JPS58131470A - ロ−ラ−式シ−ル装置 - Google Patents
ロ−ラ−式シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS58131470A JPS58131470A JP1289382A JP1289382A JPS58131470A JP S58131470 A JPS58131470 A JP S58131470A JP 1289382 A JP1289382 A JP 1289382A JP 1289382 A JP1289382 A JP 1289382A JP S58131470 A JPS58131470 A JP S58131470A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- web
- exhaust
- sealing device
- roller
- roller set
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/168—Sealings between relatively-moving surfaces which permits material to be continuously conveyed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本１１＠はウェブに真ｇ！ｓ看、ス／１ツタ、イオンブ
レーティング、プラズマ表幽処珈、プラズマ１合、真空
乾燥等を含む遅絖真！２４６１１ｉｉ直の改良に関し、
更に評しくにウェブＯｊ！綬真空処層装置の一−１！隼
となる璽−ラ一式シールａｇｏ改良Ｋｉｌする。
レーティング、プラズマ表幽処珈、プラズマ１合、真空
乾燥等を含む遅絖真！２４６１１ｉｉ直の改良に関し、
更に評しくにウェブＯｊ！綬真空処層装置の一−１！隼
となる璽−ラ一式シールａｇｏ改良Ｋｉｌする。
ウェブを対象とした連続真空処理装置はウェブを大気中
で送ｐ出して１００〜１０ Ｔｏｒｒ（／ＴＯｒｒ
−ｘ／／７４０気圧）８１１１の真？！寅に導き、真空
処ｍを施しｚ４ｊｋ再び大気中に番き出して大気中でＩ
Ｉｋ寝取る。本＠明にかρｈるウェブを対象としたＡ綬
＾９処理偵筺において、ウェブ【連続的に大気から真空
富にａＩ＃き、或は真空２富から大気中に戻す際のクー
ラ一式シール餉鉱の改良に関する。
で送ｐ出して１００〜１０ Ｔｏｒｒ（／ＴＯｒｒ
−ｘ／／７４０気圧）８１１１の真？！寅に導き、真空
処ｍを施しｚ４ｊｋ再び大気中に番き出して大気中でＩ
Ｉｋ寝取る。本＠明にかρｈるウェブを対象としたＡ綬
＾９処理偵筺において、ウェブ【連続的に大気から真空
富にａＩ＃き、或は真空２富から大気中に戻す際のクー
ラ一式シール餉鉱の改良に関する。
狭い閾Ｈを通してウェブを連続的に高圧Ｓから低圧Ｓ壇
７ｃに低圧部から高圧部に導く丸めの７−ルｆ！置であ
って前記間隙の少なくとも一面はウェブを搬送支持する
ローラーの円筒面ｔ−４って構成し、ウェブを前記クー
ラーにより支持しクク前記閲ＩＩＩＩを通過微速する形
の、いわゆるローラ一式シール鏝直としては、木国峙軒
蘂−、デ７コ、３３Ｑ号、待ｌＮＩ紹参デー７デタ７！
号公報、特公昭−６−−コア７０号会報、及び轡公昭−
７−１０ｒ４１Ｌｊ号公報尋に開示された装置が知られ
ている。
７ｃに低圧部から高圧部に導く丸めの７−ルｆ！置であ
って前記間隙の少なくとも一面はウェブを搬送支持する
ローラーの円筒面ｔ−４って構成し、ウェブを前記クー
ラーにより支持しクク前記閲ＩＩＩＩを通過微速する形
の、いわゆるローラ一式シール鏝直としては、木国峙軒
蘂−、デ７コ、３３Ｑ号、待ｌＮＩ紹参デー７デタ７！
号公報、特公昭−６−−コア７０号会報、及び轡公昭−
７−１０ｒ４１Ｌｊ号公報尋に開示された装置が知られ
ている。
すなわち木国特軒萬コ、デ７コ、３３０号及び峙開昭参
ター７りｆ７７号公報では纂１図に示すローラ一式シー
ル装筐が、咎公昭≠４−４Ｉ−２７７０号公報では第３
図に示すローラ一式シール装置が、又秀公昭参７−１０
Ｉ≠！号公報ではｌｘ参−に示すローラ一式シール装置
がそれぞれ開示されている。＠／凶において、ウェブ／
１ｒローラーコに巻回し非電に狭い関ｌ［Ｊｔ−通して
