JPH0735581B2 - 差圧シール装置 - Google Patents
差圧シール装置Info
- Publication number
- JPH0735581B2 JPH0735581B2 JP63063704A JP6370488A JPH0735581B2 JP H0735581 B2 JPH0735581 B2 JP H0735581B2 JP 63063704 A JP63063704 A JP 63063704A JP 6370488 A JP6370488 A JP 6370488A JP H0735581 B2 JPH0735581 B2 JP H0735581B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- differential pressure
- seal
- guide roll
- long
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Sealing Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 長尺薄帯例えば冷延ないし熱延鋼帯のような長尺材を連
続的に送給する間に、真空蒸着、イオンプレーティン
グ、スパッタリングなどのいわゆるドライプレーティン
グ法によって表面被覆を施す際には、複数の圧力差のあ
る空間領域相互（以下差圧室と呼ぶ）によって、ドライ
プレーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、つ
いで下げていくエア・トウ・エア（Air-to-Air）方式が
用いられ、このような差圧室相互間における圧力差を維
持しつつ長尺材の連続的な通過を誘導する、差圧シール
を必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に実現する
ことができる、差圧シール装置を提案しようとするもの
である。
続的に送給する間に、真空蒸着、イオンプレーティン
グ、スパッタリングなどのいわゆるドライプレーティン
グ法によって表面被覆を施す際には、複数の圧力差のあ
る空間領域相互（以下差圧室と呼ぶ）によって、ドライ
プレーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、つ
いで下げていくエア・トウ・エア（Air-to-Air）方式が
用いられ、このような差圧室相互間における圧力差を維
持しつつ長尺材の連続的な通過を誘導する、差圧シール
を必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に実現する
ことができる、差圧シール装置を提案しようとするもの
である。
（従来の技術） エア・トウ・エア方式に関してすでに多数の提案を見る
ことができ、たとえば米国特許第2384500号、同2972330
号、同2996410号明細書をはじめ、三菱重工技法Vol.21
（1984）No.6のp125〜131、真空；第30巻，（1987），
第10号のp775〜785、日新製鋼技報第51号；（1984）,p9
3〜101、などのように、近年来の精密工作技術の進歩と
相まって、実用化が進められつつある。これらのシール
法のうちの、とくに最後に引用した文献には、通板の向
きにわずかに軸心をずらせた一対のロール間に挟んで長
尺材を各ロール周面に沿わせるようにして、シール面積
を拡大することが、また最近に至って特開昭62−13572
号公報では、一対の通板ロールに、長尺材を囲うシール
バーとアダプターとを組合せて、その囲いの内部にて差
圧を維持する試みが提案されているが、何れにあって
も、一対のロール間に長尺材を挟圧して通板するので、
被処理物は、その表、裏面で曲げ応力、圧縮応力が働
き、さらには大きな張力も受ける。
ことができ、たとえば米国特許第2384500号、同2972330
号、同2996410号明細書をはじめ、三菱重工技法Vol.21
（1984）No.6のp125〜131、真空；第30巻，（1987），
第10号のp775〜785、日新製鋼技報第51号；（1984）,p9
3〜101、などのように、近年来の精密工作技術の進歩と
相まって、実用化が進められつつある。これらのシール
法のうちの、とくに最後に引用した文献には、通板の向
きにわずかに軸心をずらせた一対のロール間に挟んで長
尺材を各ロール周面に沿わせるようにして、シール面積
を拡大することが、また最近に至って特開昭62−13572
号公報では、一対の通板ロールに、長尺材を囲うシール
バーとアダプターとを組合せて、その囲いの内部にて差
圧を維持する試みが提案されているが、何れにあって
も、一対のロール間に長尺材を挟圧して通板するので、
被処理物は、その表、裏面で曲げ応力、圧縮応力が働
き、さらには大きな張力も受ける。
このような張力や局部的な面圧の作用は、製品の品質に
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
