JP6018519B2 - ゲートバルブ及びこれを有する真空処理装置 - Google Patents
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Description
2 凹部
3 凹部側壁
3a 凹部側壁のテーパー状内周側面
3a 押圧側ペーパー状側面
4 底部
4a 底部上面
5 受け部の上端面
6a,6b,22 スリット
6aa,6ba スリットの下端面
7 挿通穴
11 押圧部
12 押圧側平面
13 押圧部の側面
14 押圧部の上端部
21 ハウジング
23 排気ポンプ接続部
23a 排気管
24 排気ポンプ
D 隙間
W 可とう性の帯状基板
Claims (6)
- 互いに真空度が異なる各処理室の間又は処理前の基板を供給する基板供給室もしくは処理後の基板を収容する基板収容室と処理室との間を気密に遮断又は分離するために使用されるゲートバルブであって、
平面略円形状の凹部を有するように形成されており、前記凹部の平面略円周状の周囲を構成する凹部側壁の内周側面は前記凹部の上端部から底部に向かうに従って徐々に前記凹部の平面が小さくなるテーパー状に形成されており、前記凹部側壁の互いに半径方向に対向する部分にそれぞれ基板が通過可能なスリットが形成されており、少なくとも前記凹部側壁のテーパー状内周側面と前記凹部の底部上面とがゴム弾性体により形成されている受け部と、
前記受け部の凹部に嵌合可能な凸部を有するように形成されており、前記基板を前記スリットを介して移動させるときは前記凸部が前記スリットを遮断しない位置に配置され、前記基板に対して成膜等の処理を行うか又は前記の処理室、基板供給室もしくは基板収容室をメンテナンスや基板交換などのために大気中に晒すときは前記凸部が前記受け部の凹部に嵌め込まれ押圧されるように移動する押圧部であって、前記受け部の凹部側壁のテーパー状内周側面に当接又は密着可能な押圧側テーパー状側面と、前記凹部の底部上面に当接又は密着可能な押圧側平面とを備えており、少なくとも前記押圧側テーパー状側面及び前記押圧側平面がゴム弾性体により形成されている押圧部と、
を備えたことを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1において、前記スリットの下端面は前記受け部の凹部の底部上面と同一平面上に形成されている、ことを特徴とするゲートバルブ。
- 請求項1又は2において、前記受け部の底部又は前記押圧部の押圧側平面の一部に、前記受け部の凹部と前記押圧部の凸部との間に存在する気体を排気するための排気ポンプを接続するための穴が形成されている、ことを特徴とするゲートバルブ。
- 請求項1から3までのいずれかにおいて、前記受け部はゴム弾性体により一体成形されている、ことを特徴とするゲートバルブ。
- 請求項1から4までのいずれかにおいて、前記基板は、前記基板供給室から巻き出されながら供給され途中の一つ又は複数の成膜室を介して前記基板収容室中で巻き取られながら収容される、可とう性の帯状基板であり、
前記受け部及び前記押圧部は、前記帯状基板を互いの間に挟み込んだ状態で、前記各処理室の間又は前記基板供給室もしくは前記基板収容室と前記処理室との間を気密に遮断又は分離するものである、ことを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1から5までのいずれかのゲートバルブが、少なくとも2つの処理室の間又は基板供給室もしくは基板収容室と処理室との間に配置されている真空処理装置。
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