大気圧下η為らＡ！２部に尋く。しかし、この方法でに
、ｒＩｌｌｌｌ［Ｊｃ）部分からの気体の漏れが多く、
真空処１１ｍの圧力及び気体成分の制御に！ｉＦ！富な
１峻を伴うため、実際上女定な錫塩を行なう為にに纂−
一に示す如く、餌１図に示すローラ一式シールａｎｔ多
段に継ぐ必要が６Ｌ各シール装置において漏れ罠気体を
大容量の排気ポンプで排気してい罠。又、かたる気体漏
れｔ少なくする為、編Ｊ図に示す如く閾一部Ｊにくぼみ
参を設け７を制置、纂ダ凶に示す如く流入気体食道ジェ
ット流ｊで押し止める装置がＩＩ案されているが、いず
れの方法においても流入気体を大幅に減少させることは
ｍｓで、ｔＩｉＬＪ図の如龜、多数Ｒローラ一式シール
装置が従来一般に用いられていた。かかる従来の多数段
ローラ一式シール装置に、製作コスト・ランニングコス
トが大となる上、多数のローラ一式シール関七通してウ
ェブ先端を通紙避せる準備作ｌｌｌに非常に大きな困難
を件ない、中間と輪間を多大に豐し、そＯ上史に多数段
けらｒ′したローラー相互間の一転速駿の同期がとれず
、這度差が生じる場合には、ウェブとローラーとの閾の
丁ベクの為にスリ価が発磁し、表品の質を損うなどＯ欠
点が６つ罠。
ター７りｆ７７号公報では纂１図に示すローラ一式シー
ル装筐が、咎公昭≠４−４Ｉ−２７７０号公報では第３
図に示すローラ一式シール装置が、又秀公昭参７−１０
Ｉ≠！号公報ではｌｘ参−に示すローラ一式シール装置
がそれぞれ開示されている。＠／凶において、ウェブ／
１ｒローラーコに巻回し非電に狭い関ｌ［Ｊｔ−通して
大気圧下η為らＡ！２部に尋く。しかし、この方法でに
、ｒＩｌｌｌｌ［Ｊｃ）部分からの気体の漏れが多く、
真空処１１ｍの圧力及び気体成分の制御に！ｉＦ！富な
１峻を伴うため、実際上女定な錫塩を行なう為にに纂−
一に示す如く、餌１図に示すローラ一式シールａｎｔ多
段に継ぐ必要が６Ｌ各シール装置において漏れ罠気体を
大容量の排気ポンプで排気してい罠。又、かたる気体漏
れｔ少なくする為、編Ｊ図に示す如く閾一部Ｊにくぼみ
参を設け７を制置、纂ダ凶に示す如く流入気体食道ジェ
ット流ｊで押し止める装置がＩＩ案されているが、いず
れの方法においても流入気体を大幅に減少させることは
ｍｓで、ｔＩｉＬＪ図の如龜、多数Ｒローラ一式シール
装置が従来一般に用いられていた。かかる従来の多数段
ローラ一式シール装置に、製作コスト・ランニングコス
トが大となる上、多数のローラ一式シール関七通してウ
ェブ先端を通紙避せる準備作ｌｌｌに非常に大きな困難
を件ない、中間と輪間を多大に豐し、そＯ上史に多数段
けらｒ′したローラー相互間の一転速駿の同期がとれず
、這度差が生じる場合には、ウェブとローラーとの閾の
丁ベクの為にスリ価が発磁し、表品の質を損うなどＯ欠
点が６つ罠。
さらには従来のローラ一式シール！！ｔにおいてにシー
ル間ｉｌ郁７１通過する気体が、シール閾一部の出口近
くで急激Ｋｌｌ張して生ずる高速気流の衝撃となりてウ
ェブにバタツキを起こさせスリ価や裂けを生じて製品々
１ＪＩｉを損う欠点がるうた。その為ウェブに大きい張
力ｔｐけてバタツキを押えるのが一般であり大きい張力
がかけられない掬脂フィルムや紙に対し、従来のローラ
一式シール装置は適用が１−で６った。
ル間ｉｌ郁７１通過する気体が、シール閾一部の出口近
くで急激Ｋｌｌ張して生ずる高速気流の衝撃となりてウ
ェブにバタツキを起こさせスリ価や裂けを生じて製品々
１ＪＩｉを損う欠点がるうた。その為ウェブに大きい張
力ｔｐけてバタツキを押えるのが一般であり大きい張力
がかけられない掬脂フィルムや紙に対し、従来のローラ
一式シール装置は適用が１−で６った。
本発明の纂７０目的は気体漏れが少なく、多数段構造【
必要としないローラ一式シール装置を提供することであ
る。纂コの目的は、ウェブに大きい張力をη為けなくて
もパタツキを生じないローラ一式シール装置ｔＩＩ供す
ることにある。
必要としないローラ一式シール装置を提供することであ
る。纂コの目的は、ウェブに大きい張力をη為けなくて
もパタツキを生じないローラ一式シール装置ｔＩＩ供す
ることにある。
本発明においては狭い間隙を通してウェブを連続的に高
圧部から低圧部に、を罠に低圧部たら高圧部に導く罠め
のローラ一式シール装置において、クエンを尋く関−の
、ウェブのローラー奈触自と反対の山に近接し、ｉ＊９