また、最近ではこのような問題に加え、とくに上記珪素
鋼板の如き脆い長尺薄帯を対象とした場合に、連続通板
時の該薄帯の振動による、シール装置本体との接触等に
より、板割れが発生し易いことが指摘されるようになっ
た。
鋼板の如き脆い長尺薄帯を対象とした場合に、連続通板
時の該薄帯の振動による、シール装置本体との接触等に
より、板割れが発生し易いことが指摘されるようになっ
た。
（発明が解決しようとする課題） この発明の目的は、長尺薄帯のエア・トウ・エア方式に
よる処理に適合して、製品品質の劣化や板割れを生じる
うれいなしに、有効な差圧シールを実現することができ
る、差圧シール装置を提案するところにある。
よる処理に適合して、製品品質の劣化や板割れを生じる
うれいなしに、有効な差圧シールを実現することができ
る、差圧シール装置を提案するところにある。
（課題を解決するための手段） この発明は、圧力差のある空間領域相互間にわたり、該
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
差圧シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて長
尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一のガイドロールを備
え、このガイドロールに、その外周をほぼ半周にわたっ
て取り囲み、長尺薄帯の巻きがけ域を除いて該ガイドロ
ールの外周面においてのみ極く微小なすき間を形成する
凹円弧状シール面と、長尺薄帯の巻きがけ域にて該長尺
薄帯の背面並びにその両側縁に対して極く微小なすき間
を直接形成する第２の凹円弧状シール面を有するシーリ
ングアタッチメントを配置してなり、該シーリングアタ
ッチメントは、長尺薄帯の断面寸法よりもやや大きいが
ガイドロールのロール幅よりも狭い幅を有し第２の凹円
弧状シール面から圧力差のある空間領域へ向けて貫通し
た長尺薄帯誘導用の細長い通路と、凹円弧状シール面お
よび第２の凹円弧状シール面の少なくとも一方において
真空ポンプの如き吸引手段とつながる少なくとも１つの
開口を有することを特徴とする差圧シール装置であり、
また、この発明は吸引手段と連通する開口に代えて単一
のガイドロールとともに同期回転するシールロール又は
単一のガイドロールに係合する摺動部材を備えた差圧シ
ール装置である。
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
差圧シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて長
尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一のガイドロールを備
え、このガイドロールに、その外周をほぼ半周にわたっ
て取り囲み、長尺薄帯の巻きがけ域を除いて該ガイドロ
ールの外周面においてのみ極く微小なすき間を形成する
凹円弧状シール面と、長尺薄帯の巻きがけ域にて該長尺
薄帯の背面並びにその両側縁に対して極く微小なすき間
を直接形成する第２の凹円弧状シール面を有するシーリ
ングアタッチメントを配置してなり、該シーリングアタ
ッチメントは、長尺薄帯の断面寸法よりもやや大きいが
ガイドロールのロール幅よりも狭い幅を有し第２の凹円
弧状シール面から圧力差のある空間領域へ向けて貫通し
た長尺薄帯誘導用の細長い通路と、凹円弧状シール面お
よび第２の凹円弧状シール面の少なくとも一方において
真空ポンプの如き吸引手段とつながる少なくとも１つの
開口を有することを特徴とする差圧シール装置であり、
また、この発明は吸引手段と連通する開口に代えて単一
のガイドロールとともに同期回転するシールロール又は
単一のガイドロールに係合する摺動部材を備えた差圧シ
ール装置である。
さて第１図にこの発明に従う差圧シール装置の事例を示
す。図中１は長尺薄帯、２はガイドロール、３はシーリ
ングアタッチメントであって、４は第１差圧室、５は第
２差圧室、６は第３差圧室で、これらの圧力差のある空
間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつつ長尺薄帯
１を大気圧p0下から添数字の順の圧力ｐに真空度を高め
るが、ここで差圧の値が最も高いp0−p1の空間領域相互
間に、この差圧シール装置を用いた場合について説明す
る。
す。図中１は長尺薄帯、２はガイドロール、３はシーリ
ングアタッチメントであって、４は第１差圧室、５は第
２差圧室、６は第３差圧室で、これらの圧力差のある空
間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつつ長尺薄帯
１を大気圧p0下から添数字の順の圧力ｐに真空度を高め
るが、ここで差圧の値が最も高いp0−p1の空間領域相互
間に、この差圧シール装置を用いた場合について説明す
る。
該領域相互間の境界に相当する差圧室ケーシング７の入
側にて、ガイドロール２を軸受け支持し、このガイドロ
ール２の外周に長尺薄帯１を予め設定された巻付き接触
