JPS6326365A

JPS6326365A - シ−ル装置

Info

Publication number: JPS6326365A
Application number: JP16855286A
Authority: JP
Inventors: Susumu Okawa; 進大川; Tomihisa Takahata; 高畑　富久; Shin Masuda; 伸増田
Original assignee: NKK Corp; Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1986-07-17
Filing date: 1986-07-17
Publication date: 1988-02-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は金属帯、プラスチックフィルム、紙等を含む
帯状体の連続真空処理設置（例えば連続真空蒸着装置、
連続真空乾燥装置、金属帯特にスチールストリップの連
続焼鈍等に用いる連続真空熱処理装置）の真空処理室に
対する入側または出側に装備されるベルト方式のシール
装置に関するものである。

（従来の技術）連続真空処理設備例えば金属薄帯（以下、帯状体という
）の連続真空蒸着装置は、前記帯状体を連続的に大気中
から１　ｘ１０５　Ｔｏｒｒ　Ｐｉ！度の圧力の真空蒸
着室（真空処理室）に導き、この真空蒸着室において前
記帯状体に真空蒸着を施す装置であって、このような連
続真空蒸着装置を含む広義の連続真空処理設備には、真
空処理室に対する入側または出側に、真空処理室へ外気
が流入するのを阻止するシール装置が装備されている。

この従来のシール装置としては、特公昭４６−４１００
２号、実開昭５８−７５７５８号公報等に開示のピンチ
ロール方式によるもの、特公昭４６−４２７７０号。

特開昭４９−７９９７５号公報等に開示のプライドル方
式によるもの、特公昭６１−８３１２８公報等に開示の
スリット方式によるものが知られている。

〔発明が解決しようとする問題点〕しかしながら、前記従来のピンチロール方式によるシー
ル装置は、ピンチロールと帯状体が直接接触するため、
密封性は良いが、帯状体に加わる外力の僅かな変化、不
均衡で帯状体が変形したり損傷・破断じたりするという
問題が発生し、また帯状体の張力の制御、走行の安定化
も困難である。

また、前記従来のプライドル方式およびスリット方式に
よるシール装置は、帯状体の導入隙間をあまり小さくす
ると、帯状体の変形（ポリエステルフィルムのような可
撓体のテープでは、該テープに加わる外力の僅かの変化
、例えば気体流れの圧力の不均衡程度でも変形する）に
より、この帯状体がシール壁面に接触して損傷・破断し
てしまうことから、その隙間にはおのずと限界があり、
ある限度以上に小さくすることはできなかった。

このため、前記隙間からのニアリーク量が多くなり、シ
ール装置としての機能（シール性）が低下するという問
題があった。

また、いわゆる分子流領域では単に隙間を小さくするの
みでは、流れのコンダクタンスをそれほど小さくするこ
とはできず、その狭隙流路を長くすることがコンダクタ
ンスを小さくするのに非常に有効であることが知られて
いる。このことに対応するシール装置として、実公昭６
１−１１２２５号公報に開示のものが知られているが、
この装置も基本的にはプライドル方式とスリット方式を
組合せたものにすぎず、前述した如く導入隙間をあまり
小さくできず、またその構造上、狭隙流路長さをあまり
長くとれず限界があるといった欠点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は前記従来の問題点を解決するために、その第
１の発明に係わるシール装置は、帯状体の入出開口部を
有する帯状体走行方向に対して長さの長いチャンバと、
このチャンバ内の帯状体走行ラインの上下部に位置する
前後ロールに掛装され、対向するベルト間に帯状体が微
小隙間をもって導通される通路を形成した、帯状体の移
動速度と同じスピードで同調回転される上側および下側
の無端ベルトと、この上下無端ベルトとチャンバ内壁と
の隙間をシールするシール手段とを具備するベルトシー
ル方式としたことを特徴どするものである。

また、第２の発明に係わるシール装置は、帯状体として
厚さの薄い帯鋼を対象し、前記帯鋼の入出開口部を有す
る帯鋼走行方向に対して長さの長いチャンバと、このチ
ャンバ内の帯鋼走行ラインの上下部に位置する前後ロー
ルに掛装され、対向するベルト間に前記帯鋼が微小隙間
をもって導通される通路を形成した、帯鋼移動速度と同
じスピードで同調回転される上側および下側の無端ベル
トと、この上下無端ベルトの通路側内部位置に帯鋼走行
方向に対して間隔をおいて千鳥状に配設され厚さの薄い
帯鋼を磁力によって吸着しベルト間通路内で蛇行状に湾
曲接触させる複数個の電磁石と、上下無端ベルトとチャ
ンバ内壁との隙間をシールするシール手段とを具備する
ベルトシール方式としたことを特徴とするものである。

