JPH02138466A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は１紙、プラスチンクフィルム等の吸湿性または
含水性のある走行基板に、連続的に真空蒸着する装置に
関する。

（従来の技術） 従来１紙、ブラスチンクフィルム等に対する真空蒸着は
バッチ方式で実施されていた。即ら、予めコイル状に巻
いた基板を真空容器内に装填し。

真空容器が蒸着に適した圧力になるまで十分排気した後
、該基板を走行・芸着していた。

第３図は、そのような従来の真空蒸着装置の一例を示す
もので１図中１０１は走行基板、１０２は蒸着室、　１
０３はデフレクタロール、１０４は冷却ロール、１０５
は巻取りロール、１０６は巻出ロール、１０７は薄着装
置、１０８は蒸着材、１０９は蒸着材収納容器、１１０
は蒸着材加熱装置、１１１　はエツジマスク。

１１３は排気ポンプユニットである。

走行基板１０１は、蒸着室１０２内において巻出ロール
１０６からデフレクタロール１０３を介して冷却ロール
１０４に送られ、冷却ロール１０４上で蒸着装置ｔ１０
７によって蒸着された後、巻取りロール１０５に巻取ら
れる。蒸着室１０２は、真空ポンプユニット１１３によ
り蒸着に適した真空度にして、蒸着が行なわれる。一方
複数条のマスキング用ベルト１１２が、デフレクタロー
ル１０３を介してエンドレスで走行基板１０１と等しい
速度で走行しており、冷却ロール１０４上で走行基板１
０１に密着して走行し。

走行基板表面のうちマスキング用ベルト１１２と密着し
ていない部分のみ、蒸着がおこなわれる。

上記第３図に示される従来の１バッチ１コイル方式の真
空蒸着装置は非能率的で生産性が悪い。

そこで生産性を向上させるため、シールロールと隔壁と
によって複数段に仕切られた減圧室を設け。

それら減圧室をそれぞれ排気して、大気圧から真空まで
段階的に低くする圧力を作り出し、そこにフィルム等、
可撓性の基板を通すことにより、大気中から真空中へ、
そして再び大気中へと、基板を連続的に走行させて真空
蒸着を施すことも考え〔発明が解決しようとする關題鼻
〕 紙、プラスチックフィルム等の基板が吸湿または含水し
ている場合、その基板中の水分は真空中で蒸発する。蒸
着部においては、蒸着原子が該基板に到達するのをその
蒸発水分が妨げるため、蒸着が不均一になったり、蒸着
割合が減少したりする問題があった。

第３図図示のバッチ式の場合は、単一真空室で基板から
の水分の蒸発があって、真空室が蒸着に適した圧力に到
達しに＜＜、蒸着作業を開始する前に、コイルを真空室
で３〜７日間乾燥させる必要があり、生産性が悪かった
。また基板を連続的に走行させる方式の場合は、未乾燥
の基板を使用する際に、蒸着室を蒸着に適した圧力に到
達させるには、大容量の真空ポンプが必要になる。かつ
基板表面からの水分蒸発を完全には抑えきれない。

Ｃ？ｉ、Ｍを解決するための手段〕 本発明は、前記従来の課題を解決するために。

吸湿性または含水性の基板を大気中から真空室内へ複数
段に仕切られた差圧室を経て連続的に導入し、上記真空
室において上記基板に真空蒸着を施した後、上記基板を
大気中に連続的に搬出するようにした連続真空蒸着装置
において、上記基板を加熱す条加熱装置が上記差圧室内
に設けられたことを特徴とする連続真空蒸着装置、およ
び加熱された上記基板を冷却する冷却ロールが差圧室内
に設けられたことを特徴とする連続真空蒸着装置を提案
するものである。

〔作用〕

基板は、大気圧中から真空蒸着室に導かれる間に、連続
的に加熱され、基板に吸収あるいは吸着されている水は
基板から蒸発する。また加熱された基板を冷却する冷却
ロールを設けた場合は、蒸着室に入る前に基板は冷却さ
れ、蒸着室での水の蒸発が少な（なる。

〔実施例〕

第１図は本考案の一実施例の構成を示す部分断面図であ
る。この図において、ｌは走行基板、２は蒸着室（真空
室）、３はデフレクタロール、４は冷却ロール、５は巻
取りロール、６ば巻出り−ル、７は蒸着装置、８は蒸着
材、９は蒸着材収納容器、１０は蒸着材加熱装置、　１
１はエツジマスク。

１２は入側シール装置、１３は出側シール装置、１４は
シール装置＋　１５ａ＋１５ｂ、１５ｃｍ＋−−−はシ
ールロール。

１６ａ＋　１６ｂｔ　１６ｃ＋−−−は差圧室、　１７
はチャンネル、１８は基板加熱装置、１９はアンコイラ
、２０はコイラ。

２１は押付ロール、２２は切断機、２３は排気ポンプユ
ニットをそれぞれ示す。

走行基板１はアンコイラ１９の一対のり−ル６の一方に
取り付けられデフレクタロール３を介してシール装置ｔ
１４に送られる。同シール装置１４は、３本１＆Ｉのシ
ールロール１５ａ、　１５ｂ、　１５ｃ＋−−−を複数
組間隔を置いて配設することによって仕切られた差圧室
１６ａ＋　１６ｂ＋　１６ｃ、−−−を有し、それら差
圧室１６ａ。

