JP3059000B2 - 連続真空シール装置 - Google Patents
連続真空シール装置Info
- Publication number
- JP3059000B2 JP3059000B2 JP4238271A JP23827192A JP3059000B2 JP 3059000 B2 JP3059000 B2 JP 3059000B2 JP 4238271 A JP4238271 A JP 4238271A JP 23827192 A JP23827192 A JP 23827192A JP 3059000 B2 JP3059000 B2 JP 3059000B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal
- vacuum
- gap
- casing
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプラスチックフィルム、
紙、鋼板等可撓性帯状材の真空蒸着、スパッタ、ＣＶ
Ｄ、表面改質等真空処理装置に適用される連続真空シー
ル装置に関する。
紙、鋼板等可撓性帯状材の真空蒸着、スパッタ、ＣＶ
Ｄ、表面改質等真空処理装置に適用される連続真空シー
ル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】紙、プラスチックフィルム、布、鋼板等
を従来のバッチ式装置に代り、大気中から連続的に真空
室へ搬入して表面処理などの真空処理を施す装置が、提
案されている。たとえば図５は、プラスチックフィルム
に真空蒸着を施す連続真空蒸着装置の一例を示す縦断概
念図である。
を従来のバッチ式装置に代り、大気中から連続的に真空
室へ搬入して表面処理などの真空処理を施す装置が、提
案されている。たとえば図５は、プラスチックフィルム
に真空蒸着を施す連続真空蒸着装置の一例を示す縦断概
念図である。
【０００３】図５において、５１は帯状の走行基板、５
１ａはそのコイル、７１は蒸着室、６６はガイドロー
ル、７２は冷却ロール、６８は巻取リール、６７は払出
リール、７３は蒸着装置、５５は真空シール装置、５３
はシールロール、５４はシールバー、６０は減圧室、７
０は真空排気装置、６９は真空配管、５２はケーシング
である。
１ａはそのコイル、７１は蒸着室、６６はガイドロー
ル、７２は冷却ロール、６８は巻取リール、６７は払出
リール、７３は蒸着装置、５５は真空シール装置、５３
はシールロール、５４はシールバー、６０は減圧室、７
０は真空排気装置、６９は真空配管、５２はケーシング
である。
【０００４】走行基板５１は払出リール６７から払出さ
れた後、ガイドロール６６、真空シール装置５５を経
て、蒸着室７１内に設置された冷却ロール７２に巻付き
ながら蒸着装置７３によって蒸着処理され、しかる後、
再び真空シール装置５５を経て大気中へ搬出され、巻取
リール６８によって巻取られる。
れた後、ガイドロール６６、真空シール装置５５を経
て、蒸着室７１内に設置された冷却ロール７２に巻付き
ながら蒸着装置７３によって蒸着処理され、しかる後、
再び真空シール装置５５を経て大気中へ搬出され、巻取
リール６８によって巻取られる。
【０００５】真空シール装置５５は、シールロール５
３、シールバー５４およびケーシング５２によって構成
されている。そして、シールロール５３とシールバー５
４で区分けられた複数段の減圧室６０は、真空配管６９
によって真空排気装置７０に接続されて、段階的に減圧
される。
３、シールバー５４およびケーシング５２によって構成
されている。そして、シールロール５３とシールバー５
４で区分けられた複数段の減圧室６０は、真空配管６９
によって真空排気装置７０に接続されて、段階的に減圧
される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置では、走行
基板５１を高速通板させることが可能であり、その生産
性向上に非常に有効であるが、なお、次のような解決す
べき問題点があった。 （１）．多数のシールロール５３によって各々の減圧室
６０が形成されているので、装置の構造及びシールロー
ル５３の回転駆動手段が複雑になる。
基板５１を高速通板させることが可能であり、その生産
性向上に非常に有効であるが、なお、次のような解決す
べき問題点があった。 （１）．多数のシールロール５３によって各々の減圧室
６０が形成されているので、装置の構造及びシールロー
ル５３の回転駆動手段が複雑になる。
【０００７】従って、真空シール装置５５が大型にな