．ｒＸ俵数−の排気孔を有する１１ｉｆｌと、該ｌ曽又
は値数個の排気孔に通じる排気管と、該排気管に接続す
る排気ポンプとを設けた◆を特徴とするローラ一式シー
ル装置にＬり、上記ＩＥ ’ ｅ纂コの目的を達してい
る。
圧部から低圧部に、を罠に低圧部たら高圧部に導く罠め
のローラ一式シール装置において、クエンを尋く関−の
、ウェブのローラー奈触自と反対の山に近接し、ｉ＊９
．ｒＸ俵数−の排気孔を有する１１ｉｆｌと、該ｌ曽又
は値数個の排気孔に通じる排気管と、該排気管に接続す
る排気ポンプとを設けた◆を特徴とするローラ一式シー
ル装置にＬり、上記ＩＥ ’ ｅ纂コの目的を達してい
る。
更には該排気孔を上記１ｉｔｈの対向するウェブの幅方
向においてウェブ＠１ｍ（Ｄ外側に設けたことを％像と
するローラ一式シール装筺、及びウェブ幅方向に上記排
気孔と連通する溝を設けたことｔ−待機とする撃−ラ一
式シール袈筺によｐ上記第１゜Ｊｌｌ！コの目的をより
効果的に達している。
向においてウェブ＠１ｍ（Ｄ外側に設けたことを％像と
するローラ一式シール装筺、及びウェブ幅方向に上記排
気孔と連通する溝を設けたことｔ−待機とする撃−ラ一
式シール袈筺によｐ上記第１゜Ｊｌｌ！コの目的をより
効果的に達している。
重置−の内容を実施例図面に従って、以下に更に評ｍＫ
＃ｌ明する。
＃ｌ明する。
第１図及び纂≦凶において、絡ｌ因において同様ニ、ク
エプｌ會ローラーコに＊ｔｍし非常ＫＮい関＠Ｊを通し
て大気圧下から真空処廖１に一／に導くが、関１１ｔ
Ｊ ＫＦＸ、ウェブｌのローラーλへの接触（２）と反
対のＵＫ近接し、１個又α豪数個の排気孔７′に１！す
る壁ｔｈ１４と、排気孔７に通じる排気管ｌと該排気１
１ｒｔＫ飯峡する排気ポンプｔｏ、ｉｉとが設けられて
いる。閾ｌｌＪに入ｐ込む織入＾体を、排気孔７【通し
て排気することにＬす真交処１ＩＷ１．λ／への気体の
流入量を大幅Ｋｍ少できるので、多数Ｒｆ：４１するこ
となく、先金なシールを行なうことができる。を罠関１
ｆｉＪに入り込んだ流入気体の大部分を排気孔７全通し
て排気する為、関＠Ｊの出口付近においても間遠気流に
よる衝撃がなく、ウェブがバタンくことがない。
エプｌ會ローラーコに＊ｔｍし非常ＫＮい関＠Ｊを通し
て大気圧下から真空処廖１に一／に導くが、関１１ｔ
Ｊ ＫＦＸ、ウェブｌのローラーλへの接触（２）と反
対のＵＫ近接し、１個又α豪数個の排気孔７′に１！す
る壁ｔｈ１４と、排気孔７に通じる排気管ｌと該排気１
１ｒｔＫ飯峡する排気ポンプｔｏ、ｉｉとが設けられて
いる。閾ｌｌＪに入ｐ込む織入＾体を、排気孔７【通し
て排気することにＬす真交処１ＩＷ１．λ／への気体の
流入量を大幅Ｋｍ少できるので、多数Ｒｆ：４１するこ
となく、先金なシールを行なうことができる。を罠関１
ｆｉＪに入り込んだ流入気体の大部分を排気孔７全通し
て排気する為、関＠Ｊの出口付近においても間遠気流に
よる衝撃がなく、ウェブがバタンくことがない。
纂！図においてＰにサイドシール機構であって、ローラ
ーｍｒｊｊＪｓでの気密性を鍋める疋めに設けπもので
ある。
ーｍｒｊｊＪｓでの気密性を鍋める疋めに設けπもので
ある。
凧７図において、ウェブｌのローラーコへの接触圓と反
対の１１ＯＫ近接して設け７ｔｌｉｉｌ＆ｌｌ ｊ上に
ウェブｌの遁竹万同に韮筐して複数個の排気孔７を設け
、該複数個の排気孔７は、それぞれ別個の排気管ｌを通
じて、図示していない別個の排気ポンプｌコ、ｌ参、／
ＡＨ／Ｊ、／ｚ、／７に接続している。排気ポンプノコ
及び１３で排気し切れなかった流入気体ｔ１排気ポンプ
ｌ参及びｌ！で排気し、更に排気ポンプ／４を及びｌ！
で排気し切れなかった流入気体を排気ポンプ１４及び１
７で排気するのて、真空処ｓ＊ａｉへの気体の流入量を
更に大幅に減少することが可能となり、ローラ一式シー
ル一段だけではソ充金なシールを行なうことができる。
対の１１ＯＫ近接して設け７ｔｌｉｉｌ＆ｌｌ ｊ上に
ウェブｌの遁竹万同に韮筐して複数個の排気孔７を設け
、該複数個の排気孔７は、それぞれ別個の排気管ｌを通
じて、図示していない別個の排気ポンプｌコ、ｌ参、／
ＡＨ／Ｊ、／ｚ、／７に接続している。排気ポンプノコ
及び１３で排気し切れなかった流入気体ｔ１排気ポンプ
ｌ参及びｌ！で排気し、更に排気ポンプ／４を及びｌ！
