JPS5917070A - 真空用ゲ−トバルブ - Google Patents
真空用ゲ−トバルブInfo
- Publication number
- JPS5917070A JPS5917070A JP57125478A JP12547882A JPS5917070A JP S5917070 A JPS5917070 A JP S5917070A JP 57125478 A JP57125478 A JP 57125478A JP 12547882 A JP12547882 A JP 12547882A JP S5917070 A JPS5917070 A JP S5917070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- seal
- seal ring
- opened
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空用ゲートバルブに係り、特にパルプハウジ
ング内に設けられたシールリングと、このシールリング
の開閉を行なうゲートンールとを有する真空用ゲートバ
ルブに関するものである。
ング内に設けられたシールリングと、このシールリング
の開閉を行なうゲートンールとを有する真空用ゲートバ
ルブに関するものである。
最近の核融合装置のような超高真空装置には、ボート群
にプラズマ観測装置や粒子入射装置等の各種装置が取り
付けられるが、真空用ゲートバルブ（以下、ゲートパル
プと称する）はこれらポートと各種装置の接続部に配設
使用される。このような目的に使用されるゲートバルブ
の従来例が第１図および第２図に示されている。ゲート
パルプは、ゲートバルブを使用機器のポート間に取シ付
けるための給口１ａ側および排口２ａ側接続フランジ１
，２を有するバルブハウジング３と、このバルブハウジ
ング３の接続フラン２２部分に取り付けられ、かつ排口
２ａを形成しているシールリング４と、バルブノ・ウジ
ング３の中空室５内を移動してシールリング４との相互
作用によりゲートバルブの開閉動作を行なうゲートシー
ル６とから構成されている。そして閉動作すなわち給口
１ａ側と排口２ａ側との間のシールは、ゲートシール６
を実線で示す位置６ａから捷ず１点鎖線で示す位置６ｂ
に移動し、次いで２点鎖線で示す位置６Ｃに移動し、適
切な押付力下でのゲートシール６とシールリング４との
緊密な接触によって行なわれる。開動作は閉動作とは逆
に、２点鎖線の位置６Ｃから１点鎖線で示す位置６ｂに
移動し、次いで実線で示す位置６ａに移動する順序で行
なわれている。
にプラズマ観測装置や粒子入射装置等の各種装置が取り
付けられるが、真空用ゲートバルブ（以下、ゲートパル
プと称する）はこれらポートと各種装置の接続部に配設
使用される。このような目的に使用されるゲートバルブ
の従来例が第１図および第２図に示されている。ゲート
パルプは、ゲートバルブを使用機器のポート間に取シ付
けるための給口１ａ側および排口２ａ側接続フランジ１
，２を有するバルブハウジング３と、このバルブハウジ
ング３の接続フラン２２部分に取り付けられ、かつ排口
２ａを形成しているシールリング４と、バルブノ・ウジ
ング３の中空室５内を移動してシールリング４との相互
作用によりゲートバルブの開閉動作を行なうゲートシー
ル６とから構成されている。そして閉動作すなわち給口
１ａ側と排口２ａ側との間のシールは、ゲートシール６
を実線で示す位置６ａから捷ず１点鎖線で示す位置６ｂ
に移動し、次いで２点鎖線で示す位置６Ｃに移動し、適
切な押付力下でのゲートシール６とシールリング４との
緊密な接触によって行なわれる。開動作は閉動作とは逆
に、２点鎖線の位置６Ｃから１点鎖線で示す位置６ｂに
移動し、次いで実線で示す位置６ａに移動する順序で行
なわれている。
ところでこの種ゲートパルプで最も重要なことはシール
性能の保持（真空の保持）であるが、そのシール性能の
保持が困難になることがある。すなわちポート群にプラ
ズマ観測装置や粒子入射装置等の各種装置を取り付ける
場合に細心の注意を払っているにもかかわらす、微細な
塵埃等が空気中等からポート内部に侵入し、シールリン
グ４のシール面４ａに付着し、ひいてはシール面４ａを
傷つけるからである。その塵埃等の汚染物の／−ル面４
ａへの付着の状態が第３図に示されている。
性能の保持（真空の保持）であるが、そのシール性能の
保持が困難になることがある。すなわちポート群にプラ
ズマ観測装置や粒子入射装置等の各種装置を取り付ける
場合に細心の注意を払っているにもかかわらす、微細な
塵埃等が空気中等からポート内部に侵入し、シールリン
グ４のシール面４ａに付着し、ひいてはシール面４ａを
傷つけるからである。その塵埃等の汚染物の／−ル面４
ａへの付着の状態が第３図に示されている。
シールリング４のシール面４ａ上に付着した汚染物７ａ
、７ｂ、７Ｃ等はゲートシール６の押し付けによりシー
ルリング４のシール面４ａを傷つけることになる。この
ためノール性能が低下する事故が発生している。
、７ｂ、７Ｃ等はゲートシール６の押し付けによりシー
ルリング４のシール面４ａを傷つけることになる。この
ためノール性能が低下する事故が発生している。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであシ、その目的
とするところは、シール性能保持の良好な真空用ゲート
バルブを提供するにある。
とするところは、シール性能保持の良好な真空用ゲート
バルブを提供するにある。
すなわち本発明は、給口部側に、給排口の開放時にシー
ルリングのシール面をしや蔽するようにした筒状カバー
を設けたことを特徴とするものである。
ルリングのシール面をしや蔽するようにした筒状カバー
を設けたことを特徴とするものである。
