JPH0152473B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明はウエブに真空蒸着、スパツタ、イオン
プレーテイング、プラズマ表面処理、プラズマ重
合、真空乾燥等を含む連続真空処理装置の改良に
関し、更に詳しくはウエブの連続真空処理装置の
一要素となるローラー式シール装置の改良に関す
る。 ウエブを対象とした連続真空処理装置はウエブ
を大気中で送り出して100〜10^-4Torr（1Torr＝1/
７６０気圧）程度の真空室に導き、真空処理を施し
た後再び大気中に導き出して大気中で巻き取る。
本発明はかかるウエブを対象とした連続真空処理
装置において、ウエブを連続的に大気から真空室
に導き、或は真空室から大気中に戻す際のローラ
ー式シール装置の改良に関する。 狭い間隙を通してウエブを連続的に高圧部から
低圧部または低圧部から高圧部に導くためのシー
ル装置であつて前記間隙の少なくとも一面はウエ
ブを搬送支持するローラーの円筒面をもつて構成
し、ウエブを前記ローラーにより支持しつつ前記
間隙を通過搬送する形の、いわゆるローラー式シ
ール装置としては、米国特許第2972330号、特開
昭49−79975号公報、特公昭46−42770号公報、及
び特公昭47−10845号公報等に開示された装置が
知られている。すなわち米国特許第2972330号及
び特開昭49−79975号公報では第１図に示すロー
ラー式シール装置が、特公昭46−42770号公報で
は第３図に示すローラー式シール装置が、又特公
昭47−10845号公報では第４図に示すローラー式
シール装置がそれぞれ開示されている。第１図に
おいて、ウエブ１をローラー２に巻回し非常に狭
い間隙３を通して大気圧下から真空部に導く。し
かし、この方法では、間隙３の部分からの気体の
漏れが多く、真空処理室の圧力及び気体成分の制
御に非常な困難を伴うため、実際上安定な処理を
行なう為には第２図に示す如く、第１図に示すロ
ーラー式シール装置を多段に継ぐ必要があり、各
シール装置において漏れた気体を大容量の排気ポ
ンプで排気していた。又、かかる気体漏れを少な
くする為、第３図に示す如く間隙部３にくぼみ４
を設けた装置、第４図に示す如く流入気体を逆ジ
エツト流５で押し止める装置が提案されている
が、いずれの方法においても流入気体を大幅に減
少させることは困難で、第２図の如き、多数段ロ
ーラー式シール装置が従来一般に用いられてい
た。かかる従来の多数段ローラー式シール装置
は、製作コスト・ランニングコストが大となる
上、多数のローラー式シール間を通してウエブ先
端を通紙させる準備作業は非常に大きな困難を伴
ない、手間と時間を多大に要し、その上更に多数
設けられたローラー相互間の回転速度の同期がと
れず、速度差が生じる場合には、ウエブとローラ
ーとの間のすべりの為にスリ傷が発生し、製品の
質を損うなどの欠点があつた。 さらには従来のローラー式シール装置において
はシール間隙部３を通過する気体が、シール間隙
部の出口近くで急激に膨張して生ずる高速気流の
衝撃となつてウエブにバタツキを起こさせスリ傷
や裂けを生じて製品々質を損う欠点があつた。そ
の為ウエブに大きい張力をかけてバタツキを押え
るのが一般であり大きい張力がかけられない樹脂
フイルムや紙に対し、従来のローラー式シール装
置は適用が困難であつた。 本発明の第１の目的は気体漏れが少なく、多数
段構造を必要としないローラー式シール装置を提
供することである。第２の目的は、ウエブに大き
い張力をかけなくてもバタツキを生じないローラ
ー式シール装置を提供することにある。 本発明においては狭い間隙を通してウエブを連
続的に高圧部から低圧部に、または低圧部から高
圧部に導くためのローラー式シール装置におい
て、ウエブを導く間隙の、ウエブのローラー接触
面と反対の面に近接し、１個又は複数個の排気孔
を有する壁面と、該１個又は複数個の排気孔に通
じる排気管と、該排気管に接続する排気ポンプと