で排気し切れなかった流入気体を排気ポンプ１４及び１
７で排気するのて、真空処ｓ＊ａｉへの気体の流入量を
更に大幅に減少することが可能となり、ローラ一式シー
ル一段だけではソ充金なシールを行なうことができる。
ウェブｌが薄手の紙又ｔｉｔ薄手のポリエステルペース
等、非常に小さい張力しかかけられない場曾絽ｌ凶に示
す如く、排気孔７′をウェブと対面する！ｉｉ而乙面、
ウェブｌの幅方向においてウェブ側ｎＡ−〇の外側に設
けることにより、排気流の影譬で薄手のウェブがバタつ
くことなく、良好なウェブハンドリングが行なえる。更
に縛り図及び属ｌＯ凶において、壁面乙にウェブの幅方
向に排気孔７′と連通する溝−Ｊを設けることにＬり、
流入し罠気体を溝コＪｔ−通して排気孔７′に尋き、効
率よ＜＊Ｘできるので真空処理ｉｌコｌへの流入気体の
量をより減少させ、シール効果を高めることができる。
等、非常に小さい張力しかかけられない場曾絽ｌ凶に示
す如く、排気孔７′をウェブと対面する！ｉｉ而乙面、
ウェブｌの幅方向においてウェブ側ｎＡ−〇の外側に設
けることにより、排気流の影譬で薄手のウェブがバタつ
くことなく、良好なウェブハンドリングが行なえる。更
に縛り図及び属ｌＯ凶において、壁面乙にウェブの幅方
向に排気孔７′と連通する溝−Ｊを設けることにＬり、
流入し罠気体を溝コＪｔ−通して排気孔７′に尋き、効
率よ＜＊Ｘできるので真空処理ｉｌコｌへの流入気体の
量をより減少させ、シール効果を高めることができる。
次に具体的実施例に１９本発明の効果ｔ−説哨する。第
１／凶に本発明によるローラ式シール鉄電金りエプの）
！Ｉ！絖真！２島宥鉄置に適用した例を示し罠ものであ
る。＾９処ｓＩｉ［コｌへのウェブ導入側導出側に纂７
図で示し窺ローラ一式シールを各１着配置し罠。コダに
Ｓ発源、コ！は蒸発源の加熱ヒーターを示す。−２４ｔ
ｆｆウエブの巻出リール、λ７ａ巻取リールを示す。ロ
ーラー−ａ径ｌコ００Ｗ暢ｌコｏｏｗｘｓ ウェブ導
入間隙３はＱ、−■、進中排気ａＪケ庖で、排気ポンプ
ノコ・１３は油回転ポンプ、／４１Ｃ・ｌｊＯルーツブ
ロアーと油回転ポンプとを岨合せ、ｌｔ・／７はルーツ
ブロアーとＹ−回転ポンプとｔ組合せ、Ｘ空錫理富コｌ
の排気ポンプ／ｌは油拡散ポンプ、ルーツブロアー及び
油ｔｉｌｌｕＩ＆ポンプとｔ−１＆ｉ１付せ使用した。
１／凶に本発明によるローラ式シール鉄電金りエプの）
！Ｉ！絖真！２島宥鉄置に適用した例を示し罠ものであ
る。＾９処ｓＩｉ［コｌへのウェブ導入側導出側に纂７
図で示し窺ローラ一式シールを各１着配置し罠。コダに
Ｓ発源、コ！は蒸発源の加熱ヒーターを示す。−２４ｔ
ｆｆウエブの巻出リール、λ７ａ巻取リールを示す。ロ
ーラー−ａ径ｌコ００Ｗ暢ｌコｏｏｗｘｓ ウェブ導
入間隙３はＱ、−■、進中排気ａＪケ庖で、排気ポンプ
ノコ・１３は油回転ポンプ、／４１Ｃ・ｌｊＯルーツブ
ロアーと油回転ポンプとを岨合せ、ｌｔ・／７はルーツ
ブロアーとＹ−回転ポンプとｔ組合せ、Ｘ空錫理富コｌ
の排気ポンプ／ｌは油拡散ポンプ、ルーツブロアー及び
油ｔｉｌｌｕＩ＆ポンプとｔ−１＆ｉ１付せ使用した。
上記の如＠＠／ ／凶に示す鉄直に工！ｌｌ厚さｊＱμ
、＋ｊ］１０００■のポリエステルベースを用いて行な
った実験結果の７例を表１に示す。
、＋ｊ］１０００■のポリエステルベースを用いて行な
った実験結果の７例を表１に示す。
表１においてｔＪＩＪは排気ポンプ／２．／Ｊ、／私／
！、／６．／７を作動させなかつ罠場合、（ｂ＞はこれ
ら排気ポンプ會全て作動させた場合である。
！、／６．／７を作動させなかつ罠場合、（ｂ＞はこれ
ら排気ポンプ會全て作動させた場合である。
（ＣＪ及びｔｄＪｒｒ萬ｌ／凶の連続真空処理装置の中
のローラ一式シール装ａｔ−七れぞれ第を図及び謳り図
、編ｉｏｖｇ″ｔ？示されるローラ一式シール装置に置
龜換えた場合の結果でローラーλの径、幅、ウェブ導入
量Ｍ３０寸法等Ｕ （ａｊ 、 （ｂＪ 、 （Ｃｊ
、 （ｄＪ全ての壱曾に共通でるる。
のローラ一式シール装ａｔ−七れぞれ第を図及び謳り図
、編ｉｏｖｇ″ｔ？示されるローラ一式シール装置に置
龜換えた場合の結果でローラーλの径、幅、ウェブ導入
量Ｍ３０寸法等Ｕ （ａｊ 、 （ｂＪ 、 （Ｃｊ
、 （ｄＪ全ての壱曾に共通でるる。
／
（ａｌの例でのローラ一式シールではシール段数ｌ紋で
