JPS6324065A - 帯状物連続真空蒸着処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、金属ストリップ等の帯状物の表面に真空中で
イオンブレーティング等の物理的蒸着法によって金属、
セラミックスその他の薄い被膜を連続的にコーティング
するための帯状物連続真空蒸着処理装置に関するもので
ある。

（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の片面または両面にＡ
λ、Ｔ１等を）み続的に蒸着するための連続真空蒸着処
理装置として、第７図に示すような形式のものが既知で
ある。この図示の形式の連続真空蒸着処理装置は、真空
蒸着処理を行なうための高真空に維持される真空蒸着室
１と、この真空蒸着室１の入口１ａおよび出口１ｂにそ
れぞれ通じる入側および出側エアーロック２および３と
を具え、これら画工°アーロツク２，３は真空蒸着￥１
に近い程高真空度に調圧された複数個の差圧室によりそ
れぞれ構成され、金属ストリップ等の帯状物４を入口１
ａから出口１ｂを経て連続的に真空蒸着室１内に通過さ
せて蒸着処理を行っている際に、真空蒸着室１内を高真
空に維持するための真空封止を確保するよう構成されて
いる。

真空蒸着室１内には、蒸着すべき金属等を溶融状態に保
持する蒸着ポットのような蒸発源５が設けられている。

入側エアーロック２の入口側および出側エアーロック３
の出口側には、それぞれコイル巻戻灘６および巻取機７
が設けられ、これにより、巻戻機６によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口開口８か
ら真空蒸着室１を経て出側エアーロック３の出口間口９
に連続的に通し、真空蒸着室１内で蒸発１ｉＰｉ５から
蒸発した金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エアー
ロック３の出口間口９から出た帯状物４を巻取機７によ
ってコイル状に巻き取るよう構成されている。

入側エアーロック２の複数個の差圧室の内部圧力は、真
空蒸着室１内の真空度を所定値に維持するように、大気
圧に近い入側端の差圧室から順次の差圧室の内部の真空
度を高め、他方、出側エアーロック３の複数個の差圧室
の内部圧力は真空蒸着室１内の所定の真空度から順次出
側端に向けて低めていって出側端の差圧室では大気圧近
くになっている。

（発明が解決しようとする問題点） このような連続真空蒸着処理装置では、真空蒸着室１内
に設置されている蒸発源の取替、蒸発物の補充を頻繁に
行なう必要があり、また、真空蒸着室内に設置されてい
る蒸着用機器等に蒸発源５から蒸発した金属等の蒸気が
付着し、この結果としてこれらの機器が正常に作動しな
くなるために真空蒸着室内に入って清掃する必要があり
、ざらに、真空蒸着室内の上述した機器の補修を行なう
等のメンテナンス作業が必要である。

しかしながら、上述したような構成の従来の連続真空蒸
着処理装置では、上記の各メンテナンス作業を行なうた
め、高真空の真空蒸着室を解放して大気雰囲気にしてお
り、この結果、真空蒸着室内の帯状物は製品にならず、
製品歩留りが低下する問題や、各種メンテナンス作業終
了後に掌内をもとの真空度にするために長時間を要し、
これがため設備の稼動率が低下するという問題があった
。

本発明は上述した問題を解決し、上述した各種メンテナ
ンス作業を行なうことによって生じる製品歩留りおよび
設備の稼働率の低下をなくすよう改善した連続真空蒸着
処理装置を提供しようとするものである。

く問題点を解決するための手段） 本発明によれば、第１図に示すように、高真空に排気さ
れる真空室１０と、この真空室内に高真空を維持しなが
ら真空蒸着処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気中から
真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室か
ら導出し得るよう真空室１０の入側および出側に連続し
て設けられたエアーロック２，３とを具え、これらの入
側および出側エアーロック２および３を経て常時高真空
度に維持される真空室１０がこの真空市内に通される帯
状物４の幅方向に細長く形成され、２個の蒸着室１４、
１５が前記幅方向に仕切壁１３を介して設けられた蒸着
ユニット１１が前記幅方向に移動可能に真空’ＪＩＯ内
に設けられ、蒸着ユニット１１の前後壁１１ａ。

１ｉｂおよび前記仕切壁１３に蒸着ユニット１１の幅方
向への移動時に帯状物が干渉しないよう開口された開口
１６．１７．　ｉ８が設けられ、これにより蒸着室ｉ４
．１５のいずれか一方を真空処理作業位置へに切換え位
置させ得るよう構成され、真空室１０および真空蒸着処
理作業位置Ａにある一方の蒸着室１４に対してメンテナ
ンス位置にある他方の蒸着室１５を気密に遮断する密閉
装置１９．２０．２１．２２．２３．２４が開口１６，
１７，１８に対して設けられ、メンテナンス位置Ｂにる
使方の蒸着室１５内に外部から直接に出入し得る密閉扉
付点検口３７．３８が設けられていることを特徴とする
。