を設けた事を特徴とするローラー式シール装置に
より、上記第１、第２の目的を達している。 更には該排気孔を上記壁面の対面するウエブの
幅方向においてウエブ側端の外側に設けたことを
特徴とするローラー式シール装置、及びウエブ幅
方向に上記排気孔と連通する溝を設けたことを特
徴とするローラー式シール装置により上記第１、
第２の目的をより効果的に達している。 本発明の内容を実施例図面に従つて、以下に更
に詳細に説明する。 第５図及び第６図において、第１図において同
様に、ウエブ１をローラー２に巻回し非常に狭い
間隙３を通して大気圧下から真空処理室２１に導
くが、間隙３には、ウエブ１のローラー２への接
触面と反対の面に近接し、１個又は複数個の排気
孔７を有する壁面６と、排気孔７に通じる排気管
８と該排気管８に接続する排気ポンプ１０，１１
とが設けられている。間隙３に入り込む流入気体
を、排気孔７を通して排気することにより真空処
理室２１への気体の流入量を大幅に減少できるの
で、多数段を要することなく、完全なシールを行
なうことができる。また間隙３に入り込んだ流入
気体の大部分を排気孔７を通して排気する為、間
隙３の出口付近においても高速気流による衝撃が
なく、ウエブがバタツくことがない。 第５図において９はサイドシール機構であつ
て、ローラー端面部での気密性を高めるために設
けたものである。 第７図において、ウエブ１のローラー２への接
触面と反対の面に近接して設けた壁面６上にウエ
ブ１の進行方向に並置して複数個の排気孔７を設
け、該複数個の排気孔７は、それぞれ別個の排気
管８を通じて、図示していない別個の排気ポンプ
１２，１４，１６，１３，１５，１７に接続して
いる。排気ポンプ１２及び１３で排気し切れなか
つた流入気体を、排気ポンプ１４及び１５で排気
し、更に排気ポンプ１４及び１５で排気し切れな
かつた流入気体を排気ポンプ１６及び１７で排気
するので、真空処理室２１への気体の流入量を更
に大幅に減少することが可能となり、ローラー式
シール一段だけでほゞ完全なシールを行なうこと
ができる。 ウエブ１が薄手の紙又は薄手のポリエステルベ
ース等、非常に小さい張力しかかけられない場合
第８図に示す如く、排気孔７′をウエブと対面す
る壁面６の、ウエブ１の幅方向においてウエブ側
端２０の外側に設けることにより、排気流の影響
で薄手のウエブがバタつくことなく、良好なウエ
ブハンドリングが行なえる。更に第９図及び第１
０図において、壁面６にウエブの幅方向に排気孔
７′と連通する溝２３を設けることにより、流入
した気体を溝２３を通して排気孔７′に導き、効
率よく排気できるので真空処理室２１への流入気
体の量をより減少させ、シール効果を高めること
ができる。 次に具体的実施例により本発明の効果を説明す
る。第１１図は本発明によるローラ式シール装置
をウエブの連続真空蒸着装置に適用した例を示し
たものである。真空処理室２１へのウエブ導入側
導出側に第７図で示したローラー式シールを各１
基配置した。２４は蒸発源、２５は蒸発源の加熱
ヒーターを示す。２６はウエブの巻出リール、２
７は巻取リールを示す。ローラー２は径1200mm幅
1200mm、ウエブ導入間隙３は0.4mm、途中排気は
３ケ所で、排気ポンプ１２，１３は油回転ポン
プ、１４，１５はルーツブロアーと油回転ポンプ
とを組合せ、１６，１７はルーツブロアーと油回
転ポンプとを組合せ、真空処理室２１の排気ポン
プ１８は油拡散ポンプ、ルーツブロアー及び油回
転ポンプとを組合せ使用した。 上記の如き第１１図に示す装置により厚さ
50μ、巾1000mmのポリエステルベースを用いて行
なつた実験結果の１例を表１に示す。 表１において(a)は排気ポンプ１２，１３，１
４，１５，１６，１７を作動させなかつた場合、
(b)はこれら排気ポンプを全て作動させた場合であ
る。(c)及び(d)は第１１図の連続真空処理装置の中
のローラー式シール装置をそれぞれ第８図及び第
９図、第１０図で示されるローラー式シール装置
に置き換えた場合の結果でローラー２の径、幅、