に真空処理ｗｉコｌへの気体の流入量にｌ−２０００Ｔ
ＯｒｒＪｌ／５ｅｃ４／こもなｐ１＾空真空型理ｌの圧
力Ｆ′Ｘｌ０Ｔｏｒｒまでしか下がらない。例えば真窒
蒸＊ｖｈなう圧力（１０’Ｔｏｒｒ台）マチ下げる為に
は３段又は参段のシール段数が必要となる。不発明によ
る偶（ｂＪ 、 （Ｃ７、Ｉｄ）でにシール段数１段で
、２Ｘ１０ ”ｐｏｒｒ Ａ−４×１０−’ＴＯｒｒ
の真空が傅られている。又％ （ａｔの力ではウェブに
７０時の張力’ｉｐけ罠時にｔウェブのパタツキにエフ
ウェブの裂は等の損傷を生じ罠が、（ｂｊ（Ｃｊ（ｄＪ
の冑では１９小さい張力でウェブのパタツキはなくウェ
ブの損傷はなで為った。更にＩＣ） 、 （ｄＪＯ書で
は、張力Ｊ〜にシいてウェブのバタツキはなく、ウェブ
の損傷は見られず、本＠鞠の目的に対し、より高い効果
ｔ−得ることができる。
に真空処理ｗｉコｌへの気体の流入量にｌ−２０００Ｔ
ＯｒｒＪｌ／５ｅｃ４／こもなｐ１＾空真空型理ｌの圧
力Ｆ′Ｘｌ０Ｔｏｒｒまでしか下がらない。例えば真窒
蒸＊ｖｈなう圧力（１０’Ｔｏｒｒ台）マチ下げる為に
は３段又は参段のシール段数が必要となる。不発明によ
る偶（ｂＪ 、 （Ｃ７、Ｉｄ）でにシール段数１段で
、２Ｘ１０ ”ｐｏｒｒ Ａ−４×１０−’ＴＯｒｒ
の真空が傅られている。又％ （ａｔの力ではウェブに
７０時の張力’ｉｐけ罠時にｔウェブのパタツキにエフ
ウェブの裂は等の損傷を生じ罠が、（ｂｊ（Ｃｊ（ｄＪ
の冑では１９小さい張力でウェブのパタツキはなくウェ
ブの損傷はなで為った。更にＩＣ） 、 （ｄＪＯ書で
は、張力Ｊ〜にシいてウェブのバタツキはなく、ウェブ
の損傷は見られず、本＠鞠の目的に対し、より高い効果
ｔ−得ることができる。
上述の如く、本発明のローラ一式シール装［を連続Ｘ空
処理装置に適用すれば真空込珊皇コｌへの流入気体の量
を極く少量に押えることができるので、ローラ一式シー
ル装置を多数段使用することが工費でらり、連続真９処
理装置全体をＩ」％形で安価なものにできる上、ウェブ
先端を通紙させる作業は容易でろり、又、低いウェブの
張力でもパタツキを生じることなく安定にハンドリング
を行なう事ができ、且つ、スリ傷、裂は等、製品の質を
損なうことがない等、多数の甲」点を有するものでるる
。
処理装置に適用すれば真空込珊皇コｌへの流入気体の量
を極く少量に押えることができるので、ローラ一式シー
ル装置を多数段使用することが工費でらり、連続真９処
理装置全体をＩ」％形で安価なものにできる上、ウェブ
先端を通紙させる作業は容易でろり、又、低いウェブの
張力でもパタツキを生じることなく安定にハンドリング
を行なう事ができ、且つ、スリ傷、裂は等、製品の質を
損なうことがない等、多数の甲」点を有するものでるる
。
本発明のローラ一式シール装ａｔ−真窒処理装置に通用
した場合について詳しく説明し７ｔが、本発明は単に真
空処理装置に限らず、圧力差の有る領域間にわ罠ってウ
ェブを連続的に搬送させる場合のシールｆ装置として応
用可能でめることは明らかでめる。
した場合について詳しく説明し７ｔが、本発明は単に真
空処理装置に限らず、圧力差の有る領域間にわ罠ってウ
ェブを連続的に搬送させる場合のシールｆ装置として応
用可能でめることは明らかでめる。
【図面の簡単な説明】
第１図ないし＠参図は従来のシール装置の構造を示すｌ
ｌｌ１向図、纂！凶は不発明の一夷題例の構造を示す正
ｌｆｌ凶、＃！６図０岡じくその餉向凶、槻７図に本発
明の他の実Ｊｌｌ偶の構造を示すｍｄＫＪ凶、第１図に
本発明の更に別の笑胤肖の構造を示す正面図、穂２−は
更にその改良実施例の構造を示す正面図、第ｉｏ凶は同
じくその匈肉図。 絶ｉｉ図に不尭明の応用実施例を示す構造肯面図である
。 ｌ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ウエプコ・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ａ −５−Ｊ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・間隙６・・・・・・・
・・・・・・・・・・・１１面７・・・・・・・・・・