〔作用〕

第１の発明に係わるベルトシール方式のシール装置によ
ると、上下の無端ベルトを帯状体の走行スピードと同調
回転させることにより、帯状体が６一変形し隙間内壁（ベルト表面）に接触しても、損傷・破
断することがなくなるので、ベルト間通路のベルト・帯
状体との隙間を従来のシール隙間より可成り狭く形成す
ることができ、また従来のシールＩＩに比べ、その狭隙
流路長さを飛躍的に長くとれることから、いわゆる粘性
流領域においては流動抵抗が増すことからシール性が向
上し、またいわゆる分子流領域においては、分離流の性
質から飛躍的にシール性が向上する。

また、厚さの薄い帯鋼を対象とした第２の発明に係わる
シール装置の場合には、ベルトシールに電磁石を組合せ
ることにより、シール性を更に大幅に向上させることが
できる。即ち、この第２の発明によるシール装置は、ベ
ルト間通路に通される帯鋼を千鳥状配置のＮ１１石によ
って吸着し、蛇行状に湾曲してベルト表面に接触させる
ことができ、この帯鋼の湾曲接触により密封箇所を複数
筒所作ることができるので、この複数箇所の密封により
リーク流れを遮断し、シール性を大幅に向上させること
ができる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例（第１の発明に係わる実施例〉
を第１図および第２図の図面に従い説明すると、このシ
ール装置は帯状体Ｓを連続的に大気中から真空中に導い
て真空処理する連続真空処理設備の真空処理室Ａに対す
る入側および出側に第１図の如く装備されるものであっ
て、図中１は帯状体Ｓの入出開口部１ａ、　ｉｂを有す
る帯状体走行方向に対して長さの長いチャンバ１で、こ
のチャンバ１内には帯状体走行ラインの上下部に位置す
る前後ロール２，３・４，５に掛装された無端ベルト６
．７が設けられている。この上下の無端ベルト６．７は
、対向するベルト間に帯状体Ｓが微小隙間ｑをもって導
通される通路８を形成するものであって、ベルト内部の
空間埋め体１６，１７（空気流れの抵抗を増やす目的で
設けている）を囲繞するようにロール掛装され、ベルト
掛装ロール３゜５を駆動装置（図示せず）によって第１
図矢印方向に回転させることにより、帯状体Ｓの移動速
度と同じスピードで同調回転されるようになっている。

なお、前記無端ベルト６．７は第２図の如く凸形状にな
っており、ロール２，３．４．５表面にはベルト凸部に
嵌め合うように凹形状の加工が施され、この凹凸係合に
より前記ベルト６．７の蛇行が防止されるようになって
いる。

９．１０は上下無端ベルト６．７とチャンバ内壁との隙
間をシールするシール手段で、このシール手段９，１０
は本実施例の場合、ベルト掛装ロール２．４の長さ方向
に沿うようにチャンバ前壁部にシール溝１１を凹設し、
このシール溝１１内に前記ロール２，４と略同じ長さの
小径なシールローラ１２を回転可能に嵌装し、このシー
ルローラ１２を前記ベルト６．７にロール迂回部で圧接
されるようにスプリング１３で付勢した接触式のシール
構造としているが、前記ベルト面と僅かな狭隙をもって
対向する非接触式のシール構造を適用することも可能で
ある。

この実施例によるシール装置は、上下の無端ベルト６．
７を帯状体Ｓの走行スピードと同調回転させることによ
り、帯状体Ｓが変形し隙間内壁−〇− （ベルト表面）に接触しても、損傷・破断することがな
くなるで、ベルト間通路８のベルト・帯状体との隙間ｑ
を従来のシール隙間より可成り狭く形成することができ
る。

第３図および第４図は、厚さの薄い帯鋼Ｓ′を対象とし
た第２の発明に係わるシール装置の実施例を示す。この
シール装置は厚さの薄い帯鋼Ｓ′を連続的に大気中から
真空中に導いて真空処理する連続真空処理設備の真空処
理室に対する入側または出側に装備されるものであって
、図中１は前記帯鋼Ｓ′の入出開口部１ａ、　１ｂを有
する帯鋼走行方向に対して長さの長いチャンバ、２，３
および４．５はチャンバ１内の帯鋼走行ラインの上下部
に軸着されたベルト掛装用の前後ロール、６，７はこの
前後ロール２，３・４，５に掛装された上側および下側
の無端ベルトで、この上下無端ベルト６．７は対向する
ベルト間に前記帯ｗＩｓ’　が隙間をもって導通される
通路８を形成するものであって、ベルト掛装ロール２，
４を駆動装置（図示せず）によって第３図矢印方向に回
転させることにより、帯状体Ｓの移動速度と同じスピー
ドで同調回転されるようになっている。なお、前記無端
ベルト６．７は第２図の如く凸形状になっており、ロー
ル２，３．４．５表面にはベルト凸部に嵌め合うように
凹形状の加工が施され、この凹凸係合により前記ベルト
６．７の蛇行が防止されるようになっている。

