KR100487010B1

KR100487010B1 - 연속진공처리장치

Info

Publication number: KR100487010B1
Application number: KR1019970008587A
Authority: KR
Inventors: 시게루 나미키; 하츠히코 시바사키; 다다오미 아마노; 가츠유키 기타; 아키라 오쿠다
Original assignee: 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
Priority date: 1996-03-18
Filing date: 1997-03-14
Publication date: 2005-09-02
Also published as: MY116869A; US5951835A; SG76507A1; JP3199162B2; KR970065761A; JPH09256158A

Abstract

피처리물이 테이핑된 주행필름을 연속진공처리할 수 있고 동시에 콤팩트하게 간단한 구성의 연속진공처리장치를 제공한다.

주행필름(1)에 접촉하여 이를 눌러 주행통로(24)의 진공시일을 행하거나 또는 주행필름(1)이 통과하도록 하는 탄성체(25)를 갖는 게이트 밸브(20)와 필름이송수단(30)과 진공배기수단을 구비한 감압실 (6∼9)을, 진공처리실(11,12)의 전후에 각각 2실 이상 배열설치하여 이루고, 각감압실 (6∼9)에 있어서 띠형상의 게이트 밸브 구조에 의하여 진공누설량을 극히 작게 하고, 이를 진공처리실(11,12)의 전후에 2실이상 배열설치함으로서 진공처리에 필요한 진공압을 확보하고, 주행필름(1)의 이송시에는 전단과 후단의 게이트밸브(20)를 반드시 번갈아 진공배기후에 개폐하도록 하였다.

Description

연속진공처리장치

본 발명은, 예를들면 세라믹 발진소자 등의 피처리물을 연속성막 생산하기 위한 연속진공처리장치에 관한 것이다.

종래, 세라믹 발진소자 등의 피처리물은 배치식의 전극성막방식에 의하여 생산되고 있었지만, 양산성이 낮고, 생산성이 나쁘다라는 문제가 있었다.

한편, 필름형상의 것에 대하여 연속적으로 진공처리를 행하는 방법이 생산성이 좋아 수많이 제안되고 있다. 예를들면, 일본 특개평 6-88235호 공보에 개시되어 있는 바와 같이 주로 장척박강판을 다수의 시일로울러로 누르고, 다단의 진공차압장치에 의하여 연속진공처리를 행하고 있다.

이하, 도 11을 참조하여 종래의 연속진공처리장치의 일예에 대하여 설명한다. 도 11에 있어서 71은 주행필름, 72는 배출리일, 73은 권취리일, 74는 가이드 로울이다. 75은 진공시일장치로, 케이싱(76), 시일로울(77), 및 시일바(78∼83)에 의하여 구성되어 있다. 그리고 시일로울(77)과 시일바(78∼83)에 의하여 구성되어 있다. 그리고 시일로울(77)과 시일바(78∼83)에 의해 제1단∼제5단의 감압실(84∼88)로 구획됨과 동시에, 진공배관(89)에 의하여 진공배기유닛(90)에 접속되어 단계적으로 감압된다. 91은 증착실, 92는 냉각로울, 93은 증착장치이다.

이상과 같이 구성된 연속진공처리장치의 동작에 대하여 설명한다. 주행필름(71)은 배출리일(72)로부터 배출된 후, 가이드로울(74), 진공시일장치(75)를 경유하여 진공처리하는 증착실(91)내에 도입되고, 내부에 설치된 냉각로울(92)에 감겨져서 주행하면서 증착장치(93)로 증착되고, 그후 다시 진공시일장치(75)를 경유하여 대기중에 반출되어, 가이드로울(74)을 통해 권취리일(73)에 의하여 감겨진다.

상기 종래의 장치에서는, 주행필름을 고속 반송시키는 것이 가능하고, 생산성 향상에 매우 유효하지만, 본 발명 대상과 같이 주행필름상에 개별편의 피처리물이 테이핑되어 있는 경우에는, 다음의 문제점이 있다.