・・・・・・・・排気孔ｌ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・排気ポンプｔｏ、ｉｉ、ｉコ、ＩＪ、／参、
／ｊ、／４゜ｔｙ、ｉｒ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・排気ボンブコト・・・・・・・・・・・・・・
真空処理富神軒出願人 富士写真フィルム株式会社第
３ 図 １ｆＪ４Ｉ７１ 第５図 １０ １ 第８図 第６″図 ０ 第７図
ｌｌ１向図、纂！凶は不発明の一夷題例の構造を示す正
ｌｆｌ凶、＃！６図０岡じくその餉向凶、槻７図に本発
明の他の実Ｊｌｌ偶の構造を示すｍｄＫＪ凶、第１図に
本発明の更に別の笑胤肖の構造を示す正面図、穂２−は
更にその改良実施例の構造を示す正面図、第ｉｏ凶は同
じくその匈肉図。 絶ｉｉ図に不尭明の応用実施例を示す構造肯面図である
。 ｌ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ウエプコ・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ａ −５−Ｊ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・間隙６・・・・・・・
・・・・・・・・・・・１１面７・・・・・・・・・・
・・・・・・・・排気孔ｌ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・排気ポンプｔｏ、ｉｉ、ｉコ、ＩＪ、／参、
／ｊ、／４゜ｔｙ、ｉｒ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・排気ボンブコト・・・・・・・・・・・・・・
真空処理富神軒出願人 富士写真フィルム株式会社第
３ 図 １ｆＪ４Ｉ７１ 第５図 １０ １ 第８図 第６″図 ０ 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１狭い関陣を遇してウェブを連続的に＾圧部から低
圧部に、ｔ７ｃは低圧部から＾圧部に導くためのローラ
一式シール装置において、クエン′に導入する関−の、
ウェブのローラー嶽触面と反対の面に近接し、１個又は
書数個の排気孔ｔＶ″する壁面と、ｋ’個又に豪数個の
排気孔に通じる排気管と、骸排気管に接続する排気ポン
プとを設けπことを臀黴とするローラ一式シール装置。 （２） 該排気孔１ｍｍ個設け、該侭欽個の排気孔に
それぞれ別個の排気管を通じてそれぞれ別個の排気ポン
プと接続し罠こと′ｆ：神像とする籍許請求の範囲菖ｌ
槍記載のローラ一式シール装置。 （３） 骸排気孔に、上記の１１薗の、対間するウェ
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ーラ一式シール装置。 （４）上記壁面は、ウェブの幅方向に＃排気孔と連通す
る溝を設は罠こと１％徴とする待ｆｆ縛求の範囲纂Ｊ塊
記載□ｗ−ラ一式シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1289382A JPS58131470A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1289382A JPS58131470A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58131470A true JPS58131470A (ja) | 1983-08-05 |
| JPH0152473B2 JPH0152473B2 (ja) | 1989-11-08 |
Family
ID=11818065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1289382A Granted JPS58131470A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58131470A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60224780A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-09 | Kuraray Co Ltd | シ−ト状物の真空連続処理装置におけるシ−ル装置 |