（作用） 上述の構成になる本発明の装置によれば、図示のように
、蒸着ユニット１１の一方の蒸着室１４を真空蒸着作業
位置Ａに位置させて真空蒸着作業を連続的に行なってい
る間に、他方の蒸着室１５を密閉装置２０．２２．２３
および２４により真空室１０および蒸＠至１４から気密
に遮断し、蒸着室１５を点検口３７゜３８を経て大気雰
囲気に解放して蒸着室１５内のメンテナンス作業を行な
い、メンテナンス作業が完了した優、点検口３７．３８
を密閉し、蒸着室１５内を適当な真空装置を用いて所定
の高真空度に排気しておくことができる。

したがって、蒸着室１４のメンテナンス作業が必要にな
った場合には、密閉装置２０．２２．２３および２４を
解放し、蒸着ユニット１１を真空１０内に帯状物４の幅
方向に移動し、他方の蒸着室１５を真空蒸着作業作業位
＠Ａに位置させ、これにより真空蒸着処理作業を実質的
に連続的に行なうことができる。

そして、メンテナンス位置Ｂに移された蒸発室１４のメ
ンテナンスを蒸発室１５につき上述したと同様に行なう
ことができや。

上述したように、本発明によれば、帯状物は常に高真空
雰囲気中に保持され、従って、メンテナンス作業による
不良品の発生を完全になくすることができ、また、メン
テナンス作業による装置の休止時間を殆んどなくすこと
ができ、設備の稼働率を向上させることができる。

（実施例） 第１〜６図は本発明の１実施例を示ず。

図示の例では、第１図に示すように、高真空に排気され
る真空室１０と、この真空室内に高真空を維持しながら
真空蒸着処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気内から真
空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から
導出し得るよう真空室１０の入側および出側に連続して
設けられたエアーロック２，３とを具え、真空ｖ１０は
第２図に示すように、例えば第７図に示す従来の真空蒸
着室１の約３倍の幅に左右に延長されて帯状物４の幅方
向に細長く形成され、この真空ｖ１０内に従来の真空蒸
着室１の約２倍の幅を有する蒸着ユニット１１が帯状物
４の幅方向に適当な駆動手段および車輪１２によって移
動し得るよう設けられ、蒸着ユニットの内部は、第３図
に示すように、仕切壁１３によって幅方向に仕切られて
２個の蒸着室１４．１５が幅方向に並んで設けられ、こ
れにより蒸着ユニット１１を真空室１０内に帯状物４の
幅方向に移動して蒸着室１４．１５のいづれか一方の蒸
着室の位置を真空蒸着作業位置Ａからメンテナンス位置
Ｂに切換えると同時に他方の蒸＠苗の位置がメンテナン
ス位置Ｂから真空蒸着作業位置Ａに切換えられるよう構
成されている。蒸着室１４．１５の内部には蒸発源その
伯の蒸着用機器（図示せず）がそれぞれ設けられている
。

蒸着ユニット１１の前後壁１１ａ　、　１１ｂおよび仕
切壁１３には、蒸着ユニット１１を真空室１０内に帯状
物４の幅方向に移動して蒸着室１４．１５の位置を入れ
替える際に、帯状物４が干渉しないように開口１６゜１
７および１８がそれぞれ設けられ、蒸着室１４．１５の
一方が真空蒸着作業位置Ａに位置する際にメンテナンス
位置Ｂに位置する他方の蒸着室を真空室１０および一方
の蒸着室から気密に遮断するため、蒸着ユニット１１の
前後１１１ａ　、　１１ｂの開口１６．１７の各蒸＠室
１４．１５のそれぞれに対して開口する部分を別個に密
閉し得る密閉装置１９．２０および２１．２２と蒸着室
１４．１５間の仕切壁１３の開口１８を密閉し得る密閉
装置２３と、開口１６．１７と開口１８の端部とが交差
する部分を密閉し得るコーナー密閉装置２４とが設けら
れている。密閉装置１９〜２２は、同一構造を有し、例
えば、密閉装置１９は第４図および第５図に示すように
蒸着室１４に対して開口する開口部分１６ａを上下から
開閉する昇降１ｉ２５．２６が蒸着ユニット１１、すな
わち蒸着室１４の外壁に固着された案内部材（図示せず
）によって案内されて蒸着室外壁にそってそれぞれ上下
に慴動自在に設けられ、蒸着室外壁に固着された上下シ
リンダー装置２７゜２８が上下昇降扉２５．２６をそれ
ぞれ作動し得るよう連結されている。

