と下部ローラ９の側部に隙間Ｓ１が生じる（帯鋼の巾
は９姻〜１６００ＩｌｌＩｌｌ、厚さは０．１５履〜１
２．７ｍ）。また、ローラ８，９の胴部とフレーム１１
．１３及びローラ８，９の端部とフレーム１１．１３及
びケーシング７とフレーム１３の側部間に隙間８１．８
２．８３．８４が必要であり、これらの隙間Ｓからシー
ル室１０内に大気が侵入することになり、各シール室１
０内を必要以上に排気する必要がある。このために、ケ
ーシング７内に多段にロールを配設して複数のシール室
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅを形成し、こ
れらシール室を排気するために真空ポンプ系１５により
減圧しなければならず、真空ポンプの容ωを大きくしな
ければならない問題があった。 また、このように、大容量の真空ポンプを採用すること
によりそのランニングコストが大ぎくなる問題も併せて
生じていた。 ［発明の目的］ 本発明は従来の真空処理装置のシール装置における問題
点を有効に解決すべく創案されたものである。 本発明の目的はシール性能を可及的に向上させることが
できると共にランニングコストを低減することができる
真空処理装置のシール装置を提供するものである。 ［発明の概要］ 上記目的を達成するために、本発明は真空処理装置の搬
入出側に設けられ被処理物の通過口を右するシールボッ
クスと、このシールボックスの通過口に設けられ上記被
処理物の巾に対応して適宜分割されて通過口を開閉する
ためのシール板と、このシール板を開閉させるための開
Ｎ１駆動手段と、上記シールボックス内を排気する排気
手段とから構成され、上記シール板により上記案内通過
口をその中方向に沿って分割して被処理物の外周部を包
み込むように囲繞して開閉さけるようにしたものである
。 ［実施例］ 次に、本発明の一実施例を添付図面に従って詳述する。 第１図及び第２図に示す如く、真空処理装置６６の搬入
側１及び搬出側Ｏには本発明に係るシール装置２０がそ
れぞれ設
【ブられる。このシール装置２０は主に帯鋼等
の被処理物４の通過口２１を有するシールボックス２２
と、このシールボックス２２の通過口２１に設けられ上
記被処理物４の巾に対応して適宜分割されて通過口２１
を開閉するためのシール板２３と、このシール板２３を
開閉させるための開閉駆動手段２４と、被処理物４の振
れ止めロール６８と、上記シールボックス２２内を排気
する排気手段２５とから構成されている。 シールボックス２２は第１図〜第３図に示すように、上
部ケーシング２８と下部ケーシング２つにより構成され
、上部ケーシング２８には仕切壁４３．４４があり、下
部ケーシング２９のエプロン６７と仕切壁４３及び４４
との間に仮想線で示した最大中で最大厚さの被処理物４
が通れる通過口２１（点線で示す）が構成されている。 シールボックス２２の通過口２１にはシール板２３が開
閉自在に設けられている。このシール板２３は第１図に
示す如く、断面略矩形状に形成された通過口２１の上部
を区画する上部ケーシング２８から昇降自在に取り何け
られ、通過口２１の底部を区画する下部ケーシング２９
のエプロン６７上に着座して通過口２１を開閉するよう
に構成されている。また、シール板２３は上記通過口２
１の巾方向即ち被処理物４の巾方向に沿って複数個に分
割されており、図示例にあっては中央部に位置される中
央部シール板２３ａと、その両側部に位置される側部シ
ール板２３ｂ、２３ｃと、最外側部に位置される外側部
シール板２３ｄ。 ２３ｅとから構成されている。 また、図示例にあっては、上記シール板２３は少なくと
も３種の巾の異なった被処理物４をシールしつつ通過さ
せるように分割されており、例えば中央部シール板２３
ａを上昇させて通過口２１を開放し、側部シール板２３
ｂ、２３ｃをエプロン６７上に着座させて閉じた場合に
、これら中央部シール板２３ａと側部シール板２３ｂ、
２３ｃとによって区画されて開放される通過口２１の開
放断面積は充分被処理物４が通過し得るように構成され
ている。また、各シール板２３は第３図に示すように、
被処理物４の移送方向に沿って所定の厚さ乃至長さａを
有しており、上部ケーシング２８から垂下する仕切壁４
３と４４とに挟まれて開閉駆動手段２４により高さ方向
に昇降移動自在に支持されることになる。 また、シール板２３は第２図に示すようにシールボック
ス２２の長手方向即ち被処理物４の移送方向に沿って多
段に設けられ、シールボックス２２を複数に分割するよ