り、広いスペースを必要とする。 （２）．走行基板５１の厚さが変更された場合、シール
ロール５３間の隙間は、容易に調整できるが、この隙間
調整に伴うシールロール５３とシールバー５４との隙間
調整は困難である。
り、広いスペースを必要とする。 （２）．走行基板５１の厚さが変更された場合、シール
ロール５３間の隙間は、容易に調整できるが、この隙間
調整に伴うシールロール５３とシールバー５４との隙間
調整は困難である。
【０００８】従って、この隙間を大きくしておく必要が
あり、真空排気装置７０の容量が大きくなる。 （３）．蒸着室７１において、高純度の気体雰囲気を必
要とする場合、又は酸素の介在を許容しない場合、蒸着
室７１を完全真空にすることは不可能であり、各々の減
圧室６０からの残留空気（酸素）が蒸着処理の障害にな
ることがある。
あり、真空排気装置７０の容量が大きくなる。 （３）．蒸着室７１において、高純度の気体雰囲気を必
要とする場合、又は酸素の介在を許容しない場合、蒸着
室７１を完全真空にすることは不可能であり、各々の減
圧室６０からの残留空気（酸素）が蒸着処理の障害にな
ることがある。
【０００９】本発明は、従来の装置にみられたこれらの
問題点のない連続真空シール装置を提供することを課題
としている。
問題点のない連続真空シール装置を提供することを課題
としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は前記した課題を
解決するため、両端を端板によって閉じられ周面上に大
気へ開放した開口部と真空室に連通する開口部とが穿設
された円筒状のケーシング、前記端板に軸着して同ケー
シング内に収納され前記２つの開口部を結ぶ線に相対す
る入側隙間と出側隙間をその外周面と前記ケーシングの
内面との間に形成する１本のシールロール、前記２つの
隙間内に介装され同隙間をそれぞれ区分けして複数段の
入側減圧室と出側減圧室を形成する複数のシールバー、
前記２つの開口部において前記隙間に出入する帯状物を
前記シールロールの外周面に巻回させる帯状物押付け手
段、及び前記各減圧室を減圧させる真空排気手段を有す
る構造を採用する。
解決するため、両端を端板によって閉じられ周面上に大
気へ開放した開口部と真空室に連通する開口部とが穿設
された円筒状のケーシング、前記端板に軸着して同ケー
シング内に収納され前記２つの開口部を結ぶ線に相対す
る入側隙間と出側隙間をその外周面と前記ケーシングの
内面との間に形成する１本のシールロール、前記２つの
隙間内に介装され同隙間をそれぞれ区分けして複数段の
入側減圧室と出側減圧室を形成する複数のシールバー、
前記２つの開口部において前記隙間に出入する帯状物を
前記シールロールの外周面に巻回させる帯状物押付け手
段、及び前記各減圧室を減圧させる真空排気手段を有す
る構造を採用する。
【００１１】更に、本発明は前記した構造に加え、前記
２つの隙間が前記大気側と前記真空室側で大きさが異る
ように前記シールロールを偏心させて前記ケーシング内
に配設し、前記シールバーは前記大気側から前記真空室
側へ大きさが順次異って前記ケーシングの内周面に沿っ
て移動可能に介装されると共に前記入側隙間の各シール
バー及び前記出側隙間の各シールバーを連結部材によっ
てそれぞれ連結した構造を組み合わせる。
２つの隙間が前記大気側と前記真空室側で大きさが異る
ように前記シールロールを偏心させて前記ケーシング内
に配設し、前記シールバーは前記大気側から前記真空室
側へ大きさが順次異って前記ケーシングの内周面に沿っ
て移動可能に介装されると共に前記入側隙間の各シール
バー及び前記出側隙間の各シールバーを連結部材によっ
てそれぞれ連結した構造を組み合わせる。
【００１２】また、本発明は前記した課題解決のため、
前記した構造に加え、前記各入側減圧室の第１段以外の
いづれか及び前記各出側減圧室の第１段以外のいづれか
にガス供給手段を設けた構造をも採用する。
前記した構造に加え、前記各入側減圧室の第１段以外の
いづれか及び前記各出側減圧室の第１段以外のいづれか
にガス供給手段を設けた構造をも採用する。
【００１３】
【作用】本発明は前記した構成を採用しているので、複
数段の入側減圧室と出側減圧室を真空排気手段によっ
て、減圧し、この両減圧室を大気側から真空室側に向っ
て、段階的に真空に近くする。そして、ケーシングの開
口部で帯状物の入側及び出側を帯状物押付け手段によっ
て、シールロールの外周の相対する面にそれぞれ押付け
て巻回させながらシールロールを回転し、入側のシール
バー及び出側のシールバーと最小限の隙間を形成させ