９．１０は上下無端ベルト６．７とチャンバ内壁との隙
間をシールするシール手段で、このシール手段９，１０
は第１図および第２図に示したものと同じであるから、
説明は省略する。１５ａ〜１５ｄは上下無端ベルト６．
７の通路側内部位置に帯鋼走行方向に対して間隔をおい
て千鳥状に配設された複数個（図示例は４個）の電磁石
で、この各電磁石１５ａ〜ｉ５ｄはベルト内部空間埋め
体１６．１７の互いに対向する通路側内部位置に埋入固
定され、この各電磁石１５８〜１５ｄの通電励磁によっ
て厚さの薄い帯ｍｓ’　を第３図の如く吸着し、該帯鋼
Ｓ′をベルト間通路８内で蛇行状に湾曲してベルト６゜
７の表面に接触させる作用をなすものである。

（発明の効果）第１の発明に係わるベルトシール方式のシール装置によ
ると、上下の無端ベルトを帯状体の走行スピードと同調
回転させることにより、帯状体が変形し隙間内壁（ベル
ト表面）に接触しても、損傷・破断することがなくなる
ので、ベルト間通路のベルト・帯状体との隙間を従来の
シール隙間より可成り狭く形成することができ、また従
来のシール装置に比べその狭隙流路長さを大幅に長くと
ることができることから、シール性を大幅に向上させ得
る。

また、厚さの薄い帯鋼を対象とした第２の発明に係わる
シール装置の場合には、ベルトシールに電磁石を組合せ
ることにより、シール性を更に大幅に向上させることが
できる。即ち、この第２の発明によるシール装置は、ベ
ルト間通路に通される帯鋼を千鳥状配置の電磁石によっ
て吸着し、蛇行状に湾曲してベルト表面に接触させるこ
とができ、この帯鋼の湾曲接触により密封箇所を複数筒
所作ることができるので、この複数箇所の密封によりリ
ーク流れを遮断し、シール性を大幅に向上させることか
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明（第１の発明）のシール装置を示す縦断
面図、第２図は第１図の■−■線に沿う拡大横断面図、
第３図は本発明（第２の発明）に係わるシール装置の縦
断面図、第４図は同シール装置をロール部分と電磁石部
分の二箇所断面で示した構成説明図である。Ｓ・・・帯状体、Ｓ′・・・厚さの薄い帯鋼、Ａ・・・
真空処理室、１・・・チャンバ、Ｉａ、　１ｂ・・・帯
状体の入出開口部、２，３・・・上側の前後ロール（ベ
ルト掛装ロール）、４．５・・・下側の前後ロール（ベ
ルト掛装ロール）、６．７・・・上下の無端ベルト、８
・・・ベルト間通路、Ｑ・・・微小隙間、９，１０・・
・シール手段、１５ａ〜１５ｄ・・・電磁石。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）帯状体を連続的に大気中から真空中に導いて真空
処理する連続真空処理設備の真空処理室に対する入側ま
たは出側に装備されるシール装置であって、帯状体の入
出開口部を有する帯状体走行方向に対して長さの長いチ
ャンバと、このチャンバ内の帯状体走行ラインの上下部
に位置する前後ロールに掛装され、対向するベルト間に
帯状体が微小隙間をもって導通される通路を形成した、
帯状体の移動速度と同じスピードで同調回転される上側
および下側の無端ベルトと、この上下無端ベルトとチャ
ンバ内壁との隙間をシールするシール手段とを具備して
なるシール装置。
（２）厚さの薄い帯鋼を連続的に大気中から真空中に導
いて真空処理する連続真空処理設備の真空処理室に対す
る入側または出側に装備されるシール装置であって、前
記帯鋼の入出開口部を有する帯鋼走行方向に対して長さ
の長いチャンバと、このチャンバ内の帯鋼走行ラインの
上下部に位置する前後ロールに掛装され、対向するベル
ト間に前記帯鋼が微小隙間をもって導通される通路を形
成した、帯鋼移動速度と同じスピードで同調回転される
上側および下側の無端ベルトと、この上下無端ベルトの
通路側内部位置に帯鋼走行方向に対して間隔をおいて千
鳥状に配設され厚さの薄い帯鋼を磁力によつて吸着しベ
ルト間通路内で蛇行状に湾曲接触させる複数個の電磁石
と、上下無端ベルトとチャンバ内壁との隙間をシールす
るシール手段とを具備してなるシール装置。