(1) 주행필름의 두께가 피처리물이 있는 곳과 없는 곳에서 다르고, 동시에 피처리물 자신의 두께도 품종에 따라 달라, 그 경우 진공시일하는 틈새가 크게되어 감압이 충분히 될 수 없다.

(2) 다수의 로울러에 의하여 구성되어 있기 때문에, 장치의 구조, 특히 시일구조가 복잡하다.

(3) 따라서, 장치전체나 진공배기유닛의 용적이 크게 된다.

본 발명은, 상기 종래 장치의 문제점에 비추어, 주행필름상에 피처리물이 테이핑되어 있는 경우에도 충분히 감압할 수가 있고, 동시에 콤팩트하게 간단한 구성의 연속진공처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

본 발명의 연속진공처리장치는, 주행필름에 테이핑된 피처리물에 대하여, 연속적으로 진공처리하는 연속진공처리장치에 있어서, 주행필름에 접촉하여 이를 눌러 주행통로의 진공시일을 행하거나 또는 주행필름이 통과하도록 하는 탄성체를 갖는 게이트 밸브와 주행필름의 이송수단과 진공배기수단을 구비하는 감압실을, 진공처리실의 전후에 각각 2실이상 배열설치하여 이루고, 각 감압실에 있어서 띠형상의 게이트 밸브구조에 의하여 진공 누설량을 극히 작게하고, 그것을 진공처리실의 전후에 2실이상 배열설치함으로서 진공처리에 필요한 진공압을 확보하며, 주행필름은 감압실의 이송수단을 사용하여 행함과 동시에 그 이송시에는 전단과 후단의 게이트밸브를 반드시 번갈아 진공배기후에 개폐함으로서 높은 진공이 유지되도록 하고 있다.

또, 게이트 밸브를, 가압유체를 도입가능한 가압공간이 내부에 형성된 시일용의 탄성체를 주행필름의 주행통로에 임하도록 배열설치한 구성으로 하면, 가압유체의 급배(給排)에 의하여 간단히 개폐할 수가 있다.

또, 게이트 밸브를, 주행필름의 주행통로가 주행필름의 입구측의 일측부를 관통함과 동시에 타측부에서는 그 상면을 지나 동시에 일측부와 타측부와의 사이에 경사돌출부가 형성된 하부밸브체와, 하부밸브체에 대하여 상하 구동가능하고 동시에 그 하면이 하부밸브체의 타측부와 경사 돌출부의 상면에 대향하는 상부밸브체와, 상부밸브체의 하면에 배열설치된 탄성체로 구성하면, 상부밸브체의 상하동에 의하여 개폐할 수가 있고, 동시에 하부밸브체의 일측면을 시일하는 것으로 상부밸브체와 하부밸브체의 사이의 시일을 확보할 수가 있다.

또, 탄성체의 주행통로에 임하는 면에, 주행필름에 테이핑된 피처리물 사이의 간격보다도 폭이 좁은 볼록부를 돌출설치하면, 볼록부를 피처리물 사이에 끼워넣어 시일할 수가 있어 피처리물에 가압력을 작용시키지 않고 시일할 수 있다.

또, 진공처리실을 복수 구비하면, 주행필름에 첨부된 피처리물의 표리(表裏)를 차례로 진공처리할 수가 있고, 더욱이 진공처리실에 복수의 스퍼터처리장치를 구비하면, 복수층의 처리를 한번에 행할 수가 있다.

(발명의 실시의 형태)

이하, 본 발명의 연속진공처리장치의 1실시형태에 대하여 도 1∼도 7을 참조하여 설명한다.

도 1에 있어서, 1은 주행필름이고, 도 2∼도 4에 그의 구체구성의 상세를 도시한다. 주행필름(1)에는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 그 양측에 이송용 구멍(1a)이 일정 피치(P)마다 설치되고, 중앙부에 피처리물(2)이 끼워지는 구멍(1b)이 설치되어 있다. 그리고, 도 3, 도 4에 도시하는 바와 같이, 피처리물(2)은 마스킹테이프(3)에 의하여 주행필름(1)에 테이핑되어 있다.