て、帯状物の入側を大気から真空室へ、出側を真空室か
ら大気へそれぞれ通板させることができる。
数段の入側減圧室と出側減圧室を真空排気手段によっ
て、減圧し、この両減圧室を大気側から真空室側に向っ
て、段階的に真空に近くする。そして、ケーシングの開
口部で帯状物の入側及び出側を帯状物押付け手段によっ
て、シールロールの外周の相対する面にそれぞれ押付け
て巻回させながらシールロールを回転し、入側のシール
バー及び出側のシールバーと最小限の隙間を形成させ
て、帯状物の入側を大気から真空室へ、出側を真空室か
ら大気へそれぞれ通板させることができる。
【００１４】また、本発明は、上記に加え入側隙間と出
側隙間及びシールバーを大気側と真空室側で異ならせ、
かつ、各シールバーを連結部材で連結した構造を採用し
たので、帯状物の厚さを変更した場合に、連結部材を移
動することによって、入側及び出側の大きさの異なる各
々のシールバーを、大気側または真空室側に移動させ、
帯状物とシールバーとの隙間を最小限に調整することが
できる。
側隙間及びシールバーを大気側と真空室側で異ならせ、
かつ、各シールバーを連結部材で連結した構造を採用し
たので、帯状物の厚さを変更した場合に、連結部材を移
動することによって、入側及び出側の大きさの異なる各
々のシールバーを、大気側または真空室側に移動させ、
帯状物とシールバーとの隙間を最小限に調整することが
できる。
【００１５】更にまた、本発明に従って、前記した構成
に加え、減圧室の第１段以外のいづれかにガス供給手段
を設けた構造を採用したものでは、真空室に減圧室から
の残留空気の侵入が不可の場合または、高純度の雰囲気
ガスを必要とする場合に、ガス供給手段によって、入側
及び出側の第１段以外の減圧室のいづれかに、真空室で
必要な雰囲気ガスまたは、酸素を含有しないガスを供給
し、その減圧室の残留空気を、減圧されている前段の減
圧室に追い出して、残留空気の真空室への侵入を阻止す
ると共に、必要な雰囲気ガスを次段以後の減圧室を介し
て、または、直接、真空室に供給することができる。
に加え、減圧室の第１段以外のいづれかにガス供給手段
を設けた構造を採用したものでは、真空室に減圧室から
の残留空気の侵入が不可の場合または、高純度の雰囲気
ガスを必要とする場合に、ガス供給手段によって、入側
及び出側の第１段以外の減圧室のいづれかに、真空室で
必要な雰囲気ガスまたは、酸素を含有しないガスを供給
し、その減圧室の残留空気を、減圧されている前段の減
圧室に追い出して、残留空気の真空室への侵入を阻止す
ると共に、必要な雰囲気ガスを次段以後の減圧室を介し
て、または、直接、真空室に供給することができる。
【００１６】
【実施例】以下本発明を図示した実施例に基いて具体的
に説明する。まず、図１〜図３に示す第１実施例につい
て説明する。これらの図において、２はケーシングであ
り、ケーシング２には上開口部２ａ、下開口部２ｂ及び
排気穴２ｃが穿設され、上ワイヤリール７及び下ワイヤ
リール８が軸着されている。この上開口部２ａは大気へ
開放される開口部であり、下開口部２ｂは下方の真空室
７１に連通する開口部である。
に説明する。まず、図１〜図３に示す第１実施例につい
て説明する。これらの図において、２はケーシングであ
り、ケーシング２には上開口部２ａ、下開口部２ｂ及び
排気穴２ｃが穿設され、上ワイヤリール７及び下ワイヤ
リール８が軸着されている。この上開口部２ａは大気へ
開放される開口部であり、下開口部２ｂは下方の真空室
７１に連通する開口部である。
【００１７】３は、１対の端板であり、ケーシング２の
内周に沿った溝３ａ及び、連結溝３ｂが刻設され、各々
の連結溝３ｂには、排気穴３ｃが穿設されている。この
双方の端板３は、ケーシング２の両端部に固着されて、
円筒状の容器を形成している。
内周に沿った溝３ａ及び、連結溝３ｂが刻設され、各々
の連結溝３ｂには、排気穴３ｃが穿設されている。この
双方の端板３は、ケーシング２の両端部に固着されて、
円筒状の容器を形成している。
【００１８】４はシールロールであり、その外周面とケ
ーシング２の内周面との隙間が図の上方の大気側が大き
く、図の下方の蒸着室７１側が小さくなるように偏心し
て端板３に軸着され、その一方の端部は図示しない駆動
装置に連結されている。
ーシング２の内周面との隙間が図の上方の大気側が大き
く、図の下方の蒸着室７１側が小さくなるように偏心し
て端板３に軸着され、その一方の端部は図示しない駆動
装置に連結されている。
【００１９】前記隙間の入側（図２で右側）及び出側
（図２で左側）には、大きさが順次小さくなる、第１シ
