JPH01184271A - 真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、連続走行する長尺の支持体上に磁性薄膜を形
成する装置に関し、さらに詳しくは、支持体を大気中か
ら真空中へ送り込み、真空中にて支持体上に磁性薄膜を
形成して再び大気中に送り出すように構成された真空蒸
着装置に関するものである。

（従来技術） 従来、大量のロール状の支持体を真空中にて真空蒸着等
の処理を施す場合、処理前にロール状の支持体を予め真
空槽内に装填した後に、その真空槽を適宜真空度にして
から支持体を真空槽内にて走行させ所望の成膜処理を行
う、所謂、バッチ式真空処理が主として実施されていた
。

上記のバッチ式真空処理では所定の真空度を保つことは
容易であるものの、ロール状の支持体を、真空槽から出
し入れする作業工程を必要とすること、真空槽のエアー
抜きをしてから成膜工程開始しなければならず、生産性
が低い欠点を有していた。そこで、この欠点を解消でき
るものとして、支持体を大気中から真空槽へ送り再び大
気中に送り出すようにする所謂、エア・ツウ・エア方式
の装置が、米国特許第２９７２３３０号、特開昭５８−
１３１４７０号広報、同６１１２８６７号広報などに開
示されている。

しかしながら、上記米国特許第２９７２３３０号、特開
昭５８−１３４７０号、同６１−１２８６７号広報に代
表される従来の装置には、真空槽内の真空度を所望に保
つ必要から支持体が真空槽内に出入りするシール部分の
構成が大がかりとなり製蓋全体がバッチ式装置に比べて
大きくなる問題があった。

（発明の目的） 本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、生産
性に優れていると共に、装置の小型化された真空蒸着装
置を提供することを目的とするものである。

（発明の構成） 本発明の上記目的は、円筒状キャンに接触して走行案内
される支持体上に薄膜層を形成する真空蒸着装置におい
て、前記円筒状キャンを囲むハウジングはキャン外周面
に沿って僅かな間隙を形成する入口側シール部と出口側
シール部とが隣接され、且つ前記人口側シール部と前記
出口側シール部との間に前記薄膜層を形成する真空槽が
設けられたことを特徴とする真空蒸着装置により達成さ
れる。

以下、本発明の実施態様について図面を参照しつつ説明
する。

第１図は磁気テープ等の磁気記録媒体の製造に用いる真
空蒸着装置の断面図を示す。この真空蒸着装置は、ポリ
エステルフィルム等の支持体５（基体）が外周面に接し
て走行できる回転自在な円筒状キャン２を備えており、
この円筒状キャン２の外周面の一部とハウジング１０と
によって真空槽１３が形成されている。真空槽１３の真
空度を保つためのシール部は、前記ハウジング１０がキ
ャン外周面と僅かな間隙を保つように、該外周面に沿う
ようになされた人口側シール部１１と出口側シール部１
２とに区画することができる。すなわち、前記支持体５
を前記真空槽１３内へ導入する側にある入口側のローラ
１５からニップローラ１６の間が人口側シール部１１と
して構成され、前記支持体５を真空槽外に導き出す側に
あるニップローラ１７から出口側のローラ１８の間が出
口側シール部１２として構成されている。

前記入口側シール部１１はハウジング内壁面に前記円筒
状キャン２の回転軸に平行な複数の溝４が適宜間隔でキ
ャン幅ととほぼ等しい長に設けられている。この溝４に
はハウジング肉厚方向に連通穴９が３設けられており、
この連通穴９に排気系の配管８がつなげられ、支持体導
入側においてリークされる空気を排気ポンプによって吸
い出すことができる。なお、前記出口側シール部１２も
、入口側シール部１１と同様に構成されている。

人口側のローラ１５と出口側のローラ１８とは隣接して
設けられており、両ローラ１５，１８を覆うように出入
口シール部材６が設けられている。

前記真空槽１３内には上部にマスク９ａ及びシャク３が
設けられ、下部に強磁性材蒸発源１が設けられている。

そして前記シャクが開いた状態で前記蒸発源１により強
磁性材７が加熱蒸発され、この蒸気流がマスク９ａ（防
着板）の作用により前記円筒状キャン２の周面に沿って
移動する前記支持体５に対して斜め方向に差し向けられ
て斜め入射蒸着が行われる。また、真空槽１３は排気口
１４から適宜排気されていることは勿論である。

上記のようにく本態様の真空蒸着装置は、円筒状キャン
２がシール用手段と蒸着手段とに併用された構造である
ので、従来のエア・ツウ・エア方式の真空蒸着装置のよ
うに真空槽内に支持体を通すために設けられていた比較
的大きな入口側シール部と出口側シール部とを別々に構
成するスペース的な無駄をすくなくすることができると
共に、従来のようなシール用の大きなロールや、支持体
の経路を長くしなくてもよく構成部材を少なくすること
ができる。

また、真空槽１３の真空度を良好に保つために、図示し
たニップローラ１６．１７は有用な手段となる。

第１図に示す大口ローラ１５と出口ローラ１８はそれぞ
れ１つずつ設けられているが、本発明においてはこれに
限るものではなく、例えば第２図に示すように、５つの
ローラ１５ａ、１５ｂ。

１８ａ、１８ｂ、１９を適宜組み合わせることにより、
シール性を高めることができる。又、第１図においては
、ニップローラ１６．１７を真空槽１３の上端左右にそ
れぞれ１つずつ設けたが、このニップローラをそれぞれ
複数個ずつ設けるように構成することによってシール性
の向上を図かることができる。

上記実施態様は、磁気テープの製造に用いる真空蒸着装
置について述べたが、本発明はこれに限るものではなく
、例えばスパッタ、イオンブレーティング等の装置にも
広く適用することができ、又、磁気テープに限らず他の
磁気記録媒体、さらには磁気記録媒体に限らずこの種の
薄膜形成方法を用いる装置に適用することができる。

（発明の効果） 以上述べたように、本発明の真空蒸着装置は、蒸着時に
用いる円筒状キャンとハウジングにより支持体の出入口
両側のシール部分を構成し、合わせて入口側シール部と
出口側シール部の間において、円筒状キャンの外周面と
ハウジングとにより画成した真空槽を有する構成とした
ので、従来のエア・ツウ・エア方式の真空蒸着装置のよ
うに、シール性向上のだ約に支持体経路を長くする構造
やシール用の比較的大きなローラを設けなくともよく、
支持体出入口のシール部をコンパクトにすることができ
、装置全体の小型化を促進することができ、その汎用性
を広げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による真空。蒸着装置の一実施態様を
示す断面図１、第２図は第１図に示す装置における支持
体の出入口部分の変更例を示す断面図である。 １　磁性材蒸着源、２　円筒状キャン、３　シャク、４
　溝、５　支持体、６　出入口シール部材、７　強磁性
材、８　配管、９　連通穴、１０　ハウジング、１１　
人口側シール部、１２　出口側シール部、１３−　真空
槽、１４　排気口、１５゜１５ａ、１５ｂ、１８．１８
ａ、１８ｂ、１９−ローラ、１６．１７　　ニップロー
ラ。 第　　１　　図 第　　２　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 円筒状キャンに接触して走行案内される支持体上に薄膜
   層を形成する真空蒸着装置において、前記円筒状キャン
   を囲むハウジングはキャン外周面に沿って僅かな間隙を
   形成する入口側シール部と出口側シール部とが隣接され
   、且つ前記入口側シール部と前記出口側シール部との間
   に前記薄膜層を形成する真空槽が設けられたことを特徴
   とする真空蒸着装置。