JPS6426369U - - Google Patents

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JPS6426369U
JPS6426369U JP12153987U JP12153987U JPS6426369U JP S6426369 U JPS6426369 U JP S6426369U JP 12153987 U JP12153987 U JP 12153987U JP 12153987 U JP12153987 U JP 12153987U JP S6426369 U JPS6426369 U JP S6426369U
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JP
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strip
processed material
shaped processed
casing
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来例の断面図、第3図は
本考案の実施例の断面図である。 1……帯状処理物、2……真空処理室、3……
導入口、4……筐体、4a……壁面、5……真空
排気口、6……スリツト、7……ロール、8……
補助ロール、9……通路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 帯状処理物を外部から真空処理室内へ導入する
    導入口の前方に接続して該帯状処理物の通路と真
    空排気口を備えた筐体を設け、該通路内へロール
    と該筐体の壁面とで構成されたスリツトを介して
    帯状処理物を導入するようにしたものに於いて、
    該スリツトの前方に該ロールとの間で帯状処理物
    を挟圧する補助ロールを設けたことを特徴とする
    帯状処理物の真空シール装置。
JP12153987U 1987-08-10 1987-08-10 Pending JPS6426369U (ja)

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JP12153987U JPS6426369U (ja) 1987-08-10 1987-08-10

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JP12153987U JPS6426369U (ja) 1987-08-10 1987-08-10

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JPS6426369U true JPS6426369U (ja) 1989-02-14

Family

ID=31368637

Family Applications (1)

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JP12153987U Pending JPS6426369U (ja) 1987-08-10 1987-08-10

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JP (1) JPS6426369U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58131470A (ja) * 1982-01-29 1983-08-05 Fuji Photo Film Co Ltd ロ−ラ−式シ−ル装置
JPS5923871A (ja) * 1982-07-30 1984-02-07 Tokuda Seisakusho Ltd スパツタリング装置
JPS6223982A (ja) * 1985-07-23 1987-01-31 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 連続式真空処理設備のシ−ル装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58131470A (ja) * 1982-01-29 1983-08-05 Fuji Photo Film Co Ltd ロ−ラ−式シ−ル装置
JPS5923871A (ja) * 1982-07-30 1984-02-07 Tokuda Seisakusho Ltd スパツタリング装置
JPS6223982A (ja) * 1985-07-23 1987-01-31 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 連続式真空処理設備のシ−ル装置

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