JPH03118545U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03118545U JPH03118545U JP2785590U JP2785590U JPH03118545U JP H03118545 U JPH03118545 U JP H03118545U JP 2785590 U JP2785590 U JP 2785590U JP 2785590 U JP2785590 U JP 2785590U JP H03118545 U JPH03118545 U JP H03118545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- chamber
- processing
- vacuum valve
- preliminary
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る真空処理
装置を部分的に示す概略縦断面図である。第２図
は、第１図の装置の概略横断面図である。第３図
は、第１図および第２図中のブローノズルを拡大
して示す斜視図である。第４図は、従来の真空処
理装置の一例を部分的に示す概略縦断面図である
。 ２……処理室、４……予備真空室、６……第１
の真空弁、８……第２の真空弁、１０……被処理
体、１２……ブローノズル、１２ａ，１２ｂ……
ノズル、１４……気体。
装置を部分的に示す概略縦断面図である。第２図
は、第１図の装置の概略横断面図である。第３図
は、第１図および第２図中のブローノズルを拡大
して示す斜視図である。第４図は、従来の真空処
理装置の一例を部分的に示す概略縦断面図である
。 ２……処理室、４……予備真空室、６……第１
の真空弁、８……第２の真空弁、１０……被処理
体、１２……ブローノズル、１２ａ，１２ｂ……
ノズル、１４……気体。
Claims (1)
- 被処理体を処理する部屋であつて真空排気され
る処理室と、この処理室に第１の真空弁を介して
隣接されていて被処理体を大気圧側と処理室との
間で搬送するための予備真空室であつて大気圧側
との間の搬送口に第２の真空弁を有するものとを
備える真空処理装置において、前記予備真空室内
であつて第２の真空弁とは反対側の奥の方の左右
両側に、気体を吹き出すものであつて、一方は第
２の真空弁側の斜め上方を向き他方は同真空弁に
対して反対側を向いた二つのノズルをそれぞれ有
するブローノズルを設けたことを特徴とする真空
処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2785590U JPH03118545U (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2785590U JPH03118545U (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03118545U true JPH03118545U (ja) | 1991-12-06 |
Family
ID=31530689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2785590U Pending JPH03118545U (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03118545U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010081828A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Takako Hagiwara | 低放射線ホルミシス動物舎 |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP2785590U patent/JPH03118545U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010081828A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Takako Hagiwara | 低放射線ホルミシス動物舎 |