ウエブ導入間隙３の寸法等は(a)，(b)，(c)，(d)全て
の場合に共通である。

【表】 ＊ 油回転ポンプの作動域までしか圧力下がらず、油
回転ポンプのみ運転
(a)の例でのローラー式シールではシール段数１
段では真空処理室２１への気体の流入量は
12000Torr／secにもなり、真空処理室２１の
圧力は80Torrまでしか下がらない。例えば真空
蒸着を行なう圧力（10^-4Torr台）まで下げる為
には３段又は４段のシール段数が必要となる。本
発明による例(b)，(c)，(d)ではシール段数１段で２
×10^-4Torr〜６×10^-4Torrの真空が得られてい
る。又、(a)の例ではウエブに70Kgの張力をかけた
時にもウエブのバタツキによりウエブの裂け等の
損傷を生じたが、(b)(c)(d)の例ではより小さい張力
でウエブのバタツキはなくウエブの損傷はなかつ
た。更に(c)，(d)の例では、張力３Kgにおいてウエ
ブのバタツキはなく、ウエブの損傷は見られず、
本発明の目的に対し、より高い効果を得ることが
できる。 上述の如く、本発明のローラー式シール装置を
連続真空処理装置に適用すれば真空処理室２１へ
の流入気体の量を極く少量に押えることができる
ので、ローラー式シール装置を多数段使用するこ
とが不要であり、連続真空処理装置全体を小形で
安価なものにできる上、ウエブ先端を通紙させる
作業は容易であり、又、低いウエブの張力でもバ
タツキを生じることなく安定にハンドリングを行
なう事ができ、且つ、スリ傷、裂け等、製品の質
を損なうことがない等、多数の利点を有するもの
である。 本発明のローラー式シール装置を真空処理装置
に適用した場合について詳しく説明したが、本発
明は単に真空処理装置に限らず、圧力差の有る領
域間にわたつてウエブを連続的に搬送させる場合
のシール装置として応用可能であることは明らか
である。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は従来のシール装置の構造
を示す側面図、第５図は本発明の一実施例の構造
を示す正面図、第６図は同じくその側面図、第７
図は本発明の他の実施例の構造を示す側面図、第
８図は本発明の更に別の実施例の構造を示す正面
図、第９図は更にその改良実施例の構造を示す正
面図、第１０図は同じくその側面図。第１１図は
本発明の応用実施例を示す構造側面図である。 １……ウエブ、２……ローラー、３……間隙、
６……壁面、７……排気孔、８……排気ポンプ、
１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１
７，１８……排気ポンプ、２１……真空処理室。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 狭い間隙を通してウエブを連続的に高圧部か
   ら低圧部に、または低圧部から高圧部に導くため
   のローラー式シール装置において、ウエブを導入
   する間隙の、ウエブのローラー接触面と反対の面
   に近接し、１個又は複数個の排気孔を有する壁面
   と、該１個又は複数個の排気孔に通じる排気管
   と、該排気管に接続する排気ポンプとを設けたこ
   とを特徴とするローラー式シール装置。 ２ 該排気孔を複数個設け、該複数個の排気孔は
   それぞれ別個の排気管を通じてそれぞれ別個の排
   気ポンプと接続したことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のローラー式シール装置。 ３ 該排気孔は、上記の壁面の、対面するウエブ
   の幅方向においてウエブ側端の外側に設けたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のローラ
   ー式シール装置。 ４ 上記壁面は、ウエブの幅方向に該排気孔と連
   通する溝を設けたことを特徴とする特許請求の範
   囲第３項記載のローラー式シール装置。