角θにて巻きがけする。
側にて、ガイドロール２を軸受け支持し、このガイドロ
ール２の外周に長尺薄帯１を予め設定された巻付き接触
角θにて巻きがけする。
シーリングアタッチメント３は、ガイドロールの外周を
ほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯１の巻きがけ域を
除いてガイドロール２の外周面に対し極く微小なすく間
δ1を形成する凹円弧状シール面s1と、巻きがけ域にて
長尺薄帯１の背面並びに両側縁に対してやはり極く微小
なすき間δ2とδ3，δ3′を直接形成する第２の凹円弧
状シール面s2及び長尺薄帯１の断面寸法よりもやや大き
いがガイドロールのロール幅よりも狭い幅を有し第２の
凹円弧状シール面s2から圧力差のある空間領域へ向けて
貫通した長尺薄帯誘導用の細長い通路ｔをそなえ、各凹
円弧状シール面s1，s2には吸引手段（図示せず）に配管
Ｐを介して連通し該手段の作動によってシール面とガイ
ドロールの間に形成されるすき間より流入する空気の吸
引を司る開口3a,3bを形成してある。シーリングアタッ
チメントの外観を第２図（ａ）に、またガイドロール２
に面する凹円弧状シール面s1，s2をわかり易く第２図
（ｂ）にそれぞれ図解した。
ほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯１の巻きがけ域を
除いてガイドロール２の外周面に対し極く微小なすく間
δ1を形成する凹円弧状シール面s1と、巻きがけ域にて
長尺薄帯１の背面並びに両側縁に対してやはり極く微小
なすき間δ2とδ3，δ3′を直接形成する第２の凹円弧
状シール面s2及び長尺薄帯１の断面寸法よりもやや大き
いがガイドロールのロール幅よりも狭い幅を有し第２の
凹円弧状シール面s2から圧力差のある空間領域へ向けて
貫通した長尺薄帯誘導用の細長い通路ｔをそなえ、各凹
円弧状シール面s1，s2には吸引手段（図示せず）に配管
Ｐを介して連通し該手段の作動によってシール面とガイ
ドロールの間に形成されるすき間より流入する空気の吸
引を司る開口3a,3bを形成してある。シーリングアタッ
チメントの外観を第２図（ａ）に、またガイドロール２
に面する凹円弧状シール面s1，s2をわかり易く第２図
（ｂ）にそれぞれ図解した。
また第３図（ａ）（ｂ）に、上記開口に代えて、シール
ロール及び摺動部材をそれぞれ配置した例を示す。図中
８は、単一のガイドロールと同期回転する補助用のシー
ルロール（以下補助シールロールという）、９はシール
用の摺動部材であり、これらは何れもガイドロール２に
接して、シーリングアタッチメント３とガイドロール２
の間で形成されるすき間をなくし、より高い差圧が維持
できるような仕組になっている。ここに、補助シールロ
ール８、摺動部材９は、とくに凹円弧状シール面s1に配
置した例として示したが、通板長尺薄帯１に面圧がかか
っても品質特性が劣化するうれいのないものを対象とす
る場合においては、凹円弧状シール面s2にも併せて配置
することができる。
ロール及び摺動部材をそれぞれ配置した例を示す。図中
８は、単一のガイドロールと同期回転する補助用のシー
ルロール（以下補助シールロールという）、９はシール
用の摺動部材であり、これらは何れもガイドロール２に
接して、シーリングアタッチメント３とガイドロール２
の間で形成されるすき間をなくし、より高い差圧が維持
できるような仕組になっている。ここに、補助シールロ
ール８、摺動部材９は、とくに凹円弧状シール面s1に配
置した例として示したが、通板長尺薄帯１に面圧がかか
っても品質特性が劣化するうれいのないものを対象とす
る場合においては、凹円弧状シール面s2にも併せて配置
することができる。
なお上掲第１図に示した例で、差圧室4,5間及び5,6間の
差圧（p1−p2）（p2−p3）は、上述の（p0−p1）に比し
はるかに小さいこともあって、軸心を通板方向にずらせ
たロール対によるロールシールを用いた場合を示してい
る。
差圧（p1−p2）（p2−p3）は、上述の（p0−p1）に比し
はるかに小さいこともあって、軸心を通板方向にずらせ
たロール対によるロールシールを用いた場合を示してい
る。
（作用） 長尺薄帯１は強い面圧を受けることがないように単一の
ガイドロール２に巻きがけされ、大気圧p0から第１差圧
室４内の圧力p1へと送り進められ、このとき開口3aを有
する凹円弧状シール面s1及び開口3bを有する凹円弧状シ
ール面s2において、あるいは補助シールロール８又は摺
動部材９を備えた該シール面s1および／またはs2面にお
いて有効な差圧シールが成就される。
ガイドロール２に巻きがけされ、大気圧p0から第１差圧
室４内の圧力p1へと送り進められ、このとき開口3aを有
する凹円弧状シール面s1及び開口3bを有する凹円弧状シ
ール面s2において、あるいは補助シールロール８又は摺
動部材９を備えた該シール面s1および／またはs2面にお
いて有効な差圧シールが成就される。
なお、シーリングアタッチメント３の凹円弧状シール面
s1，s2に形成する開口は、その数やサイズ、断面形状は