도 1로 되돌아가서, 주행필름(1)은 배출리일(도시하지 않음)로부터 가이드로울(4)을 통해서 연속진공처리장치(5)로 유도된다. 연속진공처리장치(5)는, 입구측의 제1과 제2의 감압실(6,7)과, 출구측의 제1과 제2의 감압실(8,9)과, 제1과 제2의 진공처리실(11,12)로 구성되어 있다. 연속진공처리장치(5)로부터 나온 주행필름(1)은 이송로울(10)을 통해서 권취리일(도시하지 않음)에 감기고, 후공정으로 이송된다.

각 감압실(6∼9)은 실질적으로 동일구성으로, 게이트밸브(20)와 필름이송수단(30)을 구비하고, 동시에 후술의 진공배기유닛이 접속되어 있다. 게이트밸브(20)는, 도 5, 도 6에 도시하는 바와 같이 밸브케이스(21)에 평면형상이 가늘고 긴 직4각형상으로 상면개방의 밸브실(22)이 형성됨과 동시에 그 상면이 뚜껑체(23)로 밀폐되고, 동시에 밸브실(22)의 저면부에 주행필름(1)을 주행시키는 주행통로(24)가 밸브케이스(21)를 관통하도록 형성되어 있고, 밸브실(22)에는 내부에 가압공간(26)을 형성한 연질고무로 이루어지는 시일용 탄성체(25)가 배열설치되고, 압축공기를 가압공간(26)에 도입함으로써 주행통로(24)에 주행필름(1)이 관통하고 있는 상태로 시일용 탄성체(25)로 시일하도록 구성되어 있다. 27은 압축공기 도입관, 28은 가압공간(26)에 있어서 주행통로(24)와는 반대측면에 배열설치된 배면판이다. 29는 시일용 탄성체(25)의 상부를 뚜껑체(23)에 고정하는 누름부재이다.

도 1에 있어서 필름이송수단(30)은, 필름이송로울(31)과 가이드로울(32)과 그들 사이의 간헐이송용 이송흡수공간(33)을 구비하고 있다. 필름이송로울러(31)에는 필름이송구멍(1a)에 걸어맞춤하는 핀(도시하지 않음)이 설치되어, 이송구동장치(도시하지 않음)에 연결되어 있다.

제1과 제2의 진공처리실(11,12)은 동일 구성으로, 전체가대(40)상에 설치되어 있다. 41은 케이싱, 42는 냉각로울, 43은 스퍼터실이다. 스퍼터실(43)은 케이싱(41)에 고정되어 있고, O링 (도시하지 않음)으로 시일되어 있다. 스퍼터실(43)에는 주행필름(1)의 이면 또는 표면에 이종재료를 2층 스퍼터할 수 있도록 스퍼터장치(44,45)가 설치되어 있다. 46은 케이싱(41)의 입구부 및 출구부에 배열설치된 가이드로울로서, 주행필름(1)을 냉각로울(42) 또는 출구측의 제1의 감압실(8)로 안내한다.

이들 진공처리실(11,12)에 있어서 연속진공처리를 위하여, 냉각로울(42)과 출구측의 제1의 감압실(8)의 필름이송로울(31)은, 일정의 원주속도로 동기하여 연속회전하도록 구동장치(도시하지 않음)에 연결되어 있다. 한편, 주행필름(1)을 각 감압실(6,7,9)로 보내는 필름이송로울(31) 및 감압실(9)로부터 내보내기 위한 이송로울(10)은, 감압실(8)의 이송로울(31)보다도 빠른 속도로 간헐 구동제어되어 있다.

