JP2008031492A - 連続成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空チャンバ1を備え、真空チャンバ1の口字形外枠部25を固定チャンバ部15とし、前記外枠部25の側方開口を閉塞する側面壁26L,26Rを移動チャンバ部16L,16Rとし、前記固定チャンバ部15に対して開閉自在に設ける。前記固定チャンバ部15に成膜ロール2などのロールを回転軸が壁面に垂直になるように設ける。前記固定チャンバ部の背面壁21及び正面壁22は、前記真空チャンバ1を減圧したとき、背面壁と正面壁が内側に曲がることによって生じるたわみが縦方向の任意位置にて同等となるように設けられる。
【選択図】 図2
Description
固定チャンバ部15の上部に設けた2本の間隔規制部材41は、固定チャンバ部15の縦方向の中心部付近であって、ロール群と干渉しない位置、すなわちロードセルロール6のほぼ横で、壁の縦中心線に対して左右対称位置に着脱自在に取り付けられている。前記背面壁21と正面壁22の内壁面には、U字形の受け部を有する支持部材42が付設されており、前記間隔規制部材41は前記支持部材42の受け部に着脱自在に載置されている。
3 巻出しロール、 4 巻取りロール、
7L,7R 側方カソードボックス、8 下方カソードボックス、
15 固定チャンバ部、 16L,16R 移動チャンバ部、
21 背面壁、 22 正面壁、
23 上面壁、 24 下面壁、
25 外枠部、 26L,26R 側面壁
41 間隔規制部材
Claims (5)
- 被成膜基材を搬送しながら成膜する連続成膜装置であって、
背面壁とこれに対向配置された正面壁とを上面壁及び下面壁によって連結した固定チャンバ部と、この固定チャンバ部の左右の開口を閉塞する左右の側面壁をそれぞれ有する左右一対の移動チャンバ部とからなる真空チャンバと、前記真空チャンバ内に収容されて回転自在に設けられた成膜ロールと、前記成膜ロールに巻き掛けられた被成膜基材に側方から成膜する側方成膜源と、前記被成膜基材を前記成膜ロールに供給する巻出しロール及び成膜後の被成膜基材を巻き取る巻取りロールとを備え、
前記固定チャンバ部に対して前記左右の移動チャンバ部を開閉機構により開閉自在に設け、
前記成膜ロール、巻出しロール及び巻取りロールは前記固定チャンバ部の背面壁及び正面壁の壁面に垂直に回転自在に支持され、前記側方成膜源は前記移動チャンバ部に着脱自在に設けられ、
前記固定チャンバ部の背面壁及び正面壁は、前記真空チャンバを減圧したとき、背面壁と正面壁が内側に曲がることによって生じるたわみが縦方向の任意位置にて同等となるように設けられた、連続成膜装置。 - 被成膜基材を搬送しながら成膜する連続成膜装置であって、
背面壁とこれに対向配置された正面壁とを上面壁及び下面壁によって連結した固定チャンバ部と、この固定チャンバ部の左右の開口を閉塞する左右の側面壁をそれぞれ有する左右一対の移動チャンバ部とからなる真空チャンバと、前記真空チャンバ内に収容されて回転自在に設けられた成膜ロールと、前記成膜ロールに巻き掛けられた被成膜基材に側方から成膜する側方成膜源と、前記被成膜基材を前記成膜ロールに供給する巻出しロール及び成膜後の被成膜基材を巻き取る巻取りロールとを備え、
前記固定チャンバ部に対して前記左右の移動チャンバ部を開閉機構により開閉自在に設け、
前記成膜ロール、巻出しロール及び巻取りロールは前記固定チャンバ部の背面壁及び正面壁の壁面に垂直に回転自在に支持され、前記側方成膜源は前記移動チャンバ部に着脱自在に設けられ、
前記固定チャンバ部の背面壁と正面壁との間にその間隔を維持する間隔規制部材が設けられた、連続成膜装置。 - 前記間隔規制部材は、前記固定チャンバ部の背面壁と正面壁に着脱自在に設けられた請求項2に記載した、連続成膜装置。
- 前記固定チャンバ部の背面壁及び側面壁は、それぞれの板厚が同等であり、前記真空チャンバを減圧したとき、背面壁と正面壁が内側に曲がることによって生じるたわみが縦方向の任意位置にて同等となるように前記背面壁及び側面壁に開口が設けられた、請求項1から3のいずれか1項に記載した連続成膜装置。
- 前記成膜ロールに巻き掛けられた被成膜基材に下方から成膜する下方成膜源が設けられ、前記固定チャンバ部の正面壁に前記下方成膜源を挿脱自在に取り付ける挿脱用開口が設けられ、前記固定チャンバ部の背面壁に前記挿脱用開口と対向する部位に同形ないしほぼ同形のダミー開口が設けられた、請求項1から4のいずれか1項に記載した連続成膜装置。
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