いかようであってもよく、上記開口の代わりに摺動部材
９を配置する場合にはテフロン、硬質ゴム、カーボン部
材等を用いるのが好ましい。
s1，s2に形成する開口は、その数やサイズ、断面形状は
いかようであってもよく、上記開口の代わりに摺動部材
９を配置する場合にはテフロン、硬質ゴム、カーボン部
材等を用いるのが好ましい。
また、第４図（ａ）（ｂ）に示すように、シーリングア
タッチメント３の凹円弧状シール面s1および／またはs2
に溝状又は窪み状の凹部10を設け、長尺薄帯１の通板中
その領域における空気流の乱れによってその抵抗を増大
させることは開口3a,3bの吸引と併せてより高い差圧シ
ールを実現するのに有効である。
タッチメント３の凹円弧状シール面s1および／またはs2
に溝状又は窪み状の凹部10を設け、長尺薄帯１の通板中
その領域における空気流の乱れによってその抵抗を増大
させることは開口3a,3bの吸引と併せてより高い差圧シ
ールを実現するのに有効である。
さらに第４図（ａ）（ｂ）に示すシーリングアタッチメ
ント３の如きにおいては、凹円弧状シール面s1に、凹部
10を有する開口3b、あるいは開口3bを設ける代わりに、
上述したような補助シールロール８あるいは摺動部材９
を設けることもできる。
ント３の如きにおいては、凹円弧状シール面s1に、凹部
10を有する開口3b、あるいは開口3bを設ける代わりに、
上述したような補助シールロール８あるいは摺動部材９
を設けることもできる。
（実施例） 上掲第１図に示した差圧シール装置を適用し、ここに板
厚0.25mm、板幅500mmの鋼板をラインスピード10m/minに
て通板させ、p0〜p1間の差圧状況を調査した。なおシー
リングアタッチメント３の開口3aおよび3bに連通する吸
引装置（真空ポンプ）は正動吸引ポンプの1/5の能力で
運転した。その結果をシーリングアタッチメントに開口
を有しない比較例の結果とともにに表−１に示す。
厚0.25mm、板幅500mmの鋼板をラインスピード10m/minに
て通板させ、p0〜p1間の差圧状況を調査した。なおシー
リングアタッチメント３の開口3aおよび3bに連通する吸
引装置（真空ポンプ）は正動吸引ポンプの1/5の能力で
運転した。その結果をシーリングアタッチメントに開口
を有しない比較例の結果とともにに表−１に示す。
表−１から明らかなように、この発明によれば極めて高
い差圧を維持できることが確かめられた。
い差圧を維持できることが確かめられた。
（発明の効果） この発明の差圧シール装置は、単一のガイドロールに、
吸引手段と連通する開口を有するアタッチメントあるい
は、補助シールロール又は摺動部材を有するアタッチメ
ントを併用した仕組になるので、品質劣化の原因となる
局部面圧を生じさせたり振動等のうれいなしに高い差圧
シールが実現でき、とくに超鉄損一方向性珪素鋼板に対
しドライプレーティング皮膜の形成を行うときに用いて
好適なばかりでなく、局部面圧が製品品質に影響し易い
軟鋼などに対しても適用し得るのはいうまでもない。
吸引手段と連通する開口を有するアタッチメントあるい
は、補助シールロール又は摺動部材を有するアタッチメ
ントを併用した仕組になるので、品質劣化の原因となる
局部面圧を生じさせたり振動等のうれいなしに高い差圧
シールが実現でき、とくに超鉄損一方向性珪素鋼板に対
しドライプレーティング皮膜の形成を行うときに用いて
好適なばかりでなく、局部面圧が製品品質に影響し易い
軟鋼などに対しても適用し得るのはいうまでもない。
第１図は、この発明に従う差圧シール装置の構成説明
図、 第２図（ａ），（ｂ）は要部の外観図、 第３図（ａ）（ｂ）はこの発明に従う他の差圧シール装
置の構成説明図、 第４図（ａ）（ｂ）は要部の外観図である。 １…長尺薄帯、２…ガイドロール ３…シーリングアタッチメント 3a,3b…開口、4,5,6…差圧室 ７…ケーシング、８…補助シールロール ９…摺動部材、10…凹部 s1…凹円弧状シール面 s2…第２の凹円弧状シール面 ｔ…通路
図、 第２図（ａ），（ｂ）は要部の外観図、 第３図（ａ）（ｂ）はこの発明に従う他の差圧シール装
置の構成説明図、 第４図（ａ）（ｂ）は要部の外観図である。 １…長尺薄帯、２…ガイドロール ３…シーリングアタッチメント 3a,3b…開口、4,5,6…差圧室 ７…ケーシング、８…補助シールロール ９…摺動部材、10…凹部 s1…凹円弧状シール面 s2…第２の凹円弧状シール面 ｔ…通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−131470（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−73025（ＪＰ，Ａ) 特公 昭46−42770（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭53−20950（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭62−17471（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (2)