−ルバー１１、第２シールバー１２、第３シールバー１
３、第４シールバー１４、第５シールバー１５、及び第
６シールバー１６が介装され、この各々のシールバー１
１〜１６によって前記入側及び出側の隙間が第１段減圧
室２１、第２段減圧室２２、第３段減圧室２３、第４段
減圧室２４、第５段減圧室２５に区分けされている。
（図２で左側）には、大きさが順次小さくなる、第１シ
−ルバー１１、第２シールバー１２、第３シールバー１
３、第４シールバー１４、第５シールバー１５、及び第
６シールバー１６が介装され、この各々のシールバー１
１〜１６によって前記入側及び出側の隙間が第１段減圧
室２１、第２段減圧室２２、第３段減圧室２３、第４段
減圧室２４、第５段減圧室２５に区分けされている。
【００２０】この各々の減圧室２１〜２５の入側と出側
とは、各々の連結溝３ｂによってそれぞれ連結され、排
気穴２ｃ，３ｃ及び真空配管２９によって、図示しない
真空排気装置に連結されている。また、各々のシールバ
ー１１〜１６の半円形の両端部１１ａ〜１６ａは、端板
３の溝３ａに移動自在に嵌装され、上端が上ワイヤリー
ル７に、下端が下ワイヤリール８に巻回固定された連結
部材としてのワイヤ９によって連結されている。
とは、各々の連結溝３ｂによってそれぞれ連結され、排
気穴２ｃ，３ｃ及び真空配管２９によって、図示しない
真空排気装置に連結されている。また、各々のシールバ
ー１１〜１６の半円形の両端部１１ａ〜１６ａは、端板
３の溝３ａに移動自在に嵌装され、上端が上ワイヤリー
ル７に、下端が下ワイヤリール８に巻回固定された連結
部材としてのワイヤ９によって連結されている。
【００２１】そして、各々のシールバー１１〜１６をワ
イヤ９によって同時に同寸法移動しても、大きさの異な
る各々のシールバー１１〜１６とシールロール４との隙
間寸法は、常に同一になるようになっている。５は上押
えロール、６は下押えロールであり、双方の端板３に回
転自在に軸着されている帯状物押付手段である。
イヤ９によって同時に同寸法移動しても、大きさの異な
る各々のシールバー１１〜１６とシールロール４との隙
間寸法は、常に同一になるようになっている。５は上押
えロール、６は下押えロールであり、双方の端板３に回
転自在に軸着されている帯状物押付手段である。
【００２２】以上の部材及び部位によって、真空シール
装置２７が構成されている。この真空シール装置２７は
下方の蒸着室７１の入口に固着されている。６６は出入
する帯状体５１のためのガイドロールである。
装置２７が構成されている。この真空シール装置２７は
下方の蒸着室７１の入口に固着されている。６６は出入
する帯状体５１のためのガイドロールである。
【００２３】次に本装置の作用について説明する。
【００２４】各上ワイヤリール７を回転してワイヤ９を
引上げ、入側及び出側の第１シールバー１１、第２シー
ルバー１２、第３シールバー１３、第４シールバー１
４、第５シールバー１５、第６シールバー１６をそれぞ
れ上方へ移動させ、走行基板５１をシールロール４との
間に挿入した場合に最小限の隙間を形成するように、シ
ールロール４との隙間を調整する。
引上げ、入側及び出側の第１シールバー１１、第２シー
ルバー１２、第３シールバー１３、第４シールバー１
４、第５シールバー１５、第６シールバー１６をそれぞ
れ上方へ移動させ、走行基板５１をシールロール４との
間に挿入した場合に最小限の隙間を形成するように、シ
ールロール４との隙間を調整する。
【００２５】次に、例えばプラスチックフィルムの走行
基板５１の先端をガイドロール６６によってガイドしな
がら入側の各々のシールバー１１〜１６とシールロール
４との間を通板させ、上押えロール５及び下押えロール
６によって、シールロール４に押付けて巻回させ、図示
しない下方の蒸着室７１を通板させた後、さらに、出側
の各々のシールバー１１〜１６とシールロール４との間
を通板させ、下押えロール６及び上押えロール５によっ
てシールロール４に押付けて巻回させ、ガイドロール６
６を介して、図示しない巻取りリールに送給する。
基板５１の先端をガイドロール６６によってガイドしな
がら入側の各々のシールバー１１〜１６とシールロール
４との間を通板させ、上押えロール５及び下押えロール
６によって、シールロール４に押付けて巻回させ、図示
しない下方の蒸着室７１を通板させた後、さらに、出側
の各々のシールバー１１〜１６とシールロール４との間
を通板させ、下押えロール６及び上押えロール５によっ
てシールロール４に押付けて巻回させ、ガイドロール６
６を介して、図示しない巻取りリールに送給する。