うに構成されている。シール板２３の前後には、被処理
物４を挾持する振れ止めロール６８が配置されており、
被処理物４がシール板２３及びエプロン６７に接触する
のを防止している（シール作用はしていない）。 また、各シール板２３ａ、２３ｂ、２３ｃ。 ２３ｄ、２３ｅにはそれぞれ上記通過口２１を開閉させ
るための開閉駆動手段２４が設けられている。この開閉
駆動手段２４はシールボックス２２上に設けられたステ
ッピングモータ３０と、このステッピングモータ３０に
より回転駆動される回転駆動軸３１に係合して各シール
板２３ａ・・・を昇降移動させるロッド３２とから主に
構成されている。 上記ステッピングモータ３０にはカップリング３３を介
して回転駆動軸３１が接続され、この回転駆動軸３１は
シールボックス２２上に設けられた軸受部材３４により
支承されている。 また、回転駆動軸３１には各シール板２３ａ・・・に応
じて第３図に示す如き電磁クラッチ３５を内蔵した歯車
３６が取り付けられている。これら歯車３６にはそれぞ
れ各シール板２３ａ・・・に取り付けられたロッド３２
が噛合し、歯車３６の回転によりロッド３２が昇降移動
するように構成されている。即ち、ロッド３２にはその
長手方向に沿って上記歯車３６に噛合するラック３７が
刻設されている。 ロッド３２は第３図に示す如く、上部ケーシング２８に
設けられた挿通孔３８からシールボックス２２内に挿入
されており、シールボックス２２の外方に露出した上部
にはうツク３７が刻設されていると共に下部には断面Ｔ
字状の係合部３９が設けられ、この係合部３９が上記シ
ール板２３に設けられた満４０に係合することにより連
結されることになる。 また、シール板２３と上部ケーシング２８との間には上
記ロッド３２の外周にシール板２３を開方向に付勢する
ためのスプリング４１が介設されている。 また、上記溝４０は各シール板２３・・・の巾方向即ち
通過口２１の巾方向に沿って形成されており、ロッド３
２の下端に係合するシール板２３・・・はそれぞれ溝４
０の長手方向に沿って通過口２１のＩＪｈ向に移動調整
し得るように構成されている。 また、第１図に示すようにシールボックス２２の側壁５
１と最外側に位置される外側部シール板２３ｄとの間に
はスプリング４２が介設されており、シール板２３ｄを
反対側の側壁５１の方向に押し付けるように構成されて
いる。 また、６９はシール用のオーリングである。 上記排気手段２５は第２図に示ずように、シール板２３
に仕切られたシールボックス２２のシール室４５にそれ
ぞれ設けられており、真空ポンプ４６と、各シール室４
５を結ぶ排気配管系４７とから主に構成されている。排
気配管系４７には流量制御するためのバルブ４８が介設
されている。 次に、本発明の作用について述べる。 第２因に示すように、コイラ３から真空処理装置６６に
移送される帯鋼等の被処理物４の巾がシール板２３ａ相
当の場合について説明する。 シール板２３ａの６［クラッチ３５のみがＯＮとなり、
他のシール板２３ｂ・・・の電磁クラッチ３５がＯＦＦ
となる。同時にステッピングモータ３０が駆動されて回
転駆動軸３１が被処理物４の厚さに応じて回転され、上
記ＯＮとなった電磁クラッチ３５により歯車３６が連結
されロッド３２が上昇移動されて中央部に位置されるシ
ール板２３ａが上昇して通過口２１を開放することにな
る。ＯＦＦとなっているＴｉ磁クラッチ３５は回転駆動
軸３１と歯車３６とを切り離して保持することにより、
側部及び最外側部のシール板２３ｂ、２３Ｃ。 ２３ｄ、２３ｅは上昇移動されることなくスプリング４
１により閉方向に付勢されてエプロン６７上に密着して
着座して通過口２１を部分的に閉じていることになる。 なお、第３図に示すように開放されるシール板２３ａは
通過口２１を開放してこれを通過する被処理物４に接触
しない程度に上昇し、最小の隙間を形成する。 このように、シールボックス２２にその長手方向に沿っ
て設けられたシール板２３はそれぞれ被処理物４の１１
１及び厚さに応じて通過口２１を開放する。 各シール板２３によって仕切られたシール室４５内は排
気手段２５により所定圧に減圧され保持され、外気が真
空処理室６３内に流入することが防止されることになる
。シール室４５が減圧乃至低圧に保持されることにより
、第３図に示ずようにシール板２３は仕切壁４４の前後
の圧力差で仕切壁４４に圧接し、これらの間から漏れが
生じない。 また、各シール板２３ａ、２３ｂ、２３ｃ。 ２３ｄ、２３ｅはスプリング４２により、一方の側壁４
１に肚着されてシールされているので、各シール板２３
の接合部分から外気が侵入することがない。つまり、被
処理物４によって生じる隙間Ｓは第１図に示すように、
被処理物４が通過口２１を通過するに必要な最小な例え
ば０．２＃ｌ程度に設定することができる。 また、中間中の被処理物４を処理する場合にはシール板
２３ａ、２３’ｂ、２３ｃを開放して、これらシール板
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ１．：よッテ区画される通過口
２１内に被処理物４を通過させれば良いことになる。更
に、すべてのシール板２３を開放すれば、最大ｒｌＪの
被処理物４を通過させることができる。 シール板２３を開閉させるための開閉駆動手段２４の駆
動源としてステッピングモータ３０を使用しているのは
高精度の位置決めができるので、被処理物４の厚さが変
化してもそれに応じてシール板２３の上昇移動乃至開度
を正確に制御することができ、通過口２１を通過する被
処理物４との間に生じる隙間を適正倒に確保することが
できる。 また、ステッピングモータ３０は入力パルス数により回
転角度が任意にかつ高精度に制御できるため、リミット
スイッチを要しないオーブンループ制御が可能となる。 このようにして、被処理物４の厚さ及び巾が変化しても
これによって生じる隙間を最小に確保することができる
ため、シール効果が増大し、第２図に示すようにシール
ボックス２２内のシール板２３及びシール室４５の段数
を減少できると共にシール室４５内を排気するための真
空ポンプ４６等の排気手段２５を低減させることができ
る。 シール板２３とロッド３２とはＴ字状の係合部３９と溝
４０とにより係合され、シール板２３は巾方向に移動自
在に構成されているために、加熱処理されたホットの被
処理物４を処理する場合に、この被処理物４の熱により
シール板２３が熱膨張しても、ロッド３２に水平方向の
力が作用しないようにしてシール板２３の昇陪移動即ら
開閉動作をスムーズにすることができる。 また、第３図に示すようにシール板２３の厚さ８寸法を
大きく設定したのはシール板２３に沿って奥行きを長く
して流路を伸ばすことにより、外気の流れの抵抗を増大
させ流入空気道を少なくさせるためである。 尚、本実施例においては、被処理物４の１】を３種に設
定した場合について述べたが、各種の巾に適応させると
きには、それに応じて通過口２１を分割区画するシール
板２３の枚数を増加することにより達成することができ
る。 本実施例にあっては厚さが数ミリの帯鋼を真空処理する
場合について本発明を採用した例について述べたが、本
発明に係る装置は板厚、 １Ｊが変っても隙間は最小に
維持することができ、普通の鋼板（厚板、薄板）やプラ
スチック板等を処理するラインにおいても充分な効果を
発揮することができる。また、剛性の大ぎい厚板の場合
には振れ止めロール６８を省略してもよい。 更に、本実施例において、開閉駆動手段２４の駆動源と
してステッピングモータを採用したが、これに代えてス
テッピングシリンダとラック・ビニオン又はリンク機構
とを組み合せても良く、また、電磁クラッチに代えて、
エヤークラッチあるいは機械式クラッチでも良いことは
勿論である。 また、第２図に示す如く、真空処理室６３内には従来例
同様に然発源５が設けられてＪ３す、シール装置より真
空処理室６３内に案内移送される被処理物４は従来と同
様に蒸着処理されることになる。 ［発明の効果］ 以上本発明によれば次の如き優れた効果を発揮する。 （１） シール仮によりシールするので、従来のピン
チロール式のシール装置において生じた隙間を可及的に
小さくなし得、シールを充分達成することができる。 （２） また、被処理物の巾方向に応じて通過「」を
可変的に開度を制御することができ、被処理物によって
生じる隙間を最小に保持することができ、シール板及び
シール室の段数を減らすことができると共に排気手段も
減少できるためランニングコストを低減できる。 （３） 各シール板はそれぞれに応じて開閉駆動手段
が設けられ、任意に駆動できる。特に、クラッチを設け
て一本の回転駆動軸により各シール板を開閉させること
ができ、駆動手段を簡略化させることができる。 （４） シール板を水平方向に押圧するスプリングを
設Ｇノたため、シール板間の隙間がなくなると共にホッ
トな被処理物を処理しても、各シール板間の隙間を零に
保持した状態のままスムーズに各シール板を開閉させる
ことができる。 Ｇ） 駆動源としてステッピングモータを採用したので
、シール板の開度を被処理物の厚さに応じて高精度に制
御することができ、板厚が変化しても被処理物とシール
板との隙間を最小に保持できる。
の被処理物４の通過口２１を有するシールボックス２２
と、このシールボックス２２の通過口２１に設けられ上
記被処理物４の巾に対応して適宜分割されて通過口２１
を開閉するためのシール板２３と、このシール板２３を
開閉させるための開閉駆動手段２４と、被処理物４の振
れ止めロール６８と、上記シールボックス２２内を排気
する排気手段２５とから構成されている。 シールボックス２２は第１図〜第３図に示すように、上
部ケーシング２８と下部ケーシング２つにより構成され
、上部ケーシング２８には仕切壁４３．４４があり、下
部ケーシング２９のエプロン６７と仕切壁４３及び４４
との間に仮想線で示した最大中で最大厚さの被処理物４
が通れる通過口２１（点線で示す）が構成されている。 シールボックス２２の通過口２１にはシール板２３が開
閉自在に設けられている。このシール板２３は第１図に
示す如く、断面略矩形状に形成された通過口２１の上部
を区画する上部ケーシング２８から昇降自在に取り何け
られ、通過口２１の底部を区画する下部ケーシング２９
のエプロン６７上に着座して通過口２１を開閉するよう
に構成されている。また、シール板２３は上記通過口２
１の巾方向即ち被処理物４の巾方向に沿って複数個に分
割されており、図示例にあっては中央部に位置される中
央部シール板２３ａと、その両側部に位置される側部シ
ール板２３ｂ、２３ｃと、最外側部に位置される外側部
シール板２３ｄ。 ２３ｅとから構成されている。 また、図示例にあっては、上記シール板２３は少なくと
も３種の巾の異なった被処理物４をシールしつつ通過さ
せるように分割されており、例えば中央部シール板２３
ａを上昇させて通過口２１を開放し、側部シール板２３
ｂ、２３ｃをエプロン６７上に着座させて閉じた場合に
、これら中央部シール板２３ａと側部シール板２３ｂ、
２３ｃとによって区画されて開放される通過口２１の開
放断面積は充分被処理物４が通過し得るように構成され
ている。また、各シール板２３は第３図に示すように、
被処理物４の移送方向に沿って所定の厚さ乃至長さａを
有しており、上部ケーシング２８から垂下する仕切壁４
３と４４とに挟まれて開閉駆動手段２４により高さ方向
に昇降移動自在に支持されることになる。 また、シール板２３は第２図に示すようにシールボック
ス２２の長手方向即ち被処理物４の移送方向に沿って多
段に設けられ、シールボックス２２を複数に分割するよ
うに構成されている。シール板２３の前後には、被処理
物４を挾持する振れ止めロール６８が配置されており、
被処理物４がシール板２３及びエプロン６７に接触する
のを防止している（シール作用はしていない）。 また、各シール板２３ａ、２３ｂ、２３ｃ。 ２３ｄ、２３ｅにはそれぞれ上記通過口２１を開閉させ
るための開閉駆動手段２４が設けられている。この開閉
駆動手段２４はシールボックス２２上に設けられたステ
ッピングモータ３０と、このステッピングモータ３０に
より回転駆動される回転駆動軸３１に係合して各シール
板２３ａ・・・を昇降移動させるロッド３２とから主に
構成されている。 上記ステッピングモータ３０にはカップリング３３を介
して回転駆動軸３１が接続され、この回転駆動軸３１は
シールボックス２２上に設けられた軸受部材３４により
支承されている。 また、回転駆動軸３１には各シール板２３ａ・・・に応
じて第３図に示す如き電磁クラッチ３５を内蔵した歯車
３６が取り付けられている。これら歯車３６にはそれぞ
れ各シール板２３ａ・・・に取り付けられたロッド３２
が噛合し、歯車３６の回転によりロッド３２が昇降移動
するように構成されている。即ち、ロッド３２にはその
長手方向に沿って上記歯車３６に噛合するラック３７が
刻設されている。 ロッド３２は第３図に示す如く、上部ケーシング２８に
設けられた挿通孔３８からシールボックス２２内に挿入
されており、シールボックス２２の外方に露出した上部
にはうツク３７が刻設されていると共に下部には断面Ｔ
字状の係合部３９が設けられ、この係合部３９が上記シ
ール板２３に設けられた満４０に係合することにより連
結されることになる。 また、シール板２３と上部ケーシング２８との間には上
記ロッド３２の外周にシール板２３を開方向に付勢する
ためのスプリング４１が介設されている。 また、上記溝４０は各シール板２３・・・の巾方向即ち
通過口２１の巾方向に沿って形成されており、ロッド３
２の下端に係合するシール板２３・・・はそれぞれ溝４
０の長手方向に沿って通過口２１のＩＪｈ向に移動調整
し得るように構成されている。 また、第１図に示すようにシールボックス２２の側壁５
１と最外側に位置される外側部シール板２３ｄとの間に
はスプリング４２が介設されており、シール板２３ｄを
反対側の側壁５１の方向に押し付けるように構成されて
いる。 また、６９はシール用のオーリングである。 上記排気手段２５は第２図に示ずように、シール板２３
に仕切られたシールボックス２２のシール室４５にそれ
ぞれ設けられており、真空ポンプ４６と、各シール室４
５を結ぶ排気配管系４７とから主に構成されている。排
気配管系４７には流量制御するためのバルブ４８が介設
されている。 次に、本発明の作用について述べる。 第２因に示すように、コイラ３から真空処理装置６６に
移送される帯鋼等の被処理物４の巾がシール板２３ａ相
当の場合について説明する。 シール板２３ａの６［クラッチ３５のみがＯＮとなり、
他のシール板２３ｂ・・・の電磁クラッチ３５がＯＦＦ
となる。同時にステッピングモータ３０が駆動されて回
転駆動軸３１が被処理物４の厚さに応じて回転され、上
記ＯＮとなった電磁クラッチ３５により歯車３６が連結
されロッド３２が上昇移動されて中央部に位置されるシ
ール板２３ａが上昇して通過口２１を開放することにな
る。ＯＦＦとなっているＴｉ磁クラッチ３５は回転駆動
軸３１と歯車３６とを切り離して保持することにより、
側部及び最外側部のシール板２３ｂ、２３Ｃ。 ２３ｄ、２３ｅは上昇移動されることなくスプリング４
１により閉方向に付勢されてエプロン６７上に密着して
着座して通過口２１を部分的に閉じていることになる。 なお、第３図に示すように開放されるシール板２３ａは
通過口２１を開放してこれを通過する被処理物４に接触
しない程度に上昇し、最小の隙間を形成する。 このように、シールボックス２２にその長手方向に沿っ
て設けられたシール板２３はそれぞれ被処理物４の１１
１及び厚さに応じて通過口２１を開放する。 各シール板２３によって仕切られたシール室４５内は排
気手段２５により所定圧に減圧され保持され、外気が真
空処理室６３内に流入することが防止されることになる
。シール室４５が減圧乃至低圧に保持されることにより
、第３図に示ずようにシール板２３は仕切壁４４の前後
の圧力差で仕切壁４４に圧接し、これらの間から漏れが
生じない。 また、各シール板２３ａ、２３ｂ、２３ｃ。 ２３ｄ、２３ｅはスプリング４２により、一方の側壁４
１に肚着されてシールされているので、各シール板２３
の接合部分から外気が侵入することがない。つまり、被
処理物４によって生じる隙間Ｓは第１図に示すように、
被処理物４が通過口２１を通過するに必要な最小な例え
ば０．２＃ｌ程度に設定することができる。 また、中間中の被処理物４を処理する場合にはシール板
２３ａ、２３’ｂ、２３ｃを開放して、これらシール板
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ１．：よッテ区画される通過口
２１内に被処理物４を通過させれば良いことになる。更
に、すべてのシール板２３を開放すれば、最大ｒｌＪの
被処理物４を通過させることができる。 シール板２３を開閉させるための開閉駆動手段２４の駆
動源としてステッピングモータ３０を使用しているのは
高精度の位置決めができるので、被処理物４の厚さが変
化してもそれに応じてシール板２３の上昇移動乃至開度
を正確に制御することができ、通過口２１を通過する被
処理物４との間に生じる隙間を適正倒に確保することが
できる。 また、ステッピングモータ３０は入力パルス数により回
転角度が任意にかつ高精度に制御できるため、リミット
スイッチを要しないオーブンループ制御が可能となる。 このようにして、被処理物４の厚さ及び巾が変化しても
これによって生じる隙間を最小に確保することができる
ため、シール効果が増大し、第２図に示すようにシール
ボックス２２内のシール板２３及びシール室４５の段数
を減少できると共にシール室４５内を排気するための真
空ポンプ４６等の排気手段２５を低減させることができ
る。 シール板２３とロッド３２とはＴ字状の係合部３９と溝
４０とにより係合され、シール板２３は巾方向に移動自
在に構成されているために、加熱処理されたホットの被
処理物４を処理する場合に、この被処理物４の熱により
シール板２３が熱膨張しても、ロッド３２に水平方向の
力が作用しないようにしてシール板２３の昇陪移動即ら
開閉動作をスムーズにすることができる。 また、第３図に示すようにシール板２３の厚さ８寸法を
大きく設定したのはシール板２３に沿って奥行きを長く
して流路を伸ばすことにより、外気の流れの抵抗を増大
させ流入空気道を少なくさせるためである。 尚、本実施例においては、被処理物４の１】を３種に設
定した場合について述べたが、各種の巾に適応させると
きには、それに応じて通過口２１を分割区画するシール
板２３の枚数を増加することにより達成することができ
る。 本実施例にあっては厚さが数ミリの帯鋼を真空処理する
場合について本発明を採用した例について述べたが、本
発明に係る装置は板厚、 １Ｊが変っても隙間は最小に
維持することができ、普通の鋼板（厚板、薄板）やプラ
スチック板等を処理するラインにおいても充分な効果を
発揮することができる。また、剛性の大ぎい厚板の場合
には振れ止めロール６８を省略してもよい。 更に、本実施例において、開閉駆動手段２４の駆動源と
してステッピングモータを採用したが、これに代えてス
テッピングシリンダとラック・ビニオン又はリンク機構
とを組み合せても良く、また、電磁クラッチに代えて、
エヤークラッチあるいは機械式クラッチでも良いことは
勿論である。 また、第２図に示す如く、真空処理室６３内には従来例
同様に然発源５が設けられてＪ３す、シール装置より真
空処理室６３内に案内移送される被処理物４は従来と同
様に蒸着処理されることになる。 ［発明の効果］ 以上本発明によれば次の如き優れた効果を発揮する。 （１） シール仮によりシールするので、従来のピン
チロール式のシール装置において生じた隙間を可及的に
小さくなし得、シールを充分達成することができる。 （２） また、被処理物の巾方向に応じて通過「」を
可変的に開度を制御することができ、被処理物によって
生じる隙間を最小に保持することができ、シール板及び
シール室の段数を減らすことができると共に排気手段も
減少できるためランニングコストを低減できる。 （３） 各シール板はそれぞれに応じて開閉駆動手段
が設けられ、任意に駆動できる。特に、クラッチを設け
て一本の回転駆動軸により各シール板を開閉させること
ができ、駆動手段を簡略化させることができる。 （４） シール板を水平方向に押圧するスプリングを
設Ｇノたため、シール板間の隙間がなくなると共にホッ
トな被処理物を処理しても、各シール板間の隙間を零に
保持した状態のままスムーズに各シール板を開閉させる
ことができる。 Ｇ） 駆動源としてステッピングモータを採用したので
、シール板の開度を被処理物の厚さに応じて高精度に制
御することができ、板厚が変化しても被処理物とシール
板との隙間を最小に保持できる。
第１図は本発明の一実施例を示す横断面図、第２図は概
略側断面図、第３図は要部拡大側断面図、第４図は従来
の装置を示す概略側断面図、第５図は要部拡大横断面図
である。 図中、２０はシール装置、２１は通過口、２２はシール
ボックス、２３はシール板、２４は開［＋ｊ１駆動手段
、２５は排気手段、６６は真空処理装置である。 特 許 出 願 人 石川島播磨重工業株式会社代理
人弁理士 絹 谷 信 雄 第４図
略側断面図、第３図は要部拡大側断面図、第４図は従来
の装置を示す概略側断面図、第５図は要部拡大横断面図
である。 図中、２０はシール装置、２１は通過口、２２はシール
ボックス、２３はシール板、２４は開［＋ｊ１駆動手段
、２５は排気手段、６６は真空処理装置である。 特 許 出 願 人 石川島播磨重工業株式会社代理
人弁理士 絹 谷 信 雄 第４図
Claims (1)
- 被処理物を大気圧下から真空処理室内に導入して真空処
理した後大気圧下に送り出す真空処理装置において、該
真空処理装置の搬入出側に設けられ上記被処理物の通過
口を有するシールボックスと、該シールボックスの通過
口に設けられ上記被処理物の巾に対応して適宜分割され
て通過口を開閉するためのシール板と、該シール板を開
閉させるための開閉駆動手段と、上記シールボックス内
を排気する排気手段とを備えたことを特徴とする真空処
理装置のシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60141506A JPH0784660B2 (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 真空処理装置のシ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60141506A JPH0784660B2 (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 真空処理装置のシ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624866A true JPS624866A (ja) | 1987-01-10 |