- 【請求項１】圧力差のある空間領域相互間にわたり、該
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
差圧シールにおいて、 上記空間領域相互間の境界にて長尺薄帯の巻きがけ案内
を司る単一のガイドロールを備え、このガイドロール
に、その外周をほぼ半周にわたって取り囲み、長尺薄帯
の巻きがけ域を除いて該ガイドロールの外周面において
のみ極く微小なすき間を形成する凹円弧状シール面と、
長尺薄帯の巻きがけ域にて該長尺薄帯の背面並びにその
両側縁に対して極く微小なすき間を直接形成する第２の
凹円弧状シール面を有するシーリングアタッチメントを
配置してなり、該シーリングアタッチメントは、長尺薄
帯の断面寸法よりもやや大きいがガイドロールのロール
幅よりも狭い幅を有し第２の凹円弧状シール面から圧力
差のある空間領域へ向けて貫通した長尺薄帯誘導用の細
長い通路と、凹円弧状シール面および第２の凹円弧状シ
ール面の少なくとも一方において吸引手段とつながる少
なくとも１つの開口を有することを特徴とする差圧シー
ル装置。 - 【請求項２】請求項１記載の差圧シール装置において、
吸引手段と連通する開口に代えて、単一のガイドロール
とともに同期回転するシールロール又は、単一のガイド
ロールに係合する摺動部材を備えることを特徴とする差
圧シール装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063704A JPH0735581B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 差圧シール装置 |
| EP19880107959 EP0291952B1 (en) | 1987-05-20 | 1988-05-18 | Differential pressure sealing apparatus and method |
| DE19883851087 DE3851087T2 (de) | 1987-05-20 | 1988-05-18 | Differentialdruck-Dichtungsapparatur und Verfahren. |
| US07/590,503 US5192585A (en) | 1987-05-20 | 1990-09-26 | Differential pressure sealing apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063704A JPH0735581B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 差圧シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01240657A JPH01240657A (ja) | 1989-09-26 |
| JPH0735581B2 true JPH0735581B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=13237030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63063704A Expired - Lifetime JPH0735581B2 (ja) | 1987-05-20 | 1988-03-18 | 差圧シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735581B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7377682B2 (ja) * | 2019-11-20 | 2023-11-10 | 株式会社カネカ | シール装置、真空装置、成膜装置及び多層フィルム製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5773025A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Apparatus for continuous vacuum treatment |
| JPS58131470A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
| JPS6217471U (ja) * | 1985-07-18 | 1987-02-02 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63063704A patent/JPH0735581B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01240657A (ja) | 1989-09-26 |
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