【００２６】次に、大気側の第１段減圧室２１から蒸着
室７１側の第５段減圧室２５を順次減圧して真空に近づ
け、シールロール４を回転して走行基板５１を走行さ
せ、蒸着室７１で例えばアルミニュームのような蒸着物
を走行基板５１に蒸着させ、この蒸着した走行基板５１
を出側の各々の減圧室２１〜２５を通板させて、図示し
ない巻取りリールによって巻取る。
室７１側の第５段減圧室２５を順次減圧して真空に近づ
け、シールロール４を回転して走行基板５１を走行さ
せ、蒸着室７１で例えばアルミニュームのような蒸着物
を走行基板５１に蒸着させ、この蒸着した走行基板５１
を出側の各々の減圧室２１〜２５を通板させて、図示し
ない巻取りリールによって巻取る。
【００２７】走行基板５１の厚さが変更になった場合
は、各々の上ワイヤリール７または下ワイヤリール８を
微小角度回転してワイヤ９及び各々のシールバー１１〜
１６を上方または下方へ移動させ、各々のシールバー１
１〜１６とシールロール４との隙間を調整する。
は、各々の上ワイヤリール７または下ワイヤリール８を
微小角度回転してワイヤ９及び各々のシールバー１１〜
１６を上方または下方へ移動させ、各々のシールバー１
１〜１６とシールロール４との隙間を調整する。
【００２８】次に図４に示す第２実施例について説明す
る。
る。
【００２９】図４は、本発明の第２実施例に係る、真空
シール装置及び真空蒸着装置の概念を示すものであり、
第５段減圧室２５と真空排気装置３０とを連結する真空
配管２９に開閉弁３１を設け、この開閉弁３１と第５段
減圧室２５との間に、ガスボンベ４０、開閉弁４１、減
圧弁４２を有するガス供給配管４３を連結したものであ
る。以上がガス供給手段である。
シール装置及び真空蒸着装置の概念を示すものであり、
第５段減圧室２５と真空排気装置３０とを連結する真空
配管２９に開閉弁３１を設け、この開閉弁３１と第５段
減圧室２５との間に、ガスボンベ４０、開閉弁４１、減
圧弁４２を有するガス供給配管４３を連結したものであ
る。以上がガス供給手段である。
【００３０】この手段は、蒸着室７１への残留空気（酸
素）の侵入を許容しない場合や、高純度の雰囲気ガスを
必要とする場合に使用する。開閉弁３１を閉塞して、第
１段減圧室２１〜第４段減圧室２４、及び蒸着室７１を
真空排気装置３０によって減圧させ、第５段減圧室２５
に、減圧弁４２で減圧した不活性ガスを送給すると、こ
の不活性ガスは、大気圧よりも減圧されている第４段減
圧室２４及び蒸着室７１に流れ、残留空気を完全に追出
す。その他の構成及び作用は、第１実施例の装置と同じ
であり説明を省略する。
素）の侵入を許容しない場合や、高純度の雰囲気ガスを
必要とする場合に使用する。開閉弁３１を閉塞して、第
１段減圧室２１〜第４段減圧室２４、及び蒸着室７１を
真空排気装置３０によって減圧させ、第５段減圧室２５
に、減圧弁４２で減圧した不活性ガスを送給すると、こ
の不活性ガスは、大気圧よりも減圧されている第４段減
圧室２４及び蒸着室７１に流れ、残留空気を完全に追出
す。その他の構成及び作用は、第１実施例の装置と同じ
であり説明を省略する。
【００３１】なお、本発明の真空シール装置は、走行基
板５１を通板させないで非帯状の基板を蒸着室７１にお
いて蒸着処理する場合にも使用することができる。
板５１を通板させないで非帯状の基板を蒸着室７１にお
いて蒸着処理する場合にも使用することができる。
【００３２】この場合、ワイヤ９及び各々のシールバー
１１〜１６を下方へ移動してケーシング２の内周面及び
シールロール４の外周面と密着させると、そのシール性
が向上する。
１１〜１６を下方へ移動してケーシング２の内周面及び
シールロール４の外周面と密着させると、そのシール性
が向上する。
【００３３】以上、本発明を図示した実施例に基づいて
具体的に説明したが、これは１実施例にすぎず、具体的
な形状、構造、配置等は本発明の範囲内で種々変更して
よいことはいうまでもない。
具体的に説明したが、これは１実施例にすぎず、具体的
な形状、構造、配置等は本発明の範囲内で種々変更して
よいことはいうまでもない。
【００３４】
【発明の効果】本発明による装置においては、１本のシ
ールロールをケーシング内に軸着し、シールロールとケ
ーシングとの間の入側隙間と出側隙間に複数のシールバ
ーを介装して入側及び出側両隙間内に多段の減圧室を形
成したことにより、装置の構造及びシールロールの回転
駆動手段を簡単にすることができる。
ールロールをケーシング内に軸着し、シールロールとケ
ーシングとの間の入側隙間と出側隙間に複数のシールバ
ーを介装して入側及び出側両隙間内に多段の減圧室を形