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
４図および第５図には本発明の一実施例が示されている
。なお従来と同じ部品には同じ符号を付したので説明は
省略する。本実施例では給口１ａ部側に、給排口１ａ、
２ａの開放時にシールリング４のシール面４ａをしや蔽
するようにした筒状カバー８ａを設けた。このようにす
ることにより、開放時においてもシール面４ａがじゃ蔽
されるようになって、シール性能保持の良好な真空用ゲ
ートバルブを得ることができる。
４図および第５図には本発明の一実施例が示されている
。なお従来と同じ部品には同じ符号を付したので説明は
省略する。本実施例では給口１ａ部側に、給排口１ａ、
２ａの開放時にシールリング４のシール面４ａをしや蔽
するようにした筒状カバー８ａを設けた。このようにす
ることにより、開放時においてもシール面４ａがじゃ蔽
されるようになって、シール性能保持の良好な真空用ゲ
ートバルブを得ることができる。
すなわち筒状カバー８ａを、伸縮自在で、かつその給口
１ａ部側は給口１ａ部より幅広に、その排口２ａ部側は
排日２８部より幅狭に形成すると共に、開放時には駆動
装置９によって排日２３部側の一部が排口２ａ部内に挿
入されるようにしだ。
１ａ部側は給口１ａ部より幅広に、その排口２ａ部側は
排日２８部より幅狭に形成すると共に、開放時には駆動
装置９によって排日２３部側の一部が排口２ａ部内に挿
入されるようにしだ。
このようにするとゲートバルブの組込時から運転開始時
までの間のような給排口１ａ、２ａの開放時においても
シール面４ａは筒状カバー８ａで魚われるようになるの
で、ポート１０側から侵入してきた汚染物７ａは図中実
線表示の位置１２ａから図中点線表示の位置１２ｂ、１
２Ｃのように、筒状カバー８３からポート１１側へ落下
してゆき、ポート１０側から侵入してきた汚染物７ａが
シール面４ａに付着することがなくなり、／−ル面４ａ
が常に清浄で、シール性能が長期にわたり良好に保持さ
れる。給排口１ａ、２ａの閉鎖時においては、筒状カバ
ー８ａを１駆動装置９によって給口１ａ部側に上げ、ゲ
ートシール６でこれまでと同様にシールする。
までの間のような給排口１ａ、２ａの開放時においても
シール面４ａは筒状カバー８ａで魚われるようになるの
で、ポート１０側から侵入してきた汚染物７ａは図中実
線表示の位置１２ａから図中点線表示の位置１２ｂ、１
２Ｃのように、筒状カバー８３からポート１１側へ落下
してゆき、ポート１０側から侵入してきた汚染物７ａが
シール面４ａに付着することがなくなり、／−ル面４ａ
が常に清浄で、シール性能が長期にわたり良好に保持さ
れる。給排口１ａ、２ａの閉鎖時においては、筒状カバ
ー８ａを１駆動装置９によって給口１ａ部側に上げ、ゲ
ートシール６でこれまでと同様にシールする。
第６図および第７図には本発明の他の実施例が示されて
いる。本実施例では筒状カッ・−８ｂを、その給口１ａ
部側は給口１ａ部より幅広に、その排日２３部側は排日
２８部よυ幅狭に形成すると共に、開放時には駆動装置
９によって排口２ａ部上に駆動設置されるようにした。
いる。本実施例では筒状カッ・−８ｂを、その給口１ａ
部側は給口１ａ部より幅広に、その排日２３部側は排日
２８部よυ幅狭に形成すると共に、開放時には駆動装置
９によって排口２ａ部上に駆動設置されるようにした。
この場合にも前述の場合と同様な作用効果を奏すること
ができる。
ができる。
なお本実施例ではこれら筒状カバーＢａ、Ｂｂを伸縮あ
るいは移動することによってその効果を発揮させるよう
にしたが、これに限るものではなく給口ｌａ部側は給口
１ａ部より幅広で、排口２ａ部側は排日２８部より幅狭
に形成した筒状カバーをゲートノール６の開閉の邪魔に
ならないようにして給口１ａ部側に固定するようにして
もよい。
るいは移動することによってその効果を発揮させるよう
にしたが、これに限るものではなく給口ｌａ部側は給口
１ａ部より幅広で、排口２ａ部側は排日２８部より幅狭
に形成した筒状カバーをゲートノール６の開閉の邪魔に
ならないようにして給口１ａ部側に固定するようにして
もよい。
上述のように本発明は、給口部側に、給排口の開放時に
シールリングのシール面をしや蔽するようにした筒状カ
バーを設けたので、開放時においてもシール面かしや蔽
されるようになって、シール面に汚染物が付着しないよ
うになり、シール性能保持の良好な真空用ゲートパルプ
ブを得ることができる。
シールリングのシール面をしや蔽するようにした筒状カ
バーを設けたので、開放時においてもシール面かしや蔽
されるようになって、シール面に汚染物が付着しないよ
うになり、シール性能保持の良好な真空用ゲートパルプ
ブを得ることができる。
第１図は従来の真空用ゲートパルプの斜視図、第２図は
従来の真空用ゲートパルプの縦断側面図、第３図は従来
の真空用ゲートパルプのシールリングのシール面におけ
る汚染物の付着状態を示す斜視図、第４図は本発明の真
空用ゲートパルプの一実施例の開放時の状態を示す縦断
側面図、第５図は同じく一実施例の閉鎖時の状態を示す
縦断側面図、第６図は本発明の真空用ゲートパルプの他
の実施例の開放時の状態を示す縦断側面図、第７図は同
じく他の実施例の閉鎖時の状態を示す縦断側面南である
。 １ａ・・・給口、２ａ・・・排口、３・・・バルプノ・
ウジング、４・・・・／−ルリング、４ａ・・・シール
面、５・・・中空室、６・・・ケ−）シール、８ａ、８
ｂ・・油状カバー、９（ｅまか１名） 第１図 第２図 ／ 第４０ 第５図 第７図
従来の真空用ゲートパルプの縦断側面図、第３図は従来
の真空用ゲートパルプのシールリングのシール面におけ
る汚染物の付着状態を示す斜視図、第４図は本発明の真
空用ゲートパルプの一実施例の開放時の状態を示す縦断
側面図、第５図は同じく一実施例の閉鎖時の状態を示す
縦断側面図、第６図は本発明の真空用ゲートパルプの他