도 7에 도시하는 공압배기회로에 대하여 설명하면, 51은 압축공기유닛, 52,53은 진공배기유닛, 54는 스퍼터 가스봄베, 55는 제어밸브, 56∼59는 각각 배관을 도시한다. 진공배기유닛(52)으로부터 진공배기유닛(53)을 구분한 것은 스퍼터 처리용에 질이 높은 진공을 얻는 의미를 나타낸 것이다. 게이트 밸브(20)에의 배관은 제어밸브(55)를 통해서 압축공기유닛(52)과 진공배기유닛(52)에 접속되어, 시일용 탄성체(25)가 확실히 팽창·수축하도록 구성되어 있다.

이상의 구성에 있어서, 주행필름(1)은 우선 입구측의 제1의 감압실(6)의 필름이송로울(31)로 일정량 보내어진다. 이 경우, 이 감압실(6)의 게이트밸브(20)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 그 주행통로(24)를 개방하고 있다. 한편, 제2의 감압실(7)의 게이트밸브(20)에 있어서는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 시일용 탄성체(25)로 주행필름(1)을 누르고 그의 주행통로(24)를 닫고 있다. 제1의 감압실(6)에의 주행필름(1)의 일정량의 보내기가 완료하면, 도 6에 도시하는 바와 같이, 제1의 감압실(6)의 게이트 밸브(20)의 시일용 탄성체(25)로 주행필름(1)을 눌러 그의 주행통로(24)를 닫고, 제1의 감압실(6)을 진공배기한다.

다음에, 입구측의 제2의 감압실(7)의 게이트밸브(20)가 열러져서 그 필름이송로울(31)로 제2의 감압실(7)로 주행필름(1)이 일정량 보내어지고, 보내기가 완료후, 그 게이트 밸브(20)가 닫혀져서 입구측의 일련의 보내기 사이클은 완료한다. 그후 다음의 사이클로 들어가 제1의 감압실(6)은 누출밸브(도시하지 않음)에 의하여 대기압으로 되돌아가고, 그 제1의 감압실(6)의 게이트 밸브(20)가 열려져서 다음 일정량의 주행필름(1)이 보내어진다.

다음에, 제1, 제2의 진공처리실(11,12)에 있어서 동작을 설명하면, 주행필름(1)은 가이드로울(46)을 통해 냉각로울(42)에 두루감겨서 주행하고, 그 사이에 제1의 진공처리실(11)의 스퍼터실(43)에서는, 스퍼터장치(44,45)로 주행필름(1)의 이면에 이물질 재료가 2층 스퍼터되고, 제2의 진공처리실(12)에서는 꼭같이 주행필름(1)의 표면에 이물질 재료가 2중 스퍼터되어, 가이드로울(46)을 통해 출구측의 제1감압실(8)의 필름 이송로울(31)로 일정속도로 그 감압실(8)로 보내어진다. 더욱, 제1, 제2의 진공처리실(11,12)은 진공배기유닛(53)에 접속되어 있고, 냉각로울(42)과 케이싱(41)과의 틈새를 주행필름(1)이 지나는데 지장이 없을 정도로 될 수 있는 대로 작은 틈새로 하는 것으로, 컨덕턴스 효과에 의하여 감압실(7,8)보다도 질이 좋은 진공상태가 얻어지도록 배려되어 있다.

출구측의 제1의 감압실(8)로 일정량 이송된 주행필름(1)은, 입구측과 꼭같이 이 감압실(8)의 게이트 밸브(20)가 열려서 출구측의 제2의 감압실(9)로 보내어지고, 보내기 완료후 감압실(8)의 게이트 밸브(20)가 닫혀지고, 뒤이어 제2의 감압실(9)을 대기로 되돌린후, 그 게이트밸브(20)를 열어 이송로울(10)로 후공정(도시하지 않음)으로 반출된다. 반출후, 감압실(9)의 게이트 밸브(20)가 닫혀져서 다시 진공배기되고, 대기(待機)상태로 된다.