成したことにより、装置の構造及びシールロールの回転
駆動手段を簡単にすることができる。
【００３５】従って真空シール装置を小型化することが
できるので、製作費の低減及び、設置スペースを小さく
することができる。
できるので、製作費の低減及び、設置スペースを小さく
することができる。
【００３６】また、本発明による装置では、シールロー
ルをケーシングと偏心させて軸着し、大きさが順次異な
るシールバーを移動可能に介装し、この入側のシールバ
ー及び出側のシールバーを連結部材によってそれぞれ連
結した構成を採用したので、帯状物の厚さが変った場合
に、入側及び出側の連結された大きさの異なるシールバ
ーをケーシングの内周面に沿って移動させることによ
り、シールバーとシールロールとの隙間を容易に最小限
に調整することができる。
ルをケーシングと偏心させて軸着し、大きさが順次異な
るシールバーを移動可能に介装し、この入側のシールバ
ー及び出側のシールバーを連結部材によってそれぞれ連
結した構成を採用したので、帯状物の厚さが変った場合
に、入側及び出側の連結された大きさの異なるシールバ
ーをケーシングの内周面に沿って移動させることによ
り、シールバーとシールロールとの隙間を容易に最小限
に調整することができる。
【００３７】従って、真空排気手段の容量を小さくする
ことができる。
ことができる。
【００３８】更にまた、本発明に従って、入側減圧室の
第１段以外のいずれか、及び出側減圧室の第１段以外の
いずれかに、ガス供給手段を設けた構成を採用したもの
では、真空室に高純度の気体雰囲気を必要とする場合、
または、酸素の介在を許容しない場合に、前記減圧室に
雰囲気ガスまたは、空気（酸素）以外のガスを供給する
ことにより、その減圧室の残留空気を、減圧されている
前段の減圧室に追出して、残留空気の真空室への侵入を
阻止すると共に、必要な雰囲気ガスを次段以後の減圧室
を介して、または、直接、真空室に供給することができ
る。
第１段以外のいずれか、及び出側減圧室の第１段以外の
いずれかに、ガス供給手段を設けた構成を採用したもの
では、真空室に高純度の気体雰囲気を必要とする場合、
または、酸素の介在を許容しない場合に、前記減圧室に
雰囲気ガスまたは、空気（酸素）以外のガスを供給する
ことにより、その減圧室の残留空気を、減圧されている
前段の減圧室に追出して、残留空気の真空室への侵入を
阻止すると共に、必要な雰囲気ガスを次段以後の減圧室
を介して、または、直接、真空室に供給することができ
る。
【００３９】従って、高品質の蒸着物を得ることができ
る。
る。
【図１】本発明の第１実施例に係る連続真空シール装置
の正面を示す片側断面図、
の正面を示す片側断面図、
【図２】図１のII−II線に沿う断面図、
【図３】図１のIII −III 線に沿う断面図、
【図４】本発明の第２実施例に係る真空シール装置及び
真空蒸着装置の正面を示す縦断面概念図である。
真空蒸着装置の正面を示す縦断面概念図である。
【図５】従来の装置の一例である真空シール装置及び真
空蒸着装置の正面を示す縦断面概念図である。
空蒸着装置の正面を示す縦断面概念図である。
２ ケーシング ２ａ 上開口部 ２ｂ 下開口部 ３ 端板 ４ シールロール ５ 上押えロール ６ 下押えロール ９ ワイヤ １１ 第１シールバー １２ 第２シールバー １３ 第３シールバー １４ 第４シールバー １５ 第５シールバー １６ 第６シールバー ２１ 第１段減圧室 ２２ 第２段減圧室 ２３ 第３段減圧室 ２４ 第４段減圧室 ２５ 第５段減圧室 ２７ 真空シール装置 ３０ 真空排気装置 ４０ ガスボンベ ４２ 減圧弁 ４３ ガス供給配管 ５１ 走行基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 律男 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三 菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 田口 俊夫 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三 菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 新屋 謙治 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三 菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 