密閉装置２３は、第６図に示すように、仕切壁１３に設
けられた開口１８を閉止し得る昇降１３３０を有し、こ
の昇降扉３０をシリンダ装置３１によって仕切壁表面に
沿って上下に摺動させて開口１８を開閉し得るよう構成
され、この仕切壁開口密閉装＠２３の昇降爵３０の両端
部にコーナー密閉装置２４のコーナー密閉用ブロック片
３２がシリンダー装置３３によって開閉作動されるよう
設けられている。

第３図に示すように真空室１０内でメンテナンス位置に
ある蒸着室１５内を大気雰囲気に対し解放して蒸＠至１
５内に真空室１０外から出入し得るようにするため、蒸
着ユニット１１の両端部に嵌入部３５を設け、これと気
密に嵌合し得る嵌合部３６を真空室１０の両端部に設【
プ、真空室１０の両端壁および蒸着ユニット１１の両端
壁にそれぞれ点検口３７および３８が設けられ、これら
の点検口３７および３８は密閉扉３９および４０によっ
てそれぞれ開閉可能に密閉されている。

上述の構成とすることによって、例えば、図示のように
蒸着ユニット１１の一方の蒸着ｖ１４を真空蒸着作業位
置に位置させる場合、自動制御ボタン操作等によって他
方の蒸着室１５に対して開口する開口１６．１７の部分
の密閉装置２０．２２、仕切壁１３の開口１８の密閉装
置２３およびコーナー密閉装置２４を閉止することによ
り蒸着室１５は真空室１０および蒸着室１４から気密に
遮断され、これがため、蒸着室１４を用いて帯状物４の
真空蒸着処理を行なっている間に、蒸着室１５を点検口
３７．３８を経て大気雰囲気に解放して蒸着室１５内の
メンテナンス作業を行なうことができる。

（発明の効果） 本発明によれば、真空蒸着処理中の帯状物は常に高真空
雰囲気中に保持され、従って、メンテナンス作業による
不良品の発生を完全になくすことができ、また、メンテ
ナンス作業による装置の休止時間を実質的になくすこと
ができ、設備の稼動率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による処理装置の全体の線図的縦断面図
、 第２図は第１図の■−■線上で断面として示す部分横断
面図、 第３図は第２図の■−■線上で断面として示す縦断面図
、 第４図は蒸着ユニットの正面図、 第５図は第４図のＶ−ｖ線上から見た蒸着ユニットの端
面図、 第６図は第４図のＶＩ　−ＶＩ裸線上縦断面図、第７図
は従来の処理装置の全体の線図的縦断面図である。 ２・・・入側エアーロック　　３・・・出側エアーロッ
ク４・・・帯状物　　　　　　１０・・・真空室１１・
・・蒸着ユニット　　　１２・・・車輪１３・・・仕切
壁　　　　　　１４．１５・・・蒸着！１６、１７．１
８・・・開口 １９、２０．２１．２２．２３．２４・・・密閉装置第
１図 第２図 見 ４Ｄ　　嵐

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高真空に排気される真空室と、この真空室内の高真
   空を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物を入側大気
   雰囲気中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気
   中に真空室から導出し得るよう真空室の入側および出側
   に連続して設けられたエアーロックとを具える帯状物連
   続真空蒸着処理装置において、 前記入側および出側エアーロックを経て常時高真空度に
   維持される真空室がこの真空室内に通される帯状物の幅
   方向に細長く形成され、２個の蒸着室が前記幅方向に仕
   切壁を介して設けられた蒸着ユニットが前記幅方向に移
   動可能に真空室内に設けられ、前記蒸着ユニットの前後
   壁および前記仕切壁に前記蒸着ユニットの幅方向への移
   動時に帯状物が干渉しないよう開口された開口が設けら
   れ、これにより前記蒸着室のいづれか一方を真空処理作
   業位置に切換え位置させ得るよう構成され、前記真空室
   および真空蒸着処理作業位置にある一方の蒸着室に対し
   てメンテナンス位置にある他方の蒸着室を気密に遮断す
   る密閉装置が前記開口に対して設けられ、前記メンテナ
   ンス位置にある他方の蒸着室内に外部から直接に出入し
   得る密閉扉付点検口が設けられていることを特徴とする
   帯状物連続真空蒸着処理装置。