이상의 실시형태에 의하면, 게이트 밸브(20)에 연질고무 등으로 이루어지는 띠형상의 시일용 탄성체(25)를 사용함으로서, 높은 진공시일성이 얻어지고, 감압실을 최저 2실씩을 입구측과 출구측에 설치하면 좋으므로, 장치의 심플화, 소형화가 가능하고, 필름이송수단(30)도 간단한 구성이 가능하다. 또, 주행필름(1)의 표리에 대응하여 각각 진공처리실(11,12)을 설치함으로서, 피처리물(2)의 양면에 진공처리가 가능하게 되고, 응용으로서 세라믹 소자의 양면전극의 형성등이 가능하게 된다. 더욱, 각 진공처리실(11,12)에 각각 스퍼터장치(44,45)등의 복수의 진공처리장치를 배열설치하면 복수층의 처리를 할 수 있어, 예를들면 세라믹 소자의 전극성막을 밑바탕을 예를들면 크롬층으로 하고, 2층 째를 은층으로 하는 것으로 세라믹 모재와의 접합강도를 향상하는 것이 가능하게 된다.

다음에, 별도의 실시형태에 있어서 게이트 밸브(60)의 구성을, 도 8∼도 10을 참조하여 설명한다. 61은 상면 개방의 밸브케이스, 62는 그 상면을 밀폐하는 뚜껑체이다. 63은 밸브케이스(61)내에 그 한측의 내측면에 시일상태로 맞닿게 하여 배열설치된 단면형상 대략 L자상의 하부 밸브체로, 그 코너부에 경사 돌출부(70)가 형성되어 있다. 64는 하부 밸브체(63)의 측벽에 상하이동 자유로이 접하여 배열설치된 상부 밸브체이고, 그 하면은 하부 밸브체(63)의 상면 및 경사 돌출부(70)의 상면에 따르는 형상으로 형성되어 있다. 65는 상부 밸브체(64)의 하면에 고착 또는 일체성형된 연질고무 등으로 이루어지는 시일용 탄성체이다. 66은 상부 밸브체(64)를 상하동하는 샤프트로, 그 상단은 에어실린더(도시하지 않음)에 접속되고, 하단이 상부 밸브체(64)에 고정되어 있다. 67은 하부 밸브체(63) 및 상부 밸브체(64)의 타측면과 밸브케이스(61)의 타측의 내측면 사이에 장치된 스페이서이다. 68은 주행필름(1)의 주행통로이고, 밸브케이스(61)의 1측벽, 하부밸브체(63)의 측벽 및 경사돌출부(70)를 관통하여, 하부밸브체(63)의 상면을 지나, 더욱 스페이서(67)와 밸브케이스(61)의 타측벽을 관통하여 형성되어 있다. 시일용탄성체(65)의 하면의 주위에는 도 9에 도시하는 바와 같이 환상으로 볼록부(69)가 형성되고, 이 볼록부(69)로 하부밸브체(63)의 상면 및 경사돌출부(70)의 상면과 평행한 폐쇄공간을 만들므로서 하부 밸브체(63)와 상부 밸브체(64)의 시일성을 확보하도록 구성되어 있다. 이 볼록부(69)의 폭은 주행필름(1)의 피처리물(2) 사이의 폭 보다도 작은 치수로 형성되어 있다. 또, 이 볼록부(69)는 도시예에서는 1열이지만 2열이상이면 보다 시일성이 향상한다.

동작에 대하여 설명하면, 주행필름(1)이 도 1에서 설명한 상기 실시형태와 꼭같이 일정량 이송되었을 때, 일정피치로 배치된 피처리물(2,2) 사이가 일정위치의 볼록부(69)의 위치에 맞도록 제어되어 있어, 도 10a와 같이 피처리물(2)에 접하는 일없이 주행필름(1)만을 끼워, 도 5, 도 6의 게이트 밸브(20)와 꼭같은 동작과 작용을 행한다. 도 5, 도 6과 다른 점은 탄성체인 연질고무가 주행필름(1)을 누르는 부분에만 사용되고 있고, 게이트 밸브(20)와 같이 압축공기를 직접 구동원으로 하지 않고, 별도의 가압 구동원을 갖는 점이다. 그러나, 이 구성의 좋은 점은 가공에 의하여 볼록부(69)를 만들기 쉽고, 피처리물(2)에 비접촉으로 진공시일할 수 있는 것이다. 다만, 상술의 게이트 밸브(20)에도 본 실시형태와 같은 볼록부를 형성하는 것으로, 피처리물과 비접촉으로 진공시일하여도 좋다.