| EP0291952A2 (en) * | 1987-05-20 | 1988-11-23 | Kawasaki Steel Corporation | Differential pressure sealing apparatus and method |
| JPS6426369U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | ||
| JPS6426370U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | ||
| JPH01100268A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-18 | Kawasaki Steel Corp | 差圧シール装置 |
| JPH01172570A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-07 | Kawasaki Steel Corp | 連続真空処理装置の入出側差圧室の差圧シール装置 |
| JPH01240657A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-26 | Kawasaki Steel Corp | 差圧シール装置 |
| JPH0325559U (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-15 | ||
| EP0452954A2 (en) * | 1990-04-20 | 1991-10-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Surface treatment apparatus for printing plate support |
| US5192585A (en) * | 1987-05-20 | 1993-03-09 | Kawasaki Steel Corp. | Differential pressure sealing apparatus and method |
| JP2006522217A (ja) * | 2003-02-19 | 2006-09-28 | エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド | 異なるガス圧の領域を隔離するためのガス出入口 |
| WO2008075493A1 (ja) * | 2006-12-18 | 2008-06-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | 基材処理装置及びそれを用いた表示装置の製造方法 |
| JP2010112394A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Nsk Ltd | シールユニット |
| JP2014065932A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Toray Eng Co Ltd | 薄膜形成装置 |
| JP2019081281A (ja) * | 2017-10-30 | 2019-05-30 | 株式会社リコー | 乾燥装置、液体を吐出する装置、液体付与装置 |
| JP2021085646A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 芝浦機械株式会社 | ガスシール構造及び抽出乾燥装置 |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP1289382A patent/JPS58131470A/ja active Granted
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60224780A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-09 | Kuraray Co Ltd | シ−ト状物の真空連続処理装置におけるシ−ル装置 |