の実施例の開放時の状態を示す縦断側面図、第７図は同
じく他の実施例の閉鎖時の状態を示す縦断側面南である
。 １ａ・・・給口、２ａ・・・排口、３・・・バルプノ・
ウジング、４・・・・／−ルリング、４ａ・・・シール
面、５・・・中空室、６・・・ケ−）シール、８ａ、８
ｂ・・油状カバー、９（ｅまか１名） 第１図 第２図 ／ 第４０ 第５図 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、給排口および中空室を有する・くルブノ・ウジング
と、前記給排口の排日部に設けられ、かつ前記、給排口
の排日を形成しているシールリングと、このシールリン
グを開閉して前記給排口を開閉するように前記・・ルブ
・・ウジング内を移動するゲートンールとからなる真空
用ゲート・・ルブにおいて、前記給口部側に、前記給排
口の開放時に前記・シールリングのソール面をしや蔽す
るようにした筒状カバーを設けたことを特徴とする真空
用ゲートバルブ。 ２、前記筒状カッ・−が、伸縮自在で、かつその給口部
側は前記給口部より幅広に、その排日部側は前記排日部
より幅狭に形成されると共に、前記開放時には駆動装置
によって前記排日部側の一部が前記排口部内に挿入され
るものである特許請求の範囲第１項記載の真空用ゲート
ノ＜ルプ。 ３、前記筒状カバーが、その給口部側は前記給口部より
幅広に、その排日部側は前記排日部より幅狭に形成され
ると共に、前記開放時には、駆動装置によって前記排口
部上に駆動・設置されるものである特許請求の範囲第１
項記載の真空用ゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57125478A JPS5917070A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 真空用ゲ−トバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57125478A JPS5917070A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 真空用ゲ−トバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5917070A true JPS5917070A (ja) | 1984-01-28 |
Family
ID=14911079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57125478A Pending JPS5917070A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 真空用ゲ−トバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917070A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62108763A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-20 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62113754A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-25 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62113752A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-25 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62158155A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-07-14 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62158154A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
-
1982
- 1982-07-19 JP JP57125478A patent/JPS5917070A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62108763A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-20 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62113754A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-25 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62113752A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-25 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62158154A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
| JPS62158155A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-07-14 | 株式会社アイジー技術研究所 | セラミツク組成物 |
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