더욱, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 구체적인 형상, 구조, 배치등은 임의로 응용·변경하여 실시할 수가 있다.

본 발명의 연속진공처리장치에 의하면, 이상의 설명에서 명백한 바와 같이, 주행필름에 접촉하여 이를 눌러 주행통로의 진공시일을 행하거나 또는 주행필름이 통과하도록 하는 탄성체를 갖는 게이트 밸브와 주행필름의 이송수단과 진공배기수단과를 구비하는 감압실을, 진공처리실의 전후에 각각 2실 이상 배열설치하여 이루므로, 각 감압실에 있어서 띠형상의 게이트 밸브구조에 의하여 진공누설량을 극히 작게하여, 이를 진공처리실의 전후에 2실이상 배열설치함으로서 진공처리에 필요한 진공압을 확보할 수 있고, 주행필름은 감압실의 이송수단을 사용하여 행함과 동시에 그 이송시에 전단과 후단의 게이트 밸브를 반드시 번갈아 진공배기후에 개폐함으로서 높은 진공을 유지할 수가 있어, 피처리물이 별개로 테이핑되어 있는 주행필름을 연속적으로 처리할 수가 있다. 또 게이트 밸브의 구조도 간단하고, 감압실의 수도 적게 되므로 장치 전체도 소형화할 수 있고 배기용량도 적게 되고, 따라서 제작비를 절감할 수 있고, 설치스페이스를 작게할 수 있다라는 효과를 발휘한다.

또, 게이트 밸브를, 가압유체를 도입가능한 가압공간이 내부에 형성된 시일용의 탄성체를 주행필름의 주행통로에 임하도록 배열설치한 구성으로 하면, 가압유체의 급배에 의하여 간단히 개폐할 수가 있다.

또, 게이트 밸브를 주행필름의 주행통로가 주행필름의 입구측의 일측부를 관통함과 동시에 타측부에서는 그 상면을 지나 동시에 일측부와 타측부와의 사이에 경사돌출부가 형성된 하부 밸브체와, 하부 밸브체에 대하여 상하구동가능하고 동시에 하면이 타측부와 경사돌출부의 상면에 대향하는 상부 밸브체와, 상부 밸브체의 하면에 배열설치된 탄성체로 구성하면, 상부밸브체의 상하동에 의하여 개폐할 수 있음과 동시에, 하부밸브체의 일측면을 시일하는 것으로 상부 밸브체와 하부 밸브체 사이의 시일을 확보할 수가 있다.

또 탄성체의 주행통로에 임하는 면에, 주행필름에 테이핑된 피처리물간의 간격보다도 폭이 좁은 볼록부를 돌출설치하면, 볼록부를 피처리물 사이에 끼워넣어 시일할 수가 있어, 피처리물에 가압력을 작용시키지 않고 시일할 수가 있다.

또 진공처리실을 복수구비하면, 주행필름에 첨부된 피처리물의 표리를 차례로 진공치리할 수가 있고, 더욱이, 진공처리실에 복수의 스퍼터 처리장치를 구비하면 복수층의 처리를 한번에 행할 수가 있다.

도 1은 본 발명의 1실시형태에 있어서 연속진공처리장치의 전체 종단면도이다.

도 2는 동 실시형태에 있어서 주행필름의 기재의 평면도이다.

도 3은 동 실시형태에 있어서 주행필름의 평면도이다.

도 4는 동 실시형태에 있어서 주행필름의 확대 종단측면도이다.

도 5는 동 실시형태에 있어서 게이트 밸브를 도시하고, (a)는 종단측면도, (b)는 종단정면도이다.

도 6은 동 실시형태에 있어서 게이트 밸브의 동작상태를 도시하고, (a)는 종단측면도, (b)는 종단정면도이다.