| US5192585A (en) * | 1987-05-20 | 1993-03-09 | Kawasaki Steel Corp. | Differential pressure sealing apparatus and method |
| EP0291952A2 (en) * | 1987-05-20 | 1988-11-23 | Kawasaki Steel Corporation | Differential pressure sealing apparatus and method |
| JPS6426369U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | ||
| JPS6426370U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | ||
| JPH01100268A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-18 | Kawasaki Steel Corp | 差圧シール装置 |
| JPH01172570A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-07 | Kawasaki Steel Corp | 連続真空処理装置の入出側差圧室の差圧シール装置 |
| JPH01240657A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-26 | Kawasaki Steel Corp | 差圧シール装置 |
| JPH0325559U (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-15 | ||
| EP0452954A2 (en) * | 1990-04-20 | 1991-10-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Surface treatment apparatus for printing plate support |
| JP2006522217A (ja) * | 2003-02-19 | 2006-09-28 | エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド | 異なるガス圧の領域を隔離するためのガス出入口 |
| JP4762129B2 (ja) * | 2003-02-19 | 2011-08-31 | エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド | 異なるガス圧の領域を隔離するためのガス出入口 |
| WO2008075493A1 (ja) * | 2006-12-18 | 2008-06-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | 基材処理装置及びそれを用いた表示装置の製造方法 |
| JP2010112394A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Nsk Ltd | シールユニット |
| JP2014065932A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Toray Eng Co Ltd | 薄膜形成装置 |
| JP2019081281A (ja) * | 2017-10-30 | 2019-05-30 | 株式会社リコー | 乾燥装置、液体を吐出する装置、液体付与装置 |
| JP2021085646A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 芝浦機械株式会社 | ガスシール構造及び抽出乾燥装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0152473B2 (ja) | 1989-11-08 |
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