沖田 肇 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三 菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 益本 雅典 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三 菱重工業株式会社広島研究所内 (56)参考文献 特開 平１−184271（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−65266（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−224780（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−118362（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−55655（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 C23C 16/00 - 16/56 F27D 7/06 B65H 20/00 F16J 15/16 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 帯状物を連続的に大気から真空室に、及
び同真空室から大気に搬送する連続真空シール装置にお
いて、両端を端板によって閉じられ周面上に大気へ開放
した開口部と前記真空室に連通する開口部とが穿設され
た円筒状のケーシング、前記端板に軸着して同ケーシン
グ内に収納され前記２つの開口部を結ぶ線に相対する入
側隙間と出側隙間をその外周面と前記ケーシングの内面
との間に形成する１本のシールロール、前記２つの隙間
内に介装され同隙間をそれぞれ区分けして複数段の入側
減圧室と出側減圧室を形成する複数のシールバー、前記
２つの開口部において前記隙間に出入する帯状物を前記
シールロールの外周面に巻回させる帯状物押付け手段、
及び前記各減圧室を減圧させる真空排気手段を有し、前
記２つの隙間が前記大気側と前記真空室側で大きさが異
るように前記シールロールを偏心させて前記ケーシング
内に配設し、前記シールバーは前記大気側から前記真空
室側へ大きさが順次異って前記ケーシングの内周面に沿
って移動可能に介装されると共に前記入側隙間の各シー
ルバー及び前記出側隙間の各シールバーを連結部材によ
ってそれぞれ連結したことを特徴とする連続真空シール
装置。 - 【請求項２】 前記各入側減圧室の第１段以外のいづれ
か及び前記各出側減圧室の第１段以外のいづれかにガス
供給手段を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載
の連続真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4238271A JP3059000B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 連続真空シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4238271A JP3059000B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 連続真空シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0688235A JPH0688235A (ja) | 1994-03-29 |
| JP3059000B2 true JP3059000B2 (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=17027707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4238271A Expired - Fee Related JP3059000B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 連続真空シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3059000B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3199162B2 (ja) * | 1996-03-18 | 2001-08-13 | 松下電器産業株式会社 | 連続真空処理装置 |
