JPH0519331Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、鋼板やフイルム等の帯状体を大気
中から真空室に導く所に使用され、該真空室のシ
ールを行なう真空シール装置用の真空シール締切
装置に関する。

〔従来の技術〕

第４図は、鋼板やフイルム等の帯状体２０を連
続的に大気中から真空室３に導き、真空蒸着等の
真空処理を行なう設備を示している。このような
設備では、帯状体移動路に沿つてシール用ロール
４が多段に備えられ、各中間室３１で差動排気が
行なわれている。しかし、このシール用ロール４
の回転のためにその周囲に隙間が必要でシール性
を高めるのが難しく、特に帯状体２０の移動停止
時に真空保持については何ら考慮されていないの
が現状である。

そこで第５図ａに示すような新たな真空シール
装置の構成についての提案がなされている。即
ち、大気側から真空室３に送り込まれる帯状体２
０をその移動路上に保つため、該移動路に沿つて
凹部１０３を穿設したケーシング１０２内に噛み
込み部１００，１００を収納し、帯状体２０が停
止した時シリンダ１０１，１０１の作用により、
前記噛み込み部１００，１００を該ケーシング１
０２内部から突出させて帯状体２０を両面より噛
み込み、シールするものである。

〔考案が解決しようとする問題点〕

このような噛み込み型の装置では、締切り時
に、同図ｂに示すように、帯状体２０の厚さ、幅
に応じて噛み込み部１００，１００との間に隙間
X₁，X₁が生じたり、該噛み込み部１００，１０
０側面と凹部１０３脇のケーシング１０２突出部
１０２ａ，１０２ａ内の側壁との間に隙間X₂，
X₂が生じ、これらの隙間Ｘ，Ｘからのリークの
ために、真空室３を高真空に保つのは困難であ
る。しかもそのために真空ポンプの容量を増加さ
せるのは省エネ上好ましくない。

但し、帯状体が薄くなれば、噛み込み部と帯状
体の両側端にできる隙間からのリーク量は相対的
に少なくなり、特に問題とはならない。そのた
め、本考案は上記問題のうち特に、噛み込み部の
側面と凹部脇のケーシング突出部内の側壁との間
にできる隙間からのリーク量を少なくし、帯状体
の移動停止時に、該帯状体を移動路中に保持しつ
つ、真空室を高真空に保てるシール装置用の真空
シール締切装置を提供せんとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのため、本考案は、ケーシング内に収納さ
れ、該ケーシングの凹部より突出可能な移動噛み
込み部と、帯状体移動路を挟んで該移動噛み込み
部と反対側に設けられた固定噛み込み部とを有
し、帯状体が停止した時に両噛み込み部の間で該
帯状体両面を噛み込んでシールする真空シール締
切装置において、前記移動噛み込み部をケーシン
グの凹部より幅広のものにして該ケーシング内に
収納し、且つ移動噛み込み部が凹部に突出した時
に該噛み込み部先端側両端面を受ける接触シール
面を凹部脇のケーシング両突出部内に夫々設け、
固定噛み込み部と移動噛み込み部との少なくとも
いずれか一方は、先端に向かうに従つて縮径され
た構成となり、固定噛み込み部と移動噛み込み部
との少なくとも一方の先端部が弾性部材から構成
されたことを基本的特徴としている。

〔作用〕

本考案の構成では、移動噛み込み部側面と凹部
脇のケーシング両突出部内の側壁との間に該移動
噛み込み部の昇降のための適当なクリアランスと
なる隙間が設けられていても、該隙間はケーシン
グ突出部に囲まれ外部に露出することはないた
め、従来帯状体移動路方向に沿つてこの隙間を流
れていた大気の流れはケーシング突出部に遮断さ
れる。又、凹部に突出した移動噛み込み部先端側
両端面は接触シール面に当接されてその部分をシ
ールするため、上記した隙間に達する流れはそこ
で止められる。そのため移動噛み込み部側面にで
きる上記隙間からの大気のリークはなくなる。更
に固定噛み込み部と移動噛み込み部の少なくとも
いずれか一方が先端に向かうに従つて縮径された
構成となつているため、両噛み込み部の接触面積
が小さくなり、従つて帯状体の接触面積が小さく
なつて、両噛み込み部とこの帯状体との摩擦を小
さくすることができるようになる。一方、両噛み
込み部のうち少なくともいずれか一方の先端部が
弾性部材で構成されているため、帯状体の幅変化
にも十分追随でき、加えて、上述のように帯状体
との接触面積が小さいことも相俟つてより完全な
シール効果が得られる。

〔実施例〕

以下、本考案の具体的実施例を添付図面に基づ
いて説明する。

第１図は、ストリツプ２の真空処理を行なう真
空室３の入側及び出側に設けられるシール装置の
うち、本考案の一実施例に係る真空シール締切装
置１の内部設置状態を示す断面図である。

この真空シール締切装置１は、筒状体３０の中
空部底面に一定間隔を開けて立設された遮断板１
１と、その上方に設けられ、エアシリンダ１０１
によりケーシング１０２内からの筒状体３０中空
部へ突出及び後退ができる遮断扉１０とが設けら
れており、該遮断扉１０が筒状体３０の中空部へ
突出した時に、遮断扉１０先端の移動噛み込み部
１００と、遮断板１１先端の固定噛み込み部１１
０でストリツプ２を両面から噛み込み、シールす
るようになつている。

第２図ａ乃至ｃは、この締切装置１の詳細を示
す断面図であり、そのうち同図ｂは同図ａのＡ−
Ａ断面図、同図ｃは同図ａのＢ−Ｂ断面図であ
る。

第２図ａに示されるように、ケーシング１０２
の下部は切欠かれ、ストリツプ２搬送ラインより
幅広の凹部１０３が形成されているが、遮断扉１
０は、その移動噛み込み部１００の幅を該凹部１
０３より更に幅広にしてその両端を凹部１０３両
脇のケーシング１０２内に延出せしめているた
め、該遮断扉１０の両側面とケーシング１０２両
突出部１０２ａ，１０２ａ内の側壁との間にでき
る隙間は、該突出部１０２ａ，１０２ａに囲まれ
外部に露出することはない。

又、第２図ｃに示されるように、凹部１０３脇
のケーシング１０２突出部１０２ａ，１０２ａ最
下端側には、該移動噛み込み部１００先端側両端
面の後述する円弧状の形状に合わせて、その円弧
状の曲率よりもやや大きな曲率の曲面からなる接
触シール面１０４，１０４が形成され、第３図に
示されるように遮断扉１０が凹部１０３に突出し
てきた時に、該接触シール面１０４，１０４が該
遮断扉１０の移動噛み込み部１００先端側両端面
を受けてその間のシールを行なう。

更に、第２図ｂに示されるように、遮断扉１０
先端の移動噛み込み部１００は外周がゴム製シー
ル体１０５で覆われた円弧状に形成され、他方、
遮断板１１の先端の固定噛み込み部１１０は平坦
なゴム製シール体１１１で覆われている。従つて
ストリツプ２が遮断板１１の固定噛み込み部１１
０と遮断扉１０の移動噛み込み部１００に噛み込
まれた時に、第２図ａに示されるように該噛み込
み部１００，１００のストリツプ２当接部分が略
ストリツプ２の断面形状に合せてへこむため、ス
トリツプ２両側端は三角形のわずかな隙間Ｘ，Ｘ
を残して噛み込み部１００，１００が噛み合わさ
れることになる。

加えて、第２図ｂに示されるように、ケーシン
グ１０２最下端には内方向に傾斜するテーパ面１
０６，１０６が形成されており、遮断扉１０が該
ケーシング１０２から突出した時に、移動噛み込
み部１００の馬蹄形ゴム製シール体１０５の両脇
がそのテーパ面１０６，１０６に接触して、そこ
でシールされることになる。

本実施例では、第１図に示されるように、中空
部内にストリツプ２搬送ラインが形成された筒状
体３０内に、上記の締切装置１が真空室３の入側
及び出側に＃１乃至＃４の各４段設けられ、これ
らの締切装置１の各間□１乃至□３を中間室３１
として、各中間室３１は差動排気用のポンプ（図
示なし）につなげられて差動排気が行なえるよう
にしている。

