JPH03118545U - - Google Patents

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JPH03118545U
JPH03118545U JP2785590U JP2785590U JPH03118545U JP H03118545 U JPH03118545 U JP H03118545U JP 2785590 U JP2785590 U JP 2785590U JP 2785590 U JP2785590 U JP 2785590U JP H03118545 U JPH03118545 U JP H03118545U
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JP
Japan
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vacuum
chamber
processing
vacuum valve
preliminary
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JP2785590U
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  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、この考案の一実施例に係る真空処理
装置を部分的に示す概略縦断面図である。第2図
は、第1図の装置の概略横断面図である。第3図
は、第1図および第2図中のブローノズルを拡大
して示す斜視図である。第4図は、従来の真空処
理装置の一例を部分的に示す概略縦断面図である
。 2……処理室、4……予備真空室、6……第1
の真空弁、8……第2の真空弁、10……被処理
体、12……ブローノズル、12a,12b……
ノズル、14……気体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被処理体を処理する部屋であつて真空排気され
    る処理室と、この処理室に第1の真空弁を介して
    隣接されていて被処理体を大気圧側と処理室との
    間で搬送するための予備真空室であつて大気圧側
    との間の搬送口に第2の真空弁を有するものとを
    備える真空処理装置において、前記予備真空室内
    であつて第2の真空弁とは反対側の奥の方の左右
    両側に、気体を吹き出すものであつて、一方は第
    2の真空弁側の斜め上方を向き他方は同真空弁に
    対して反対側を向いた二つのノズルをそれぞれ有
    するブローノズルを設けたことを特徴とする真空
    処理装置。
JP2785590U 1990-03-19 1990-03-19 Pending JPH03118545U (ja)

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JPH03118545U true JPH03118545U (ja) 1991-12-06

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JP2785590U Pending JPH03118545U (ja) 1990-03-19 1990-03-19

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JP (1) JPH03118545U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010081828A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Takako Hagiwara 低放射線ホルミシス動物舎

Cited By (1)

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