| JPH0784660B2 JPH0784660B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=15293539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60141506A Expired - Lifetime JPH0784660B2 (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 真空処理装置のシ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0784660B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418151U (ja) * | 1987-07-20 | 1989-01-30 | ||
| JPS6418149U (ja) * | 1987-07-20 | 1989-01-30 | ||
| JPS6418150U (ja) * | 1987-07-20 | 1989-01-30 | ||
| US5088908A (en) * | 1989-03-20 | 1992-02-18 | Hitachi, Ltd. | Continuous vacuum processing apparatus |
| US5102279A (en) * | 1988-05-27 | 1992-04-07 | Hitachi, Ltd. | Continuous vacuum processing apparatus |
| JP2010062012A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| JP2011094205A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置 |
| JP2014162952A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Choshu Industry Co Ltd | ゲートバルブ及びこれを有する真空処理装置 |
| JP2015037779A (ja) * | 2009-12-24 | 2015-02-26 | ポスコ | 鋼板通板装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5875759U (ja) * | 1981-11-17 | 1983-05-21 | 三菱重工業株式会社 | 連続真空蒸着メツキ設備のシ−ル装置 |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP60141506A patent/JPH0784660B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5875759U (ja) * | 1981-11-17 | 1983-05-21 | 三菱重工業株式会社 | 連続真空蒸着メツキ設備のシ−ル装置 |
Cited By (10)
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| JPH0519331Y2 (ja) * | 1987-07-20 | 1993-05-21 | ||
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| JP2014162952A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Choshu Industry Co Ltd | ゲートバルブ及びこれを有する真空処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0784660B2 (ja) | 1995-09-13 |
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