次に、以上の真空シール締切装置１の使用方法
につき説明する。

ストリツプ２を停止させたところで、エアシリ
ンダ１０１により、遮断扉１０をケーシング１０
２下端から突出させ、ストリツプ２を遮断扉１０
の移動噛み込み部１００と遮断板１１の固定噛み
込み部１１０とで噛み込み、大気側とのシールを
行なう。本実施例では、ケーシング１０２突出部
１０２ａ，１０２ａ内の側壁と移動噛み込み部１
００側面との間に、0.3〜1.0mm程度の該移動噛み
込み部１００昇降のための隙間が設けられていて
も、該隙間はケーシング１０２の突出部分１０２
ａ，１０２ａに覆われ、外部に露出することはな
い。しかも、移動噛み込み部１００の先端側両端
面はケーシング１０２の接触シール面１０４，１
０４に当接され、シールされることになるため、
上記隙間からの大気のリークはなくなる。

その後、真空室３の主真空ポンプの作動と共
に、中間室３１の差動排気用ポンプも起動し、真
空室３内のストリツプ２に対し真空処理がなされ
る。

次に、全ポンプの作動を止め、各遮断扉１０を
上げて各締切装置１を解除せしめることにより、
真空室３内を大気圧に戻す。この時にストリツプ
２を所定量移動せしめる。

後は以上の手順を順次繰り返せば良い。

本実施例では、ストリツプ２パスラインの上流
側にリコイラを、下流側にコイラを設けてコイル
状のものを真空処理する構成を前提としている
が、鋼板等の切板状のものを真空処理する場合も
そのまま用いることができる。

〔考案の効果〕 以上詳述したように、本考案の真空シール締切
装置によれば、移動噛み込み部が凹部に突出した
時に、該移動噛み込み部側面と凹部脇のケーシン
グ両突出部内の側壁との間にできる隙間は該ケー
シング突出部に囲まれることになり、しかも移動
噛み込み部先端側両端面は接触シール面に当接さ
れてその間がシールされることになるため、上記
隙間からの大気のリークがなくなり、シール効果
を高めることができる。更に両噛み込み部の少な
くともいずれか一方が先端に向かうに従つて縮径
された構成となつているため、両噛み込み部の接
触面積が小さくなり、従つて帯状体との接触面積
が小さくなつて、両噛み込み部とこの帯状体との
摩擦を小さくすることができる。一方、これら両
噛み込み部のうち少なくともいずれか一方の先端
部が弾性部材で構成されているため、帯状体の幅
変化にも十分追随でき、加えて、上述のように帯
状体との接触面積が小さいこととも相俟つてより
完全なシール効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例に係る真空シール
締切装置が設置されたシール装置の内部構造を示
す断面図、第２図ａは本実施例に係る真空シール
締切装置の詳細を示す断面図、第２図ｂは同図ａ
のＡ−Ａ断面図、第２図ｃは同図ａのＢ−Ｂ断面
図、第３図は該真空シール締切装置の遮断扉及び
ケーシングの部分を示す斜視図、第４図はシール
用ロールを備えた真空処理装置の説明図、第５図
ａ，ｂは従来の噛み込み型シール装置の構成を示
す説明図である。 図中、１は真空シール締切装置、１０は遮断
扉、１００は移動噛み込み部、１０２はケーシン
グ、１０２ａは突出部、１０３は凹部、１０４は
接触シール面、１１は遮断板、１１０は固定噛み
込み部、２はストリツプ、２０は帯状体、３は真
空室を各示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 帯状体を真空処理する真空室の入側及び出側に
   夫々設けられ、該帯状体移動路に面する側にこれ
   に沿つて形成された帯状体通過用の凹部を有する
   ケーシングと、該ケーシング内に収納され、移動
   して前記凹部に突出することが可能な移動噛み込
   み部と、前記帯状体移動路を挟んで該移動噛み込
   み部反対側に固定された固定噛み込む部とを有
   し、帯状体が停止した時に移動噛み込み部と固定
   噛み込み部との間で該帯状体両面を噛み込んでシ
   ールする真空シール締切装置において、前記移動
   噛み込み部をケーシングの凹部より幅広のものに
   して該ケーシング内に収納し、且つ移動噛み込み
   部が凹部に突出した時に該噛み込み部先端側両端
   面を受ける接触シール面を凹部脇のケーシング両
   突出部内に夫々設け、固定噛み込み部と移動噛み
   込み部との少なくともいずれか一方は、先端に向
   かうに従つて縮径された構成となり、固定噛み込
   み部と移動噛み込み部との少なくとも一方の先端
   部が弾性部材から構成されたことを特徴とする真
   空シール締切装置。