１６ｂ、　１６Ｃ，−−一に接続された排気ポンプユニ
ット２３により、蒸着室２に至るまで大気側から段階的
に圧力勾配を発生させ、蒸着室２を所定の真空度に保っ
ている。走行基板１は、該シールロール１５ａ。

１５ｂ、　１５ｃ、−−の３本ロールのうち１片側２本
のロール間隙間および、差圧室１６ａ、　１６ｂ、　１
６ｃ、−−−を次々と通過する。

本実施例では、圧カフ６０〜１０−”　Ｔｏｒｒに保た
れた差圧室１６ａ、　１６ｂ、　１６ｃ、−−−のうち
１つ以上に、基板加熱装置１Ｅ１８が配置されており、
輻射、誘電加熱。

誘導加熱等によって、走行基板ｌを連続的に加熱する。

走行基板１は、冷却ロール４上で蒸着！ｔ！ｉ置７によ
って蒸着された後、再びシールロール１５ａ、　１５ｂ
。

１５ｃ、−−−の３本ロールのうち反対側２本のロール
間隙間を逆に走行し、シール装置１４から搬出される。

大気中に搬出された走行基板１は、デフレフクロール３
を介してコイラ２０の一対のり−ル５の一方に巻きとら
れる。

本実施例では、走行基板が差圧室内で連続的に加熱され
て水分が蒸発するので、蒸着室における真空蒸着が効果
的に行なわれる。

次に第２図は１本発明の第２の実施例の構成を示す部分
断面図である。この図において、前記第１図により説明
した第１の実施例と同様の部分については同一の符号を
付け、詳しい説明を省略する。

本実施例では、基板加熱装置１日により加熱された走行
基板１を冷却する冷却ロール２４が最終段の差圧室内に
設けられている。走行基板１は最終加熱装置を出た後、
この冷却ロール２４によって冷却上記のように本実施例
では、走行基板１は蒸着室２に入る前に冷却されるので
、蒸着室２内での水の蒸発が抑制される。したがって、
真空蒸着がさらに有効に行なわれる。

〔発明の効果］ 本発明によれば１紙、プラスチックフィルム等。

特に吸湿性または含水性の物質への蒸着を連続して実施
できる。また従来、吸湿性または含水性の物質に蒸着す
る場合、真空室内に１コイル分３〜７日間放置していた
が１本発明ではその必要がないから、蒸着装置の稼動効
率を大幅に向上できる。

さらに本発明では、Ｆ８着室内の基板は乾燥していて、
薄着に適した圧力は極端に低くはないから。

真空ポンプの容量が小さくてすむ。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成を示す部分断面図、第
２図は本発明の第２の実施、例の構成を示す部分断面図
である。第３図は従来の真空薄着装置の一例を示す図で
ある。 １−−一走行基板、２−−−蒸着室 ３−−−デフレククロール ４−ｍ−冷却ロール、　　　５ ６−−−巻出リール、７− ８−ｍ−蒸着材、　　　　　９ １０−ｍ−蒸着材加熱装置、　　１１ １２−一一人側シール装置、　　１３−１４−−−シー
ル装置。 １５ａ　１５ｂ、１５ｃ　−−−シールロール。 １６ａ、　１６ｂ、　１６ｃ、−−一圧力室１７−−−
チヤンネル、　　　１Ｂ−−一基板加熱装置。 １９−ｍ−アンコイラ、　　　　２０−一−コイラ。 ２１−−一押付ロール、　　　２２−−一切断機。 ２３−−一排気ボンプユニ７ト ２４−ｍ−冷却ロール、　　　１０１−１０２−ｍ−蒸
着室、１０３ １０４−ｍ−冷却ロール、　　　１０５−１０６−−−
巻出ロール、　　　１０７−−−１０８−−一蒸着材、
　　　　　１０９−１１０−−一基板加熱装置、１１１
− １１３−ｍ＝排気ポンプユニット 巻取リール。 蒸着装置。 一蒸着材収納容器。 エツジマスク。 出側シール装置。 走行基板。 −デフレフクロール。 巻取ロール 蒸着装置 蒸着材収納容器。 エツジマスク。 第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）吸湿性または含水性の基板を大気中から真空室内
   へ複数段に仕切られた差圧室を経て連続的に導入し、上
   記真空室において上記基板に真空蒸着を施した後、上記
   基板を大気中に連続的に搬出するようにした連続真空蒸
   着装置において、上記基板を加熱する加熱装置が上記差
   圧室内に設けられたことを特徴とする連続真空蒸着装置
   。
2. （２）加熱された基板を冷却する冷却ロールが差圧室内
   に設けられたことを特徴とする請求項（１）記載の連続
   真空蒸着装置。