도 7은 동 실시형태에 있어서 공압·배기회로의 개념도이다.

도 8은 본 발명의 다른 실시형태에 있어서 연속진공처리장치의 게이트밸브의 종단정면도이다.

도 9는 도 8의 A-A 단면측면도이다.

도 10은 동 실시형태에 있어서 게이트 밸브의 동작상태를 도시하고, (a)는 닫힌 상태의 종단정면도, (b)는 열린상태의 종단정면도이다.

도 11은 종래예의 연속진공처리장치의 전체 구성을 도시하는 개념도이다.

"도면의 주요부분에 대한 부호의 설명"

1: 주행필름 2: 피처리물 5: 연속진공처리장치

6: 입구측의 제1의 감압실 7: 입구측의 제2의 감압실

8: 출구측의 제1의 감압실 9: 출구측의 제2의 감압실

11: 제1의 진공처리실 12: 제2의 진공처리실

20: 게이트밸브 24: 주행통로 25: 시일용 탄성체

26: 가압공간 30: 필름이송수단 44: 스퍼터장치

45: 스퍼터장치 60: 게이트밸브 63: 하부밸브체

64: 상부밸브체 65: 시일용 탄성체 68: 주행통로

69: 볼록부 70: 경사돌출부

Claims

주행필름에 테이핑된 피처리물에 대하여, 연속적으로 진공처리하는 연속진공처리장치에 있어서, 주행필름에 접촉하여 이를 눌러 주행통로의 진공시일을 행하거나 또는 주행필름이 통과하도록 하는 탄성체를 갖는 게이트 밸브와 필름의 이송수단과 진공배기수단을 구비하는 감압실을, 진공처리실의 전후에 각각 2실이상 배열설치한 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
제 1 항에 있어서, 게이트 밸브는, 가압유체를 도입가능한 가압공간이 내부에 형성된 시일용의 탄성체를 주행필름의 주행통로에 임하도록 배열설치하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
제 1 항에 있어서, 게이트 밸브는, 주행필름의 주행통로가 주행필름의 입구측의 일측부를 관통함과 동시에 타측부에서는 그 상면을 지나고 또한 일측부와 타측부와의 사이에 경사돌출부가 형성된 하부 밸브체와, 하부밸브체에 대하여 상하구동가능하고 또한 그 하면이 하부밸브체의 타측부와 경사돌출부의 상면에 대향하는 상부밸브체와, 상부밸브체의 하면에 배열설치된 탄성체로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 탄성체의 주행통로에 임하는 면에, 주행필름에 테이핑된 피처리물간의 간격보다도 폭이 좁은 볼록부가 돌출설치되어 있는 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
제 1 항에 있어서, 복수의 진공처리실을 구비한 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
제 1 항에 있어서, 진공처리실에 복수의 스퍼터 처리장치를 구비한 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
직렬로 배치된 복수의 감압실과, 상기 감압실의 하류측에 배치된 진공처리실과, 상기 진공처리실의 하류측에 직렬로 배치된 복수의 감압실로, 상기 순서로 주행필름을 통과시켜, 주행필름에 테이핑된 피처리물을 연속적으로 진공처리하는 방법으로서, 진공처리실의 상류측의 각 감압실에 있어서, 그 입구부에 배치된 탄성체를 갖는 게이트 밸브로, 외부로부터 도입된 주행필름을 끼운 상태로 시일하고, 상기 각 감압실을 차례로 통과시켜 주행필름을 진공처리실내로 유도하고, 상기 피처리물에 진공처리가 실시된 후, 상기 주행필름을 진공처리실로부터 진공처리실의 하류측의 감압실로 보내고, 진공처리실의 하류측의 각 감압실에 있어서, 그 출구부에 배치된 탄성체를 갖는 게이트 밸브로 주행필름을 끼운 상태에서 시일하고, 상기 각 감압실을 차례로 통과시켜 주행필름을 외부로 꺼내는 것을 특징으로 하는 연속진공처리방법.