| US7736438B2 (en) * | 2005-06-01 | 2010-06-15 | Los Alamos National Security, Llc | Method and apparatus for depositing a coating on a tape carrier |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP4238271A patent/JP3059000B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0688235A (ja) | 1994-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3199162B2 (ja) | 連続真空処理装置 | |
| JP3059000B2 (ja) | 連続真空シール装置 | |
| JP4714714B2 (ja) | 気密を保持するゲートバルブ、このゲートバルブを使用したフィルム製造装置およびフィルム製造方法 | |
| RU2335577C2 (ru) | Уплотнительный затвор для линии вакуумного нанесения покрытия на непрерывно протягиваемую металлическую ленту | |
| JP2012072422A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP3281708B2 (ja) | 連続真空シール装置 | |
| JPH0735579B2 (ja) | 帯状物のエア−ロツク | |
| EP0291952B1 (en) | Differential pressure sealing apparatus and method | |
| JP5325016B2 (ja) | 減圧ユニット及び圧力復元ユニット | |
| JP3784846B2 (ja) | 連続真空処理装置 | |
| JP5325031B2 (ja) | 真空成膜装置及び真空成膜方法 | |
| JP2009179446A (ja) | 巻取装置および巻取部材の作製方法 | |
| JPS63199071A (ja) | バッチ式真空ロウ付け装置 | |
| JP2647513B2 (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JP2020094276A (ja) | シール装置、真空装置、成膜装置、及びフィルム製造方法 | |
| JPH0735580B2 (ja) | 帯状物のエア−ロツク装置 | |
| JP3652726B2 (ja) | 連続成形シートへの表面デポジット層形成方法および装置 | |
| JPH09143732A (ja) | 連続真空蒸着ライン | |
| JPH09143727A (ja) | 真空シール装置 | |
| JP7481150B2 (ja) | 真空成膜装置及び真空成膜方法 | |
| JPH02138466A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JP2554171B2 (ja) | 連続真空処理装置 | |
| JPH01287275A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JPH07207443A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JPH08325732A (ja) | 真空成膜装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000321 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080421 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090421 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100421 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110421 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |