JPS6324066A - 帯状物のエア−ロツク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は帯状物のエアーロック、特に金属ストリップ等
の帯状物の表面に真空室内でイオンブレーティング等の
物理的蒸着法によって金属、セラミックスその他の薄い
被膜を連続的にコーティングするための帯状物連続真空
蒸着処理装置の入側および出側に設けられる複数個の差
圧室を具えるエアーロックの差圧室封止構造に関するも
のである。

（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の片面または両面にＡ
Ａ、Ｔｉ等を連続的に蒸着する１こめの連続真空蒸着装
置の入側および出側エアーロックとして、第６図に示す
ようなものが既知である。この図示の形式の連続真空蒸
着装置装置は、真空蒸着処理を行うための高真空に維持
される真空室１と、この真空室１の入口１ａおよび出口
１ｂにそれぞれ通じる入側および出側エアーロック２お
よび３とを具え、これら両エアーロック２，３は真空室
１に近い程高真空度に調圧された複数個の差圧室により
それぞれ構成され、金属ストリップ等の帯状物４を入口
１ａから出口１ｂを経てｉ！！！続的に真空室１内に通
過させて蒸着処理を行っている際に、真空室１内を高真
空に維持するための真空封止を確保するよう構成されて
いる。

入側エアーロック２の入口側および出側エアーロック３
の出口側には、それぞれコイル巻戻機５および巻取機６
が設けられ、これにより、巻戻機５によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口間ロアか
ら真空室１を経て出側エアーロック３の出口開口８に連
続的に通し、真空室１内で蒸発ポットのような蒸発源９
から蒸発した金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エ
アーロック３の出口間口８から出た帯状物４を巻取機６
によってコイル状に巻き取るよう構成されている。

入側エアーロック２の複数個の差圧室２ａ＋　２ｂ＋２
ｃ、　２ｄの内部圧力は、真空室１内の真空度を所定値
に維持するように、大気圧に近い入側端の差圧室２ａか
ら順次の差圧室２ｂ、　２ｃ、　２ｄの内部の真空度を
高め、他方、出側エアーロック３の複数個の差圧室３ａ
、　３ｂ、　３ｃ、　３ｄの内部圧力は真空室１内の所
定の真空度から順次出側端に向けて低めていって出側端
の差圧室３ａでは大気圧近くになるよう各差圧室に接続
された真空排気ダクト（図示せず）を経てそれぞれ排気
されて調圧されている。

（発明が解決しようとする問題点） 上述したように帯状物を連続的に処理する場合には、大
気−高真空−大気（ａｉｒ−ｔｏ−ａｉｒ）となるため
に、大気と真空室との間の真空シールをどのようにする
かが問題となっている。即ち、シール性が悪いと大気中
のＯ，、ＣＯ□および微細な浮遊物が真空室内に侵入し
て、蒸着被膜に悪影響を与えるばかりでなく、真空ポン
プによる真空室、差圧室での排気量が増え、ランニング
コストがかさむという問題がある。

本発明は、上述した問題を解決しようとするものである
。

（問題点を解決するための手段） 本発明によれば、第１図に示すように、真空室に近い程
高真空度に調圧された複数個の差圧室２ａ＋２ｂ　２ｃ
　−・−を具え、高真空に排気される真空室内の高真空
を維持しながら真空処理すべき帯状物４を入側大気雰囲
気中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に
真空室から導出し得るよう真空室の入側および出側にそ
れぞれ設けられる帯状物のエアーロックにおいて、前記
差圧室２ａ＋　２ｂ。

２　ｃ　＋・・・−の入側に上下シールロール１１．１
２が帯状物４をはさんで入側を閉塞するようにそれぞれ
設けられ、少なくとも１組のシールロール１１．１２の
両端部の帯状物非通過部に上下一対のサイドシールロー
ル１８．１９が互に接触した状態に保持さて設けられて
いることを特徴とする。

（作　用） 上述の構成になる本発明による帯状物のエアーロックに
よれば、差圧室２ａ、　２ｂ、　２ｃｍ−−−−−−よ
り真空度の低い入側または出側を上下シールロールｌＬ
１２およびサイドシールロール１８．１９によって実質
的に閉塞して帯状物を通すことができる。したがって、
大気中の０□、ＣＯ□および微細な浮遊物の侵入によっ
て生じる蒸着被膜に対する悪影響をなくし、また、真空
室および差圧室の排気に要するランニングコストを低減
することができる。

（実施例） 第１〜４図は、上述した帯状物連続真空蒸着処理装置の
入側エアーロック２に本発明を実施した例を示す。

図示の例では、真空排気ダクト１０を経て排気されて入
側エアーロック２の入口端から真空室に向けて順次真空
度が高められた複数個の差圧室２ａ＋２ｂ＋　２ｃの入
側に上下一対のシールロールＩＬ　１２が帯状物４をは
さむようにしてエアーロック２の頂壁１３、底壁１４お
よび側壁１５で囲まれた空間を実質的に閉塞して封止す
るようそれぞれ設けられている。各シールロール１１．
１２のネック部１１ａ、　１２ａは側壁１５に回転シー
ル１６を介して貫通されて軸受１７゜１８にそれぞれ回
転自在に支承されており、シールロール１１．１２は駆
動してもよいし、非駆動でもよいが、回転駆動させた方
が、帯状物との間ですり疵が発生せず好ましい。

第２および４図に示すように、上下一対のサイドシール
ロール１９．２０が入口端に位置する上下−対のシール
ロールＩＬ　１２の入側両サイドに最大幅の帯状物をも
干渉しない位置で設けられており、これらの上下サイド
シールロール１９．２０は互に接触した状態で好ましく
は半割型の軸受２１に回転自在に支承され、軸受２１は
頂壁１３にビン２２によって枢着されたレバー２３の下
端に取付けられ、レバー２３の上端にシリンダー装置２
４のピストンロッド２５が連結され、シリンダー装置２
４を作動して図示のシール位置とする際、上下シールロ
ール１１．１２間の帯状物４の両側に生じる空隙２６を
サイドシールロール１９．２０が塞いでシール性を高め
るよう構成されている。

図示の例ではサイドシールロール１９．２０をエアーロ
ック入口端の差圧室２ａの入側に設けられた上下シール
ロール１１．１２の入側にだけしか設けていないが、全
てのシールロール１１．１２の入側に設けてもよいし、
例えば第５図に示すようにシールロール１１．１２の入
側および出側に設けることもできる。

（発明の効果） 本発明によれば、エアーロックの各差圧室より真空度の
低い入側または出側を実質的に閉塞して帯状物を通すこ
とができ、したがって、大気中の０□、ＣＯ□および微
細な浮遊物の侵入によって生じる蒸着被膜に対する悪影
響をなくし、また、真空室および差圧室の排気に要する
ランニングコストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるエアーロックの長さ方向の部分縦
断面図、 第２図は第１図に示すエアーロックの一部を長さ方向に
対し直角な断面で示す断面図、第３図は第２図の［１−
ＩＩＩ線上の断面図、第４図は第２図のＩｆ−ＴＶ綿線
上断面図、第５図は本発明の他の実施例を示す路線図、
第６図は従来の帯状物連続真空蒸着装置の概略線図であ
る。 １・・・真空室　　　　　　２・・・入側エアーロック
２ａ、　２ｂ、　２ｃ・・・差圧室　　３・・・出側エ
アーロック３ａ、　３ｂ、　３ｃ・・・差圧室　　４・
・・帯状物１０・・・真空排気ダクト１１・・・上シー
ルロール１２・・・下シールロール　　１３・・・上壁
１４・・・下壁　　　　　　　１５・・・側壁１６、１
７・・・軸受 １８、１９・・・サイドシールロール 特許出願人　　川崎製鉄株式会社 代理人弁理士　　杉　村　暁　秀 同　　　　弁理士　　　　杉　　　村　　　興　　　作
第１図 第２図 第５図 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、真空室に近い程高真空度に調圧された複数の差圧室
   を具え、高真空に排気される真空室内の高真空を維持し
   ながら真空処理すべき帯状物を入側大気雰囲気中から真
   空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から
   導出し得るよう真空室の入側および出側にそれぞれ設け
   られる帯状物のエアーロックにおいて、前記差圧室の入
   側または出側に上下シールロールが帯状物をはさんで入
   側または出側を閉塞するようにそれぞれ設けられ、少な
   くとも１組の上下シールロールの両端部の帯状物非通過
   部に上下一対のサイドシールロールが互に接触した状態
   に保持されて設けられていることを特徴とする帯状物の
   エアーロック。