JP2008031493A5

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Publication number: JP2008031493A5
Application number: JP2006202735A
Authority: JP
Filing date: 2006-07-26
Publication date: 2008-09-11
Anticipated expiration: 2026-07-26

Description

上記連続成膜装置は、真空チャンバ１の外枠部２５を固定チャンバ部１５とし、左右の側面壁２６Ｌ，２６Ｒを左右の移動チャンバ部１６Ｌ，１６Ｒとしたが、固定チャンバ部、移動チャンバ部の設け方はこれに限らず、例えば特開２００６−７７２８４号公報に記載された分割構造の真空チャンバ１Ａの各分割部とすることができる。すなわち、図６に示すように、真空チャンバ１Ａの背面壁２１の一方の側端部と正面壁２２の一方の側部と上面壁２３及び下面壁２４を通る第１分割面３１と、前記背面壁２１の他方の側端部と前記正面壁２２の他方の側部と前記上面壁２３及び下面壁２４を通る第２分割面３２とによって、真空チャンバ１Ａを左分割部３４Ｌ、中央分割部３３及び右分割部３４Ｒに３分割し、前記中央分割部３３を固定チャンバ部１５とし、前記左分割部３４Ｌ及び右分割部３４Ｒを左右の移動チャンバ部１６Ｌ，１６Ｒとしてもよい。このタイプは、移動チャンバ部１６Ｌ，１６Ｒが開いた際の開口領域がより広くなり、メンテナンス等の作業性をより向上させたものである。図４及び図５に示した連続成膜装置を含めて、これらを両サイド開放タイプの連続成膜装置と呼ぶ。
特開２００６−７７２８４号公報

上記両サイド開放タイプの連続成膜装置は、図例のように、スパッタ源などの成膜源７Ｌ，７Ｒが成膜ロール２の側方に配置される場合、これを移動チャンバ部を構成する側面壁２６Ｌ，２６Ｒに取り付けることにより、移動チャンバ部を固定チャンバ部から開けば、固定チャンバ部内のロール郡及び成膜源へ容易にアクセスすることができ、清掃やターゲットの交換などのメンテナンス、段取り作業を容易に実施することができる。しかし、成膜の種類によっては成膜ロールの下方にも成膜源を設けることが必要になる場合がある。

本発明はかかる問題に鑑みなされたもので、両サイド開放タイプの連続成膜装置において、成膜ロールの下方に成膜源を設けた場合でも下方成膜源のメンテナンス性に優れた連続成膜装置を提供することを目的とする。

上記連続成膜装置によれば、左右の移動チャンバ部を固定チャンバ部から開くことによって、固定チャンバ部内のロール郡並びに左右の移動チャンバ部に設けた側方成膜源のメンテナンスや段取り作業を容易に行うことができ、しかも下方成膜源は出退機構によって、開放された固定チャンバ部から外側に容易に取り出すことができるため、そのメンテナンスを容易に行うことができる。また、装置の設置スペースやメンテナンススペースが少なくてすみ、さらに固定チャンバ部の正面壁に下方成膜源を着脱するための開口が不要なため、正面壁の剛性を低下させるおそれがなく、各ロールの平行度が損なわれず、精度の高い成膜を行うことができる。

本発明の連続成膜装置によれば、左右の移動チャンバ部を固定チャンバ部から開くことによって、固定チャンバ部内のロール郡並びに左右の移動チャンバ部に設けた側方成膜源のメンテナンスや段取り作業を容易に行うことができ、しかも下方成膜源を開放された固定チャンバ部から外側に容易に取り出すことができるので、そのメンテナンスを容易に行うことができる。また、設置スペースやメンテナンススペースが少なくてすみ、さらに固定チャンバ部の正面壁に下方成膜源を着脱するための開口を設ける必要がないため、正面壁の剛性が低下せず、各ロールの平行度が損なわれないため、精度の高い成膜を行うことができる。

前記固定チャンバ部１５は、背面壁２１及び正面壁２２に架設された遮蔽板１１Ａ，１１Ｂによってその内部が上下方向に上部、中部、下部に区画されている。前記上部には巻出しロール３、巻取りロール４、フリーロール５、ロードセルロール６が背面壁２１及び正面壁２２に回転自在に支持されている。また、前記中部には、成膜ロール２が回転自在に支持され、この成膜ロール２に対して横方向の左右に、マスク１２を介して、スパッタ源となる左右のカソードボックス７Ｌ，７Ｒが配置され、これらは側面壁２６Ｌ，２６Ｒに着脱自在に取り付けられている。また、前記下部にも左右一対の下方カソードボックス８Ｌ，８Ｒがマスク１２を介して前記成膜ロール２に対向するように設けられている。前記マスク１２は、成膜ロール２の所定領域を成膜するためのものである。前記遮蔽板１１Ａ，１１Ｂは、スパッタ膜の相互汚染を防止するためのものである。また、真空チャンバ１をコンパクトにするため、真空排気ポンプ１０は固定チャンバ部１５の上面壁２３にゲート弁を介して付設されている。

この連続成膜装置におけるフィルム基材に対する成膜動作については基本的に従来と同様であり、巻出しロール３から巻き出されたフィルム基材は、フリーロール５、ロードセルロール６を介して成膜ロール２に連続的に供給され、成膜ロール２の外周面上で左右の側方カソードボックス、下方カソードボックスに各々設けられたターゲットから放出された成膜原子によって成膜された後、再びロードセルロール６、フリーロール５を介して巻取りロール４に巻き取られる。

成膜されたフィルム基材が巻取りロール４に巻き取られると、真空チャンバ１内を大気圧に戻し、図３に示すように、まず左右の移動チャンバ部１６Ｌ，１６Ｒを固定チャンバ部１５から離反させて開き、固定チャンバ部１５の両側を開放する。そして、左右の下方カソードボックス８Ｌ，８Ｒをヒンジ機構１９を中心に固定チャンバ部１５の内側から外側へ回転移動させる。このように移動チャンバ部１６Ｌ，１６Ｒ及び下方カソードボックス８Ｌ，８Ｒを固定チャンバ部１５の外方へ開いた後、巻出しロール３、巻取りロール４のボビンの交換や通紙作業を行い、また必要に応じて、各カソードボックス７Ｌ，７Ｒ，８Ｌ，８Ｒのターゲットの交換を行った後、再び下方カソードボックス８Ｌ，８Ｒを固定チャンバ部１５内に戻し、移動チャンバ部１６Ｌ，１６Ｒを固定チャンバ部１５に気密に連結一体化し、真空チャンバ１内を真空排気した後、再び成膜を行う。このように、この連続成膜装置では、側方カソードボックス７Ｌ，７Ｒのみならず、下方カソードボックス８Ｌ，８Ｒについても特別なメンテナンススペースを設けることなく、容易にメンテナンスを行うことができ、また下方カソードボックス８Ｌ，８Ｒについては、その背面側（下側）に対しても容易にアクセスすることができる。

Claims

前記左右の移動チャンバ部を開閉させるヒンジ機構が前記固定チャンバ部の背面壁側あるいは正面壁側のいずれか一方に設けられ、前記下方成膜源を出退させるヒンジ機構がその他方に設けられた、請求項３に記載した連続成膜装置。